JP4742330B2 - レーザ・アセンブリ - Google Patents

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本発明は、半導体レーザ光源が放出するレーザ光を集光するレーザ・アセンブリに関する。
高出力の半導体レーザは、産業上の種々の分野で使用されている。
半導体レーザの出力ビームは、エミッタの半導体接合に垂直な方向(速軸方向)の発散角度が、エミッタの半導体接合に平行な方向(遅軸方向)の発散角度よりも大きい。その結果、半導体レーザの出力ビームの断面は楕円形となる。このため、出力ビームを使用する際には、その断面を整形するための光学系が必要となる。そのような光学系が必要とされるので、出力を増加させるために、複数の半導体レーザから射出された複数の出力ビームを結合するのは簡単ではない。
図15及び図16は、複数の半導体レーザから射出された複数の出力ビームを結合する、従来のレーザ・アセンブリの構成を示す図である(特許文献1)。図15は、半導体レーザの速軸を含む断面(速軸断面)を示す図であり、図16は、半導体レーザの遅軸を含む断面(遅軸断面)を示す図である。
レーザ・アセンブリは、3個の半導体レーザ光源201A、201B及び201C、3個の第1レンズ203A、203B及び203C、3個の第2レンズ205A、205B及び205Cならびに集光レンズ207を備える。半導体レーザ光源201Aから射出されたレーザ光は、第1レンズ203Aによって、速軸断面においてコリメートされ、遅軸断面においては影響を受けず経路は維持される。第1レンズ203Aを通過したレーザ光は、第2レンズ205Aによって、遅軸断面においてコリメートされ、速軸断面においては影響を受けず経路は維持される。第2レンズ205Aを通過したレーザ光は、速軸断面及び遅軸断面においてコリメートされており、集光レンズ207によって、光ファイバ221の端面の位置に集光される。半導体レーザ光源201B及び201Cを射出した光も同様に光ファイバ221の端面の位置に集光され、このようにして3個の半導体レーザ光源201A、201B及び201Cから射出したレーザ光が光ファイバ221において結合される。
図17は、従来のレーザ・アセンブリの種々の位置におけるレーザビームの断面の形状を示す図である。図17(a)は、第1レンズ203A通過後のレーザビームの断面の形状を示す図である。レーザビームの断面は、速軸方向に細長い形状である。図17(b)は、第2レンズ205A通過後のレーザビームの断面の形状を示す図である。レーザビームの断面は、遅軸方向に細長い形状である。レーザビームは、第1レンズ203Aによって速軸断面においてコリメートされるので、レーザビームの断面の速軸方向の幅は、第1レンズ203A通過後に維持される。他方、レーザビームの断面の遅軸方向の幅は、第1レンズ203A通過後に広がる。図17(c)は、集光レンズ207通過後のレーザビームの断面の形状を示す図である。図17(b)に示された断面の形状が、速軸方向に3個重ねられた形状である。レーザビームは、第2レンズ205Aによって遅軸断面においてコリメートされるので、レーザビームの断面の両軸方向の幅は、第2レンズ205A通過後に維持される。図17(c)に示すように、遅軸方向に細長い形状の断面を速軸方向に重ねることにより、断面において両軸方向の寸法がほぼ等しいビームが形成される。図17(c)に示された断面の形状を有するビームが、集光レンズ207によって光ファイバ221の端面の位置に集光され、このようにして3個の半導体レーザ光源201A、201B及び201Cから射出したレーザ光が光ファイバ221において結合される。
しかし、上記のレーザ・アセンブリにおいては、たとえば、第1レンズ203A、203B及び203Cを通過した光は、速軸断面において、回折により完全にコリメートされず、所定の角度で拡散する。第1レンズ203A、203B及び203Cから集光レンズ207までの光路長が異なるので、集光レンズ207の位置において、第1レンズ203Aからのビームのスポット径がもっとも大きく、第1レンズ203Cからのビームのスポット径がもっとも小さくなる。その結果、たとえば、光ファイバ221に集光する際に必要とされる開口数がビームごとに不揃いとなり、無駄が生じる。また、光学系が煩雑となり、組み立て及び調整に必要とされる工数が多くなる。
他方、従来技術において、それぞれの半導体レーザから集光点までの光路長を等しくするようなレーザ・アセンブリも開発されている(特許文献2)。しかし、このレーザ・アセンブリも上記のレーザ・アセンブリと同様に、速軸断面及び遅軸断面においてコリメートを行なうものであり、上記のレーザ・アセンブリと比較して、光学系がさらに煩雑となり、組み立て及び調整に必要とされる工数がさらに多くなる。
