JP6836841B2 - Polishing system - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス板を研磨する研磨システムに関する。 The present invention relates to a polishing system for polishing a glass plate.
特許文献１には、ガラス板の周縁を研磨する研磨装置が開示されている。この研磨装置では、回転可能な円筒状の砥石の外周面に、ガラス板の周縁を当接させて研磨を行う。このとき、砥石とガラス板との当接部分には冷却液が供給される。そして、砥石の表面から落下した冷却液は、ポンプなどを用いることで回収され、再び、当接部分に吹き付けられる。 Patent Document 1 discloses a polishing apparatus for polishing the peripheral edge of a glass plate. In this polishing device, the peripheral surface of the glass plate is brought into contact with the outer peripheral surface of the rotatable cylindrical grindstone to perform polishing. At this time, the cooling liquid is supplied to the contact portion between the grindstone and the glass plate. Then, the coolant that has fallen from the surface of the grindstone is collected by using a pump or the like, and is sprayed again on the contact portion.
ところで、上記のような冷却液の供給や回収には、一般的にゴムなどの可撓性のある材料で形成された管部材が用いられる。しかしながら、このような可撓性のある管部材を用いると、破損しやすいという問題がある。また、冷却液の重量によって下方に湾曲するおそれがあり、これによって冷却液の吸引の際の圧力損失が大きくなる可能性がある。その結果、冷却液を十分に吸引できず、循環不良により冷却液が適切に吐出されなかったり、あるいは装置から漏れるおそれがある。 By the way, a pipe member made of a flexible material such as rubber is generally used for supplying and recovering the above-mentioned coolant. However, when such a flexible tube member is used, there is a problem that it is easily damaged. In addition, the weight of the coolant may cause it to bend downward, which may increase the pressure loss during suction of the coolant. As a result, the coolant cannot be sufficiently sucked, and the coolant may not be properly discharged due to poor circulation, or may leak from the device.
本発明は、この問題を解決するためになされたものであり、砥石とガラス板との当接部分に冷却液を供給する研磨システムにおいて、冷却液の経路の破損や、圧力損失の低下を防止することができる、研磨システムを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve this problem, and in a polishing system that supplies a cooling liquid to a contact portion between a grindstone and a glass plate, it prevents damage to the cooling liquid path and a decrease in pressure loss. It is an object of the present invention to provide a polishing system that can be used.
本発明は、ガラス板を研磨する研磨システムであって、前記ガラス板の端縁を研磨する砥石と、前記砥石を回転可能に支持するとともに、前記ガラス板の端縁に沿って相対的に移動可能な支持体と、前記砥石に冷却液を供給する冷却液供給装置と、を備え、前記冷却液供給装置は、前記砥石による前記ガラス板の研磨位置に、冷却液を供給する供給ユニットと、前記支持体において前記砥石に供給された後の冷却液を吸引する吸引管であって、主として剛性材料で形成されている、吸引管と、を備えている。 The present invention is a polishing system for polishing a glass plate, in which a grindstone for polishing the edge of the glass plate and the grindstone are rotatably supported and relatively moved along the edge of the glass plate. A possible support and a coolant supply device for supplying the coolant to the grindstone are provided, and the coolant supply device includes a supply unit for supplying the coolant to the polishing position of the glass plate by the grindstone. The support includes a suction tube that sucks the cooling liquid after being supplied to the grindstone, and is mainly made of a rigid material.
この構成によれば、吸引管が主として剛性材料で形成されているため、ゴムなどの可撓性のある材料で吸引管を構成する場合に比べ、破損を低減することができる。また、可撓性材料のように冷却液の重量で垂れ下がったりすることがないため、吸引時の圧力損失を低減することができる。したがって、冷却液を確実に吸引することができる。なお、「主として」とは、上述した効果を得るために、吸引管の大部分が剛性材料で形成されることをいい、例えば、吸引管の伸縮しない部分をすべて剛性材料で形成することをいう。 According to this configuration, since the suction tube is mainly made of a rigid material, damage can be reduced as compared with the case where the suction tube is made of a flexible material such as rubber. Further, unlike the flexible material, it does not hang down due to the weight of the coolant, so that the pressure loss at the time of suction can be reduced. Therefore, the coolant can be reliably sucked. The term "mainly" means that most of the suction pipe is made of a rigid material in order to obtain the above-mentioned effect. For example, it means that all the non-expandable parts of the suction pipe are made of a rigid material. ..
上記研磨システムにおいて、前記吸引管は、伸縮可能に構成することができる。これにより、支持体の相対的な移動に対して吸引管を追従させることができる。 In the polishing system, the suction tube can be configured to be stretchable. This allows the suction tube to follow the relative movement of the support.
吸引管は種々の構成にすることができるが、例えば、剛性材料により形成された第１管部材及び第２管部材と、当該第１管部材と第２管部材とを連結する伸縮可能な弾性材料で形成された伸縮部材と、を備えるようにすることができる。 The suction pipe can have various configurations, and for example, the first pipe member and the second pipe member formed of a rigid material, and the stretchable elasticity connecting the first pipe member and the second pipe member. It can be provided with an elastic member made of a material.
この構成により、吸引管の剛性を保ちつつ、伸縮可能とすることができる。また、吸引管の支持体に追従する動作による振動を、伸縮部材によって吸収することができるため、振動が支持体に伝達するのを防止することができる。これにより、研磨時にガラス板に振動が伝達するのを防止でき、ガラス板の端縁が波状に形成されるのを防止することができる。 With this configuration, it is possible to expand and contract while maintaining the rigidity of the suction tube. Further, since the vibration caused by the operation of following the support of the suction tube can be absorbed by the expansion / contraction member, it is possible to prevent the vibration from being transmitted to the support. As a result, it is possible to prevent vibration from being transmitted to the glass plate during polishing, and it is possible to prevent the edge of the glass plate from being formed in a wavy shape.
上記各研磨システムにおいて、前記供給ユニットは、前記ガラス板と砥石との当接部分において、前記ガラス板の一方面から冷却液を吐出する第１吐出部と、前記ガラス板の他方面から冷却液を吐出する第２吐出部と、を備えることができる。これにより、ガラスの上面及び下面のいずれにも冷却液を吐出できるため、冷却液不足による、ガラス板の焼けが生じるのを防止することができる。 In each of the polishing systems, the supply unit has a first discharge portion that discharges a coolant from one surface of the glass plate and a coolant from the other surface of the glass plate at a contact portion between the glass plate and the grindstone. A second discharge unit for discharging the glass can be provided. As a result, the coolant can be discharged to both the upper surface and the lower surface of the glass, so that it is possible to prevent the glass plate from being burnt due to the lack of the coolant.
上記各研磨システムにおいて、前記支持体は、前記第１及び第２吐出部から吐出された冷却液を受ける受け部と、前記受け部に溜まる冷却液を前記吸引管に流す連通部と、を備え、前記受け部は、前記冷却液を前記連通部側へ案内する、回転可能な羽根車を備えることができる。 In each of the polishing systems, the support includes a receiving portion that receives the cooling liquid discharged from the first and second discharging portions, and a communication portion that allows the cooling liquid accumulated in the receiving portion to flow to the suction pipe. The receiving portion may include a rotatable impeller that guides the coolant to the communicating portion side.
このように、受け部に羽根車を設けることで、受け部に溜まる冷却液を連通部に案内することができる。これにより、受け部に冷却液が溜まるのを防止することができる。 By providing the impeller in the receiving portion in this way, the coolant accumulated in the receiving portion can be guided to the communicating portion. As a result, it is possible to prevent the coolant from accumulating in the receiving portion.
上記各研磨システムにおいて、前記各吐出部は、複数のノズルを備えており、前記各ノズルは、前記ガラス板の面方向に沿う長径を有する楕円形状に形成することができる。これにより、ガラス面に沿って冷却液を吹き付けることができるため、冷却が必要な部分に対する実質的な水圧を向上することができ、冷却効果を高めることができる。 In each of the polishing systems, each of the ejection portions includes a plurality of nozzles, and each of the nozzles can be formed into an elliptical shape having a major axis along the surface direction of the glass plate. As a result, the cooling liquid can be sprayed along the glass surface, so that the substantial water pressure on the portion requiring cooling can be improved, and the cooling effect can be enhanced.
上記各研磨システムにおいて、前記複数のノズルは、少なくとも、前記ガラス板と砥石との当接部分、当該当接部分よりも前記砥石の回転方向の上流側、及び当該当接部分よりも前記砥石の回転方向の下流側、の３箇所に配置することができる。 In each of the polishing systems, the plurality of nozzles are at least the contact portion between the glass plate and the grindstone, the upstream side of the contact portion in the rotational direction of the grindstone, and the grindstone from the contact portion. It can be arranged at three locations on the downstream side in the rotation direction.
この構成により、次の効果を得ることができる。まず、砥石は高速で回転するため、その遠心力により冷却液が砥石から剥がれ、砥石の表面に空気層が形成されることがある。そのため、砥石に向かって冷却液を吹き付けても空気層によって冷却液の吹きつけが妨げられ、砥石を冷却できないおそれがある。これに対して、上記のように、回転方向の上流側から砥石に向かって冷却液を吹き付けると、空気層を破壊することができ、当接部分において冷却液を確実に砥石に当てることができる。一方、回転方向の上流側から砥石に向かって冷却液を吹き付けると、研磨によって生じたガラス粉を砥石から吹き飛ばすことができ、その結果、砥石に付着したガラス粉による研磨精度の低下を防止することができる。 With this configuration, the following effects can be obtained. First, since the grindstone rotates at a high speed, the coolant may be peeled off from the grindstone due to its centrifugal force, and an air layer may be formed on the surface of the grindstone. Therefore, even if the coolant is sprayed toward the grindstone, the air layer hinders the spraying of the coolant, and the grindstone may not be cooled. On the other hand, as described above, when the coolant is sprayed from the upstream side in the rotation direction toward the grindstone, the air layer can be destroyed and the coolant can be reliably applied to the grindstone at the contact portion. .. On the other hand, when the coolant is sprayed from the upstream side in the rotation direction toward the grindstone, the glass powder generated by polishing can be blown off from the grindstone, and as a result, the deterioration of polishing accuracy due to the glass powder adhering to the grindstone can be prevented. Can be done.
上記研磨システムにおいて、前記ガラス板は、種々のものを対象とすることができるが、例えば、端縁にインナーカーブを有するものを対象とすることができる。 In the polishing system, the glass plate can be of various objects, for example, one having an inner curve at the edge.
