JP5813614B2 - アライメントマーク変形推定方法、基板位置予測方法、アライメントシステムおよびリソグラフィ装置 - Google Patents
アライメントマーク変形推定方法、基板位置予測方法、アライメントシステムおよびリソグラフィ装置 Download PDFInfo
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Description
a)所定のアライメント位置に各アライメントマークが設けられている、少なくともN個のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)基板を処理することと、
c)N個のアライメントマークについて、アライメントセンサシステムを用いて、基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
を含み、
2以上の測定周波数について、
d)光が、各2以上の測定周波数でアライメントマークに向けて放射され、
e)2以上の測定周波数のそれぞれについて、アライメントマークにより反射された光における対応する回折パターンが検出され、
アライメントシステムは、N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメント位置のセットがアライメントセンサシステムの2以上の測定周波数に対応して得られるように、検出された2以上の回折パターンからアライメント位置を求め、
かかる方法はさらに、
f)N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメント位置を所定のアライメント位置と比較することによってアライメント位置のセットの各アライメント位置についてアライメント位置偏差を求め、それによりアライメントマーク毎のアライメント位置偏差のセットを得ることと、
g)N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメント位置偏差のセットにおける広がりを表す値を求めて、アライメントマークの変形のレベルを推定することと、
を含む。
a)所定のアライメント位置に各アライメントマークが設けられている、少なくともN個のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)基板を処理することと、
c)N個のアライメントマークについて、基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
d)N個のアライメントマークのそれぞれについて、測定されたアライメント位置を所定のアライメント位置と比較することによってアライメント位置偏差を求めることと、
e)N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメントマーク変形のレベルを表す値を求めることと、
f)N個のアライメントマークのそれぞれについて、最小アライメントマーク変形を有するアライメントマークについては高く、比較的大きいアライメントマーク変形を有するアライメントマークについては低くなるように、重み係数を上記値に基づいて求めることと、
g)重み付けされたアライメント位置偏差を有する位置予測モデルを入力として適用することにより、基板上の所望点の位置を予測することと、を含む。
基板の処理後のN個のアライメントマークのそれぞれのアライメント位置が、アライメントセンサシステムを用いて測定され、
2以上の測定周波数について、
‐光が、各2以上の測定周波数でアライメントマークに向けて放射され、
‐2以上の測定周波数のそれぞれについて、アライメントマークにより反射された光における対応する回折パターンが検出され、
アライメントシステムは、最良の結果(例えば最大信号強度を有する)を与えるN個のアライメントマークのそれぞれに好適な測定周波数を求め、
アライメントシステムは、好適な測定周波数に関連付けられた検出された回折パターンからアライメント位置を求める。
基板の処理後のN個のアライメントマークのそれぞれのアライメント位置が、アライメントセンサシステムを用いて測定され、
2以上の測定周波数について、
‐光が、各2以上の測定周波数でアライメントマークに向けて放射され、
‐2以上の測定周波数のそれぞれについて、アライメントマークにより反射された光における対応する回折パターンが検出され、
アライメントシステムは、N個のアライメントマークのそれぞれについてアライメント位置のセットがアライメントセンサシステムの2以上の測定周波数に対応して得られるように、検出された2以上の回折パターンからアライメント位置を求め、
N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメント位置を所定のアライメント位置と比較することによってアライメント位置のセットの各アライメント位置についてアライメント位置偏差が求められ、それによりアライメントマーク毎のアライメント位置偏差のセットが得られ、
アライメントシステムは、最良の結果(例えば最大信号強度を有する)を与えるN個のアライメントマークのそれぞれに好適な測定周波数を求め、
好適な測定周波数の情報は、アライメントマークのアライメント位置およびアライメント位置偏差を求めるために用いられ、
マーク変形のレベルを表す値は、アライメント位置偏差のセットにおける広がりを表す値を求めてアライメントマークの変形のレベルを推定することによって求められる。
値が所定の閾値未満である場合には1であり、アライメントマーク変形の増加に伴い減少する値の場合、重み係数は、値が所定の閾値より上である場合には1であり、値が所定の閾値未満である場合にはゼロである。
好適には、重み係数は、強度が所定の閾値未満である場合にゼロであり、強度が所定の閾値より上である場合に1である。
