CN207990196U - 微型气体供应控制器 - Google Patents
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Abstract
一种微型气体供应控制器，其包括：一感测器、一控制单元、一气体管路模块、一流量控制开关及一手动开关。该感测器设置于一储存柜体，提供至少一感测数据。该控制单元依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该气体管路模块用以供应气体至该储存柜体。该流量控制开关设置于该气体管路模块，控制该气体管路模块的开启或关闭。该手动开关设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。利用本实用新型的该微型气体供应控制器，可依据感测数据，控制气体是否提供至该储存柜体，以节省气体的成本，且可确保气体能供应至该储存柜体，不会发生因元件异常，不能提供气体至该储存柜体的情况，以维持该储存柜体的温度或湿度。
Description
技术领域
本实用新型涉及微型气体供应控制器。
背景技术
现有储存柜体用以储存经处理或未经处理的晶圆或半导体元件，为使储存柜体内的晶圆或半导体元件不受环境(例如：温度或湿度)的影响，现有储存柜体必须输入气体以维持储存柜体的温度及湿度。现有输入气体的方式是全日不间断地输入气体，造成气体的成本增加。另外，没有其他机制侦测是否气体确实输入至该储存柜体，可能发生气体没有输入至该储存柜体的情况。
实用新型内容
为了克服现有技术中存在的不足与缺陷，本实用新型提供一种微型气体供应控制器。
为达上述目的，本实用新型的微型气体供应控制器包括：
一感测器，其设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据；
一控制单元，其电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号；
一气体管路模块，其用以供应气体至该储存柜体；
一流量控制开关，其电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭；及
一手动开关，其设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。
前述的微型气体供应控制器，其中，该感测器用以测量该储存柜体的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。
前述的微型气体供应控制器，其中，该控制单元还包括一比较器，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关开启。
前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一支路及一第二支路，该流量控制开关设置于该第一支路，该手动开关设置于该第二支路。
前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一管路及一第二管路，该第一管路接收一气体供应源的气体，该第二管路连接至该储存柜体，以输入气体至该储存柜体。
前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一个三通阀及一第二个三通阀，该第一个三通阀连接该第一管路、该第一支路及该第二支路，该第二个三通阀连接该第二管路、该第一支路及该第二支路。
前述的微型气体供应控制器，其中，于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时，该手动开关切换为开启，使气体经由该第二支路输入至该储存柜体。
前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括一警报器，用以于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时发出警报。
前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括一面板，该手动开关设置于该面板。
前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括多个指示灯，该多个指示灯设置于该面板，用以显示该微型气体供应控制器的状态。
本实用新型提供一种微型气体供应控制器。在一实施例中，该微型气体供应控制器包括：一感测器、一控制单元、一气体管路模块、一流量控制开关及一手动开关。该感测器设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据。该控制单元电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该气体管路模块用以供应气体至该储存柜体。该流量控制开关电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭。该手动开关设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。
本实用新型的有益效果：利用本实用新型的该微型气体供应控制器，可依据感测数据，控制气体是否提供至该储存柜体，以节省气体的成本，且可确保气体能供应至该储存柜体，不会发生因元件异常，不能提供气体至该储存柜体的情况，以维持该储存柜体的温度或湿度。
附图说明
图1显示本实用新型微型气体供应控制器的方块示意图；及
图2显示本实用新型微型气体供应控制器的外观示意图。
附图标记说明：
10 微型气体供应控制器
11 感测器
12 控制单元
13 气体管路模块
14 流量控制开关
15 手动开关
16 警报器
17 面板
20 储存柜体
121 比较器
131 第一支路
132 第二支路
133 第一管路
134 第二管路
135 第一个三通阀
136 第二个三通阀
181、182、183 指示灯。
具体实施方式
图1显示本实用新型微型气体供应控制器的方块示意图。图2显示本实用新型微型气体供应控制器的外观示意图。配合参考图1及图2，在一实施例中，本实用新型微型气体供应控制器可应用于控制输入气体至一储存柜体，例如控制输入氮气(N2)至一储存柜体，但不限于上述。
该微型气体供应控制器10包括：一感测器11、一控制单元12、一气体管路模块13、一流量控制开关14及一手动开关15。该感测器11设置于一储存柜体20，用以测量该储存柜体20的环境数据，提供至少一感测数据。在一实施例中，该感测器11用以测量该储存柜体20的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。在一实施例中，该储存柜体20可为一晶圆储存柜体，储存已处理或未处理的晶圆或半导体元件。
该控制单元12电性连接该感测器11，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该控制单元12可为一控制器、微处理器等。
该气体管路模块13用以供应气体至该储存柜体20。在一实施例中，该气体管路模块13供应氮气(N2)至该储存柜体20。该流量控制开关14电性连接该控制单元12，该流量控制开关14设置于该气体管路模块13。依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关14的开启或关闭，以控制该气体管路模块13的开启或关闭。
在一实施例中，该控制单元12还包括一比较器121，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关14开启，使该气体管路模块13开启，以供应气体至该储存柜体20，使该储存柜体20的温度或湿度降低至该温度设定值或该湿度设定值，以保持该储存柜体20内的温度或湿度。
当该储存柜体20的温度或湿度降低至该温度设定值或该湿度设定值时，产生一关闭控制信号，控制该流量控制开关14关闭，使该气体管路模块13关闭，以节省气体的成本。
该手动开关15设置于该气体管路模块13，以手动控制该气体管路模块13的开启或关闭。若该流量控制开关14异常，操作者可以手动方式切换该手动开关15，以控制该气体管路模块13的开启或关闭，例如，将该手动开关15切换为开启(ON)，使该气体管路模块13开启，以供应气体至该储存柜体20，避免该储存柜体20内的温度或湿度提高。