ところで、ガラス板を研磨すると、研磨によるガラス粉が発生するため、上記研磨装置の冷却液を循環させている場合には、冷却液とともに上記冷却液供給装置内を循環する。ところが、ガラス粉は凝集して固まる性質があり、冷却液供給装置内の循環経路の内壁面に付着して成長する傾向にある。そして、内壁において成長したガラス粉は、内壁面から離脱し、塊となって循環経路内を流れ、吐出部のノズルに詰まったり、他のフィルターなどに詰まるおそれがある。そこで、本発明者は、以下のように第２の研磨システムの発明に至った。 By the way, when the glass plate is polished, glass powder is generated by the polishing. Therefore, when the coolant of the polishing apparatus is circulated, it is circulated in the coolant supply apparatus together with the coolant. However, the glass powder has a property of agglomerating and solidifying, and tends to adhere to the inner wall surface of the circulation path in the coolant supply device and grow. Then, the glass powder grown on the inner wall surface may separate from the inner wall surface and flow in the circulation path as a lump, which may clog the nozzle of the discharge portion or clog other filters or the like. Therefore, the present inventor has invented the second polishing system as follows.
本発明に係る第２の研磨システムは、ガラス板を研磨する研磨システムであって、前記ガラス板の端縁を研磨する砥石と、前記砥石を回転可能に支持するとともに、前記ガラス板の端縁に沿って相対的に移動可能な支持体と、前記砥石に冷却液を供給する冷却液供給装置と、を備え、前記冷却液供給装置は、前記砥石による前記ガラス板の研磨位置に、冷却液を供給する供給ユニットと、前記供給ユニットへ供給した冷却液を回収した後、回収した冷却液を前記供給ユニットに供給する循環経路と、前記循環経路に、バブリング洗浄用の気体を注入する気体注入部と、を備えている。 The second polishing system according to the present invention is a polishing system for polishing a glass plate, which includes a grindstone for polishing the edge of the glass plate and a grindstone that rotatably supports the grindstone and the edge of the glass plate. A support that is relatively movable along the surface and a coolant supply device that supplies the coolant to the grindstone are provided, and the coolant supply device is located at a position where the glass plate is polished by the grindstone. Gas injection that injects a bubbling cleaning gas into the supply unit that supplies the supply unit, the circulation path that supplies the recovered coolant to the supply unit after collecting the coolant supplied to the supply unit, and the circulation path. It has a part and.
上記前記冷却液供給装置は、前記循環経路に設けられ、回収された冷却液と当該冷却液中のガラス粉とを分離する遠心分離機をさらに備え、前記気体注入部は、前記遠心分離機から前記供給ユニットへ向かう冷却液に対して、前記気体を供給するように構成することができる。 The coolant supply device is further provided with a centrifuge provided in the circulation path to separate the recovered coolant from the glass powder in the coolant, and the gas injection unit is from the centrifuge. The gas can be configured to be supplied to the coolant toward the supply unit.
上記冷却液供給装置は、前記循環経路において、冷却液を循環させるためのポンプと、前記循環経路において、前記ポンプの下流側に設けられ、当該ポンプと前記供給ユニットの間を流れる冷却液を、前記供給ユニットの下流側に流すバイパス経路と、をさらに備えている。 The coolant supply device includes a pump for circulating the coolant in the circulation path, and a coolant provided on the downstream side of the pump in the circulation path and flowing between the pump and the supply unit. A bypass path for flowing to the downstream side of the supply unit is further provided.
上記第２の研磨装置において、前記気体注入部は、気体を断続的に前記循環経路に注入可能に構成することができる。 In the second polishing apparatus, the gas injection unit can be configured so that gas can be intermittently injected into the circulation path.
本発明によれば、砥石とガラス板との当接部分に冷却液を供給する研磨システムにおいて、冷却液の経路の破損や、圧力損失の低下を防止することができる。 According to the present invention, in a polishing system that supplies a cooling liquid to a contact portion between a grindstone and a glass plate, it is possible to prevent damage to the path of the cooling liquid and a decrease in pressure loss.
以下、本発明に係る研磨システムの一実施形態について説明する。本実施形態に係る研磨システムは、冷却液を供給しつつ、ガラス板の端縁を研磨するものである。以下では、まず、このシステムで対象とするガラス板の例を示し、その後、研磨システムについて詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of the polishing system according to the present invention will be described. The polishing system according to the present embodiment polishes the edge of the glass plate while supplying a cooling liquid. In the following, first, an example of the glass plate targeted by this system will be shown, and then the polishing system will be described in detail.
＜１．ガラス板＞
本実施形態において対象となるガラス板としては、例えば、建築用や自動車用の公知のガラス板を利用することができる。例えば、ガラス板には、熱線吸収ガラス、一般的なクリアガラス若しくはグリーンガラス、又はＵＶグリーンガラスが利用されてもよい。ただし、このようなガラス板は、自動車が使用される国の安全規格に沿った可視光線透過率を実現する必要がある。例えば、日射吸収率、可視光線透過率などが安全規格を満たすように調整することができる。以下に、クリアガラスの組成の一例と、熱線吸収ガラス組成の一例を示す。
<1. Glass plate ＞
As the target glass plate in the present embodiment, for example, a known glass plate for construction or automobile can be used. For example, heat ray absorbing glass, general clear glass or green glass, or UV green glass may be used for the glass plate. However, such glass plates need to achieve visible light transmittance in line with the safety standards of the country in which the vehicle is used. For example, the solar radiation absorption rate, the visible light transmittance, and the like can be adjusted so as to satisfy the safety standard. An example of the composition of the clear glass and an example of the composition of the heat ray absorbing glass are shown below.
（クリアガラス）
ＳｉＯ2：７０〜７３質量％
Ａｌ2Ｏ3：０．６〜２．４質量％
ＣａＯ：７〜１２質量％
ＭｇＯ：１．０〜４．５質量％
Ｒ2Ｏ：１３〜１５質量％（Ｒはアルカリ金属）
Ｆｅ2Ｏ3に換算した全酸化鉄（Ｔ−Ｆｅ2Ｏ3）：０．０８〜０．１４質量％
(Clear glass)
SiO 2 : 70 to 73% by mass
Al 2 O 3 : 0.6 to 2.4% by mass
CaO: 7-12% by mass
MgO: 1.0 to 4.5% by mass
R 2 O: 13 to 15% by mass (R is an alkali metal)
Total iron oxide converted to Fe 2 O 3 (T-Fe 2 O 3 ): 0.08 to 0.14% by mass
（熱線吸収ガラス）
熱線吸収ガラスの組成は、例えば、クリアガラスの組成を基準として、Ｆｅ2Ｏ3に換算した全酸化鉄（Ｔ−Ｆｅ2Ｏ3）の比率を０．４〜１．３質量％とし、ＣｅＯ2の比率を０〜２質量％とし、ＴｉＯ2の比率を０〜０．５質量％とし、ガラスの骨格成分（主に、ＳｉＯ2やＡｌ2Ｏ3）をＴ−Ｆｅ2Ｏ3、ＣｅＯ2及びＴｉＯ2の増加分だけ減じた組成とすることができる。
(Heat ray absorbing glass)
The composition of the heat-absorbing glass, for example, based on the composition of the clear glass, the proportion of the total iron oxide in terms of Fe 2 O 3 (T-Fe 2 O 3) and 0.4 to 1.3 wt%, CeO 2 ratio as 0-2 mass%, the proportion of TiO 2 and 0 to 0.5 wt%, framework component of the glass (mainly, SiO 2 and Al 2 O 3) to T-Fe 2 O 3, CeO The composition can be reduced by the amount of increase in 2 and TiO 2.
なお、ガラス板の種類は、クリアガラス又は熱線吸収ガラスに限られず、実施の形態に応じて適宜選択可能である。例えば、ガラス板は、アクリル系、ポリカーボネート系等の樹脂窓であってもよい。 The type of glass plate is not limited to clear glass or heat ray absorbing glass, and can be appropriately selected depending on the embodiment. For example, the glass plate may be an acrylic-based or polycarbonate-based resin window.
また、本実施形態に係るガラス板の厚みは、特には限定されなくてもよい。ただし、軽量化の観点からは、ガラス板１０の厚みは、２．２〜５．１ｍｍの範囲で設定されてもよく、２．４〜３．８ｍｍの範囲で設定されてもよく、２．７〜３．２ｍｍの範囲で設定されてもよい。更に、ガラス板１０の厚みは３．１ｍｍ以下となるように設定されてもよい。 Further, the thickness of the glass plate according to the present embodiment is not particularly limited. However, from the viewpoint of weight reduction, the thickness of the glass plate 10 may be set in the range of 2.2 to 5.1 mm, or may be set in the range of 2.4 to 3.8 mm. It may be set in the range of 7 to 3.2 mm. Further, the thickness of the glass plate 10 may be set to be 3.1 mm or less.
また、このようなガラス板１０は、単一のガラス板のほか、複数のガラスで樹脂などの中間膜を挟持した合わせガラスであってもよい。 Further, such a glass plate 10 may be a single glass plate or a laminated glass in which an interlayer film such as resin is sandwiched between a plurality of glasses.
＜２．研磨システム＞
次に、本実施形態に係る研磨システムの概要について、図面を参照しつつ説明する。図１は、この研磨システムの概略構成図、図２は、冷却液の循環経路を示す概略図である。
<2. Polishing system ＞
Next, the outline of the polishing system according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of this polishing system, and FIG. 2 is a schematic diagram showing a circulation path of a coolant.
図１に示すように、この研磨システムは、砥石１を有する支持体２と、この支持体２をガラス板１０に対して相対的に移動させる移動ユニット３と、を備えている。また、ガラス板１０は、搬送ユニット４により搬送され、この搬送ユニット４と移動ユニット３がともに移動することで、砥石１がガラス板１０の４つの辺からなる端縁に沿って移動し、これによって、ガラス板１０の端縁が砥石で研磨される。 As shown in FIG. 1, this polishing system includes a support 2 having a grindstone 1 and a moving unit 3 for moving the support 2 relative to a glass plate 10. Further, the glass plate 10 is transported by the transport unit 4, and when the transport unit 4 and the moving unit 3 move together, the grindstone 1 moves along the edge of the four sides of the glass plate 10. The edge of the glass plate 10 is polished with a grindstone.