重み係数は、形状係数にも依存し、好適には、重み値は、光の不所望の散乱が所定の閾値より上である場合にゼロであり、光の散乱が所定の閾値未満である場合には1である。
f)N個のアライメントマークのそれぞれについて、最小アライメントマーク変形を有するアライメントマークについては高く、比較的大きいアライメントマーク変形を有するアライメントマークについては低くなるように、重み係数を上記値に基づいて求めることと、
g)重み付けされたアライメント位置偏差を有する位置予測モデルを入力として適用することにより、基板上の所望点の位置を予測することと、を行うように構成される。
a)所定位置に各アライメントマークが設けられている、複数のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)基板を処理することと、
c)各アライメントマークについて、アライメントシステムの2以上のアライメントセンサを用いて、基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
を含み、
各アライメントセンサは、
d)アライメントマークに向けてその独自の測定周波数で光を放射し、
e)アライメントマークにより反射された光における回折パターンを検出し、
アライメントシステムは、各アライメントマークについてアライメント位置のセットがアライメントシステムの2以上のアライメントセンサに対応して得られるように関連付けられた、検出された回折パターンからアライメント位置を求め、かかる方法は、
f)各アライメントマークについて、アライメント位置のセットにおける広がりを表す値を求めてアライメントマークの変形のレベルを推定することを含む。
a)Mは少なくとも2である、M個の基板を提供することと、
b)Nは少なくとも2である、少なくともN個のアライメントマークを含み、各アライメントマークは第1のパターン内にそれぞれの所定の公称位置を有する、該第1のパターンをM個の基板のそれぞれに転写することと、
c)M個の基板を処理することと、
d)各基板について、N個のアライメントマークの位置を測定することと、
e)測定されたアライメントマークのそれぞれについて、対応するアライメントマークのアライメントマーク変形のレベルを表す第1のマーク変形値を求めることと、
f)測定されたアライメントマークのそれぞれについて、アライメントマークのそれぞれの公称位置をアライメントマークのそれぞれの測定された位置と比較することによってアライメントマーク変位を求めることと、
g)各基板について、第1のモデルをN個のアライメントマーク変位にフィットして、基板毎に少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを得ることと、
h)第2のパターンを第1のパターンに対して位置合わせするために、それぞれの少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを用いて第2のパターンをM個の基板のそれぞれに転写することと、
i)各基板について、基板上の異なる場所において、第2のパターンに対する第1のパターンの相対位置を測定することにより、それぞれの場所における第1および第2パターン間の所望アライメントに対する第2パターンの変位を表すオーバーレイエラーを少なくとも2つ測定することと、
j)各基板について、第1のモデルを、N個の第1のマーク変形値のそれぞれにフィットして、基板毎に少なくとも1つの第1のマーク変形モデルパラメータを得ることと、
k)各基板について、第1のモデルを複数のオーバーレイエラーのそれぞれにフィットして、基板毎に少なくとも1つのオーバーレイエラーパラメータを得ることと、
l)第1のマーク変形値とオーバーレイエラーとの関係を求めるために、得られた第1のマーク変形モデルパラメータと得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの関係を求めること。
各方程式は、対応する第1のマーク変形モデルパラメータの関数としてオーバーレイエラーモデルパラメータを定義する。
e2)測定されたアライメントマークのそれぞれについて、対応するアライメントマークのアライメントマーク変形のレベルを表す第2のマーク変形値を、第1のマーク変形値を求めること以外の情報に基づき、求めることと、
j2)各基板について、第1のモデルを、N個の第2のマーク変形値のそれぞれにフィットして、基板毎に少なくとも1つの第2のマーク変形モデルパラメータを得ることと、
を含み、
ステップl)は、次のステップ:
l’)第1および第2のマーク変形値とオーバーレイエラーとの関係を求めるために、得られた第1および第2のマーク変形モデルパラメータと得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの関係を求めることで置き換えられる。
m)得られた第1のマーク変形モデルパラメータと得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの関係に基づいて少なくとも1つのアライメントモデルパラメータ補償値を計算して、マーク変形誘起オーバーレイエラーを補償することと、
n)各アライメントマークは第1のパターン内にそれぞれの所定の公称位置を有する、少なくともN個のアライメントマークを含む第1のパターンを、更なる基板に転写することと、
o)更なる基板を処理することと、
p)更なる基板上のN個のアライメントマークの位置を測定することと、
q)更なる基板の測定されたN個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメントマークのそれぞれの公称位置をアライメントマークのそれぞれの測定された位置と比較することにより、アライメントマーク変位を求めることと、