このように、半導体レーザ光源が放出するレーザ光を集光するレーザ・アセンブリであって、効率が高く、光学系の構成が煩雑ではなく、組み立て及び調整に必要とされる工数が少ないレーザ・アセンブリは、開発されていなかった。
US2008/0291955A1 特開2008-311655号公報
したがって、半導体レーザ光源が放出するレーザ光を集光するレーザ・アセンブリであって、効率が高く、光学系の構成が煩雑ではなく、組み立て及び調整に必要とされる工数が少ないレーザ・アセンブリに対するニーズがある。
本発明によるレーザ・アセンブリは、所定の位置にレーザ光を集光させるレーザ・アセンブリであって、複数のレーザ・サブアセンブリを備える。それぞれのレーザ・サブアセンブリは、半導体レーザ光源と、第1のレンズ群と、第2のレンズ群と、を備える。第1のレンズ群及び第2のレンズ群にともに垂直に入射する光の方向をそれぞれのレーザ・サブアセンブリの光軸として、第1のレンズ群は、該半導体レーザ光源から放射されたレーザ光を、該光軸及び該半導体レーザ光源の速軸を含む面内において、該光軸上の該所定の位置に集光させ、第2のレンズ群は、該半導体レーザ光源から放射されたレーザ光を、該光軸及び該半導体レーザ光源の遅軸を含む面内において、該光軸上の該所定の位置に集光させる。該複数のレーザ・サブアセンブリが該所定の位置にレーザ光を集光させるように、該複数のレーザ・サブアセンブリの光軸が、該複数のレーザ・サブアセンブリの半導体レーザ光源の速軸を含む面内において、該所定の位置を中心として放射状に配置されている。
本発明によるレーザ・アセンブリにおいて、第1のレンズ群は、光学系の光軸及び半導体レーザ光源の速軸を含む断面において、レーザ光を光軸上の所定の位置へ集光させる。第2のレンズ群は、光学系の光軸及び半導体レーザ光源の遅軸を含む断面において、レーザ光を光軸上の該所定の位置へ集光させる。半導体レーザ光源の、速軸を含む断面のエミッタサイズは、遅軸を含む断面のエミッタサイズよりも小さいので、光学系の光軸及び速軸を含む断面における集光側の開口数は、十分に小さくすることができ、該複数のレーザ・サブアセンブリの光軸を、該光軸及び該半導体レーザ光源の速軸を含む面内において、該所定の位置を中心として放射状に配置して、該複数のレーザ・サブアセンブリのレーザ光を該所定の位置へ集光することができる。
本発明の実施形態によるレーザ・アセンブリは、筺体と、該筺体に取り付けられた複数のプレートと、を備え、該複数のプレートのそれぞれは、その上に半導体レーザ光源と、第1のレンズ群と、第2のレンズ群と、を備えてレーザ・サブアセンブリを形成し、該筺体および該複数のプレートは、該複数のプレートを位置決めして該筺体に取り付けることができるように構成されている。
本実施形態によれば、プレート上に、半導体レーザ光源と、第1のレンズ群と、第2のレンズ群と、を取り付けてレーザ・サブアセンブリを形成する際に光学系の調整を行い、その後に調整されたレーザ・サブアセンブリを筺体に位置決めして取り付けることにより、効率的にレーザ・アセンブリを製造することができる。
本発明の実施形態によるレーザ・アセンブリは、複数の半導体レーザ光源に接する共通のヒートシンクをさらに備えている。
本実施形態によれば、複数の半導体レーザ光源に接する共通のヒートシンクによって、該複数の半導体レーザ光源が発生する熱を効率的に除去することができる。
本発明の一実施形態によるレーザ・サブアセンブリの光学系の、半導体レーザ光源の遅軸断面図である。 本発明の一実施形態による複数のレーザ・サブアセンブリの光学系の、図1の断面と垂直な断面の断面図である。 本発明の他の実施形態による複数のレーザ・サブアセンブリの光学系の、図1の断面と垂直な断面の断面図である。 速軸断面及び遅軸断面における光学系の幾何学的な関係を説明するための図である。 遅軸断面における光学系と光ファイバ121の取り込み角θとの関係を示す図である。 速軸断面における光学系と光ファイバ121の取り込み角θとの関係を示す図である。 レーザ・アセンブリの種々の位置におけるレーザビームの断面形状を示す図である。 本発明の一実施形態によるレーザ・サブアセンブリの側面図である。 本発明の一実施形態によるレーザ・サブアセンブリの平面図である。 ユニット組み立て装置に取り付けられたユニットを示す図である。 筺体に取り付けられるレーザ・サブアセンブリのユニットを示す図である。 ユニットを位置決めするための位置決め用ガイドを備えた筺体を示す図である。 ヒートシンクを装着する前の筺体を示す図である。 一つのタイプのヒートシンクを装着した筺体を示す図である。 他のタイプのヒートシンクを装着した筺体を示す図である。 複数の半導体レーザから射出された複数の出力ビームを結合する、従来のレーザ・アセンブリの構成を示す図である。 複数の半導体レーザから射出された複数の出力ビームを結合する、従来のレーザ・アセンブリの構成を示す図である。 従来のレーザ・アセンブリの種々の位置におけるレーザビームの断面の形状を示す図である。
