JP4740057B2 - リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルの選択方法及び該方法を使用したリソグラフィ・アセンブリ - Google Patents
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Description
− 複数の格子モデルのセットを提供するステップと、
− 多数の第1の基板上の第1の複数のアライメント・マークに対する少なくとも1つのアライメント測定を実行することによってアライメント・データを取得するステップと、
− 取得したアライメント・データが格子モデルを解くために適しているかどうか、複数の格子モデルのセットの個々の格子モデル毎にチェックし、且つ、取得したアライメント・データが格子モデルを解くために適している場合、その格子モデルを複数の格子モデルのサブセットに追加するステップと、
− 複数の格子モデルのサブセットから余剰が最も少ない格子モデルを選択するステップと
を含む方法が提供される。
− パターン化された放射のビームを基板の目標部分に投射するようになされたリソグラフィ装置、リソグラフィ装置の設定を制御するようになされた制御ユニット、及びリソグラフィ装置による投射の前及び/又は投射の後に、基板に対するアライメント測定を実行し、且つ、アライメント・データを生成するようになされたアライメント・システムを備えたリソグラフィ・システムと、
− 度量衡学装置及び度量衡学制御ユニットを備えた度量衡学システムであって、前記基板に対する少なくとも1つのオーバレイ測定を実行し、且つ、少なくとも1つのオーバレイ測定の結果として度量衡学データを生成するようになされた度量衡学システムと、
− リソグラフィ・システム及び度量衡学システムの両方に接続された、リソグラフィ・システムからアライメント・データを受け取り、且つ、度量衡学システムから度量衡学データを受け取るようになされた制御システムと
を備えたリソグラフィ・アセンブリであって、制御システムが、プロセッサと、該プロセッサに接続された、処理レシピ及び複数のモデルのセットを記憶するようになされたメモリとを備え、また、リソグラフィ・アセンブリが、リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルを選択する上記方法を実行するようになされたリソグラフィ・アセンブリに関している。
− 複数の格子モデルのセットを提供するステップと、
− 多数の第1の基板上の第1の複数のアライメント・マークに対する少なくとも1つのアライメント測定を実行することによってアライメント・データを取得するステップと、
− 多数の第1の基板上の第1の複数のオーバレイ・マークに対する少なくとも1つのオーバレイ測定を実行することによって度量衡学データを取得するステップと、
− 取得したアライメント・データが格子モデルを解くために適しているかどうか、前記複数の格子モデルのセットの個々の格子モデル毎にチェックし、且つ、取得したアライメント・データが格子モデルを解くために適している場合、その格子モデルを複数の格子モデルのサブセットに追加するステップと、
− 複数の格子モデルのサブセットの個々の格子モデル毎に模擬度量衡学データを決定するステップと、
− 複数の格子モデルのサブセットの個々のモデル毎に、上記模擬度量衡学データのオーバレイ性能インディケータを決定するステップと、
− 決定したオーバレイ性能インディケータを使用して格子モデルを選択するステップと
を含む方法に関している。
− パターン化された放射のビームを基板の目標部分に投射するようになされたリソグラフィ装置、リソグラフィ装置の設定を制御するようになされた制御ユニット、及びリソグラフィ装置による投射の前及び/又は投射の後に、基板に対するアライメント測定を実行し、且つ、アライメント・データを生成するようになされたアライメント・システムを備えたリソグラフィ・システムと、
− 度量衡学装置及び度量衡学制御ユニットを備えた度量衡学システムであって、基板に対する少なくとも1つのオーバレイ測定を実行し、且つ、少なくとも1つのオーバレイ測定の結果として度量衡学データを生成するようになされた度量衡学システムと、
− リソグラフィ・システム及び度量衡学システムの両方に接続された、リソグラフィ・システムからアライメント・データを受け取り、且つ、度量衡学システムから度量衡学データを受け取るようになされた制御システムと
を備えたリソグラフィ・アセンブリであって、制御システムが、プロセッサと、該プロセッサに接続された、処理レシピ及び複数のモデルのセットを記憶するようになされたメモリとを備え、また、リソグラフィ・アセンブリが、リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルを選択する上記方法を実行するようになされたリソグラフィ・アセンブリに関している。