r)第1のモデルを、更なる基板のN個のアライメントマーク変位にフィットして、更なる基板に関連付けられた少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを得ることと、
s)少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを少なくとも1つの計算されたアライメントモデルパラメータ補償値と組み合わせて、少なくとも1つの補償済みアライメントモデルパラメータを得ることと、
t)第2のパターンを第1のパターンに対して位置合わせするために、少なくとも1つの補償済みアライメントモデルパラメータを用いて第2のパターンを更なる基板に転写すること。
1.ステップモードでは、マスクテーブルMT、すなわち「マスクサポート」、および基板テーブルWT、すなわち「基板サポート」を基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付与されたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWT、すなわち「基板サポート」は、Xおよび/またはY方向に移動され、それにより別のターゲット部分Cを露光することができる。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一静的露光時に結像されるターゲット部分Cのサイズが限定される。
2.スキャンモードでは、マスクテーブルMT、すなわち「マスクサポート」、および基板テーブルWT、すなわち、「基板サポート」を同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付与されたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。マスクテーブルMT、すなわち「マスクサポート」に対する基板テーブルWT、すなわち「基板サポート」の速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。スキャンモードでは、露光フィールドの最大サイズによって、単一動的露光時のターゲット部分の幅(非スキャン方向)が限定される一方、スキャン動作の長さによって、ターゲット部分の高さ(スキャン方向)が決まる。
3.別のモードでは、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、マスクテーブルMT、すなわち「マスクサポート」を基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWT、すなわち「基板サポート」を動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付与されているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードでは、通常、パルス放射源が採用され、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWT、すなわち「基板サポート」の移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述のタイプのプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
値Vが所定閾値を超える場合、重み係数=0、
値Vが所定閾値未満の場合、重み係数=1。
値V’が所定閾値を超える場合、重み係数=1、
値V’が所定閾値未満の場合、重み係数=0。
Wi=Twq,i*Tmcc,i*Pi
(ここでWiは重み係数であり、Twq,iは信号強度に依存し、Tmcc,iは形状係数に依存し、Piはアライメントマーク変形の値VまたはV’に依存し、またすべての変数はアライメントマークiに関連する)である他の測定パラメータにも依存しうる。
‐例えばアライメントマーク変形等といったプロセス誘起エラーである、アライメントマークの位置を測定する際の測定エラー、
‐例えば温度、圧力等におけるランダム変動によるアライメントマークを公称位置に配置する際の配置エラー、
‐オーバーレイマークを配置する際の配置エラーと、1つのパターンにおけるオーバーレイマークの、もう1つのパターンにおける対応オーバーレイマークに対する位置を測定する際の測定エラーとに分けることができる、オーバーレイエラーの測定における測定エラー。
‐基板全体に亘る第1のマーク変形値の分布を記述する第1のマーク変形モデルパラメータのセット:
CxASI1、CyASI1、MxASI1、MyASI1、RxASI1およびRyASI1
‐基板全体に亘る第2のマーク変形値の分布を記述する第2のマーク変形モデルパラメータのセット:
CxASI2、CyASI2、MxASI2、MyASI2、RxASI2およびRyASI2
‐基板全体に亘るオーバーレイエラーの分布を記述するオーバーレイエラーモデルパラメータのセット:
CxOV、CyOV、MxOV、MyOV、RxOVおよびRyOV
a)所定のアライメント位置に各アライメントマークが設けられている、複数のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)基板を処理することと、
c)各アライメントマークについて、アライメントシステムの2以上のアライメントセンサを用いて、基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
を含み、
各アライメントセンサは、
d)アライメントマークに向けてその独自の測定周波数で光を放射し、
e)アライメントマークにより反射された光における回折パターンを検出し、
アライメントシステムは、各アライメントマークについてアライメント位置のセットがアライメントシステムの2以上のアライメントセンサに対応して得られるように関連付けられた、検出された回折パターンからアライメント位置を求め、かかる方法は、
