JP4746579B2 - Low load carrying device - Google Patents

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JP4746579B2 JP2007088346A JP2007088346A JP4746579B2 JP 4746579 B2 JP4746579 B2 JP 4746579B2 JP 2007088346 A JP2007088346 A JP 2007088346A JP 2007088346 A JP2007088346 A JP 2007088346A JP 4746579 B2 JP4746579 B2 JP 4746579B2
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本発明は、低負荷搬送装置に関し、さらに詳しくは、負圧により基板を吸着して搬送する低負荷搬送装置に関する。 The present invention relates to a low load carrying device and, more particularly, to low-load transfer device for transferring by adsorbing the substrate by the negative pressure.

電子デバイスの製造工程において、例えば半導体基板やガラス基板等の基板を搬送する際、移動可能な吸着ヘッドに基板(ウェハ)を負圧により吸着して所定位置へ搬送する基板吸着搬送装置が用いられている。 In the manufacturing process of the electronic device, for example during the transport of the substrate a semiconductor substrate, a glass substrate or the like, the substrate suction conveyance device for conveying by suction to a predetermined position by the negative pressure of the substrate (wafer) on a movable suction head is used ing.
この基板吸着搬送装置としては、支持面に複数の吸気孔を有する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドに接続されて各吸気孔の内部に負圧を発生する負圧発生手段と、前記吸着ヘッドを移動させる移動手段とを備えた構成のものが知られている(例えば、特許文献1および2参照)。 As the substrate suction conveying device, moving the suction head having a plurality of air intake holes on the supporting surface, and a negative pressure generating means for generating a negative pressure the connected to the suction head to the interior of the intake holes, said suction head having a structure that includes a moving means is known to be (for example, see Patent documents 1 and 2).

ところで、基板吸着搬送装置にて薄い基板を吸着搬送する場合、基板における吸着ヘッドと接する部分のみに大きなストレスがかかり、基板割れを生じる場合がある。 In the case of suction conveyance thin substrate at a substrate suction conveying device, only it takes great stress portion in contact with the suction head in the substrate, which may cause the substrate crack. 特に、基板がシリコンインゴットをスライスしたシリコンウェハの場合は、表面に凹凸を有しており、凹部で割れ易い。 Particularly, in the case of a silicon wafer substrate was sliced ​​silicon ingot has an uneven surface, easily cracked in the recess.
このような基板割れを抑制する方法としては、(1)真空レギュレーターを用いて負圧を制御することで、吸着ヘッドでの基板にかかるストレスを低減させる、(2)基板全体を吸着して単位面積当りにかかるストレスを低減させるための治具を吸着ヘッドに取り付ける、あるいは(3)弾性を有する多孔質パッド(連続気泡)を吸着ヘッドに貼り付けることにより、多孔質パッドが基板表面に密着して基板にかかるストレスを低減させるという方法がとられていた。 As a method of suppressing such a substrate crack, (1) by controlling the negative pressure using a vacuum regulator, it reduces the stress applied to the substrate in the suction head, by adsorbing (2) the entire substrate unit a jig for reducing the stress on the per area attached to the suction head, or (3) by adhering the porous pad (open cell) having elasticity to the suction head, the porous pad in close contact with the substrate surface the method of reducing the stress applied to the substrate Te had been taken.
特開2004−18256号公報 JP 2004-18256 JP 特開2006−27795号公報 JP 2006-27795 JP

しかしながら、前記(1)の方法では、吸着ヘッドでの基板ストレスは低減方向に向かうが、基板面積全体の数パーセント以下での支持面積には変わりがなく、割れの原因を解消するのには不十分であった。 However, in the method (1), but towards the substrate stress reduction direction in the suction head, no change in the support area of ​​below a few percent of the whole substrate area, to eliminate the cause of the cracks is not It was sufficient. また、前記(2)の方法では、冶具がタングステンといった金属やセラミック等からなるため表面が硬く、治具が基板と接触することによる割れの懸念があり、また、上述のシリコンウェハでは表面に凹凸を有していたり表面が波打っており、このような基板では吸着時の空気リーク量が多いため支持が困難であった。 In the method of (2), the jig is hard and the surface to become a metal or ceramic such as tungsten, jig has cracked concern due to contact with the substrate, also, uneven surface in the silicon wafer described above and wavy optionally or surface has a support is difficult because of the large air leakage amount during adsorption at such a substrate. また、前記(3)の方法では、1日に数万枚もの基板を吸着搬送すると、例えば基板表面から剥がれた細かな屑片等の異物が多孔質パッド内の微小な連続気泡を詰まらせ吸着力が低下して基板を支持することが困難となるため、多孔質パッドをその都度新しいものと交換する必要があった。 In the method of (3), clog the even substrate to suction conveying several tens of thousand sheets per day, for example, foreign substances such as fine debris that peeled from the substrate surface a fine open cells in the porous pad adsorption because force is difficult to support the substrate decreases, there porous pad needs to be replaced with each time a new one.

本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、基板にかかるストレスを低減して基板割れを抑制することができ、かつメンテナンスコストを低減できる低負荷搬送装置を提供するものである。 The present invention has been made in view of such a problem, by reducing the stress applied to the substrate can be suppressed substrate crack, and is intended to provide a low load carrying device which can reduce the maintenance cost.