図1は、本発明の一実施形態によるレーザ・サブアセンブリ100の光学系の、半導体レーザ光源の遅軸を含む断面図である。レーザ・サブアセンブリ100は、半導体レーザ光源101、第1のレンズ103及び第2のレンズ105を備える。ここで、第1のレンズ及び第2のレンズにともに垂直に入射する光の方向をそれぞれのレーザ・サブアセンブリの光軸とする。図1において、光軸を一点鎖線で示した。なお、第1のレンズ及び第2のレンズは、複数のレンズから構成されるレンズ群であってもよい。
遅軸断面において、半導体レーザ光源101から射出されたレーザ光の経路は、第1のレンズ103を通過する際にそのまま維持される。換言すれば、第1のレンズ103の光学面は、半導体レーザ光源の遅軸断面において平坦である。第1のレンズ103を通過したレーザ光は、第2のレンズ105によって光軸上の所定の位置に集光される。図1においては、所定の位置に光ファイバ121の端部が配置されており、レーザ光は、光ファイバ121に進入する。
図2Aは、本実施形態による3個のレーザ・サブアセンブリ100A、100B及び100Cの光学系の、図1の断面と垂直な断面の断面図である。図2の断面は、3個のレーザ・サブアセンブリ100A、100B及び100Cの速軸及び光軸を含む。3個のレーザ・サブアセンブリ100A、100B及び100Cは、3本の光軸が、光ファイバ121の端部が配置されている所定の位置で交わるように放射状に配置されている。
たとえば、半導体レーザ光源101Aから射出されたレーザ光は、第1のレンズ103Aによって、光軸上の上記所定の位置に集光される。第1のレンズ103Aを通過したレーザ光の経路は、第2のレンズ105Aを通過する際にそのまま維持される。換言すれば、第2のレンズ105Aの光学面は、半導体レーザ光源の速軸断面において平坦である。
したがって、半導体レーザ光源101A、100B及び100Cから射出されたレーザ光は、光ファイバ121の端部が配置されている上記所定の位置に集光され、光ファイバ121に進入する。このようにして、半導体レーザ光源101A、100B及び100Cから射出されたレーザ光が、光ファイバ121内で結合される。
図3は、速軸断面及び遅軸断面における光学系の幾何学的な関係を説明するための図である。半導体レーザ101のエミッタのサイズ(光軸からの高さ)をh、光ファイバ121の断面半径をh、半導体レーザ101の発光面からレンズまでの距離をL、レンズから光ファイバ121の端面までの距離をL、レンズの有効径をDとする。また、光源側の開口数をNA、集光側の開口数をNAとする。図3におけるレンズは、遅軸断面の場合には第2レンズ105であり、速軸断面の場合には第1レンズ103である。幾何学的な関係から以下の式が成立する。
Figure 0004742330
遅軸断面のエミッタのサイズ(光軸からの高さ)hは、速軸断面のエミッタのサイズ(光軸からの高さ)hよりも大きい。したがって、遅軸断面の場合のhに基づいて光学系が設計される。速軸断面の場合のhは、遅軸断面の場合のhよりも小さいので集光側の開口数NAを十分に小さくすることができる。
具体的に、速軸断面のNAは、0.3乃至0.9であり、NAは、0.002乃至0.25である。また、遅軸断面のNAは、0.05乃至0.3であり、NAは、0.05乃至0.5である。
図4は、遅軸断面における光学系と光ファイバ121の取り込み角θとの関係を示す図である。集光側の開口数NAを光ファイバ121の取り込み角θに合わせるように光学系が設計されている。
図5は、速軸断面における光学系と光ファイバ121の取り込み角θとの関係を示す図である。集光側の開口数NAは、光ファイバ121の取り込み角θよりも小さい。したがって、図2Aに示すように、速軸断面において、3個のレーザ・サブアセンブリ100A、100B及び100Cを、3本の光軸が、光ファイバ121の端部が配置されている所定の位置で交わるように放射状に配置して、3個のレーザ・サブアセンブリ100A、100B及び100Cからのレーザ光を光ファイバ121に取り込んで結合ことが可能となる。