f)各アライメントマークについて、アライメント位置を所定のアライメント位置と比較することによりアライメント位置のセットの各アライメント位置についてアライメント位置偏差を求め、それによりアライメントマーク毎のアライメント位置偏差のセットを得ることと、
g)各アライメントマークについて、アライメント位置偏差のセットにおける広がりを表す値を求めてアライメントマークの変形のレベルを推定することと、
をさらに含む、方法。
a)所定アライメント位置に各アライメントマークが設けられている、複数のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)基板を処理することと、
c)各アライメントマークについて、基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
d)各アライメントマークについて、測定されたアライメント位置を所定のアライメント位置と比較することによりアライメント位置偏差を求めることと、
e)各アライメントマークについて、アライメントマーク変形のレベルを表す値を求めることと、
f)各アライメントマークについて、最小アライメントマーク変形を有するアライメントマークについては高く、比較的大きいアライメントマーク変形を有するアライメントマークについては低くなるように、重み係数を上記値に基づいて求めることと、
g)重み付けされたアライメント位置偏差を有する位置予測モデルを入力として適用することにより、基板上の各点の位置を予測することと、
を含む方法。
−アライメントマークに向けてその独自の測定周波数で光を放射し、
−アライメントマークにより反射された光における回折パターンを検出し、
アライメントシステムは、最良の結果(例えば最大信号強度を有する)を与える、各アライメントマークに好適なアライメントセンサを求め、また、アライメントシステムは、好適なアライメントセンサに関連付けられた、検出された回折パターンからアライメント位置を求める、節5に記載の方法。
−アライメントマークに向けてその独自の測定周波数で光を放射し、
−アライメントマークにより反射された光における回折パターンを検出し、
アライメントシステムは、各アライメントマークについてアライメント位置のセットがアライメントシステムの2以上のアライメントセンサに対応して得られるように関連付けられた、検出された回折パターンからアライメント位置を求め、
各アライメントマークについて、アライメント位置を所定のアライメント位置と比較することによってアライメント位置のセットの各アライメント位置についてアライメント位置偏差が求められ、それによりアライメントマーク毎のアライメント位置偏差のセットを得て、
アライメントシステムは、最良の結果(例えば最大信号強度を有する)を与える各アライメントマークに好適なアライメントセンサを求め、好適なアライメントセンサに関する情報は、当該アライメントマークのアライメント位置およびアライメント位置偏差を求めるために用いられ、
マーク変形のレベルを表す値は、アライメント位置偏差のセットにおける広がりを表す値を求めてアライメントマークの変形のレベルを推定することにより求められる、節5に記載の方法。
Claims (18)
- 処理済み基板上のアライメントマークのアライメント位置を測定するために、処理済み基板上のアライメントマークから反射するように様々な周波数の光を放射しかつ反射された光における回折パターンを検出可能であるアライメントセンサシステムを備えるアライメントシステムを用いて、処理済み基板上のアライメントマーク変形のレベルを表す値を推定する方法であって、
a)所定のアライメント位置に各アライメントマークが設けられている、少なくともN個のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)前記基板を処理することと、
c)N個のアライメントマークについて、前記アライメントセンサシステムを用いて、前記基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
を含み、
2以上の周波数について、
d)光が、前記各2以上の周波数で前記アライメントマークに向けて放射され、
e)前記2以上の周波数のそれぞれについて、前記アライメントマークにより反射された光における対応する回折パターンが検出され、
前記アライメントシステムは、前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメント位置のセットが前記アライメントセンサシステムの前記2以上の周波数に対応して得られるように、前記検出された2以上の回折パターンからアライメント位置を求め、
当該方法はさらに、
f)前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、前記アライメント位置を前記所定のアライメント位置と比較することによって前記アライメント位置のセットの各アライメント位置についてアライメント位置偏差を求め、それによりアライメントマーク毎のアライメント位置偏差のセットを得ることと、
g)前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、前記アライメント位置偏差のセットにおける広がりを表す値を求めて、前記アライメントマークの変形のレベルを推定することと、
を含む、方法。 - 前記得られたアライメント位置偏差における前記広がりを表す前記値は、前記アライメント位置偏差のセットの分散または標準偏差である、請求項1に記載の方法。
- 処理済み基板上の所望点の位置を予測する方法であって、
a)所定のアライメント位置に各アライメントマークが設けられている、少なくともN個のアライメントマークを有する基板を提供することと、