また、図２に示すように、この研磨システムにおいては、砥石１とガラス板１０との当接部分に冷却液が供給されるようになっており、そのために、この研磨システムには、冷却水供給装置が設けられている。この冷却水供給装置は、支持体２において砥石１に冷却液を供給する後述の供給ユニットと、冷却液を貯留するタンク５と、このタンク５からの冷却液を受ける遠心分離機６と、支持体２において供給された後の冷却液をタンク５に流すための吸引管７と、を備えている。また、砥石に供給した冷却液を回収し循環させるため、吸引管７の下流側には、吸引ブロワー５１が設けられ、タンク５に貯留された冷却液は、リターンポンプ５２によって遠心分離機６に送られる。また、遠心分離機６には、クーラントポンプ８が設けられ、このポンプ８によって遠心分離機６から支持体２の供給ユニットに対して冷却液が送られる。以下では、図２に示すように、冷却液の循環経路において、タンク５から遠心分離機６までを第１経路９１、遠心分離機６からポンプ８までを第２経路９２、ポンプ５から支持体２までを第３経路９３、吸引管７からタンク５までを第４経路９４と称することとする。なお、これらの経路９１〜９４は、金属、樹脂、またはゴムなどで形成された管部材により構成される。以下、各部材について詳細に説明する。 Further, as shown in FIG. 2, in this polishing system, a cooling liquid is supplied to the contact portion between the grindstone 1 and the glass plate 10, and therefore, cooling water is supplied to the polishing system. A supply device is provided. This cooling water supply device supports a supply unit described later that supplies the cooling liquid to the grindstone 1 in the support 2, a tank 5 that stores the cooling liquid, and a centrifuge 6 that receives the cooling liquid from the tank 5. A suction pipe 7 for flowing the cooling liquid after being supplied in the body 2 to the tank 5 is provided. Further, in order to collect and circulate the cooling liquid supplied to the grindstone, a suction blower 51 is provided on the downstream side of the suction pipe 7, and the cooling liquid stored in the tank 5 is sent to the centrifuge 6 by the return pump 52. Sent. Further, the centrifuge 6 is provided with a coolant pump 8, and the centrifuge 6 sends the coolant from the centrifuge 6 to the supply unit of the support 2. In the following, as shown in FIG. 2, in the coolant circulation path, the tank 5 to the centrifuge 6 is the first path 91, the centrifuge 6 to the pump 8 is the second path 92, and the pump 5 to the support. Up to 2 will be referred to as the third path 93, and the suction pipe 7 to the tank 5 will be referred to as the fourth path 94. These paths 91 to 94 are composed of tube members made of metal, resin, rubber, or the like. Hereinafter, each member will be described in detail.
＜２−１．搬送ユニット及び移動ユニット＞
次に、搬送ユニット４と移動ユニット３の概要について、図３を参照しつつ説明する。図３は、図１の平面図である。以下では、移動ユニット３の移動する方向を左右方向又は幅方向と称し、搬送ユニット４の移動する方向を前後方向と称することとする。
<2-1. Transport unit and mobile unit>
Next, the outline of the transport unit 4 and the mobile unit 3 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a plan view of FIG. Hereinafter, the moving direction of the moving unit 3 is referred to as a left-right direction or a width direction, and the moving direction of the transport unit 4 is referred to as a front-rear direction.
搬送ユニット４は、支持台４１と、この支持台４１上に配置され、ガラス板１０を支持する複数の吸盤４２と、を備えている。また、この支持台４１は、基台４３上に配置され、シリンダ等の駆動部（図示省略）によって、基台４３上を前後方向Ｘに移動可能となっている。このとき、支持台４１は、ガラス板１０の入替を行う待機位置Ａ（図８（ａ）参照）から、前方へ移動していき、この前方への移動の途中で、ガラス板１０が砥石１によって研磨される。また、待機位置Ａにおいては、図示を省略するロボットアームで研磨後のガラス板１０が、研磨前のガラス板１０に入れ替えられる。 The transport unit 4 includes a support base 41 and a plurality of suction cups 42 arranged on the support base 41 and supporting the glass plate 10. Further, the support base 41 is arranged on the base 43, and can be moved in the front-rear direction X on the base 43 by a drive unit (not shown) such as a cylinder. At this time, the support base 41 moves forward from the standby position A (see FIG. 8A) in which the glass plate 10 is replaced, and the glass plate 10 moves to the grindstone 1 in the middle of the forward movement. Polished by. Further, in the standby position A, the glass plate 10 after polishing by the robot arm (not shown) is replaced with the glass plate 10 before polishing.
移動ユニット３は、搬送ユニット４の上方に配置され、搬送ユニット４の移動する方向Ｘとは直交する幅方向Ｙに延びる移動レール３１と、この移動レール３１に沿って移動可能で支持体２を回転可能に支持する移動体３２と、を備えている。そして、移動体３２は、シリンダ等の駆動部（図示省略）によって移動レール３１上を移動するようになっている。 The moving unit 3 is arranged above the transport unit 4, and has a moving rail 31 extending in a width direction Y orthogonal to the moving direction X of the transport unit 4, and a support 2 that can move along the moving rail 31. It includes a moving body 32 that rotatably supports it. The moving body 32 is moved on the moving rail 31 by a driving unit (not shown) such as a cylinder.
＜２−２．吸引管＞
続いて、吸引管７について図４を参照しつつ説明する。図４は吸引管の平面図である。同図に示すように、吸引管７は、一端部が、後述する連結部材２２３を介して支持体２に連結されるとともに、他端部が軸支部７２に回転自在に支持されている。また、吸引管７は、後述するように、軸方向に伸縮可能となっている。これにより、吸引管７は、支持体２に連結された一端部が、支持体２とともに幅方向に移動するのにともなって、軸支部７２を中心として揺動するようになっている。
<2-2. Suction tube>
Subsequently, the suction tube 7 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a plan view of the suction tube. As shown in the figure, one end of the suction pipe 7 is connected to the support 2 via a connecting member 223 described later, and the other end is rotatably supported by the shaft support 72. Further, the suction tube 7 can be expanded and contracted in the axial direction as described later. As a result, the suction pipe 7 swings around the shaft support 72 as one end connected to the support 2 moves in the width direction together with the support 2.
より詳細に説明すると、吸引管７は、支持体２側に配置される円筒状の第１管部材７３と、軸支部７２側に配置される円筒状の第２管部材７４と、が軸方向に並び、両者の間に配置された伸縮部材７５によって連結されている。また、第１管部材７３と第２管部材７４の外周面には、一対のスライド機構７６が設けられている。これらスライド機構７６は、両管部材７３，７４の軸心を挟んで径方向の互いに反対側にそれぞれ配置されている。各スライド機構７６は、第１ブラケット７６５を介して第１管部材７３の外周面に固定される第１支持部材７６１と、この第１支持部材７６１に固定されるスライドバー７６２と、第２ブラケット７６６を介して第２管部材７４の外周面に付けられ、スライドバー７６２をスライド可能に支持する一対の第２支持部材７６３と、を備えている。第１支持部材７６１は、スライドバー７６２の一端部に固定されており、スライドバー７６２は、第２支持部材７６３側へ両管部材７３，７４の軸方向に延びている。第２支持部材７６３には、軸方向に延びる貫通孔が形成されており、この貫通孔にスライドバー７６２の他端部がスライド可能に挿通されている。この構成により、両管部材７３，７４が近接離間すると、これに伴って、スライドバー７６２が第２支持部材７６３の貫通孔内を移動する。したがって、第１及び第２管部材７３，７４は、２つのスライド機構７６によって、軸方向に正確に近接離間可能となっている。 More specifically, the suction pipe 7 has a cylindrical first pipe member 73 arranged on the support 2 side and a cylindrical second pipe member 74 arranged on the shaft support 72 side in the axial direction. They are connected by an elastic member 75 arranged between them. Further, a pair of slide mechanisms 76 are provided on the outer peripheral surfaces of the first pipe member 73 and the second pipe member 74. These slide mechanisms 76 are arranged on opposite sides of each other in the radial direction with the axial centers of both pipe members 73 and 74 interposed therebetween. Each slide mechanism 76 includes a first support member 761 fixed to the outer peripheral surface of the first pipe member 73 via a first bracket 765, a slide bar 762 fixed to the first support member 761, and a second bracket. A pair of second support members 763, which are attached to the outer peripheral surface of the second pipe member 74 via 766 and slidably support the slide bar 762, are provided. The first support member 761 is fixed to one end of the slide bar 762, and the slide bar 762 extends in the axial direction of both pipe members 73 and 74 toward the second support member 763. The second support member 763 is formed with a through hole extending in the axial direction, and the other end of the slide bar 762 is slidably inserted through the through hole. With this configuration, when the two pipe members 73 and 74 are separated from each other in close proximity, the slide bar 762 moves in the through hole of the second support member 763. Therefore, the first and second pipe members 73 and 74 can be accurately separated from each other in the axial direction by the two slide mechanisms 76.
両管部材７３，７４は、金属等の剛性材料で形成されているが、両管部材７３，７４の間に配置される伸縮部材７５は、蛇腹状に形成されたゴム等の弾性材料で形成されている。そのため、両管部材７３，７４の近接離間に伴って、軸方向に伸縮するようになっている。このように、吸引管７は、スライド機構７６及び伸縮部材７５によって軸方向に伸縮可能となっており、これにより、吸引管７の一端部が移動ユニット３による支持体の移動に追従しつつ、揺動できるようになっている。 Both pipe members 73 and 74 are formed of a rigid material such as metal, while the elastic member 75 arranged between the pipe members 73 and 74 is formed of an elastic material such as rubber formed in a bellows shape. Has been done. Therefore, the pipe members 73 and 74 expand and contract in the axial direction as they are separated from each other. As described above, the suction pipe 7 can be expanded and contracted in the axial direction by the slide mechanism 76 and the expansion / contraction member 75, whereby one end of the suction pipe 7 follows the movement of the support by the moving unit 3. It can swing.