図6は、レーザ・アセンブリ100A、100B及び100Cの種々の位置におけるレーザビームの断面形状を示す図である。図6(a)は、第1のレンズ103A、103B及び103Cを通過後のレーザビームの断面形状を示す図である。レーザビームの断面形状は、半導体レーザ光源101A、101B及び101Cから射出されたときと同様に、速軸方向に細長い形状である。図6(b)は、第2のレンズ105A、105B及び105Cを通過後のレーザビームの断面形状を示す図である。レーザビームの断面形状は、遅軸方向に細長い形状である。レーザビームは、たとえば、第1のレンズ103Aを通過後、速軸断面において第1のレンズ103Aのパワーによって狭められる。他方、レーザビームは、第1のレンズ103Aを通過後、遅軸断面において第1のレンズ103Aのパワーの影響を受けずに拡散する。したがって、第2のレンズ105Aの位置において、図6(a)に示した形状と比較して、速軸方向に狭まり、遅軸方向に広がった形状となる。図6(c)は、光ファイバ121の端部におけるレーザビームの断面形状を示す図である。レーザビームは、第2のレンズ105Aによって、光ファイバ121の端部において、ほぼ円形の断面形状を有するように集光される。3個のレーザビームは、光ファイバ121の端部断面に重ねて集光される。
本実施形態においては、半導体レーザ光源101A、100B及び100Cから射出され、光ファイバ121の端部に至るレーザ光の光路長は等しいので、光ファイバ121に集光する際に必要とされる開口数は各ビームで等しく、無駄が生じることはない。
以下に本発明によるレーザ・アセンブリの光学系の実施例及び構成について説明する。
実施例1
実施例1のレーザ・アセンブリは、図1及び図2Aを使用して説明したものである。
表1は、実施例1のレーザ・サブアセンブリ100の光学素子の面間隔、レンズの屈折率及びレンズのアッベ数を示す表である。表1及び他の表において長さの単位はミリメータである。表1において、第1面(面番号1の面、以下同様)は、光源101の放射面を表す。第2面及び第3面は、第1レンズ103の入射面及び出射面をそれぞれ表す。第4面及び第5面は、第2レンズ105の入射面及び出射面をそれぞれ表す。第6面は、光ファイバ121の端面を表す。第1面の面間隔とは、第1面と第2面との間の間隔を指す。他の面についても同様である。
Figure 0004742330
速軸方向をx軸方向、遅軸方向をy軸方向として、第1レンズ103の光学面(光源側の第2面及び像側の第3面)は以下の式で表せる。
Figure 0004742330
ここで、kは2次曲線の形状を定める定数、cは中心曲率、Rは中心曲率半径である。また、α2iは補正係数である。
表2は、第2面および第3面を表す式の係数及び定数を示す表である。
Figure 0004742330
速軸方向をx軸方向、遅軸方向をy軸方向として、第2レンズ105の光学面(光源側の第4面及び像側の第5面)は以下の式で表せる。
Figure 0004742330
ここで、kは2次曲線の形状を定める定数、cは中心曲率、Rは中心曲率半径である。また、α2iは補正係数である。
表3は、第4面および第5面を表す式の係数及び定数を示す表である。
Figure 0004742330
実施例2
実施例2のレーザ・アセンブリは、5個のレーザ・サブアセンブリ100A、100B100C、100D及び100Eから構成される。
たとえば、レーザ・サブアセンブリ1000Aは、半導体レーザ光源1010A、第1のレンズ1031A及び第2のレンズ1033Aからなる第1のレンズ群、第3のレンズ1051A及び第4のレンズ1053Aからなる第2のレンズ群を含む。
図2Bは、実施例2のレーザ・アセンブリの半導体レーザ光源の速軸を含む断面図である。
表4は、実施例2のレーザ・サブアセンブリの光学素子の面間隔、レンズの屈折率及びレンズのアッベ数を示す表である。表2において、第1面(面番号1の面、以下同様)は、たとえば、光源1010Aの放射面を表す。第2面及び第3面は、たとえば、第1レンズ1031Aの入射面及び出射面をそれぞれ表す。第4面及び第5面は、たとえば、第2レンズ1033Aの入射面及び出射面をそれぞれ表す。第10面は、光ファイバ1211の端面を表す。第1面の面間隔とは、第1面と第2面との間の間隔を指す。他の面についても同様である。
Figure 0004742330
速軸方向をx軸方向、遅軸方向をy軸方向として、第1及び第2レンズ(第1レンズ群)の光学面(第2乃至第5面)は以下の式で表せる。
Figure 0004742330
ここで、kは2次曲線の形状を定める定数、cは中心曲率、Rは中心曲率半径である。また、α2iは補正係数である。