b)前記基板を処理することと、
c)N個のアライメントマークについて、前記基板の処理後のアライメント位置を測定することと、
d)前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、前記測定されたアライメント位置を前記所定のアライメント位置と比較することによってアライメント位置偏差を求めることと、
e)前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメントマーク変形のレベルを表す値を求めることと、
f)前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、最小アライメントマーク変形を有するアライメントマークについては高く、比較的大きいアライメントマーク変形を有するアライメントマークについては低くなるように、重み係数を前記値に基づいて求めることと、
g)前記重み付けされたアライメント位置偏差を有する位置予測モデルを入力として適用することにより、前記基板上の所望点の位置を予測することと、
を含む方法。 - 前記アライメントマークのアライメント位置を測定するために、前記基板上のアライメントマークから反射するように様々な周波数の光を放射可能でありかつ該反射された光における回折パターンを検出可能であるアライメントセンサシステムを備えるアライメントシステムが用いられ、
前記基板の処理後の前記N個のアライメントマークのそれぞれの前記アライメント位置が、前記アライメントセンサシステムを用いて測定され、
2以上の周波数について、
光が、前記各2以上の周波数で前記アライメントマークに向けて放射され、
前記2以上の周波数のそれぞれについて、前記アライメントマークにより反射された光における対応する回折パターンが検出され、
前記アライメントシステムは、信号強度の観点から最良の結果を与える前記N個のアライメントマークのそれぞれに好適な周波数を求め、
前記アライメントシステムは、前記好適な周波数に関連付けられた前記検出された回折パターンからアライメント位置を求める、請求項3に記載の方法。 - 前記アライメントマークのアライメント位置を測定するために、前記基板上のアライメントマークから反射するように様々な周波数の光を放射可能でありかつ前記反射された光における回折パターンを検出可能であるアライメントセンサシステムを備えるアライメントシステムが用いられ、
前記基板の処理後の前記N個のアライメントマークのそれぞれの前記アライメント位置が、前記アライメントセンサシステムを用いて測定され、
2以上の周波数について、
光が、前記各2以上の周波数で前記アライメントマークに向けて放射され、
前記2以上の周波数のそれぞれについて、前記アライメントマークにより反射された光における対応する回折パターンが検出され、
前記アライメントシステムは、前記N個のアライメントマークのそれぞれについてアライメント位置のセットが前記アライメントセンサシステムの前記2以上の周波数に対応して得られるように、前記検出された2以上の回折パターンからアライメント位置を求め、
前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、前記アライメント位置を前記所定のアライメント位置と比較することによって前記アライメント位置のセットの各アライメント位置についてアライメント位置偏差が求められ、それによりアライメントマーク毎のアライメント位置偏差のセットが得られ、
前記アライメントシステムは、信号強度の観点から最良の結果を与える前記N個のアライメントマークのそれぞれに好適な周波数を求め、
前記好適な周波数の情報は、前記アライメントマークの前記アライメント位置およびアライメント位置偏差を求めるために用いられ、
前記マーク変形のレベルを表す前記値は、前記アライメント位置偏差のセットにおける広がりを表す値を求めて前記アライメントマークの前記変形のレベルを推定することによって求められる、請求項3に記載の方法。 - アライメントマーク変形の増加に伴い増加する値の場合、ゼロから1のスケールで、前記重み係数は、前記値が所定の閾値より上である場合にはゼロであり、前記値が前記所定の閾値未満である場合には1であり、
アライメントマーク変形の増加に伴い減少する値の場合、前記重み係数は、前記値が所定の閾値より上である場合には1であり、前記値が前記所定の閾値未満である場合にはゼロである、請求項3乃至5のいずれかに記載の方法。 - 前記重み係数は、前記好適な周波数の信号強度にも依存する、請求項4または5に記載の方法。
- 前記重み係数は、前記信号強度が所定の閾値未満である場合にゼロであり、前記信号強度が該所定の閾値より上である場合に1である、請求項7に記載の方法。
- 前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、前記各アライメントマークからの光の不所望の散乱を表す形状係数が求められ、
前記重み係数は、前記形状係数にも依存する、請求項4または5に記載の方法。 - 前記重み係数は、前記光の不所望の散乱が所定の閾値より上である場合にゼロであり、前記光の不所望の散乱が該所定の閾値未満である場合には1である、請求項9に記載の方法。
- 前記重み係数は、前記処理済み基板全体のアライメントマーク変形分布に依存する、請求項3乃至10のいずれかに記載の方法。
- 前記重み係数は、他のアライメントマークへの距離と、前記重み係数が求められた前記アライメントマークの前記値によって除算された前記他のアライメントマークの前記値との比の合計に依存することによって、前記アライメントマーク変形分布に依存する、請求項11に記載の方法。
- a)Mは少なくとも2である、M個の基板を提供することと、