＜２−３．支持体＞
次に、支持体２について図５〜図７を参照しつつ説明する。図５は支持体の概略断面図、図６は支持フレームを下方から見た図、図７は受け部を上方から見た図である。図５に示すように、支持体２は、円筒状の本体部２１と、その周囲に配置される環状の支持フレーム２２と、この支持フレーム２２の下方に配置されるカップ状の受け部２５と、を備えている。まず、本体部２１について説明する。本体部２１は、移動ユニット３に支持されつつ回転するようになっている。本体部２１の下面には、円筒状の砥石１が回転可能に支持されており、本体部２１に内蔵されたモータ（図示省略）により上下方向（鉛直方向）を回転軸として砥石１は回転する。砥石１の外周面には、複数の環状の溝１１が形成されており、これらの溝１１のいずれかにガラス板１０の端縁が嵌まり、砥石１の回転によってガラス板１０の端縁が研磨される。
<2-3. Support>
Next, the support 2 will be described with reference to FIGS. 5 to 7. 5 is a schematic cross-sectional view of the support, FIG. 6 is a view of the support frame viewed from below, and FIG. 7 is a view of the receiving portion viewed from above. As shown in FIG. 5, the support 2 includes a cylindrical main body 21, an annular support frame 22 arranged around the cylindrical main body 21, and a cup-shaped receiving portion 25 arranged below the support frame 22. , Is equipped. First, the main body 21 will be described. The main body 21 rotates while being supported by the moving unit 3. A cylindrical grindstone 1 is rotatably supported on the lower surface of the main body 21, and the grindstone 1 is rotated about the vertical direction (vertical direction) by a motor (not shown) built in the main body 21. .. A plurality of annular grooves 11 are formed on the outer peripheral surface of the grindstone 1, and the edge of the glass plate 10 is fitted into any of these grooves 11, and the edge of the glass plate 10 is formed by the rotation of the grindstone 1. Be polished.
支持フレーム２２は、本体部２１の下端部の外周を覆うような環状に形成されている。具体的には、本体部２１の下端部付近に配置される環状の下面板２２１と、この下面板２２１から上方へ隙間を空けて配置される環状の上面板２２２と、を備えている。そして、下面板２２１と上面板２２２との外周縁同士を結ぶように、上下方向に延びる円筒状の連結部材２２３が取付けられている。また、連結部材２２３は、支持フレーム２２の外周面を構成するとともに、下面板２２１及び上面板２２２に対して液密状態で回転自在に取付けられている。この構成により、支持フレーム２２には、下面板２２１、上面板２２２、及び連結部材２２３によって囲まれる内部空間Ｓを有しており、下面板２２１に形成された開口２２４から内部空間Ｓに、冷却後の冷却液が流れ込むようになっている。また、上述したように、連結部材２２３には吸引管７が取付けられており、内部空間Ｓの冷却液が吸引管７へ流れるようになっている。なお、下面板２２１の開口２２４は、砥石１の周囲に約１８０度に亘って扇形に形成されている。また、上記内部空間Ｓ、連結部材２２３などの受け部２５と吸引管７とを結ぶ構成が本発明の連通部を構成する。 The support frame 22 is formed in an annular shape so as to cover the outer periphery of the lower end portion of the main body portion 21. Specifically, it includes an annular lower surface plate 221 arranged near the lower end portion of the main body 21, and an annular upper surface plate 222 arranged with a gap upward from the lower surface plate 221. Then, a cylindrical connecting member 223 extending in the vertical direction is attached so as to connect the outer peripheral edges of the lower surface plate 221 and the upper surface plate 222. Further, the connecting member 223 constitutes the outer peripheral surface of the support frame 22, and is rotatably attached to the lower surface plate 221 and the upper surface plate 222 in a liquid-tight state. With this configuration, the support frame 22 has an internal space S surrounded by the lower surface plate 221 and the upper surface plate 222, and the connecting member 223, and is cooled from the opening 224 formed in the lower surface plate 221 to the internal space S. Later coolant will flow in. Further, as described above, the suction pipe 7 is attached to the connecting member 223 so that the cooling liquid in the internal space S flows to the suction pipe 7. The opening 224 of the lower surface plate 221 is formed in a fan shape over about 180 degrees around the grindstone 1. Further, the structure connecting the receiving portion 25 such as the internal space S and the connecting member 223 and the suction pipe 7 constitutes the communicating portion of the present invention.
また、図５及び図６に示すように、支持フレーム２２には、砥石１に対して冷却液を吐出するための供給ユニットが設けられている。供給ユニットは、２つの吐出部、つまり第１吐出部２３及び第２吐出部２４で構成されている。第１吐出部２３は、円弧状に形成されており、下面板２２１の下面に取付けられる。また、この第１吐出部２３には、複数のノズル２３１が取付けられており、各ノズル２３１からは斜め下方に冷却液が吐出され、砥石１の外周面に吹き付けられるようになっている。すなわち、第１吐出部２３から吐出される冷却液は、ガラス板１０の上方から砥石１に向けて吐出されるようになっている。また、各ノズル２３１は、ガラス板１０の面方向、つまり水平方向に長径が延びるような楕円状に形成されている。 Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the support frame 22 is provided with a supply unit for discharging the cooling liquid to the grindstone 1. The supply unit is composed of two discharge units, that is, a first discharge unit 23 and a second discharge unit 24. The first discharge portion 23 is formed in an arc shape and is attached to the lower surface of the lower surface plate 221. Further, a plurality of nozzles 231 are attached to the first discharge portion 23, and the cooling liquid is discharged diagonally downward from each nozzle 231 and is sprayed on the outer peripheral surface of the grindstone 1. That is, the coolant discharged from the first discharge unit 23 is discharged from above the glass plate 10 toward the grindstone 1. Further, each nozzle 231 is formed in an elliptical shape having a major axis extending in the surface direction of the glass plate 10, that is, in the horizontal direction.
また、図６に示すように、支持フレーム２２の下面には、冷却液をガラス板１０の下方から吐出するための第２吐出部２４が設けられている。この第２吐出部２４は、砥石１の下方に配置されるように延びる管状の管部材２４１と、この管部材２４１に取付けられる３つのノズル２４２と、を備えており、管部材２４１を流れる冷却液が３つのノズル２４２から噴射されるようになっている。管部材２４１は、下面板２２１の下面から下方に延びる一対の垂下部２４１１と、これら垂下部２４１１を連結するように円弧状に形成された管本体２４１２とで構成されている。垂下部２４１１は、本体部２１の軸心を挟んで第１吐出部２３とは反対側にそれぞれ配置されており、これら垂下部２４１１の下端部に管本体２４１２が連結されている。 Further, as shown in FIG. 6, a second discharge portion 24 for discharging the cooling liquid from below the glass plate 10 is provided on the lower surface of the support frame 22. The second discharge portion 24 includes a tubular pipe member 241 extending so as to be arranged below the grindstone 1 and three nozzles 242 attached to the pipe member 241 to cool the pipe member 241. The liquid is ejected from three nozzles 242. The pipe member 241 is composed of a pair of hanging portions 2411 extending downward from the lower surface of the lower surface plate 221 and a pipe main body 2412 formed in an arc shape so as to connect the hanging portions 2411. The hanging portion 2411 is arranged on the side opposite to the first discharging portion 23 with the axial center of the main body portion 21 interposed therebetween, and the pipe main body 2412 is connected to the lower end portion of the hanging portion 2411.
管本体２４１２は、第１吐出部２３の下方を、第１吐出部２３に沿って通過するように円弧状に形成されており、軸方向に沿う３つのノズル、つまり第１ノズル２４２ａ，第２ノズル２４２ｂ，及び第３ノズル２４２ｃがこの順で配置されている。第１〜第３ノズル２４２ａ〜２４２ｃは、第１吐出部２３のノズル２３１の直下にあり、第２ノズル２４２ｂが、砥石１とガラス板１０との当接部分（以下、研磨位置という）の直下に位置している。そして、第１ノズル２４２ａは、砥石１の回転方向において、研磨位置の上流側に配置され、第３ノズル２４２ｃは研磨位置の下流側に配置されている。また、これら第１〜第３ノズル２４２ａ〜２４２ｃも、第１吐出部２３のノズル２３１と同様に、水平方向に長径が延びるような楕円状に形成されている。 The pipe body 2412 is formed in an arc shape so as to pass below the first discharge portion 23 along the first discharge portion 23, and has three nozzles along the axial direction, that is, the first nozzle 242a and the second nozzle. The nozzle 242b and the third nozzle 242c are arranged in this order. The first to third nozzles 242a to 242c are directly below the nozzle 231 of the first discharge portion 23, and the second nozzle 242b is directly below the contact portion between the grindstone 1 and the glass plate 10 (hereinafter referred to as a polishing position). Is located in. The first nozzle 242a is arranged on the upstream side of the polishing position in the rotation direction of the grindstone 1, and the third nozzle 242c is arranged on the downstream side of the polishing position. Further, the first to third nozzles 242a to 242c are also formed in an elliptical shape so that the major axis extends in the horizontal direction, similarly to the nozzle 231 of the first discharge portion 23.
なお、第１及び第２吐出部２３，２４には、内部空間Ｓに配置された供給管２８から冷却液が供給されるようになっており、この供給管２８には、上述したクーラントポンプ８から冷却液が供給される。 The cooling liquid is supplied to the first and second discharge units 23 and 24 from the supply pipe 28 arranged in the internal space S, and the coolant pump 8 described above is supplied to the supply pipe 28. Coolant is supplied from.
次に、受け部２５について説明する。図５及び図７に示すように、受け部２５は、支持フレーム２２の下方に配置されおり、第１及び第２吐出部２３，２４から吐出されて、砥石１に吹き付けられた後の冷却液を受けるためのものである。具体的には、円板状の底面２５１と、その周縁から立ち上がる円筒状の壁部２５２とを有するカップ状に形成されている。受け部２５は、冷却液を受けるため、支持フレーム２２と同等の外径を有しており、受け部２５の壁部２５２の一部がブラケット２６を介して、支持フレーム２２の下端部に連結されている。また、上述した下面板２２１に形成された開口２２４は、受け部２５の壁部２５２の上方に位置しており、後述するように、壁部２５２を伝って上方に上がる冷却液が開口２２４に流れ込むようになっている。 Next, the receiving portion 25 will be described. As shown in FIGS. 5 and 7, the receiving portion 25 is arranged below the support frame 22, and the coolant is discharged from the first and second discharging portions 23 and 24 and sprayed on the grindstone 1. It is for receiving. Specifically, it is formed in a cup shape having a disk-shaped bottom surface 251 and a cylindrical wall portion 252 rising from the peripheral edge thereof. The receiving portion 25 has an outer diameter equivalent to that of the support frame 22 for receiving the cooling liquid, and a part of the wall portion 252 of the receiving portion 25 is connected to the lower end portion of the support frame 22 via the bracket 26. Has been done. Further, the opening 224 formed in the lower surface plate 221 described above is located above the wall portion 252 of the receiving portion 25, and as will be described later, the cooling liquid that rises upward along the wall portion 252 enters the opening 224. It is designed to flow in.