表5は、第2乃至第5面を表す式の係数及び定数を示す表である。
Figure 0004742330
速軸方向をx軸方向、遅軸方向をy軸方向として、第3及び第4レンズ(第2レンズ群)の光学面(光源側の第6乃至第9面)は以下の式で表せる。
Figure 0004742330
ここで、kは2次曲線の形状を定める定数、cは中心曲率、Rは中心曲率半径である。また、α2iは補正係数である。
表6は、第6乃至第9面を表す式の係数及び定数を示す表である。
Figure 0004742330
レーザ・アセンブリの構成
図7は、本発明の一実施形態によるレーザ・サブアセンブリ100の側面図である。
図8は、本実施形態によるレーザ・サブアセンブリ100の平面図である。
本実施形態において、プレート107上に、半導体レーザ光源101、第1のレンズ103及び第2のレンズ105を含む光学系が配置されている。図7及び図8において、光軸を一点鎖線で示した。プレート107及び光学系をユニットと呼称する。すなわち、本実施形態において、レーザ・サブアセンブリ100はユニットによって形成される。半導体レーザ光源101は、プレート107上に設置されたブロック1011の側面に設置される。
図9は、ユニット組み立て装置141に取り付けられたユニットを示す図である。ユニット組み立て装置141は、プレート107上に予め設置されたブロック1011に対して、半導体レーザ光源101、第1のレンズ103及び第2のレンズ105の位置決めを行なって配置することによりユニットを組み立てるための装置である。半導体レーザ光源101は、予めブロック1011の側面に設置しておいてもよい。ユニット組み立て装置141は、アパーチャ143を備えている。最初に、ユニット組み立て装置141の所定の位置に設置されたピンを、プレート107に設けたピン孔に挿入することなどにより、プレート107をユニット組み立て装置141に設置する。半導体レーザ光源101が射出したレーザ光が、第1のレンズ103及び第2のレンズ105を経てアパーチャ143に集光するように、第1のレンズ103及び第2のレンズ105の位置調整を行う。位置調整を行った後、第1のレンズ103及び第2のレンズ105をプレート107に固定する。その後、ユニットをユニット組み立て装置141から取り外す。
図10は、筺体161Aに取り付けられるレーザ・サブアセンブリのユニットを示す図である。筺体161Aの所定の位置に設置されたピンを、プレート107に設けたピン孔に挿入することなどにより、ユニットを筺体161Aに設置する。
図11は、ユニットを位置決めするための位置決め用ガイドを備えた筺体161Bを示す図である。ピンの代わりに位置決め用ガイドで、筺体161B上にユニットを位置決めしてもよい。
このように本実施形態においては、レーザ・サブアセンブリ100のユニットごとに光学系の調整を行った後に、ピンまたは位置決め用ガイドなどによってユニットを筺体に設置する。したがって、光学系の調整の手間が大幅に軽減される。
半導体レーザにおいて光エネルギに変換されない電気エネルギは、熱として放出される。したがって、高出力半導体レーザは、多くの熱を放出する。このため、レーザ・アセンブリにおいては、半導体レーザから放出される熱を除去する必要がある。本実施形態においては、筺体上に半導体レーザが並んで配置されるので、以下に示すようなヒートシンクを設置することにより、半導体レーザから放出される熱を効率的に除去することができる。
図12は、ヒートシンクを装着する前の筺体161Bを示す図である。
図13は、一つのタイプのヒートシンク181Aを装着した筺体161Bを示す図である。このタイプのヒートシンク181Aは、筺体161B上に並んで配置された半導体レーザの部分を覆うように筺体161Bに装着される。ヒートシンク181Aは、銅など熱伝導率の高い金属で構成されるのが好ましい。
図14は、他のタイプのヒートシンク181Bを装着した筺体161Bを示す図である。このタイプのヒートシンク181Bは、筺体161B上に並んで配置された半導体レーザの部分を含む広い範囲を覆うように筺体161Bに装着される。
100A、100B、100C レーザ・サブアセンブリ
101A、101B、101C 半導体レーザ光源
103A、103B、103C 第1のレンズ
105A、105B、105C 第2のレンズ

Claims (2)

