JP4745746B2

JP4745746B2 - Polishing equipment

Info

Publication number: JP4745746B2
Application number: JP2005212430A
Authority: JP
Inventors: 明白井
Original assignee: 株式会社シライテック
Priority date: 2005-07-22
Filing date: 2005-07-22
Publication date: 2011-08-10
Anticipated expiration: 2025-07-22
Also published as: JP2007030051A

Description

この発明は、ワーク（例えば、ガラス基板）の辺を研磨する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for polishing a side of a workpiece (for example, a glass substrate).

ガラス基板の辺（縁の面や縁の両面コーナーの面取り）の研磨は、保持したガラス基板を走行させながら、走行途中に回転砥石により縁の面や面取り研磨する（特許文献１）。 The side of the glass substrate (the chamfering of the edge surface and the double-sided corners of the edge) is polished with a rotating grindstone while the held glass substrate is running (Patent Document 1).

なお、定位置にガラス基板を保持し、保持したガラス基板の辺縁に沿って回転砥石を移動させながら研磨することもある。
特開２００１−１３８１９５号公報 In some cases, the glass substrate is held at a fixed position, and polishing is performed while moving the rotating grindstone along the edge of the held glass substrate.
JP 2001-138195 A

ところで、特許文献１のような研磨方式の際に研磨部分に向けてウエット式クーラント水を使用する。 By the way, wet type coolant water is used toward the polishing portion in the polishing method as in Patent Document 1.

その際、クーラント水がワーク（ガラス基板）全面或いは広範囲に飛散して、ワークによっては一定範囲以外にクーラント水が付着し、ワークのマスキングなどに悪影響を及ばし、又研磨付近が大幅に汚れて作業性が悪くなるなどの問題が発生した。 At that time, the coolant water scatters over the entire surface of the workpiece (glass substrate) or a wide range, and depending on the workpiece, the coolant water adheres outside a certain range, adversely affects the masking of the workpiece, etc. Problems such as poor workability occurred.

そこで、この発明は、ボックス内でワークの辺を研磨すると共に、研磨部位に噴射するクーラント水のボックス外への飛散を抑止した研磨装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a polishing apparatus that polishes a side of a workpiece in a box and suppresses splashing of coolant water sprayed to a polishing site outside the box.

上記の課題を解決するために、この発明は、ガラス基板などのワークと、直列状に並ぶと共に、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口を有する第１ボックス及び第２ボックスとからなり、この第１ボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石を設け、また上記第１ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズルを設け、さらに上記第１ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、また上記第２ボックス内にワークに付着したクーラント水の水切りエアナイフを設け、上記ワーク或いは上記第１ボックス及び第２ボックスのいずれか片方を走行手段により走行させるようにした構成を採用する。 In order to solve the above-described problems, the present invention includes a work such as a glass substrate, and a first box and a second box that are arranged in series and have an opening into which a polishing side of the work fits on one surface. becomes, the provided rotary grindstone for polishing the edge of the workpiece in the first box, also in the polishing part in the first box nozzle for injecting coolant water is provided, further a jet coolant water to the first box a suction means for discharging sucked provided, also provided a draining air knife coolant water attached to the work in the second box, to travel by the traveling means any one of the work or the first box and the second box The configuration as described above is adopted.

すると、開口から第１ボックス内に嵌入するワークの辺縁を第１ボックス内の回転砥石により研磨すると共に、ノズルから研磨部位に噴射（供給）したクーラント水を第１ボックス内に吸引し、排出すると共に、ワークに付着したクーラント水を第２ボックス内のエアナイフにより水切りする。 Then, the edge of the workpiece inserted into the first box from the opening is polished by the rotating grindstone in the first box, and the coolant water sprayed (supplied) from the nozzle to the polishing site is sucked into the first box and discharged. At the same time, the coolant water adhering to the workpiece is drained by an air knife in the second box .

以上のように、この発明の研磨装置によれば、周囲一面の開口から第１ボックス内にワークの研磨辺を嵌入すると共に、第１ボックス内の回転砥石によりワークの上記嵌入した辺を研磨すると共に、研磨部位にノズルからクーラント水を噴射するようにしてあるので、クーラント水の飛散を第１ボックスにより受け止めて防止し、第１ボックス内の吸引によって第１ボックス外に流出しようとするクーラント水の略全量の強制的な回収ができる。 As described above, according to the polishing apparatus of the present invention, the polishing side of the workpiece is inserted into the first box from the opening on the entire surface, and the inserted side of the workpiece is polished by the rotating grindstone in the first box. together, since the nozzle to the polishing site are as to inject coolant water, the coolant water to prevent scattering of the coolant water received by the first box, it attempts to flow out to the first box outside by the suction in the first box Can be forcibly recovered.

このため、研磨周囲の飛散クーラント水の汚れがなく、特にワークに対するクーラント水の付着が極力なくするため、ワークのマスキングに悪影響を及ぼすことがないと共に、クーラント水の侵蝕に問題があるワークについてもマスキングを行なったり加工工程の最後にするなど、加工工程の順位などの制約がなくなる。 For this reason, there is no contamination of the coolant around the polishing area, and adhesion of the coolant to the workpiece is minimized, so there is no adverse effect on the masking of the workpiece, and there is also a problem with the corrosion of the coolant. There are no restrictions on the order of processing steps such as masking or the end of the processing step.