かくして、本発明によれば、負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成され、前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる粘着剤シートからなり、前記粘着剤シートは、前記ヘッド本体部の支持面と接触する粘着性を有する面と、前記基板と接触する粘着性を有さない面と、前記複数の貫通孔とを有し、かつ前記粘着性が低下した場合に、水洗いおよ Substrate Thus, according to the present invention, a suction head for supporting by adsorbing the substrate by the negative pressure, the negative pressure generating means for generating a negative pressure inside the suction head, which has been adsorbed by the attraction head and a conveying means for conveying said suction head portion includes a head body having a plurality of air intake holes on the supporting surface for the substrate and the counter, the plurality of suction holes with attached to the support surface of the head body portion and is composed of a suction sheet portion having a plurality of through holes communicating said suction seat is made from the pressure-sensitive adhesive sheet head that is peelably to the supporting surface of the body portion, the adhesive sheet, a surface having the adhesive in contact with the supporting surface of the head body portion, a surface having no adhesive in contact with said substrate, said a plurality of through holes, and when the adhesive is lowered , wash Hoyo 乾燥により粘着性が復活する熱可塑性エラストマーからなる低負荷搬送装置が提供される。 Low load transport apparatus is provided comprising a thermoplastic elastomer revived adhesive drying.
また、本発明の別の観点によれば、負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成され、前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる粘着剤シートと、該粘着剤シートに剥離可能に貼り付けられる弾性多孔質シートとからなり、前記粘着剤シートは、前記ヘッド本体部の支持面と接触する粘着性を有する面と、前記弾性多孔質シートと接触する粘着性を有 Further, according to another aspect of the present invention, a suction head for supporting by adsorbing the substrate by the negative pressure, the negative pressure generating means for generating a negative pressure inside the suction head, the suction head unit and a conveying means for conveying the substrate having adsorbed Te, the suction head unit includes a head body having a plurality of air intake holes on the supporting surface for the substrate and the counter, wherein with attached to the support surface of the head body portion is composed of a suction sheet portion having a plurality of through-holes communicating with a plurality of suction holes, the suction sheet unit includes a pressure-sensitive adhesive sheet to be peelably to the support surface of the head body portion, the PSA sheet consists of a resilient porous sheet is peelably to the pressure-sensitive adhesive sheet is used, the number and the surface having the adhesive in contact with the supporting surface of the head body portion, the adhesive in contact with said elastic porous sheet る面と、前記複数の貫通孔とを有し、かつ前記粘着性が低下した場合に、水洗いおよび乾燥により粘着性が復活する熱可塑性エラストマーからなる低負荷搬送装置が提供される。 A surface that, said a plurality of through holes, and when the adhesive is lowered, low-load transport apparatus is provided comprising a thermoplastic elastomer restored sticky by washing and drying.

本発明によれば、吸着ヘッド部にて基板を吸着して支持する際に、吸着シート部が熱可塑性エラストマーの柔軟性によって基板の凹凸表面あるいは波打った表面に追従して基板に傷を付けることなくソフトに密着する。 According to the present invention, in supporting the adsorbed substrate in the suction head unit, so as to follow the uneven surface or wavy surface of the substrate suction sheet portion is the flexibility of the thermoplastic elastomer damaging the substrate in close contact with the soft without. したがって、基板へのストレスを低減して基板割れを抑制することができると共に、吸着シート部と基板との隙間から空気が流入する空気リーク量を抑えて基板を吸着することができ、吸着力不足を生じることがない。 Therefore, it is possible to suppress the stress to reduce substrate crack into the substrate, can be air from a gap between the suction sheet and the substrate to adsorb the substrate to suppress the air leakage amount flowing adsorption shortage It is not caused. よって、本発明の低負荷搬送装置は、例えば太陽電池用基板などの貴重でかつ薄く割れ易い基板の搬送に好適である。 Therefore, low load carrying device of the present invention are suitable, for example, transportation of precious and thin fragile substrate, such as a substrate for solar cells.
また、吸着シート部は、基板と接触する面や貫通孔に異物が付着した場合にはヘッド本体部から剥がして水で洗浄することができる。 Further, the adsorption sheet unit, when a foreign substance on the surface or through-hole in contact with the substrate is attached may be washed with water removed from the head main body portion. よって、吸着シート部に付着した異物が基板表面に押し付けられて傷を付けること、および異物が貫通孔に詰まって吸着ヘッド部による基板への吸着力が低下することを回避することができる。 Therefore, it is possible to foreign matter attached to the suction seat to avoid that scratches pressed against the substrate surface and that the suction force to the substrate by the suction head foreign matter clogging the through-hole is reduced. また、洗浄後の吸着シート部は、乾燥すると粘着力が回復するので再使用することができ、新しい吸着シート部と頻繁に交換するといった手間とコストを低減することができる。 Furthermore, the adsorption sheet portion after washing, because dried and adhesion is restored can be re-used, it is possible to reduce the time and cost, such a new suction sheet portion and frequent replacement.

本発明の低負荷搬送装置は、負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成される。 Low load carrying device of the present invention includes a suction head for supporting by adsorbing the substrate by the negative pressure, the negative pressure generating means for generating a negative pressure inside the suction head, and suction by the suction head and a conveying means for transporting the substrate, wherein the suction head unit, the plurality of intake with a head body having a plurality of air intake holes on the supporting surface for the substrate and the counter is attached to the support surface of the head body portion It is composed of a suction sheet portion having a plurality of through-holes communicating with holes Ru.
また、前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる粘着剤シートからなる、あるいは、この粘着剤シートと、この粘着剤シートに剥離可能に貼り付けられる弾性多孔質シートとからなる。 Further, the suction sheet portion is made of the head main body portion affixed that adhesive sheet can be peeled off the support surface of the, or a pressure-sensitive adhesive sheet, the elastic porous to be peelably to the adhesive sheet consisting of a quality sheet.

本発明において、基板としては、例えば太陽電池や電子デバイス等の製造に用いられる半導体基板、ガラス基板等が挙げられ、半導体インゴットをスライスしたウェハや、電極、配線、素子等を有する基板をも包含する。 In the present invention, included as the substrate, for example, a semiconductor substrate used in the production of such solar cells and electronic devices, glass substrates and the like, wafers and sliced ​​semiconductor ingot, electrodes, wires, and a substrate having an element such as to.
本発明の低負荷搬送装置は、厚みが100〜300μm程度と薄く、縦170mm程度×横170mm程度のサイズの基板の搬送に好適に用いることができ、例えばシリコンインゴットをスライスした太陽電池用基板に最適である。 Low load carrying device of the present invention has a thickness as thin as about 100 to 300 [mu] m, for transporting the substrate in the vertical 170mm approximately × width 170mm about the size can be suitably used, in the solar cell substrate obtained by slicing, for example, silicon ingot it is optimal.