受け部２５の底面２５１において、砥石１と対向する位置には、羽根車２７が回転自在に配置されている。この羽根車２７は、受け部２５の底面２５１に溜まる冷却液を開口２２４側へ誘導するためのものである。 An impeller 27 is rotatably arranged at a position facing the grindstone 1 on the bottom surface 251 of the receiving portion 25. The impeller 27 is for guiding the coolant collected on the bottom surface 251 of the receiving portion 25 toward the opening 224.
上記のように、支持体２においては、連結部材２２３が下面板２２１及び上面板２２２に対して回転可能に構成されているため、本体部２１及び支持フレーム２２の下面板２２１と上面板２２２は、移動ユニット３上で回転可能となっている。これにより、下面板２２１に取付けられている両吐出部２３，２４の向きを変えることができ、ガラス板１０に対し吐出部２３，２４を対向させることができる。 As described above, in the support body 2, since the connecting member 223 is configured to be rotatable with respect to the lower surface plate 221 and the upper surface plate 222, the lower surface plate 221 and the upper surface plate 222 of the main body 21 and the support frame 22 are formed. , It is rotatable on the moving unit 3. As a result, the directions of both the discharge portions 23 and 24 attached to the lower surface plate 221 can be changed, and the discharge portions 23 and 24 can face each other with respect to the glass plate 10.
＜３．研磨システムの動作＞
＜３−１．支持体の移動＞
続いて、上記のように構成された研磨システムの動作について図８〜図１０を参照しつつ説明する。なお、以下の説明では、各図中に記載の方向に基づいて説明を行う。まず、支持体２の動作について説明する。上記のように、支持体２は、移動ユニット３により、左右方向に移動し、ガラス板１０は搬送ユニット３により前後方向に移動する。これら２つのユニット３，４の移動により、支持体２がガラス板１０の周囲の４辺を相対的に移動するようになっている。ここでは、説明の便宜上、ガラス板１０の４辺を、第１辺１０１，第２辺１０２，第３辺１０３，及び第４辺１０４と称することとする。以下、説明する。
<3. Polishing system operation>
<3-1. Movement of support>
Subsequently, the operation of the polishing system configured as described above will be described with reference to FIGS. 8 to 10. In the following description, the description will be given based on the directions described in each figure. First, the operation of the support 2 will be described. As described above, the support 2 is moved in the left-right direction by the moving unit 3, and the glass plate 10 is moved in the front-back direction by the transport unit 3. Due to the movement of these two units 3 and 4, the support 2 moves relatively on the four sides around the glass plate 10. Here, for convenience of explanation, the four sides of the glass plate 10 will be referred to as a first side 101, a second side 102, a third side 103, and a fourth side 104. This will be described below.
まず、図８（ａ）に示すように、待機位置Ａにある搬送ユニット４を駆動して支持台４１を前方に移動させる。次に、図８（ｂ）に示すように、移動ユニット３を駆動し、支持体２をガラス板１０の第１辺１０１の端部、つまり第１辺１０１と第４辺１０４との連結部分である角部に配置する。このとき、支持体２を移動ユニット３上で回転させ、両吐出部２３，２４がガラス板１０を向くようにする。また、本体部２１のモータを駆動し、砥石１を回転させつつ、両吐出部２３，２４から冷却液を吐出しておく。そして、ガラス板１０を前方に移動させ、両吐出部２３，２４の間から砥石１の表面にガラス板１０の端縁を当接させる。 First, as shown in FIG. 8A, the transport unit 4 at the standby position A is driven to move the support base 41 forward. Next, as shown in FIG. 8B, the moving unit 3 is driven, and the support 2 is connected to the end of the first side 101 of the glass plate 10, that is, the connecting portion between the first side 101 and the fourth side 104. Place it in the corner. At this time, the support 2 is rotated on the moving unit 3 so that both discharge portions 23 and 24 face the glass plate 10. Further, the motor of the main body 21 is driven to rotate the grindstone 1, and the coolant is discharged from both the discharge units 23 and 24. Then, the glass plate 10 is moved forward, and the edge of the glass plate 10 is brought into contact with the surface of the grindstone 1 from between the ejection portions 23 and 24.
この状態で、移動ユニット３を駆動し、支持体２を右方向に移動する。すなわち、支持体２をガラス板１０の第１辺１０１に沿って移動させ、これによってガラス板１０の第１辺１０１が研磨される。このとき、支持体２は左右方向にしか移動しないため、図３に示すように、支持体２に連結された吸引管７は、伸縮部材７５によって伸縮することで支持体の左右方向に動作に追従する。 In this state, the moving unit 3 is driven to move the support 2 to the right. That is, the support 2 is moved along the first side 101 of the glass plate 10, whereby the first side 101 of the glass plate 10 is polished. At this time, since the support 2 moves only in the left-right direction, as shown in FIG. 3, the suction pipe 7 connected to the support 2 moves in the left-right direction of the support by expanding and contracting by the expansion / contraction member 75. Follow.
そして、図９（ａ）に示すように、支持体２がガラス板１０の第１辺１０１と第２辺１０２との連結部分に到達すると、支持体２を回転させ、両吐出部２３，２４がガラス板１０の第２辺１０２を向くようにする。これに続いて、砥石１をガラス板１０に当接させた状態で、支持台４１を前方に移動させると、支持体２は、相対的にガラス板１０の第２辺１０２に沿って移動し、これによって、第２辺１０２が研磨される。 Then, as shown in FIG. 9A, when the support 2 reaches the connecting portion between the first side 101 and the second side 102 of the glass plate 10, the support 2 is rotated to rotate both the discharge portions 23 and 24. Is facing the second side 102 of the glass plate 10. Following this, when the support base 41 is moved forward with the grindstone 1 in contact with the glass plate 10, the support 2 moves relatively along the second side 102 of the glass plate 10. As a result, the second side 102 is polished.
こうして、図９（ｂ）に示すように、支持体２が第２辺１０２と第３辺１０３との連結部分まで到達すると、支持体２を回転させ、両吐出部２３，２４がガラス板１０の第３辺１０３を向くようにする。これに続いて、砥石１をガラス板１０に当接させた状態で、移動ユニット３を左方向に移動させる。これにより、第３辺１０３が研磨される。 In this way, as shown in FIG. 9B, when the support 2 reaches the connecting portion between the second side 102 and the third side 103, the support 2 is rotated and both discharge portions 23 and 24 are formed on the glass plate 10. The third side 103 of is facing. Following this, the moving unit 3 is moved to the left with the grindstone 1 in contact with the glass plate 10. As a result, the third side 103 is polished.
そして、図１０（ａ）に示すように、支持体２がガラス板１０の第３辺１０３と第４辺１０４との連結部分に到達すると、支持体２を回転させ、両吐出部２３，２４がガラス板１０の第４辺１０４を向くようにする。これに続いて、砥石１をガラス板１０に当接させた状態で、支持台４１を後方に移動させると、支持体２は、相対的にガラス板１０の第４辺１０４に沿って移動し、これによって、第４辺１０４が研磨される。 Then, as shown in FIG. 10A, when the support 2 reaches the connecting portion between the third side 103 and the fourth side 104 of the glass plate 10, the support 2 is rotated to rotate both the discharge portions 23 and 24. Is facing the fourth side 104 of the glass plate 10. Following this, when the support base 41 is moved rearward with the grindstone 1 in contact with the glass plate 10, the support 2 moves relatively along the fourth side 104 of the glass plate 10. As a result, the fourth side 104 is polished.
以上のようにガラス板１０の４つの辺１０１〜１０４が研磨されると、図１０（ｂ）の状態から、搬送ユニット４により、ガラス板１０は図８（ａ）に示す待機位置Ａまで後退する。そして、この待機位置Ａにおいてガラス板１０が支持台４１から取り外され、新たに研磨前のガラス板１０を支持台４１に配置し、その後、図８〜図１０の手順が繰り返され、ガラス板の研磨が行われる。 When the four sides 101 to 104 of the glass plate 10 are polished as described above, the glass plate 10 is retracted from the state shown in FIG. 10B to the standby position A shown in FIG. 8A by the transport unit 4. To do. Then, at this standby position A, the glass plate 10 is removed from the support base 41, the glass plate 10 before polishing is newly placed on the support base 41, and then the procedures of FIGS. 8 to 10 are repeated to obtain the glass plate. Polishing is done.
＜３−２．冷却液の供給＞
続いて、冷却液の供給について図１１及び図１２も参照しつつ説明する。クーラントポンプ８により供給管２８を介して第１及び第２吐出部２３，２４に供給された冷却液は、回転する砥石１とガラス板１０との当接部分（研磨位置）及びその近傍に吹き付けられる。より詳細に説明すると、図５に示すように、第１吐出部２３のノズル２３１から吐出された冷却液は、ガラス板１０の上面側から吹き付けられる。このとき、冷却液は、研磨位置を挟んで砥石１の回転方向の上流側から下流側に亘って吹き付けられる。一方、第２吐出部２４では、３つのノズル２４２ａ〜２４２ｃから吐出された冷却液がガラス板１０の下面側から吹き付けられる。このように、両吐出部２３，２４から吹き付けられた冷却液は、研磨位置を挟んで砥石１の回転方向の上流側から下流側に亘って吹き付けられるが、これにより、次の効果を奏する。
<3-2. Coolant supply>
Subsequently, the supply of the coolant will be described with reference to FIGS. 11 and 12. The coolant supplied by the coolant pump 8 to the first and second discharge portions 23 and 24 via the supply pipe 28 is sprayed on the contact portion (polishing position) between the rotating grindstone 1 and the glass plate 10 and its vicinity. Be done. More specifically, as shown in FIG. 5, the coolant discharged from the nozzle 231 of the first discharge unit 23 is sprayed from the upper surface side of the glass plate 10. At this time, the coolant is sprayed from the upstream side to the downstream side in the rotation direction of the grindstone 1 with the polishing position in between. On the other hand, in the second discharge unit 24, the coolant discharged from the three nozzles 242a to 242c is sprayed from the lower surface side of the glass plate 10. In this way, the coolant sprayed from both the discharge portions 23 and 24 is sprayed from the upstream side to the downstream side in the rotation direction of the grindstone 1 with the polishing position sandwiched between them, which has the following effects.