  1. 所定の位置にレーザ光を集光させるレーザ・アセンブリであって、筺体と複数のレーザ・サブアセンブリとを備え、それぞれのレーザ・サブアセンブリは、独立したプレート及びその上に配置された、半導体レーザ光源と、第1のレンズ群と、第2のレンズ群と、を備え、第1のレンズ群及び第2のレンズ群にともに垂直に入射する光の方向をそれぞれのレーザ・サブアセンブリの光軸として、第1のレンズ群は、該半導体レーザ光源から放射されたレーザ光を、該光軸及び該半導体レーザ光源の速軸を含む面内において、該光軸上の該所定の位置に集光させ、第2のレンズ群は、該半導体レーザ光源から放射されたレーザ光を、該光軸及び該半導体レーザ光源の遅軸を含む面内において、該光軸上の該所定の位置に集光させ、該複数のレーザ・サブアセンブリが該所定の位置にレーザ光を集光させるように、該複数のレーザ・サブアセンブリの光軸が、該複数のレーザ・サブアセンブリの半導体レーザ光源の速軸を含む面内において、該所定の位置を中心として放射状に配置され、該筺体および該複数のプレートは、該複数のレーザ・サブアセンブリによるレーザ光の断面が、該所定の位置において重ねて集光されるように該複数のプレートを位置決めして該筺体に取り付けることができるように構成されたレーザ・アセンブリ。
  2. 複数の半導体レーザ光源を覆うように、該複数のレーザ・サブアセンブリをまたいで配置されたヒートシンクをさらに備えた請求項1または2に記載のレーザ・アセンブリ。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102324699A (zh) * 2011-09-22 2012-01-18 西安炬光科技有限公司 一种用于激光加工的高功率半导体激光光源系统
JP5985899B2 (ja) * 2012-06-22 2016-09-06 浜松ホトニクス株式会社 半導体レーザ装置
JP6129066B2 (ja) * 2013-12-10 2017-05-17 株式会社フジクラ 半導体レーザモジュール及びその製造方法
JP2015153889A (ja) * 2014-02-14 2015-08-24 三菱電機株式会社 レーザ合成光学装置
DE102015105807A1 (de) * 2015-04-16 2016-10-20 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronische Leuchtvorrichtung
KR102045476B1 (ko) 2018-06-28 2019-11-15 옵티시스 주식회사 광 커넥터
JP7277716B2 (ja) 2019-02-25 2023-05-19 日亜化学工業株式会社 光源装置、ダイレクトダイオードレーザ装置、および光結合器
US20220149596A1 (en) 2019-03-25 2022-05-12 Panasonic Corporation Semiconductor laser device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002202442A (ja) * 2000-11-06 2002-07-19 Fuji Photo Film Co Ltd 合波レーザー光源および露光装置
JP2002148491A (ja) * 2000-11-14 2002-05-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ加工装置及びその調整方法
JP2004128045A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Toshiba Corp ファイバレーザ装置
JP2004134642A (ja) * 2002-10-11 2004-04-30 Fuji Photo Film Co Ltd レーザモジュール
JP2004153149A (ja) * 2002-10-31 2004-05-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 発光モジュール
JP4226482B2 (ja) * 2003-02-03 2009-02-18 富士フイルム株式会社 レーザ光合波装置
JP2006106156A (ja) * 2004-10-01 2006-04-20 Matsushita Electric Works Ltd 光分合波器
US7881355B2 (en) * 2005-12-15 2011-02-01 Mind Melters, Inc. System and method for generating intense laser light from laser diode arrays

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