b)Nは少なくとも2である、少なくともN個のアライメントマークを含み、各アライメントマークは第1のパターン内にそれぞれの所定の公称位置を有する、該第1のパターンを前記M個の基板のそれぞれに転写することと、
c)前記M個の基板を処理することと、
d)各基板について、N個のアライメントマークの位置を測定することと、
e)前記測定されたアライメントマークのそれぞれについて、前記対応するアライメントマークのアライメントマーク変形のレベルを表す第1のマーク変形値を求めることと、
f)前記測定されたアライメントマークのそれぞれについて、アライメントマークの前記それぞれの公称位置を前記アライメントマークの前記それぞれの測定された位置と比較することによってアライメントマーク変位を求めることと、
g)各基板について、第1のモデルを前記N個のアライメントマーク変位にフィットして、基板毎に少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを得ることと、
h)第2のパターンを前記第1のパターンに対して位置合わせするために、前記それぞれの少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを用いて前記第2のパターンを前記M個の基板のそれぞれに転写することと、
i)各基板について、前記基板上の異なる場所において前記第2のパターンに対する前記第1のパターンの相対位置を測定することにより、それぞれの場所における第1および第2パターン間の所望アライメントに対する前記第2パターンの変位を表すオーバーレイエラーを少なくとも2つ測定することと、
j)各基板について、前記第1のモデルを前記N個の第1のマーク変形値のそれぞれにフィットして、基板毎に少なくとも1つの第1のマーク変形モデルパラメータを得ることと、
k)各基板について、前記第1のモデルを前記複数のオーバーレイエラーのそれぞれにフィットして、基板毎に少なくとも1つのオーバーレイエラーモデルパラメータを得ることと、
l)第1のマーク変形値とオーバーレイエラーとの関係を求めるために、前記得られた第1のマーク変形モデルパラメータと前記得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの関係を求めることと、を含む方法。 - 前記得られた第1のマーク変形モデルパラメータと前記得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの前記関係は、方程式のセットを解くことにより見出され、
各方程式は、対応する第1のマーク変形モデルパラメータの関数としてオーバーレイエラーモデルパラメータを定義する、請求項13に記載の方法。 - e2)前記測定されたアライメントマークのそれぞれについて、前記対応するアライメントマークのアライメントマーク変形の前記レベルを表す第2のマーク変形値を、前記第1のマーク変形値を求めるための前記第1のモデルとは異なるモデルに基づき、求めることと、
j2)各基板について、前記第1のモデルを前記N個の第2のマーク変形値のそれぞれにフィットして、基板毎に少なくとも1つの第2のマーク変形モデルパラメータを得ることと、
を含み、
ステップl)は、次のステップ:
l’)第1および第2のマーク変形値とオーバーレイエラーとの関係を求めるために、前記得られた第1および第2のマーク変形モデルパラメータと前記得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの関係を求めることで置き換えられる、請求項13に記載の方法。 - 前記得られた第1および第2のマーク変形モデルパラメータと前記得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの前記関係は、方程式のセットを解くことにより見出され、
各方程式は、対応する第1のマーク変形モデルパラメータおよび対応する第2のマーク変形モデルパラメータの関数としてオーバーレイエラーモデルパラメータを定義する、請求項15に記載の方法。 - Mは、前記方程式のセットのパラメータの数より大きく、Nは、前記第1モデルのパラメータの数より大きい、請求項14または16に記載の方法。
- m)前記得られた第1のマーク変形モデルパラメータと前記得られたオーバーレイエラーモデルパラメータとの前記関係に基づいて少なくとも1つのアライメントモデルパラメータ補償値を計算して、マーク変形誘起オーバーレイエラーを補償することと、
n)各アライメントマークが第1のパターン内にそれぞれの所定の公称位置を有する、少なくともN個のアライメントマークを含む第1のパターンを、更なる基板に転写することと、
o)前記更なる基板を処理することと、
p)前記更なる基板上のN個のアライメントマークの位置を測定することと、
q)前記更なる基板の測定された前記N個のアライメントマークのそれぞれについて、アライメントマークの前記それぞれの公称位置を前記アライメントマークの前記それぞれの測定された位置と比較することにより、アライメントマーク変位を求めることと、
r)前記第1のモデルを、前記更なる基板の前記N個のアライメントマーク変位にフィットして、前記更なる基板に関連付けられた少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを得ることと、
s)前記少なくとも1つのアライメントモデルパラメータを前記少なくとも1つの計算されたアライメントモデルパラメータ補償値と組み合わせて、少なくとも1つの補償済みアライメントモデルパラメータを得ることと、
t)第2のパターンを前記第1のパターンに対して位置合わせするために、前記少なくとも1つの補償済みアライメントモデルパラメータを用いて前記第2のパターンを前記更なる基板に転写することと、
を含む、請求項13または14に記載の方法。
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