まず、砥石１は高速で回転しているため、その遠心力により冷却液が砥石１から剥がれ、砥石１の表面には空気層が形成される。そのため、砥石１の研磨位置に向かって冷却液を吹き付けても空気層によって冷却液の吹きつけが妨げられ、砥石１及びガラス板１０を冷却できないおそれがある。これに対して、回転方向の上流側から砥石１に向かって冷却液を吹き付けると、図１１に示すように、空気層を破壊することができ、研磨位置において冷却液を確実に砥石１及びガラス板１０に当てることができる。なお、図１１では、第２吐出部２４についてのみ図示しているが、第１吐出部２３についても同様の動作が行われる。 First, since the grindstone 1 is rotating at a high speed, the coolant is peeled off from the grindstone 1 due to its centrifugal force, and an air layer is formed on the surface of the grindstone 1. Therefore, even if the coolant is sprayed toward the polishing position of the grindstone 1, the air layer hinders the spraying of the coolant, and the grindstone 1 and the glass plate 10 may not be cooled. On the other hand, when the coolant is sprayed from the upstream side in the rotation direction toward the grindstone 1, the air layer can be destroyed as shown in FIG. 11, and the coolant can be reliably applied to the grindstone 1 and the glass at the polishing position. It can be applied to the plate 10. Although only the second discharge unit 24 is shown in FIG. 11, the same operation is performed for the first discharge unit 23 as well.
一方、回転方向の下流側で砥石１に冷却液を吹き付けると、研磨により生じたガラス粉を砥石１から除去することができる。その結果、砥石１にガラス粉が付着するのが防止され、研磨精度が低下するのを防止することができる。 On the other hand, when the coolant is sprayed on the grindstone 1 on the downstream side in the rotation direction, the glass powder generated by polishing can be removed from the grindstone 1. As a result, it is possible to prevent the glass powder from adhering to the grindstone 1 and prevent the polishing accuracy from being lowered.
また、第１及び第２吐出部２３，２４のノズル２３１、２４２ａ〜２４２ｃは、ともに水平方向に長径を有する楕円状に形成されているため、図１２に示すように、ノズル２３１、２４２ａ〜２４２ｃから吐出された冷却液は、水平方向に広がりながら、ガラス板１０の面方向に沿って砥石１に吹き付けられる。すなわち、冷却液は上方又は下方には広がらないため、冷却液の吹きつけが必要な箇所、つまりガラス板１０の面方向に沿う部分に対する水圧を向上することができる。そのため、冷却効果を向上することができる。なお、図１２では、第１吐出部２３についてのみ図示しているが、第２吐出部２４についても同様である。 Further, since the nozzles 231 and 242a to 242c of the first and second discharge portions 23 and 24 are both formed in an elliptical shape having a major axis in the horizontal direction, the nozzles 231 and 242a to 242c are as shown in FIG. The coolant discharged from the glass plate 10 is sprayed onto the grindstone 1 along the surface direction of the glass plate 10 while spreading in the horizontal direction. That is, since the coolant does not spread upward or downward, it is possible to improve the water pressure on the portion where the coolant needs to be sprayed, that is, the portion along the surface direction of the glass plate 10. Therefore, the cooling effect can be improved. Although only the first discharge unit 23 is shown in FIG. 12, the same applies to the second discharge unit 24.
こうして、砥石１に吹き付けられた冷却液は下方に落下し、受け部２５に貯留される。ここで、受け部２５の上方にある開口２２４は、支持フレーム２２の内部空間Ｓ、連結部材２２３を介して吸引管７に連通している。そして、吸引管７の端部には、吸引ブロワー５１が配置され、冷却液を吸引しているため、受け部２５に貯留された冷却液は、吸引管７へ流れ込む。また、吸引ブロワー５１に加え、受け部２５には、羽根車２５３が設けられているため、これも冷却液の吸引に寄与する。すなわち、この羽根車２５３は砥石１の直下に配置されているため、砥石１の回転につられて回転するようになっている。そして、この羽根車２５３の回転により、受け部２５に溜まった冷却液は、径方向外方に遠心力を受けるため、図５の矢印に示すように、底面２５１の周縁に向かって流れる。そして、さらに遠心力を受けた冷却液は、底面２５１から壁部２５２に沿って上方に向かい、開口２２４から内部空間Ｓに流入する。そのため、羽根車２５３によって、吸引ブロワー５１の出力を高くすることなく、冷却液の吸引管７への吸引を助長することができる。 In this way, the coolant sprayed on the grindstone 1 falls downward and is stored in the receiving portion 25. Here, the opening 224 above the receiving portion 25 communicates with the suction pipe 7 via the internal space S of the support frame 22 and the connecting member 223. A suction blower 51 is arranged at the end of the suction pipe 7 to suck the cooling liquid, so that the cooling liquid stored in the receiving portion 25 flows into the suction pipe 7. Further, in addition to the suction blower 51, the receiving portion 25 is provided with an impeller 253, which also contributes to suction of the coolant. That is, since the impeller 253 is arranged directly under the grindstone 1, it rotates with the rotation of the grindstone 1. Then, due to the rotation of the impeller 253, the coolant accumulated in the receiving portion 25 receives centrifugal force outward in the radial direction, so that it flows toward the peripheral edge of the bottom surface 251 as shown by the arrow in FIG. Then, the coolant further subjected to the centrifugal force goes upward from the bottom surface 251 along the wall portion 252 and flows into the internal space S from the opening 224. Therefore, the impeller 253 can promote the suction of the coolant to the suction pipe 7 without increasing the output of the suction blower 51.
こうして、吸引管７へ吸引された冷却液は、タンク５に貯留され、その後、リターンポンプ５２によって遠心分離機６に送られる。そして、遠心分離機６で後述するようにガラス粉が分離された冷却液は、クーラントポンプ８により各吐出部２３，２４に供給される。こうして、冷却液は、研磨システム内で循環する。 The coolant sucked into the suction pipe 7 is stored in the tank 5 and then sent to the centrifuge 6 by the return pump 52. Then, as will be described later in the centrifuge 6, the coolant from which the glass powder has been separated is supplied to the discharge units 23 and 24 by the coolant pump 8. Thus, the coolant circulates within the polishing system.
＜４．特徴＞
以上のように、本実施形態によれば、吸引管７が主として剛性材料で形成されているため、ゴムなどの可撓性のある材料で吸引管全体を構成する場合に比べ、破損を低減することができる。また、可撓性材料のように冷却液の重量で垂れ下がったりすることがないため、圧力損失を低減することができる。したがって、冷却液を確実に吸引することができる。
<4. Features>
As described above, according to the present embodiment, since the suction tube 7 is mainly made of a rigid material, damage is reduced as compared with the case where the entire suction tube is made of a flexible material such as rubber. be able to. Further, unlike the flexible material, it does not hang down due to the weight of the coolant, so that the pressure loss can be reduced. Therefore, the coolant can be reliably sucked.
また、吸引管７は、弾性材料で形成された伸縮部材７５により、両管部材７３，７４が連結されているため、吸引管７の剛性を保ちつつ、伸縮可能とすることができる。また、吸引管７の支持体２に追従する動作による振動を、伸縮部材７５より吸収することができるため、振動が支持体２に伝達するのを防止することができる。これにより、研磨時にガラス板１０に振動が伝達するのを防止でき、ガラス板１０の端縁が波状に形成されるのを防止することができる。 Further, since the suction pipe 7 is connected to both the pipe members 73 and 74 by the expansion / contraction member 75 made of the elastic material, the suction pipe 7 can be expanded / contracted while maintaining the rigidity of the suction pipe 7. Further, since the vibration caused by the operation of following the support 2 of the suction pipe 7 can be absorbed by the telescopic member 75, it is possible to prevent the vibration from being transmitted to the support 2. As a result, it is possible to prevent vibration from being transmitted to the glass plate 10 during polishing, and it is possible to prevent the edge of the glass plate 10 from being formed in a wavy shape.
＜５．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。そして、以下に示す複数の変形例は適宜組合わせることが可能である。
<5. Modification example>
Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Then, the plurality of modifications shown below can be combined as appropriate.
＜５−１＞
上記のようなガラス板を研磨すると、研磨によるガラス粉が発生し、冷却液とともに冷却液供給装置内を循環する。ところが、ガラス粉は凝集して固まる性質があり、冷却液供給装置内の循環経路の内壁面に付着して成長する傾向にある。そして、内壁において成長したガラス粉は、内壁面から離脱し、塊となって循環経路内を流れ、吐出部のノズルに詰まったり、他のフィルターなどに詰まるおそれがある。特にノズル２３１，２４２の内径が小さいと、ガラス粉が詰まりやすく、これによって、研磨箇所へ冷却液を十分に塗布することができないおそれがある。また、管の内壁面に塊が付着することで管が損傷するおそれもある。そこで、このようなガラス粉が成長する前に、循環経路の内壁面に付着したガラス粉を除去するため、以下では、バブリング洗浄を行う機器を装着した例について図１３を参照しつつ説明する。
<5-1>
When the above glass plate is polished, glass powder is generated by the polishing and circulates in the coolant supply device together with the coolant. However, the glass powder has a property of agglomerating and solidifying, and tends to adhere to the inner wall surface of the circulation path in the coolant supply device and grow. Then, the glass powder grown on the inner wall surface may separate from the inner wall surface and flow in the circulation path as a lump, which may clog the nozzle of the discharge portion or clog other filters or the like. In particular, if the inner diameters of the nozzles 231 and 242 are small, the glass powder is likely to be clogged, which may make it impossible to sufficiently apply the coolant to the polished portion. In addition, the pipe may be damaged due to the lumps adhering to the inner wall surface of the pipe. Therefore, in order to remove the glass powder adhering to the inner wall surface of the circulation path before such glass powder grows, an example in which a device for bubbling cleaning is attached will be described below with reference to FIG.
図１３に示すように、この例に係る研磨システムでは、ポンプ８の下流側の第３経路９３に、バブリング洗浄用の気体を注入するためのエアー源（気体注入部）８１を取り付けている。このエアー源８１により、第３経路９３へは細かい気泡が供給される。また、図示を省略するコントローラにより、エアー源８１からは、断続的に気泡が供給されるようにすることができる。例えば、１秒間気泡を供給後、３秒停止するのを繰り返すことができる。これにより、運転コストを低減することができる。 As shown in FIG. 13, in the polishing system according to this example, an air source (gas injection section) 81 for injecting a gas for bubbling cleaning is attached to a third path 93 on the downstream side of the pump 8. Fine bubbles are supplied to the third path 93 by the air source 81. Further, by a controller (not shown), air bubbles can be intermittently supplied from the air source 81. For example, it is possible to repeat supplying bubbles for 1 second and then stopping for 3 seconds. As a result, the operating cost can be reduced.