また、第２ボックス内に設けてあるエアナイフによってワークに付着したクーラント水の水切りもできる。 Moreover, the coolant water adhering to the workpiece can be drained by an air knife provided in the second box .

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

この発明の実施形態では、図１から図４に示すように、ガラス基板などのワークＷと、周囲の一面にワークＷの研磨辺が嵌り込む開口１を有する第１ボックス２とからなる。 In the embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 4, a work W such as a glass substrate and a first box 2 having an opening 1 into which a polishing edge of the work W is fitted on one surface of the periphery.

上記のワークＷは、上側に、第１ボックス２は下側に位置する縦型を示し、第１ボックス２に設ける開口１は、第１ボックス２の上面壁のセンター線上と、第１ボックス２の両端壁の上端中央から下方に向け開放させて設けたが、限定されず、一側にワークＷを、他側に第１ボックス２を配置した横型であってもよい。 The above work W to the upper, first box 2 shows a vertical positioned on the lower side, an opening 1 provided in the first box 2, the center line of the first box 2 of the top wall, the first box 2 However, the present invention is not limited thereto, and it may be a horizontal type in which the work W is arranged on one side and the first box 2 is arranged on the other side.

そして、走行手段ＡによりワークＷ或いは第１ボックス２のいずれか片方を走行させるようにしてある。 Then, either one of the work W and the first box 2 is caused to travel by the traveling means A.

上記の走行手段Ａは、図示の場合二条の水平なレール３と、下面両側に設けてあるスライダ４をレール３にスライド自在に係合した走行体５と、両端を軸承してレール３に沿わせた雄ネジ６と、走行体５に取付けて雄ネジ６にねじ込んだ雌ネジ７と、雄ネジ６を可逆駆動するモーター８とで構成され、走行体５の側面に配置したプレート９の表面に設けてある吸盤１０により板面が垂直なワークＷの片面を吸引保持してワークＷを走行させるようにしてある。 In the illustrated case, the traveling means A includes two horizontal rails 3; a traveling body 5 in which sliders 4 provided on both sides of the lower surface are slidably engaged with the rails 3; The surface of the plate 9 arranged on the side surface of the traveling body 5, which is composed of a male thread 6, a female screw 7 attached to the traveling body 5 and screwed into the male screw 6, and a motor 8 that reversibly drives the male screw 6. The workpiece W is caused to travel by sucking and holding one surface of the workpiece W having a vertical plate surface by the suction cup 10 provided on the surface.

勿論、定位置にワークＷを保持（クランプ）して第１ボックス２を進退走行を介し走行させてもよい。 Of course, the first box 2 may be traveled through forward and backward travel while holding (clamping) the workpiece W in place.

そして、走行体５に設けるプレート９も、モーター１１により可逆駆動する旋回軸１２を取付けて、旋回軸１２の旋回によりワークＷの辺縁の傾き調整や、研磨縁（辺）の変更など行なう。 The plate 9 provided on the traveling body 5 is also provided with a turning shaft 12 that is reversibly driven by a motor 11, and the turning of the turning shaft 12 adjusts the inclination of the edge of the workpiece W and changes the polishing edge (side).

また、第１ボックス２内には、モーター１３により一方向に駆動する回転砥石１４が設けてある。 A rotating grindstone 14 that is driven in one direction by a motor 13 is provided in the first box 2.

すると、第１ボックス２の開口１内に辺縁が嵌入してワークＷが第１ボックス２の部分を通過する際に、ワークＷの辺縁の面に回転砥石１４の周面（図示上周面）が接触して研磨する。 Then, when the workpiece W edge is fitted into the first box 2 opening 1 passes through the portion of the first box 2, the peripheral surface of the rotating grinding wheel 14 to the edge surface of the workpiece W (shown on the circumference Surface) contact and polish.

なお、研磨材は、入れ込み機（図示省略）を介しプレート９の吸盤１０にワークＷを保持させる際に研磨材を見込んで供給するか、或いはプレート９又は第１ボックス２を図示上下方向に昇降装置（図示省略）を作用させて行なえばよい。 Note that the abrasive is supplied in anticipation of the abrasive when holding the workpiece W on the suction cup 10 of the plate 9 via an insertion machine (not shown), or the plate 9 or the first box 2 is moved up and down in the vertical direction in the figure. What is necessary is just to carry out by making an apparatus (illustration omitted) act.

さらに、第１ボックス２内には、回転砥石１４による研磨部位にクーラント水を噴射するノズル２１が設けてある。 Further, a nozzle 21 for injecting coolant water to a portion polished by the rotating grindstone 14 is provided in the first box 2.

上記のノズル２１には、パイプ２２をへてクーラント水が圧送されるようになっている。 Coolant water is pumped to the nozzle 21 through the pipe 22.