− 放射ビームB(たとえばUV放射又はEUV放射)を条件付けるようになされた照明システム(イルミネータ)IL
− パターニング・デバイス(たとえばマスク)MAを支持するように構築された、特定のパラメータに従って該パターニング・デバイスを正確に位置決めするようになされた第1のポジショナPMに接続された支持構造(たとえばマスク・テーブル)MT
− 基板(たとえばレジスト被覆ウェハ)Wを保持するように構築された、特定のパラメータに従って該基板を正確に位置決めするようになされた第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(たとえばウェハ・テーブル)WT
− パターニング・デバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの目標部分C(たとえば1つ又は複数のダイが含まれている)に投影するようになされた投影システム(たとえば屈折投影レンズ系)PS
を備えている。
1.ステップ・モード:マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが基本的に静止状態に維持され、放射ビームに付与されたパターン全体が目標部分Cに1回で投影される(即ち単一静止露光)。次に、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向にシフトされ、異なる目標部分Cが露光される。ステップ・モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一静止露光で画像化される目標部分Cのサイズが制限される。
2.走査モード:放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが同期走査される(即ち単一動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの倍率(縮小率)及び画像反転特性によって決まる。走査モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一動的露光における目標部分の幅(非走査方向の幅)が制限され、また、走査運動の長さによって目標部分の高さ(走査方向の高さ)が決まる。
3.その他のモード:プログラム可能パターニング・デバイスを保持するべくマスク・テーブルMTが基本的に静止状態に維持され、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、基板テーブルWTが移動又は走査される。このモードでは、通常、パルス放射源が使用され、走査中、基板テーブルWTが移動する毎に、或いは連続する放射パルスと放射パルスの間に、必要に応じてプログラム可能パターニング・デバイスが更新される。この動作モードは、上で参照したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどのプログラム可能パターニング・デバイスを利用しているマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
で与えられる。Nsは基板の数である。すべての格子の平均余剰に対して決定される平均残留フィンガプリントの値の「3σ」即ち少なくとも99.7%が、
より大きい場合、修正は、関連していると仮定することができる。
図9a〜cは、本発明による、視野内の変形に対する方法の実施例を実施するための例を略図で示したもので、つまり、格子変形に対する処理レシピを修正する方法を適用して視野内が修正される、つまり視野間が修正される。この実施例では、分かり易くするために、基板毎に1つの視野しか示されていない。
及び非対称回転Ra即ち
を含むことができる。
に比例している。また、視野間雑音即ち視野から視野への視野内パラメータの変化が存在している。このような視野間雑音は、たとえば露光誤差又はレンズの加熱によって誘発されることがある。また、測定格子に対する上記視野間雑音の影響は、
に比例している。
B 放射ビーム
BD ビーム引渡しシステム
C 基板の目標部分
CO コンデンサ
D1、D2、D3、D4 オーバレイ・マークの外部構造と内部構造の間の距離
IF 位置センサ
IL 照明システム(イルミネータ)
IN インテグレータ
MA パターニング・デバイス(マスク)
MT 支持構造(マスク・テーブル)
M1、M2 マスク・アライメント・マーク
PM 第1のポジショナ
PS 投影システム