本発明において、吸着ヘッド部のヘッド本体部は、負圧により基板をストレス無く吸着し支持できるのであれば、その形状、大きさ、吸気孔の数、大きさおよび配置パターン、搬送手段への設置数等は特に限定されるものではない。 In the present invention, the head main body portion of the suction head is placed in the negative as long as the substrate can stress without adsorbed supported by pressure, the shape, size, number of suction holes, the size and arrangement pattern, the conveying means Suto is not intended to be particularly limited.
例えば、ヘッド本体部は、内部中空の金属製箱体あるいはプレート体の一面(支持面)に複数の吸気孔を均等なマトリックス状に形成し、一面とは反対側の他面あるいは周囲側面に負圧発生手段と接続されて内部の空気を排気する接続管部を形成した構成とすることができる。 For example, the head main body, a plurality of intake holes formed in the uniform matrix on one surface of a hollow metal box body or plate body (supporting surface), the negative on the other surface or around the opposite side to the one side is connected to the pressure generating means may be formed by the forming the connection pipe for exhausting the inside air. この吸気孔が形成された面が基板を支持する支持面となる。 Face the suction holes are formed is a support surface for supporting a substrate.

ヘッド本体部の大きさおよび搬送手段への設置数は、ヘッド本体部を被吸着物である基板と同程度の大きさに構成すれば設置数は1つでよく、あるいは基板の所定複数箇所を吸着するよう小型のヘッド本体部を複数設置してもよい。 Installation number to the size and conveying means of the head main body portion, the installation number if constituting the head body portion to the size of the substrate as much a adsorbate may one or a predetermined plurality of positions of the substrate head body portion of the small may be more installed to adsorb.
また、支持面全面に占める吸気孔の占有開口率としては、基板サイズや、吸着ヘッド部の設置数にもよるが、例えば3〜20%程度とすることができる。 As the occupation opening ratio of the intake hole occupying the supporting surface over the entire surface, or substrate size, depending on the number of installation of the suction head, for example, about 3-20%. また、支持面における吸気孔の配置パターンは特に限定されるものではなく、基板サイズや搬送方法等によって適宜設計することができ、例えば、基板全面に吸気孔が均等に分布する配置とすることができる。 The arrangement pattern of the suction holes in the support surface is not particularly limited, it can be appropriately designed by the substrate size and the transfer method or the like, for example, be an arrangement that the entire surface of the substrate to the intake hole is distributed evenly it can. また、ウエハーがコンベヤやウォーキングビーム等で搬送される機構では、センターに搬送部が通っており、ウエハー上方から吸着し、180度反転(表裏反転)させる機構であるため、ウエハー全体を吸着するのではなく局所的な吸着を行うため、ウエハーに対しては均等に吸着孔が整列したものとはならない。 Further, the mechanism of the wafer is conveyed by a conveyor or walking beam or the like, the conveyance portion is through the center, for adsorbing the wafer above a mechanism for 180 ° inverted (reversed) to adsorb the entire wafer rather for performing localized adsorption, not to those aligned evenly suction holes for wafer.

吸着シート部の粘着剤シートは、ヘッド本体部の支持面とほぼ同じ大きさおよび形状に形成された粘着性を有する熱可塑性エラストマーから、ヘッド本体部の複数の吸気孔と同程度の大きさでかつ同じ配置で貫通孔を複数有するシートを形成することにより作製することができる。 Adhesive sheets of the suction sheet portion is of a thermoplastic elastomer having a support surface substantially the same size and formed in the shape sticky head main body, comparable to a plurality of air intake holes of the head body portion in a size and it can be manufactured by forming a sheet having a plurality of through-holes in the same arrangement.
ここで、本発明において、熱可塑性エラストマーとは、熱可塑性ゴムあるいはエラストプラスチックとも呼ばれ、成形加工に必要な高温時では可塑化、流動し、常温時ではゴム様物性を呈するものであり、粘着性を有するポリマーを意味する。 Here, in the present invention, the thermoplastic elastomer, also known as thermoplastic rubber or elastography plastic, plasticized at high temperature required for molding, flow, at normal temperature are those exhibiting rubber-like properties, adhesive It means a polymer having sex.
熱可塑性エラストマーとしては、例えばポリウレタン系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系等の熱可塑性エラストマーが挙げられ、本発明では市販の熱可塑性エラストマーまたはそのシートを用いて粘着剤シートを作製することができる。 As the thermoplastic elastomer, for example polyurethane-based, polystyrene-based, include thermoplastic elastomers polyolefin such, the present invention can be produced a PSA sheet using a commercially available thermoplastic elastomer or a sheet.

本発明において、熱可塑性エラストマーからなる粘着剤シートは、熱可塑性エラストマーをシート状に成形する型に予め複数の突起部を形成し、その型に加熱して流動性が付与された熱可塑性エラストマーを流し込み、その後冷えて固まった熱可塑性エラストマーシートを型から取り出すことにより、型の突起部に対応する形状および配置で形成された複数の貫通孔を有する粘着剤シートを作製することができる。 In the present invention, the pressure-sensitive adhesive sheet comprising a thermoplastic elastomer, a thermoplastic elastomer formed in advance a plurality of protrusions in the mold for molding into a sheet, its type flowable by heating is applied to the thermoplastic elastomer pouring, by taking out the thermoplastic elastomer sheet solidified and thereafter cooled from the mold, it is possible to produce a pressure-sensitive adhesive sheet having a plurality of through-holes formed in a shape and arrangement corresponding to the projections of the mold.
また、貫通孔を有さない市販の熱可塑性エラストマーシートに複数の貫通孔を形成して粘着剤シートを作製する場合は、ポンチを用いて穴あけを行う。 Also, if the commercially available thermoplastic elastomer sheet having no through-holes to form a plurality of through-holes to prepare a pressure-sensitive adhesive sheet performs drilling with punch. あるいは、予め精度良く綺麗に型抜きが可能なトムソン刃を用いることができる。 Alternatively, it is possible to use a Thomson blade capable advance precisely clean demolding.

本発明において、吸着シート部は、上述の粘着剤シートのみからなる第1の形態と、後述する弾性多孔質シートが粘着剤シートに粘着されてなる第2の形態がある。 In the present invention, the suction sheet portion, there is a second form of the first embodiment comprising only a pressure-sensitive adhesive sheet described above, the elastic porous sheet to be described later formed by adhesive to the adhesive sheet.