在一实施例中，该气体管路模块13还包括一第一支路131及一第二支路132，该流量控制开关14设置于该第一支路131，该手动开关15设置于该第二支路132。亦即，该流量控制开关14控制该第一支路131的开启或关闭，该手动开关15控制该第二支路132的开启或关闭。
该气体管路模块13还包括一第一管路133及一第二管路134，该第一管路133接收一气体供应源的气体，亦即，该第一管路133连接至一气体供应源(图未示出)。该第二管路134连接至该储存柜体20，以输入气体至该储存柜体20。
该气体管路模块13还包括一第一个三通阀135及一第二个三通阀136。该第一个三通阀135连接该第一管路133、该第一支路131及该第二支路132，亦即，气体由该第一管路输入后，经该第一个三通阀135可将气体分送至该第一支路131及该第二支路132。该第二个三通阀136连接该第二管路134、该第一支路131及该第二支路132，亦即，气体可由该第一支路131或该第二支路132，经该第二个三通阀136至该第二管路134，以输送气体至该储存柜体20。
因此，当该微型气体供应控制器10内的元件(例如：感测器11、控制单元12或流量控制开关14)正常时，该手动开关15切换为关闭，使第二支路132关闭，由该流量控制开关14控制该第一支路131的开启或关闭，由该第一支路131提供气体至该储存柜体20。于该微型气体供应控制器10内的元件(例如：感测器11、控制单元12或流量控制开关14)异常时，不能由该第一支路131提供气体至该储存柜体20，该手动开关15切换为开启，使气体经由该第二支路132输入至该储存柜体20。
利用本实用新型的该微型气体供应控制器10，可确保气体能供应至该储存柜体20，不会发生因元件异常，不能提供气体至该储存柜体20的情况，以维持该储存柜体20的温度或湿度。
在一实施例中，本实用新型的该微型气体供应控制器10还包括一警报器16，用以于上述元件异常时发出警报，以警报声通知操作者，使操作者或现场人员知道该微型气体供应控制器10的元件发生异常，以尽快将该手动开关15切换为开启，提供气体至该储存柜体20。
在一实施例中，本实用新型的该微型气体供应控制器10还包括一面板17，该手动开关15设置于该面板17，以方便操作者或现场人员切换操作。
本实用新型的该微型气体供应控制器10还包括多个指示灯181、182、183，设置于该面板17，用以显示该微型气体供应控制器10的状态。例如：该指示灯181为该微型气体供应控制器10的电源指示灯，该指示灯182为该流量控制开关14开启或关闭的指示灯，该指示灯183为该手动开关15开启或关闭的指示灯。
上述实施例仅为说明本实用新型的原理及其功效，而非限制本实用新型。本领域技术人员对上述实施例所做的修改及变化仍不违背本实用新型的精神。本实用新型的权利范围应如权利要求书所列。
Claims (10)
1.一种微型气体供应控制器，其特征在于，包括：
一感测器，其设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据；
一控制单元，其电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号；
一气体管路模块，其用以供应气体至该储存柜体；
一流量控制开关，其电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭；及
一手动开关，其设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。
2.如权利要求1所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该感测器用以测量该储存柜体的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。
3.如权利要求2所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该控制单元还包括一比较器，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关开启。
4.如权利要求1所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该气体管路模块还包括一第一支路及一第二支路，该流量控制开关设置于该第一支路，该手动开关设置于该第二支路。
5.如权利要求4所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该气体管路模块还包括一第一管路及一第二管路，该第一管路接收一气体供应源的气体，该第二管路连接至该储存柜体，以输入气体至该储存柜体。
6.如权利要求5所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该气体管路模块还包括一第一个三通阀及一第二个三通阀，该第一个三通阀连接该第一管路、该第一支路及该第二支路，该第二个三通阀连接该第二管路、该第一支路及该第二支路。
7.如权利要求6所述的微型气体供应控制器，其特征在于，于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时，该手动开关切换为开启，使气体经由该第二支路输入至该储存柜体。
8.如权利要求1所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该微型气体供应控制器还包括一警报器，用以于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时发出警报。
9.如权利要求1所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该微型气体供应控制器还包括一面板，该手动开关设置于该面板。
10.如权利要求9所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该微型气体供应控制器还包括多个指示灯，该多个指示灯设置于该面板，用以显示该微型气体供应控制器的状态。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| TW106214682U TWM559500U (zh) | 2017-10-02 | 2017-10-02 | 微型氣體供應控制器 |
| TW106214682 | 2017-10-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721399167.5U Active CN207990196U (zh) | 2017-10-02 | 2017-10-27 | 微型气体供应控制器 |
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| TW (1) | TWM559500U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110289231A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-09-27 | 英特尔半导体(大连)有限公司 | 用于半导体制造设备的气体管路控制装置 |
-
2017
- 2017-10-02 TW TW106214682U patent/TWM559500U/zh unknown
- 2017-10-27 CN CN201721399167.5U patent/CN207990196U/zh active Active
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| CN110289231A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-09-27 | 英特尔半导体(大连)有限公司 | 用于半导体制造设备的气体管路控制装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWM559500U (zh) | 2018-05-01 |
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