JP4742320B2 - アクティブ型液晶表示パネル - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記S1/S2の値が7000以下となるようにしたことを特徴とするものである。
11D、11S Cr膜
12D、12S Al系金属膜
15 ドレイン電極
17、17A ソース電極
17B ダミーソース電極
18 薄膜トランジスタ
Claims (2)
- ITOからなる画素電極上に、当該画素電極と電気的に接続されたソース電極が形成されているアクティブ型液晶表示パネルにおいて、
前記ソース電極は、Crからなる保護金属膜と前記保護金属膜上に形成されたAl系金属膜からなり、
前記画素電極の平面の面積をS 1 とし、前記保護金属膜の周囲面の面積をS 2 としたとき、S 1 /S 2 の値が15000以下となっており、
前記Al系金属膜をマスクとしてウェットエッチングにより前記保護金属膜がパターニングされることで、前記保護金属膜のエッジが前記Al系金属膜のエッジよりも0.5〜1.0μmだけ後退していることを特徴とするアクティブ型液晶表示パネル。 - 前記S 1 /S 2 の値が7000以下となるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のアクティブ型液晶表示パネル。
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JP1999332231 | 1999-11-24 | ||
JP33223199 | 1999-11-24 | ||
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Publication Number | Publication Date |
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JP3197942B2 (ja) * | 1992-05-25 | 2001-08-13 | 富士通株式会社 | 透明導電膜を有する電子装置の製造方法 |
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