第1の形態では、粘着剤シートからなる吸着シート部は、そのシート両面のうち、ヘッド本体部の支持面に貼り付けられる面のみに粘着性を有し、基板と接触する面には粘着性を有さない。 In a first aspect, the suction sheet portion including the pressure-sensitive adhesive sheet, of the sheet duplex, only the surface to be bonded to the supporting surface of the head main body in tacky, tacky surface in contact with the substrate do not have.
このように片面のみに粘着性を有する吸着シート部(粘着剤シート )は、片面のみに粘着性を有する市販の熱可塑性エラストマーシートに、上述の方法で貫通孔を形成することにより作製できる。 The adsorbent sheet portion having an adhesive on one side only as (pressure-sensitive adhesive sheet) is a commercially available thermoplastic elastomer sheet having adhesiveness on one side only, can be prepared by forming a through hole in the manner described above. また、両面に粘着性を有する市販の熱可塑性エラストマーシートを用いる場合は、片面の粘着性を低下させる処理を行い、かつ貫通孔を形成することにより吸着シート部を作製することができる。 In the case of using a commercially available thermoplastic elastomer sheet having adhesiveness to both surfaces, a process for reducing the one surface of the adhesive, and can be fabricated suction sheet portion by forming a through hole. また、上述の型に熱可塑性エラストマーを流し込んで成形して作製した吸着シート部を用いる場合、両面に粘着性を有しているため、片面の粘着性を低下させる処理を行う。 In the case of using a suction seat produced by molding by pouring type thermoplastic elastomer described above, since it has a sticky on both sides, it performs a process for reducing the one surface of the adhesive.
粘着剤シートの粘着性を低下させる処理としては、例えば、熱可塑性エラストマーに通常添加されるクレー、タルク等の非補強性充填剤を粘着材シートの片面に付着させる、あるいは片面側の非補強性充填剤の濃度を高くするように粘着剤シートを作製する、あるいは粘着性を低下させる市販の液体材料を粘着材シートの片面に塗布するといった方法が挙げられる。 The treatment for reducing the tack of the adhesive sheet, for example, clays that are normally added to the thermoplastic elastomer, the non-reinforcing fillers such as talc is attached to one side of the adhesive sheet, or one side of the non-reinforcing producing a pressure-sensitive adhesive sheet so as to increase the concentration of the filler, or a method can be cited such applying a commercial liquid material to reduce the tackiness on one surface of the adhesive sheet.
この場合の粘着剤シートの厚みとしては、特に限定されるものではなく、例えば1〜5mm程度とすることができる。 The thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet in this case, is not particularly limited, and may be, for example, 1~5mm about.

この第1の形態の吸着シート部は、熱可塑性エラストマーの優れた柔軟性によって粘着剤シートが基板表面の凹凸形状あるいは波打ち形状に追従して密着することができるため、基板にかかる負荷を小さく抑えて吸着することができ、基板割れを抑制することができる。 Adsorbent sheet of the first embodiment, it is possible to pressure-sensitive adhesive sheet by the flexibility of the thermoplastic elastomer is in close contact so as to follow the uneven shape or wavy shape of the substrate surface, and with minimal load on the substrate can be adsorbed Te, it is possible to suppress the substrate crack. また、熱可塑性エラストマーの粘着性により粘着剤シートをヘッド本体部に剥離可能に貼り付けることができ、さらに汚れた場合は粘着剤シートを水で洗浄でき、乾燥させれば粘着力が再現するため再使用することができる。 Further, the pressure-sensitive adhesive sheet by the adhesive of the thermoplastic elastomer can be attached peelably to the head body portion, if it still soiled be cleaned a pressure-sensitive adhesive sheet in water, since the be dried adhesive strength to reproduce it is possible to re-use.

第2の形態では、シート両面に粘着性を有する市販の熱可塑性エラストマーシートに上述の方法で貫通孔を形成して粘着剤シートを形成し、この粘着剤シートの片面に弾性多孔質シートを貼り付けて吸着シート部を作製することができる。 In the second embodiment, by forming a commercially available thermoplastic elastomer sheet in the through hole in the manner described above with sticky sheet both surfaces to form a PSA sheet, laminated elastic porous sheet on one side of the adhesive sheet with it can be produced suction sheet portion. この場合の粘着剤シートの厚みとしては、例えば1〜5mm程度とすることができる。 The thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet in this case, may be, for example 1~5mm about.

前記弾性多孔質シートとしては、連続気泡を内有する熱可塑性樹脂シート、あるいは熱可塑性樹脂繊維からなる不織布等を用いることができるが、塵や埃を嫌うクリーンな製造現場内での使用を考慮すると、不織布では繊維の切断やほつれにより飛翔するおそれがあるため、連続気泡を内有する熱可塑性樹脂シートの方が好ましい。 As the elastic porous sheet, it is possible to use a thermoplastic resin sheet having an inner open cell or non-woven fabric made of thermoplastic resin fibers, and considering the use in a clean manufacturing sites hate dust , since the nonwoven fabric is likely to fly by cutting or fraying of the fibers, it is preferable for the thermoplastic resin sheet having an inner open cells. このような多孔質の熱可塑性樹脂シートは、ポリウレタンやポリエチレン等の発泡プラスチックにて作製することができ、市販品を用いることができる。 The thermoplastic resin sheet of such porous, can be prepared in a polyurethane or foamed plastics such as polyethylene can be used commercially.

この弾性多孔質シートは、基板表面の凹凸の度合いに応じて厚み0.1〜2.0mm程度のものが用いられる。 The elastic porous sheet, is used as a thickness of about 0.1~2.0mm according to the degree of unevenness of the substrate surface. 例えば、基板表面の凹凸度合いが20〜30μmの場合は弾性多孔質シートの厚みを0.1mm程度に設定し、基板表面の凹凸度合いが5μmの場合は弾性多孔質シートの厚みを1〜2mm程度に設定することができる。 For example, if the roughness of the substrate surface is 20~30μm set the thickness of the elastic porous sheet of about 0.1 mm, about 1~2mm the thickness of the elastic porous sheet when the roughness of the substrate surface is 5μm it can be set. 但し、基板の厚み、表面状態、基板厚とシート厚の関係が逆の組み合わせになる場合があること等により、これらの数値に限定されない。 However, the thickness of the substrate, the surface condition, by such substrate thickness and the sheet thickness of the relationship may become the opposite combination, not limited to these numerical values.