また、図１３に示すように、第３経路９３において、エアー源８１より下流側で、エアー源８１と支持体２との間にバスパス経路９５を取り付ける。このバイパス経路９５の下流の端部は、第４経路９４に取り付ける。なお、バイパス経路９５の下流側の端部はタンク５に直接接続することもできる。また、バイパス経路９５あるいは第３経路９４には適宜弁などの流量調整手段を取り付けることができる。 Further, as shown in FIG. 13, in the third path 93, a bus path path 95 is attached between the air source 81 and the support 2 on the downstream side of the air source 81. The downstream end of this bypass path 95 is attached to the fourth path 94. The downstream end of the bypass path 95 can also be directly connected to the tank 5. Further, a flow rate adjusting means such as a valve can be appropriately attached to the bypass path 95 or the third path 94.
続いて、図１３のように構成された研磨システムの動作について説明する。研磨後、吸引管７を通過した冷却液は、第４経路９４を経てタンク５に貯留される。この冷却液の中には、研磨で発生したガラス粉が含まれる。そして、冷却液の中のガラス粉の一部はタンク５内で沈殿する。タンク５から第１経路９１を経て遠心分離機６に送られた冷却液は、遠心分離機６によりガラス粉が分離された後、ポンプ８によって吸引され、第２経路９２を経て第３経路９３へ流れる。遠心分離機６では多くのガラス粉が除去されるが、それでもなお冷却液にはガラス粉が含まれる。特に、第２及び第３経路９２，９３から支持体２への経路は、冷却液を吐出するノズル２３１，２４２の直前の経路であるため、ここでガラス粉を除去できると、ノズル２３１，２４２の詰まりを効果的に防止することができる。 Subsequently, the operation of the polishing system configured as shown in FIG. 13 will be described. After polishing, the coolant that has passed through the suction pipe 7 is stored in the tank 5 via the fourth path 94. This coolant contains glass powder generated by polishing. Then, a part of the glass powder in the coolant is settled in the tank 5. The coolant sent from the tank 5 to the centrifuge 6 via the first path 91 is sucked by the pump 8 after the glass powder is separated by the centrifuge 6, and is sucked by the pump 8 and passed through the second path 92 to the third path 93. Flow to. The centrifuge 6 removes a lot of glass powder, but the coolant still contains glass powder. In particular, since the paths from the second and third paths 92 and 93 to the support 2 are the paths immediately before the nozzles 231 and 242 for discharging the coolant, if the glass powder can be removed here, the nozzles 231 and 242 Can effectively prevent clogging.
そこで、第３経路９３において、エアー源８１より気泡を注入し、バブリング洗浄を行う。すなわち、経路の内壁面に付着したガラス粉に気泡を衝突させ、ガラス粉を内壁面から剥がす。これにより、ガラス粉が内壁面で成長することなく、細かい粒子のまま冷却液とともに循環するため、ノズル２３１，２４２の詰まりを防止することができる。 Therefore, in the third path 93, air bubbles are injected from the air source 81 to perform bubbling cleaning. That is, the air bubbles collide with the glass powder adhering to the inner wall surface of the path, and the glass powder is peeled off from the inner wall surface. As a result, the glass powder does not grow on the inner wall surface and circulates together with the coolant as fine particles, so that clogging of the nozzles 231 and 242 can be prevented.
上記のように、ガラス粉は経路の内壁面に付着するため、冷却液が内壁面に接触するように流した上で、気泡を内壁面に衝突させなければならない。そのためには、経路の管内を冷却液で満たした状態にする必要がある。例えば、管が冷却液で満たされていないと、管の内壁面には冷却液が接しない領域が生じ、気泡を衝突させることができない。そこで、この例では、ポンプ８の出力を大きくして冷却液の吸引量を大きくし、第３経路９３の管が冷却液で満たされるようにする。但し、研磨箇所に大量の冷却液を吐出すると、研磨によるガラス板の表面性状が悪くなるおそれがある。そこで、上記のように、第３経路９３の下流側にバイパス経路９５を設けると、バブリング洗浄を行った後の冷却液の一部を第４経路９４またはタンク５に逃がすことができる。その結果、ノズル２３１，２４２から吐出される冷却液の量を低減することができ、ガラス板の表面性状の悪化を防止することができる。なお、上記システムを実施したところ、図２のようにポンプ８の出力を大きくしていないシステムでは、第３経路９３の管内の圧力は０．２０ＭＰａであったが、図１３のように、ポンプ８の出力を大きくし、さらにバイパス経路９５を設けたシステムでは、第３経路９３の管内の圧力は０．４５ＭＰａであった。これにより、第３経路９３の管内のガラス粉を十分に除去することができた。この観点から、第３経路９３の管内の圧力は０．３ＭＰａ以上が好ましく、０．４ＭＰａ以上であることがさらに好ましい。 As described above, since the glass powder adheres to the inner wall surface of the path, the cooling liquid must be flowed so as to come into contact with the inner wall surface, and then the air bubbles must collide with the inner wall surface. For that purpose, it is necessary to fill the inside of the path pipe with the coolant. For example, if the pipe is not filled with the coolant, there is a region on the inner wall surface of the pipe that is not in contact with the coolant, and the bubbles cannot collide with each other. Therefore, in this example, the output of the pump 8 is increased to increase the suction amount of the coolant so that the pipe of the third path 93 is filled with the coolant. However, if a large amount of coolant is discharged to the polished portion, the surface texture of the glass plate due to polishing may deteriorate. Therefore, if the bypass path 95 is provided on the downstream side of the third path 93 as described above, a part of the cooling liquid after the bubbling cleaning can be released to the fourth path 94 or the tank 5. As a result, the amount of the coolant discharged from the nozzles 231 and 242 can be reduced, and deterioration of the surface texture of the glass plate can be prevented. When the above system was implemented, the pressure in the pipe of the third path 93 was 0.20 MPa in the system in which the output of the pump 8 was not increased as shown in FIG. 2, but the pump was shown in FIG. In the system in which the output of No. 8 was increased and the bypass path 95 was further provided, the pressure in the pipe of the third path 93 was 0.45 MPa. As a result, the glass powder in the tube of the third route 93 could be sufficiently removed. From this viewpoint, the pressure in the pipe of the third path 93 is preferably 0.3 MPa or more, and more preferably 0.4 MPa or more.
このような気泡の供給は、ガラス板の研磨を行っていないときに行うことが好ましい。これは、気泡を含む冷却液を研磨箇所に吐出すると、これによって、ガラス板の表面性状が悪くなるおそれがあるためである。よって、気泡の供給は、例えば、ガラス板の交換のタイミングや、メンテナンスのタイミングなどの研磨を行っていないときに行うことが好ましい。このように、わずかな時間の気泡の供給であっても、ノズルの詰まりを防止できるなど、十分な効果が確認されている。 It is preferable to supply such bubbles when the glass plate is not polished. This is because when the coolant containing air bubbles is discharged to the polished portion, the surface texture of the glass plate may be deteriorated due to this. Therefore, it is preferable to supply the bubbles when, for example, the glass plate is replaced or the maintenance is not performed. As described above, even if the air bubbles are supplied for a short time, sufficient effects such as prevention of nozzle clogging have been confirmed.
なお、図１３の例は、一例であり、エアー源８１の配置箇所は特には限定されない。また、遠心分離機６の配置位置も特には限定されず、遠心分離機以外の方法で、ガラス粉を分離することもできる。また、冷却液の量によっては、バイパス経路を必ずしも設ける必要はない。 The example of FIG. 13 is an example, and the location of the air source 81 is not particularly limited. Further, the arrangement position of the centrifuge 6 is not particularly limited, and the glass powder can be separated by a method other than the centrifuge. Further, depending on the amount of the coolant, it is not always necessary to provide a bypass path.
ところで、上記のようなエアー源８１を設けると、その気泡が含まれた冷却水がタンク５に戻されたとき、気泡によってタンク５が溢れるおそれがある。そこで、タンク５への冷却液の流入部分、つまり第４経路９４の下流側に消泡器を設けることが好ましい。消泡器としては、例えば、図１４に示すものを用いることができる。同図に示すように、この消泡器８０は、外管８２と内管８３とを有する２重管構造になっている。外管８０の軸方向の上下の端部は外部に開放されており、また、外周面の上部には複数の貫通孔８２１が形成されている。一方、内管８３において、軸方向の上方の端部は外部に開放され、ここから冷却水が流入するが、内管８３の下方の端部は外管８２の下端部とほぼ一致するとともに、閉じられている。また、内管８３の外周面には複数の貫通孔８３１が形成されているが、最も上方に形成されている貫通孔８３１ａは、外管８２の貫通孔８３１よりも低い位置に配置されている。 By the way, if the air source 81 as described above is provided, when the cooling water containing the bubbles is returned to the tank 5, the tank 5 may overflow due to the bubbles. Therefore, it is preferable to provide a defoamer on the inflow portion of the coolant into the tank 5, that is, on the downstream side of the fourth path 94. As the defoamer, for example, the one shown in FIG. 14 can be used. As shown in the figure, the defoamer 80 has a double pipe structure having an outer pipe 82 and an inner pipe 83. The upper and lower ends of the outer tube 80 in the axial direction are open to the outside, and a plurality of through holes 821 are formed in the upper part of the outer peripheral surface. On the other hand, in the inner pipe 83, the upper end portion in the axial direction is opened to the outside and cooling water flows in from here, but the lower end portion of the inner pipe 83 substantially coincides with the lower end portion of the outer pipe 82 and also It is closed. Further, a plurality of through holes 831 are formed on the outer peripheral surface of the inner pipe 83, and the through hole 831a formed at the uppermost position is arranged at a position lower than the through hole 831 of the outer pipe 82. ..
以上のような消泡器８０は次のように動作する。まず、冷却水が内管８３の上端から注入されると、この冷却水は貫通孔８３１を介して、内管８３と外管８２との間の空間に排出される。この空間において、冷却水中の気泡は上方に浮き上がり、外管８２の外部のタンク５へ排出されることなく、空気中へ放出される。そして、気泡が離脱した冷却水は、外管８２の上部の貫通孔８２１からタンク５内へ排出される。また、外管８２の下方の端部からも冷却水はタンク５へ排出される。 The defoamer 80 as described above operates as follows. First, when the cooling water is injected from the upper end of the inner pipe 83, the cooling water is discharged into the space between the inner pipe 83 and the outer pipe 82 through the through hole 831. In this space, the bubbles in the cooling water float upward and are discharged into the air without being discharged to the tank 5 outside the outer pipe 82. Then, the cooling water from which the bubbles have escaped is discharged into the tank 5 from the through hole 821 at the upper part of the outer pipe 82. The cooling water is also discharged to the tank 5 from the lower end of the outer pipe 82.