PW 第2のポジショナ
P1、P2 基板アライメント・マーク
Sn アライメント・マークの所定のオフセット
SO 放射源
W 基板
WT 基板テーブル
10 リソグラフィ・アセンブリ
11、22 アライメント・システム
12、21 リソグラフィ装置
13、23 制御ユニット
15、25 基板のロット
16 アライメント・データを制御ユニットに送信するアクションを示す矢印
17 リソグラフィ装置への露光データの送信を示す矢印
20 リソグラフィ・システム
26 制御ユニットへのアライメント・データの送信を示す矢印
27 露光データの転送を示す矢印
28 リソグラフィ・システムから制御システムへのアライメント・データの転送を示す矢印
29 リソグラフィ・システムへの調整量の送信を示す矢印
30 度量衡学システム
31 度量衡学装置
33 度量衡学制御ユニット
35 度量衡学装置から度量衡学ユニットへの度量衡学データの転送を示す矢印
37 度量衡学制御ユニットから制御システムへの度量衡学データの連続転送を示す矢印
40 制御システム
50 オーバレイ・マーク
51 オーバレイ・マークの外部構造
52 オーバレイ・マークの内部構造
55、56 アライメント・マーク
81、101 オーバレイ・アライメント・マーク
83、84 第1の格子を示す矢印線
85、105 第1の反復パターン
87、107 第2の格子を決定するために使用されるマーク
88、111 第2の反復パターン
90、113 第3の格子を決定するために使用されるマーク
92、109 第2の格子
94、114 第3の格子
103 第1の格子
130 プロセッサ
131 メモリ
140 コンピュータ・アセンブリ
141 ハード・ディスク
142 リード・オンリ・メモリ(ROM)
143 電気的消去可能プログラマブル・リード・オンリ・メモリ(EEPROM)
144 ランダム・アクセス・メモリ(RAM)
145 キーボード
146 マウス
147 読取り装置
148 フロッピ・ディスク
149 CDROM
150 プリンタ
151 ディスプレイ
152 通信ネットワーク
153 トランスミッタ/レシーバ
Claims (16)
- リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルを選択する方法であって、
複数の格子モデルのセットを提供するステップと、
多数の第1の基板上の第1の複数のアライメント・マークに対する少なくとも1つのアライメント測定を実行することによってアライメント・データを取得するステップと、
取得したアライメント・データが前記格子モデルを解くために適しているかどうか、前記複数の格子モデルのセットの個々の格子モデル毎にチェックし、且つ、取得したアライメント・データが前記格子モデルを解くために適している場合、前記格子モデルを複数の格子モデルのサブセットに追加するステップと、
前記複数の格子モデルのサブセットから余剰が最も少ない格子モデルを選択するステップとを含み、前記余剰は、前記格子モデルによって予測される前記アライメント・マークの理論位置から前記アライメント・データに含まれる前記アライメント・マークの測定位置を控除することによって形成される、方法。 - 前記方法が、
選択した前記格子モデルの平均格子モデル・パラメータを決定するステップと、
決定した前記平均格子モデル・パラメータをプロセスの修正に使用するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記方法が、
前記第1の複数のアライメント・マークの位置毎の平均余剰を決定するステップと、
露光毎のオフセットを計算するステップと、
計算した前記露光毎のオフセットをプロセスの修正に使用するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記方法が、複数の格子モデルのセットを提供する前記ステップの後に、前記処理レシピ及び前記処理レシピを実行する前記リソグラフィ装置のうちの少なくともいずれか一方に基づいて、前記複数の格子モデルのセットから1つ又は複数の格子モデルを選択するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記処理レシピに基づいて格子モデルを選択する前記ステップが、
少なくとも1つの第2の基板上の第2の複数のアライメント・マークに対する少なくとも1つのアライメント測定を実行するステップと、
前記少なくとも1つの第2の基板上の第1の複数のオーバレイ・マークに対する少なくとも1つのオーバレイ測定を実行するステップと、