このように、粘着剤シートに弾性多孔質シートが粘着した吸着シート部は、基板表面の凹凸の度合いに応じて弾性多孔質シートの厚さを調整する、つまり凹凸度合いが大きければ弾性多孔質シートの厚みを厚くして凹凸表面に追従させることにより、空気リーク量の制御を行い、真空レギュレーター無しで吸着力を変化させることが可能であると共に、粘着剤シートのみの場合よりも吸着時の基板へのストレス分散効果および真空圧の低減効果を向上することができる。 Thus, the suction sheet portion of the elastic porous sheet was adhered to the adhesive sheet, adjusting the thickness of the elastic porous sheet according to the degree of unevenness of the substrate surface, i.e. the elastic porous sheet larger irregularities degree substrate by following the thickened by irregular surface thickness, and controls the air leakage amount, together it is possible to vary the suction force without a vacuum regulator, during adsorption than in the case of pressure-sensitive adhesive sheet only it is possible to improve the effect of reducing the stress dispersion effect and the vacuum pressure to.

本発明において、搬送手段としては、基板を吸着した吸着ヘッド部を所定位置に搬送でき得るものであれば特に限定されるものではなく、例えば3次元方向に移動可能なロボットアームに吸着ヘッド部を取り付けた構成、あるいはガイドレール上を往復走行する枠型の台車に吸着ヘッド部を昇降可能に取り付けた構成とすることができる。 In the present invention, the conveying means is not particularly limited as long as it can be conveyed to the suction head with adsorbed substrate in position, the suction head unit to the robot arm which can move, for example, in three-dimensional directions mounting configuration, or on the guide rail can be vertically movably fitted with an adsorbing head portion to the frame type of carriage for reciprocating travel.
また、負圧発生手段としては、真空ポンプと吸着ヘッド部の前記接続管部とを可撓性ホースにて接続した構成とすることができる。 As the negative pressure generating means, it can be configured to the said connection tube portion of the vacuum pump and the suction head is connected by a flexible hose.

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳説する。 Hereinafter, detailed embodiments of the present invention with reference to the drawings.
(実施形態1) (Embodiment 1)
図1は本発明の低負荷搬送装置の実施形態1を示す概略構成図であり、図2は実施形態1における吸着ヘッド部のヘッド本体部の支持面を示す底面図である。 Figure 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment 1 of the low load carrying device of the present invention, FIG. 2 is a bottom view showing the support surface of the head main body portion of the suction head unit in the first embodiment.
この低負荷搬送装置は、負圧により基板1を吸着して支持する吸着ヘッド部10と、吸着ヘッド部10の内部に負圧を発生させる負圧発生手段20と、吸着ヘッド部10にて吸着した基板1を搬送する搬送手段30とを備える。 The low load carrying device comprises a suction head 10 which supports by adsorbing the substrate 1 by the negative pressure, the negative pressure generating means 20 for generating a negative pressure inside the suction head 10, the suction at the suction head 10 and a conveying means 30 for conveying the substrate 1. なお、図1では、基板1としてシリコンインゴットを厚さ200μm程度にスライスしたシリコンウェハの場合を例示しており、このシリコウェハは表面に凹凸を有しているが、凹凸度合いは実際のシリコウェハよりも誇張して図示している。 In FIG. 1, which illustrates the case of a silicon wafer by slicing a silicon ingot to a thickness of 200μm approximately as the substrate 1, although this Shirikoweha has an uneven surface, the roughness of the than the actual Shirikoweha exaggerated are shown. また、図1における吸着ヘッド部は、図2におけるA−A線で切断した場合の断面を示している。 Further, the suction head unit in FIG. 1 shows a cross section when cut along line A-A in FIG.

吸着ヘッド部10は、基板1とほぼ同じ大きさの内部中空の金属製プレート体から形成されたヘッド本体部11と、ヘッド本体部11の支持面11aに粘着して貼り付いた吸着シート部12とからなる。 Suction head 10 includes a head body portion 11 formed of a metallic plate of hollow having substantially the same size as the substrate 1, the adsorption sheet portion sticks to the adhesive on the support surface 11a of the head body 11 12 consisting of.
ヘッド本体部11は、その支持面11aに、図1および図2に示すように、複数の吸気孔11bが均等なマトリックス状に形成されていると共に、支持面11aとは反対側の他面に、負圧発生手段20と接続される接続管部11cが設けられている。 Head body portion 11, on the support surface 11a, as shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of suction holes 11b are formed in uniform matrix, on the other surface opposite to the supporting surface 11a , connecting tube portion 11c is provided which is connected to the negative pressure generating means 20. この場合、ヘッド本体部11は、例えば125〜170mmの正方形に形成され、吸気孔11bは直径1.0〜5.0mmで縦横に1.0〜20.0mmのピッチで形成することができる。 In this case, the head main body 11 is formed, for example, in a square 125~170Mm, suction holes 11b may be formed at a pitch of 1.0~20.0mm vertically and horizontally with a diameter 1.0 to 5.0 mm. なお、部分的に吸気孔11bの直径や単位面積あたりの数を異ならせてもよい。 It is also possible to partially different number per diameter and unit area of ​​the suction holes 11b.