また、外管８２の貫通孔８２１は、内管８３の貫通孔８３１よりも上方に形成されているため、これにより、内管８３と外管８２との間において、気泡が空気中に放出された時に液面で衝撃が生じても、外管８２の外部の液面に衝撃が伝わることを抑制することができる。 Further, since the through hole 821 of the outer pipe 82 is formed above the through hole 831 of the inner pipe 83, air bubbles are released into the air between the inner pipe 83 and the outer pipe 82. Even if an impact occurs on the liquid surface at that time, it is possible to suppress the impact from being transmitted to the liquid surface outside the outer tube 82.
＜５−２＞
上記実施形態では、吸引管７が剛性材料からなる２つの管部材７３，７４と、弾性材料からなる伸縮部材７５とで、構成されているが、吸引管全体を剛性材料で形成することもできる。例えば、第１管部材７３を第２管部材７４よりも大径に形成し、第１管部材に第２管部材を挿入しスライド可能とする。これにより、吸引管を伸縮可能とすることができる。
<5-2>
In the above embodiment, the suction pipe 7 is composed of two pipe members 73 and 74 made of a rigid material and an elastic member 75 made of an elastic material, but the entire suction pipe can also be formed of a rigid material. .. For example, the first pipe member 73 is formed to have a diameter larger than that of the second pipe member 74, and the second pipe member is inserted into the first pipe member to make it slidable. As a result, the suction tube can be expanded and contracted.
＜５−３＞
上記実施形態に係る研磨システムでは、冷却液を循環させているが、循環させず、供給後、回収した冷却液を貯留したり、廃棄することもできる。
<5-3>
In the polishing system according to the above embodiment, the coolant is circulated, but the coolant may not be circulated and the recovered coolant may be stored or discarded after being supplied.
＜５−４＞
冷却液の吐出部２３，２４の構成は、上記実施形態に限定されず、吐出部は、第１または第２吐出部２３，２４のいずれか一方でもよい。また、第１吐出部２３には、多数のノズル２３１を設けているが、第２吐出部２４のように３箇所にノズルを設けることもできる。反対に、第２吐出部２４に、第１吐出部２３のように多数のノズルを設けることもできる。
<5-4>
The configuration of the coolant discharge units 23 and 24 is not limited to the above embodiment, and the discharge unit may be either the first or second discharge units 23 and 24. Further, although the first discharge unit 23 is provided with a large number of nozzles 231 but it is also possible to provide nozzles at three locations like the second discharge unit 24. On the contrary, the second discharge unit 24 may be provided with a large number of nozzles like the first discharge unit 23.
＜５−５＞
上記実施形態では、移動ユニット３と搬送ユニット４の双方の動作により、支持体２がガラス板１０の周囲を相対的に移動するように構成されているが、いずれか一方を動作させることで、研磨を行うこともできる。
<5-5>
In the above embodiment, the support 2 is configured to move relatively around the glass plate 10 by the operation of both the moving unit 3 and the transport unit 4, but by operating either one, the support 2 is configured to move relatively. Polishing can also be performed.
＜５−６＞
ガラス板１０は種々のものを対象とすることができ、上記のような矩形状のもの以外の円形状、多角形状、異形状など種々の形状を対象とすることができる。また、ガラス板１０の端縁に溝（インナーカーブ）が形成されているものも研磨対象とすることができる。この場合、砥石１の溝１１と溝１１の間の突部をインナーカーブに嵌め込んで研磨を行うことができる。
<5-6>
The glass plate 10 can be made of various shapes, and can be made of various shapes such as a circular shape, a polygonal shape, and a different shape other than the rectangular shape as described above. Further, a glass plate 10 having a groove (inner curve) formed at the edge thereof can also be a target for polishing. In this case, the protrusion between the groove 11 and the groove 11 of the grindstone 1 can be fitted into the inner curve for polishing.
１ ：砥石
２ ：支持体
７ ：吸引管
１０ ：ガラス板
２３ ：第１吐出部
２４ ：第２吐出部
２５ ：受け部
２７ ：羽根車
７３ ：第１管部材
７４ ：第２管部材
７５ ：伸縮部材
２３１ ：ノズル
２４２ａ ：ノズル
２４２ｂ ：ノズル
２４２ｃ ：ノズル
２５３ ：羽根車
1: Grindstone 2: Support 7: Suction pipe 10: Glass plate 23: First discharge part 24: Second discharge part 25: Receiving part 27: Impeller 73: First pipe member 74: Second pipe member 75: Expansion and contraction Member 231: Nozzle 242a: Nozzle 242b: Nozzle 242c: Nozzle 253: Impeller
Claims (10)
前記ガラス板の端縁を研磨する砥石と、
前記砥石を回転可能に支持するとともに、前記ガラス板の端縁に沿って相対的に移動可能な支持体と、
前記砥石に冷却液を供給する冷却液供給装置と、
を備え、
前記冷却液供給装置は、
前記砥石による前記ガラス板の研磨位置に、冷却液を供給する供給ユニットと、
前記支持体において前記砥石に供給された後の冷却液を吸引する吸引管であって、主として剛性材料で形成されている、吸引管と、
を備え、
前記吸引管は、前記剛性材料により形成された第１管部材及び第２管部材と、当該第１管部材と第２管部材とを連結する伸縮可能な弾性材料で形成された伸縮部材と、を備え、
前記吸引管を構成する前記第１管部材、前記第２管部材、及び前記伸縮部材のいずれもが、前記支持体の前記相対的な移動に追従するように構成されている、研磨システム。 A polishing system that polishes glass plates
A grindstone that polishes the edge of the glass plate,
A support that rotatably supports the grindstone and is relatively movable along the edge of the glass plate.
A coolant supply device that supplies coolant to the grindstone,
With
The coolant supply device is
A supply unit that supplies the cooling liquid to the polishing position of the glass plate by the grindstone, and
A suction tube that sucks the cooling liquid after being supplied to the grindstone in the support , and is mainly made of a rigid material .
With
The suction tube includes a first tube member and the second tube member formed of the rigid material, and said first tube member and the elastic member formed of a stretchable elastic material connecting the second pipe member, With
A polishing system in which all of the first pipe member, the second pipe member, and the telescopic member constituting the suction pipe are configured to follow the relative movement of the support.
前記ガラス板と砥石との当接部分において、前記ガラス板の一方面から冷却液を吐出する第１吐出部と、前記ガラス板の他方面から冷却液を吐出する第２吐出部と、を備えている、請求項１に記載の研磨システム。 The supply unit is
At the contact portion between the glass plate and the grindstone, a first discharge portion for discharging the coolant from one surface of the glass plate and a second discharge portion for discharging the coolant from the other surface of the glass plate are provided. The polishing system according to claim 1.
前記受け部に溜まる冷却液を前記吸引管に流す連通部と、を備え、
前記受け部には、前記冷却液を前記連通部側へ案内する、回転可能な羽根車が設けられている、請求項１または２に記載の研磨システム。 The support includes a receiving portion that receives the cooling liquid discharged from the first and second discharging portions, and a receiving portion that receives the coolant discharged from the first and second discharging portions.
A communication portion for flowing the cooling liquid accumulated in the receiving portion to the suction pipe is provided.
The polishing system according to claim 1 or 2 , wherein the receiving portion is provided with a rotatable impeller that guides the coolant to the communication portion side.
前記各ノズルは、前記ガラス板の面方向に沿う長径を有する楕円形状に形成されている、請求項３に記載の研磨システム。 Each of the discharge units is provided with a plurality of nozzles.
The polishing system according to claim 3 , wherein each nozzle is formed in an elliptical shape having a major axis along the surface direction of the glass plate.
前記供給ユニットへ供給した冷却液を回収した後、回収した冷却液を前記供給ユニットに供給する循環経路と、
前記循環経路に、バブリング洗浄用の気体を注入する気体注入部と、
をさらに備えている、請求項１から６のいずれかに記載の研磨システム。 The coolant supply device is
After recovering the coolant supplied to the supply unit, a circulation path for supplying the recovered coolant to the supply unit, and
A gas injection unit that injects a gas for bubbling cleaning into the circulation path,
The polishing system according to any one of claims 1 to 6, further comprising.
前記循環経路に設けられ、回収された冷却液と当該冷却液中のガラス粉とを分離する遠心分離機をさらに備え、
前記気体注入部は、前記遠心分離機から前記供給ユニットへ向かう冷却液に対して、前記気体を供給するように構成されている、請求項７に記載の研磨システム。 The coolant supply device is
A centrifuge provided in the circulation path to separate the recovered coolant and the glass powder in the coolant is further provided.
The polishing system according to claim 7 , wherein the gas injection unit is configured to supply the gas to a cooling liquid directed from the centrifuge to the supply unit.
前記循環経路において、冷却液を循環させるためのポンプと、
前記循環経路において、前記ポンプの下流側に設けられ、当該ポンプと前記供給ユニットの間を流れる冷却液を、前記供給ユニットの下流側に流すバイパス経路と、
をさらに備え、
前記バイパス経路は、前記気体注入部の下流側と前記供給ユニットの下流側とを連結し、
前記気体が注入された前記バブリング洗浄用の前記冷却液の一部を、前記バイパス経路によって前記供給ユニットの下流側に流すことで、前記供給ユニットから供給される前記冷却水の量を低減可能に構成されている、請求項７または８に記載の研磨システム。
The coolant supply device is
In the circulation path, a pump for circulating the coolant and
In the circulation path, a bypass path provided on the downstream side of the pump and flowing a coolant flowing between the pump and the supply unit to the downstream side of the supply unit, and a bypass path.
For example further Bei a,
The bypass path connects the downstream side of the gas injection section and the downstream side of the supply unit.
The amount of the cooling water supplied from the supply unit can be reduced by flowing a part of the cooling liquid for bubbling cleaning into which the gas is injected to the downstream side of the supply unit by the bypass path. The polishing system according to claim 7 or 8 , which is configured.
The polishing system according to any one of claims 7 to 9 , wherein the gas injection unit is configured to intermittently inject gas into the circulation path.
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