前記複数の格子モデルのセットから、プロセスの修正に関して最適化された性能を備えた格子モデルを選択するステップであって、前記プロセスの修正が、前記少なくとも1つのアライメント測定及び前記少なくとも1つのオーバレイ測定に基づいて計算されるステップと
を含む方法に関連している、請求項4に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの第2の基板が生産基板である、請求項5に記載の方法。
- 前記処理レシピに基づいて格子モデルを選択する前記ステップが、
少なくとも1つの第3の基板上の第3の複数のアライメント・マークに対する少なくとも1つのアライメント測定を実行するステップと、
前記少なくとも1つの第3の基板上の第2の複数のオーバレイ・マークに対する少なくとも1つのオーバレイ測定を実行するステップと、
前記複数の格子モデルのセットから、プロセスの修正に関して最適化された性能を備えた格子モデルを選択するステップであって、前記プロセスの修正が、前記少なくとも1つのアライメント測定及び前記少なくとも1つのオーバレイ測定に基づいて計算されるステップと
を含む方法に関連している、請求項4に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの第3の基板が基準基板である、請求項7に記載の方法。
- 前記平均格子モデル・パラメータを使用する前記ステップが、
決定した前記平均格子モデル・パラメータを使用して、前記処理レシピに使用されるプロセス格子の変形である格子変形を計算するステップと、
計算した前記格子変形を適用して前記処理レシピを修正するステップとを含む、請求項2に記載の方法。 - 前記格子変形を適用する前記ステップが、並進、回転及び膨張を含むグループのうちの少なくとも1つの位置パラメータを修正するステップを含む、請求項9に記載の方法。
- プロセッサによって実行される、請求項1に定義されている、リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルを選択する前記方法を実行するためのコンピュータ・プログラム製品。
- パターン化された放射のビームを基板の目標部分に投射するようになされたリソグラフィ装置、前記リソグラフィ装置の設定を制御するようになされた制御ユニット、及び前記リソグラフィ装置による投射の前及び/又は投射の後に、前記基板に対するアライメント測定を実行し、且つ、アライメント・データを生成するようになされたアライメント・システムを備えたリソグラフィ・システムと、
度量衡学装置及び度量衡学制御ユニットを備えた度量衡学システムであって、前記基板に対する少なくとも1つのオーバレイ測定を実行し、且つ、前記少なくとも1つのオーバレイ測定の結果として度量衡学データを生成するようになされた度量衡学システムと、
前記リソグラフィ・システム及び前記度量衡学システムの両方に接続された、前記リソグラフィ・システムから前記アライメント・データを受け取り、且つ、前記度量衡学システムから前記度量衡学データを受け取るようになされた制御システムとを備えたリソグラフィ・アセンブリであって、
前記制御システムが、プロセッサと、前記プロセッサに接続された、処理レシピ及び複数のモデルのセットを記憶するようになされたメモリとを備え、また、前記リソグラフィ・アセンブリが、請求項1に定義されている、リソグラフィ装置における格子変形の処理レシピを修正するための格子モデルを選択する前記方法を実行するようになされたリソグラフィ・アセンブリ。 - 前記処理レシピが複数の機械命令を備え、前記リソグラフィ制御ユニットが、前記複数の機械命令を前記リソグラフィ装置に適用するようになされた、請求項12に記載のリソグラフィ・アセンブリ。
- 前記リソグラフィ装置が、
放射ビームを条件付けるようになされた照明システムと、
パターン化された放射ビームを形成するべく前記放射ビームの断面にパターンを付与することができるパターニング・デバイスを支持するように構築されたサポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
パターン化された放射ビームを前記基板の目標部分に投射するようになされた投影システムとを備え、
前記処理レシピの前記複数の機械命令のうちの少なくとも1つが、前記基板テーブルに対する前記サポートの相対位置に関連している、請求項13に記載のリソグラフィ・アセンブリ。 - 前記制御システムがアドバンスド・プロセス・コントロール・システムである、請求項12に記載のリソグラフィ・アセンブリ。
- 請求項12に定義されているリソグラフィ・アセンブリを使用してパターニング・デバイスから基板へパターンを転送するステップを含むデバイス製造方法。
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