吸着シート部12は、ヘッド本体部11の支持面と粘着する方の面12aにのみ粘着性を有する熱可塑性エラストマーからなる粘着剤シートであり、大きさはヘッド本体部11の大きさとほぼ同じであり、厚みは1〜5mmである。 Suction sheet 12 is a pressure-sensitive adhesive sheet comprising a thermoplastic elastomer having only tacky surface 12a towards the adhesive and the support surface of the head main body 11, the size is substantially the same as the size of the head main body portion 11 Yes, the thickness is 1~5mm. また、吸着シート部12は、その厚み方向に貫通する複数の貫通孔12bが、ヘッド本体部11の吸気孔11bの直径および配置とほぼ一致して連通するように形成されている。 Further, the suction sheet 12, a plurality of through-holes 12b penetrating in the thickness direction is formed so as to communicate with substantially matches the diameter and arrangement of suction holes 11b of the head body 11. なお、この片面粘着性の吸着シート部12は、熱可塑性エラストマーシート(例えばプロセブン株式会社製の商品名Pro-7プロセブンまたは株式会社エクシールコーポレーション社製の商品名人肌のゲル)に貫通孔12bを形成することにより作製することができる。 In this single-sided adhesive suction seat 12 of, forming a through hole 12b in the thermoplastic elastomer sheet (e.g. Purosebun Ltd. trade name Pro-7 Purosebun or Corporation Aix sealing Corporation under the trade expert skin gel) it can be prepared by.

負圧発生手段20は、モータにて駆動する真空ポンプ21と、真空ポンプ21と吸着ヘッド部10のヘッド本体部11の接続管部11cとを接続する可撓性ホース22とを備える。 Negative pressure generating means 20 includes a vacuum pump 21 driven by a motor, and a flexible hose 22 connecting the connecting tube portion 11c of the head body 11 of the suction head 10 and the vacuum pump 21. この場合、真空ポンプ21は、ヘッド本体部11内を1Mpa以下に負圧にできるものを用いることができる。 In this case, the vacuum pump 21, can be used which can be a negative pressure inside the head main body 11 below 1 Mpa.
搬送手段30は、3次元方向に移動可能なロボットアームである。 Conveying means 30 is a robotic arm movable in three-dimensional directions.

この低負荷搬送装置によって基板を吸着する際は、搬送手段30にて吸着ヘッド部10を基板載置台2上の基板1の上方近傍位置に移動させ、かつ真空ポンプ21を駆動してヘッド本体部11内に真空圧を発生させ、各貫通孔12 および吸気孔11bから外部の空気を吸入することにより、基板1を浮かして吸着ヘッド部10 (粘着剤シート)に吸着することができる。 In this case the adsorption of the substrate by a low load carrying device moves upward vicinity of the substrate 1 on the mounting table 2 substrate attraction head 10 by the transport unit 30, and the head main body by driving the vacuum pump 21 to generate a vacuum pressure in 11, by inhaling an external air from the through holes 12 b and the intake holes 11b, can be sucked by the suction head 10 (adhesive sheet) floated substrate 1. あるいは、吸着ヘッド部10を基板1へ向けて降下させて吸着シート部12を基板1の表面に密着させてから、真空ポンプ21を駆動してヘッド本体部11内に真空圧を発生させることにより基板1を吸着することができる。 Alternatively, the suction sheet 12 is lowered toward the suction head 10 to the substrate 1 were allowed to contact the surface of the substrate 1, by generating a vacuum pressure in the head main body 11 by driving the vacuum pump 21 the substrate 1 can be adsorbed.

図3は、実施形態1における吸着ヘッド部10の吸着シート部12に基板1が吸着された状態を示している。 3, the substrate 1 to the suction sheet 12 of the suction head unit 10 in the first embodiment indicates the state of being adsorbed. この状態のとき、基板1の表面の凹凸形状あるいは波打った形状に追従して吸着シート部12の吸着面12cが弾性変形して密着するため、基板1にはほとんどストレスがかからない。 In this state, since the suction surface 12c of the corrugated surface or wavy shape followability to suction seat 12 of the substrate 1 are in close contact with the elastic deformation, little stress is not applied to the substrate 1. したがって、低負荷状態で基板1を割ることなく所定位置まで搬送することができる。 Therefore, it can be transported in a low load condition to a predetermined position without dividing the substrate 1. そして、所定位置において真空ポンプ21を停止することにより基板1を吸着シート部12から離脱させる。 Then, disengaging the substrate 1 from the suction sheet 12 by stopping the vacuum pump 21 at a predetermined position. このとき、吸着シート部12の吸着面12cには粘着性がないため、基板1は容易に吸着シート部12から離れる。 At this time, because there is no tackiness on the attracting surface 12c of the suction sheet 12, the substrate 1 is easily separated from the adsorbent sheet portion 12.

このようにして、低負荷搬送装置にて繰り返し基板1を搬送すると、基板1であるシリコンウェハの表面から剥離したシリコン粉や微細なシリコン片等の異物が吸着シート部12の吸着面12bに付着する場合がある。 In this way, the low load carrying device when transporting the repetition substrate 1 by, attached to the suction surface 12b of foreign matter silicon powder or fine silicon piece or the like is peeled from the surface of the silicon wafer suction sheet portion 12 which is a substrate 1 there is a case to be. 吸着シート部12は優れた柔軟性を有しているため、基板1と吸着シート部12の間に異物が挟まっても吸着シート部12の吸着面12cが弾性変形するため、基板表面は異物によって傷付き難いが、異物により基板1と吸着シート部12との間に空気漏れとなる隙間が形成されやすくなる。 Because it has a flexible adsorbent sheet 12 excellent, since the suction surface 12c of the suction sheet portion 12 is also caught foreign matter between the substrate 1 and the suction sheet 12 is elastically deformed, the substrate surface by the foreign matter hardly scratched, but tends gap becomes air leakage is formed between the substrate 1 and the suction sheet 12 by foreign matter. また、異物が吸着シート部12の貫通孔12bに蓄積して吸着力が低下するおそれもある。 Further, the suction force foreign matter accumulated in the through hole 12b of the suction sheet 12 is also likely to deteriorate.
そのため、この吸着シート部12をヘッド本体部11から剥離し水で洗浄して異物を落とすことができ、また乾燥後は粘着性が復活するため吸着シート部12を再度ヘッド本体部11に粘着により貼り付けて使用することができる。 Therefore, the adhesive of the suction sheet 12 is peeled off from the head main body portion 11 by washing with water can be dropped foreign matter, also after drying to the head body portion 11 a suction seat 12 again to revive sticky it can be used in paste. よって、新しい吸着シート部と頻繁に交換するといった手間とコストを低減することができる。 Therefore, it is possible to reduce the new suction sheet portion and often labor and costs such exchanges.