また、第１ボックス２内は、吸引パイプ２３によってクーラント水を吸引するようになっている。 Further, the coolant in the first box 2 is sucked by the suction pipe 23.

上記の吸引パイプ２３は、吸引ポンプ（図示省略）に接続され、濾過されてクーラント水を再使用する。 The suction pipe 23 is connected to a suction pump (not shown), filtered, and reuses coolant water.

勿論、吸引パイプ２３は、図示の場合、開口１の反対側、すなわち、第１ボックス２の図示底側に接続し、開口１から大気のエアを吸引する。 Of course, in the illustrated case, the suction pipe 23 is connected to the opposite side of the opening 1, that is, the bottom side of the first box 2, and sucks atmospheric air from the opening 1.

その要因は、ノズル２１から噴射したクーラント水が開口１から外側、すなわち第１ボックス２外に飛散するのを防止することにある。 The factor is to prevent the coolant water sprayed from the nozzle 21 from splashing outside from the opening 1, that is, outside the first box 2.

なお、図示のように、第１ボックス２の両端壁の開口１下縁に対する回転砥石１４の上周縁を極力近づけて（上方への突出度合いを小さくする）、回転砥石１４の回転にともなうクーラント水の第１ボックス２外への（開口１から）飛散をなくする。 As shown in the figure, the upper peripheral edge of the rotating grindstone 14 with respect to the lower edge of the opening 1 of the both end walls of the first box 2 is made as close as possible (to reduce the degree of upward protrusion), and the coolant water accompanying the rotation of the rotating grindstone 14 The scattering to the outside of the first box 2 (from the opening 1) is eliminated.

すると、研磨場所の付近がクーラント水で汚れるのを防止すると共に、ワークＷに対する一定範囲以外にクーラント水の付着（飛散にともなう）や研磨粉粒の付着による汚れがなくなる。勿論、マスキングに悪影響を及ぼすこともない。 Then, the vicinity of the polishing place is prevented from being contaminated with the coolant water, and the contamination due to the adhesion of the coolant water (according to the scattering) and the adhesion of the abrasive powder particles is eliminated outside the fixed range with respect to the workpiece W. Of course, the masking is not adversely affected.

また、図２及び図５に示すように、第１ボックス２を通過したワークＷの研磨ずみ辺を第２ボックス３１の開口１と同様の開口３２に嵌入させて通過させ、第２ボックス３１内に設けてあるエアナイフ３３（パイプ３４からエアナイフ３３の噴射孔にエアを圧送する）によってワークＷの両面に付着したクーラント水を吹き飛ばして水切りする。 As shown in FIGS. 2 and 5, the polished side of the workpiece W that has passed through the first box 2 is inserted into and passed through the opening 32 similar to the opening 1 of the second box 31, and is passed through the second box 31. The coolant water adhering to both surfaces of the workpiece W is blown off by the air knife 33 (air is fed from the pipe 34 to the injection hole of the air knife 33).

勿論、第２ボックス３１内の水はパイプ３５をへて排出する。
勿論、図１、２に示すようにワークＷが走行する場合、第１ボックス２、第２ボックス３１は走行しないようになっており、逆にすることもある。 Of course , the water in the second box 31 is discharged through the pipe 35.
Of course, as shown in FIGS. 1 and 2, when the workpiece W travels, the first box 2 and the second box 31 do not travel and may be reversed.

すると、クーラント水の付着しない研磨ずみワークＷを回収（取り出す）することができる。 Then, it is possible to collect (take out) the polished workpiece W to which the coolant water does not adhere.

この発明の実施形態を示す平面図The top view which shows embodiment of this invention 同上の側面図Side view 同上の要部を示す一部切欠背面図Partially cut away rear view showing the main part 研磨部分の縦断背面図Longitudinal rear view of the polished part エアナイフを示す縦断背面図Longitudinal rear view showing air knife

Ｗワーク
Ａ走行手段
１、３２開口
２第１ボックス
３レール
４スライダ
５走行体
６雄ネジ
７雌ネジ
８モーター
９プレート
１０吸盤
１１モーター
１２旋回軸
１３モーター
１４回転砥石
２１ノズル
２２パイプ
２３吸引パイプ
３１第２ボックス
３３エアナイフ W Work A Traveling means 1, 32 Opening 2 First box 3 Rail 4 Slider 5 Traveling body 6 Male screw 7 Female screw 8 Motor 9 Plate 10 Suction cup 11 Motor 12 Rotating shaft 13 Motor 14 Rotating grindstone 21 Nozzle 22 Pipe 23 Suction pipe
31 Second box 33 Air knife

Claims

It consists of a work such as a glass substrate and a first box and a second box which are arranged in series and have an opening into which the grinding edge of the work fits on one surface of the work, and the edge of the work is placed in the first box. the grinding wheel for polishing provided, also provided with suction means for discharging by suction the nozzles for injecting the coolant water to the polishing portion in the first box is provided, further injected coolant water to the first box, also the first the draining air knife coolant water attached to the work provided in the two-box, the polishing apparatus is characterized in that so as to travel by the traveling means any one of the work or the first box and the second box.