(実施形態2) (Embodiment 2)
図4は本発明の低負荷搬送装置の実施形態2を示す概略構成図である。 Figure 4 is a schematic diagram showing a second embodiment of a low load carrying device of the present invention.
この実施形態2の低負荷搬送装置が実施形態1と異なる点は、吸着シート部114が、両面112a、112cに粘着性を有する熱可塑性エラストマーからなる粘着剤シート 112と、粘着剤シート 112に粘着により貼り付けられた弾性多孔質シート113とからなる点であり、その他の構成は実施形態1と同様である。 The low load carrying device of the second embodiment is the embodiment differs from the first adsorption seat 114, and the adhesive sheet 112 made of a thermoplastic elastomer having adhesiveness sided 112a, to 112c, stick to the adhesive sheet 112 is a point consisting pasted elastic porous sheet 113 by, other configurations are similar to those of the first embodiment. なお、図1において、負圧発生手段および搬送手段は図示省略していると共に、実施形態1と同様の構成には同一の符号を付している。 In FIG. 1, the negative pressure generating means and the conveying means together are not shown, the similar configuration as that in Embodiment 1 are denoted by the same reference numerals.
以下、実施形態2における実施形態1とは異なる構成を主として説明する。 Hereinafter, mainly described structure different from the first embodiment in the second embodiment.

この場合、粘着剤シート 112の厚みとしては1.0〜5.0mmであり、熱可塑性エラストマーシート(例えばプロセブン株式会社社製の商品名Pro-7プロセブンや株式会社エクシールコーポレーション社製の商品名人肌のゲル)に貫通孔112bを形成することにより作製することができる。 In this case, the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet 112 is 1.0 to 5.0 mm, thermoplastic elastomer sheet (e.g. Purosebun Co. Ltd. trade name Pro-7 Purosebun and Co. Aix sealing Corporation under the trade expert skin gel) it can be prepared by forming a through hole 112b in.
また、弾性多孔質シート113の厚みとしては0.1〜2.0mmであり、例えば日東電工社製の商品名サンマップLCを用いることができる。 The thickness of the elastic porous sheet 113 is 0.1 to 2.0 mm, can be used, for example manufactured by Nitto Denko Corporation trade name SUNMAP LC.

この低負荷搬送装置によれば、図示省略の真空ポンプを駆動してヘッド本体部11内に真空圧を発生させることにより、外部の空気が弾性多孔質シート113の連続気泡の孔を介して各貫通孔112bと各吸気孔11bから空気を吸入することにより、基板1を浮かして吸着ヘッド部110の弾性多孔質シート113に吸着することができる。 According to this low load conveying apparatus, by generating a vacuum pressure in the head main body 11 by driving the vacuum pump (not shown), each external air through the pores of the open-celled elastic porous sheet 113 by sucking air from the through hole 112b and the intake holes 11b, it can be adsorbed to the elastic porous sheet 113 of the suction head portion 110 floated substrate 1. あるいは、吸着ヘッド部110を基板1へ向けて降下させて弾性多孔質シート113を基板1の表面に密着させてから、真空ポンプを駆動してヘッド本体部11内に真空圧を発生させることにより基板1を吸着することができる。 Alternatively, the suction head 110 from an elastic porous sheet 113 is lowered toward the substrate 1 is brought into close contact with the surface of the substrate 1, by generating a vacuum pressure in the head main body 11 by driving the vacuum pump the substrate 1 can be adsorbed.

図5は、実施形態2における吸着ヘッド部110の弾性多孔質シート113に基板1が吸着された状態を示している。 5, the substrate 1 to the elastic porous sheet 113 of the suction head 110 in the second embodiment indicates the state of being adsorbed. この状態のとき、基板1の表面の凹凸形状に追従して弾性多孔質シート113の吸着面113aが主として弾性変形すると共に粘着剤シート 112の面112cも弾性変形するため、基板1にはほとんどストレスがかからない。 In this state, since the surface 112c also elastic deformation of the adhesive sheet 112 with the suction surface 113a of the elastic porous sheet 113 to follow the unevenness of the surface of the substrate 1 is mainly elastically deformed, little stress on the substrate 1 It is not applied. また、各貫通孔112b内の負圧は弾性多孔質シート113の全面にほぼ均一に分散するため、弾性多孔質シート113の端部と基板1との間から空気が流入する空気漏れが生じることがなく、真空圧の低下を防止することができる。 Further, since the negative pressure within the through holes 112b is substantially uniformly dispersed on the entire surface of the elastic porous sheet 113, the air leakage air flows from between the end portion and the substrate 1 of the elastic porous sheet 113 occurs it can be without, to prevent a decrease in vacuum pressure. それに加え、基板1の凹凸度合いが大きい場合は弾性多孔質シート113の厚みを厚く調整することにより、弾性多孔質シート113が基板1の凹凸表面に確実に追従できるため、上記のような端部からの空気漏れを真空レギュレーターを用いることなく制御することができる。 Additionally, by if the roughness of the substrate 1 is large to thicken adjust the thickness of the elastic porous sheet 113, since the elastic porous sheet 113 can be reliably follow the irregular surface of the substrate 1, the end portion as described above air leakage from the can be controlled without using a vacuum regulator.

このようにして、低負荷搬送装置にて繰り返し基板1を搬送すると、上述した異物が弾性多孔質シート113を通過し粘着剤シート 112に付着して弾性多孔質シート113との粘着力が低下することや、弾性多孔質シート113内の微細孔に留まって吸着抵抗が増加する場合がある。 Thus, when transporting the repetition substrate 1 at a low load conveying apparatus, the foreign matter as described above the adhesive force between the elastic porous sheet 113 adhered to the adhesive sheet 112 passes through the elastic porous sheet 113 is reduced it and, in some cases adsorption resistance is increased remains in the fine pores in the elastic porous sheet 113. そのため、この粘着剤シート 112をヘッド本体部11から剥離し、かつ弾性多孔質シート113を剥離した粘着剤シート 112を水で洗浄して異物を落とし乾燥させ、粘着性が復活した粘着剤シートに新しい弾性多孔質シートを貼り付けて使用することができる。 Therefore, the adhesive sheet 112 is peeled off from the head main body 11, and a pressure-sensitive adhesive sheet 112 was peeled off the elastic porous sheet 113 is dried off the foreign matter is washed with water, the adhesive sheet tackiness was restored paste the new elastic porous sheet can be used.

本発明の低負荷搬送装置の実施形態1を示す概略構成図である。 The first embodiment of the low load carrying device of the present invention is a schematic diagram showing. 実施形態1における吸着ヘッド部のヘッド本体部の支持面を示す底面図である。 Is a bottom view showing the support surface of the head main body portion of the suction head unit in the first embodiment. 実施形態1における吸着ヘッド部の粘着剤シートに基板が吸着された状態を示す断面図である。 Substrate to the adhesive sheet of the suction head in Embodiment 1 is a sectional view showing a state of being adsorbed. 実施形態2における吸着ヘッド部を示す断面図である。 It is a cross-sectional view showing the suction head unit in the second embodiment. 実施形態2における吸着ヘッド部の弾性多孔質シートに基板が吸着された状態を示す断面図である。 Substrate to the elastic porous sheet of the suction head in the embodiment 2 is a sectional view showing a state of being adsorbed.

1 基板 2 基板載置台 10、110 吸着ヘッド部 11 ヘッド本体部 11a 支持面 11b 吸気孔 11c 接続管部 12 吸着シート部(粘着剤シート 1 substrate 2 substrate table 10,110 attraction head 11 head body portion 11a supporting surface 11b intake hole 11c connecting tube portion 12 suction sheet portion (adhesive sheet)
12a、112a、112c 面 12b、112b 貫通孔 12c、113a 吸着面 20 真空発生手段 21 真空ポンプ 22 可撓性ホース 30 搬送手段 112 粘着剤シート 12a, 112a, 112c surface 12b, 112b through holes 12c, 113a suction surface 20 a vacuum generating means 21 the vacuum pump 22 flexible hose 30 carrying means 112 adhesive sheet
113 弾性多孔質シート 114 吸着シート部 113 elastic porous sheet 114 suction sheet portion

Claims (5)

  1. 負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、 Comprising a suction head for supporting by adsorbing the substrate by the negative pressure, the negative pressure generating means for generating a negative pressure inside the suction head, and a conveying means for conveying the substrate adsorbed by the attraction head ,
    前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成され、 The suction head includes a head body having a plurality of air intake holes on the supporting surface for the substrate and the counter, a plurality of through holes communicating with said plurality of suction holes with attached to the support surface of the head body portion It is composed of a suction sheet portion,
    前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる粘着剤シートからなり、 The suction seat is made from the pressure-sensitive adhesive sheet head that is peelably to the supporting surface of the body portion,
    前記粘着剤シートは、前記ヘッド本体部の支持面と接触する粘着性を有する面と、前記基板と接触する粘着性を有さない面と、前記複数の貫通孔とを有し、かつ前記粘着性が低下した場合に、水洗いおよび乾燥により粘着性が復活する熱可塑性エラストマーからなることを特徴とする低負荷搬送装置。 The adhesive sheet has a surface having the adhesive in contact with the supporting surface of the head body portion, a surface having no adhesive in contact with said substrate, and said plurality of through holes, and the adhesive If the sex is lowered, washing and low load conveying apparatus characterized by comprising a thermoplastic elastomer revived adhesive drying.
  2. 負圧により基板を吸着して支持する吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部の内部に負圧を発生させる負圧発生手段と、前記吸着ヘッド部にて吸着した基板を搬送する搬送手段とを備え、 Comprising a suction head for supporting by adsorbing the substrate by the negative pressure, the negative pressure generating means for generating a negative pressure inside the suction head, and a conveying means for conveying the substrate adsorbed by the attraction head ,
    前記吸着ヘッド部は、基板と対向する支持面に複数の吸気孔を有するヘッド本体部と、前記ヘッド本体部の前記支持面に取り付けられると共に前記複数の吸気孔と連通する複数の貫通孔を有する吸着シート部とから構成され、 The suction head includes a head body having a plurality of air intake holes on the supporting surface for the substrate and the counter, a plurality of through holes communicating with said plurality of suction holes with attached to the support surface of the head body portion It is composed of a suction sheet portion,
    前記吸着シート部は、前記ヘッド本体部の支持面に剥離可能に貼り付けられる粘着剤シートと、該粘着剤シートに剥離可能に貼り付けられる弾性多孔質シートとからなり、 The suction seat is composed of a pressure-sensitive adhesive sheet to be peelably to the support surface of the head body portion, an elastic porous sheet is peelably to the PSA sheet,
    前記粘着剤シートは、前記ヘッド本体部の支持面と接触する粘着性を有する面と、前記弾性多孔質シートと接触する粘着性を有する面と、前記複数の貫通孔とを有し、かつ前記粘着性が低下した場合に、水洗いおよび乾燥により粘着性が復活する熱可塑性エラストマーからなることを特徴とする低負荷搬送装置。 The adhesive sheet has a surface having the adhesive in contact with the supporting surface of the head body portion, and the surface having the adhesive in contact with said elastic porous sheet, and a plurality of through-holes, and the If the adhesive is lowered, low load conveying apparatus characterized by comprising a thermoplastic elastomer revived sticky by washing and drying.
  3. 前記弾性多孔質シートが、連続気泡を内有する熱可塑性樹脂シートからなる請求項2に記載の低負荷搬送装置。 It said elastic porous sheet, low load conveying apparatus according to claim 2 comprising a thermoplastic resin sheet having an inner open cells.
  4. 前記弾性多孔質シートは、厚みが0.1〜2.0mmである請求項2または3に記載の低負荷搬送装置。 It said elastic porous sheet, low load conveying apparatus according to claim 2 or 3 has a thickness of 0.1 to 2.0 mm.
  5. 前記基板が太陽電池用基板である請求項1〜4のいずれか1つに記載の低負荷搬送装置。 Wherein the substrate is a low load conveying apparatus according to any one of claims 1 to 4 which is a substrate for a solar cell.
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