JP4739774B2 - セラミック焼結体接合装置及びセラミック焼結体接合方法 - Google Patents
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1次プレートの作成について説明する。イットリアを5重量%添加したAlN原料にMoコイル状発熱体を埋設し、プレス成形して直径350mm、厚さ50mmの成形体を作成した。この成形体を0.5kg/cm2G(49kPa)の窒素雰囲気下において、最高温度1910℃(2183K)、最高温度キープ時間6時間、圧力200kg/cm2(1.96×107Pa)でホットプレス焼成した。平面研削盤、円筒研削盤を用いて焼成体から1次プレートを作成した。その後、1次プレートの表面に凸部を設けた。凸部の形状は、外径80mm、内径59mm、高さ1.6mmとした。凸部の表面はラップ加工を行い、表面粗さ(算術平均粗さRa)0.5μm、平面度0.8μmに仕上げた。
シャフトの作成について説明する。イットリアを5重量%添加したAlN原料を、中芯をセットしたゴム型内に充填し、圧力5トンでCIP(冷間静水圧プレス)成形し、焼成時の収縮率分を割り掛けた寸法となるように乾式加工し、0.5kg/cm2G(49kPa)の窒素雰囲気下において焼成して、内径59mm、外径80mm、長さ170mmのシャフトを得た。このシャフトの端面を、1次プレートと同様に、ラップ加工を実施し、表面粗さ(算術平均粗さRa)0.2μm、平面度0.3μmに仕上げた。
このようにして作成した1次プレートとシャフトとの接合界面に硝酸イットリウムを塗布し、シャフトと1次プレートの接合箇所の位置決めをおこない、100℃(373K)の乾燥機で1時間乾燥した。
101…1次プレート(第1のセラミック焼結体)、
102…シャフト(第1のセラミック焼結体)、
104…台座、105…荷重筒(第1の荷重伝達部材)、
106…重鎮(荷重発生手段)、107…パンチ(第2の荷重伝達部材)、
108…ヒータ(加熱手段)、109…電源装置、
110…金属製容器、111…ガス排気封入装置、
210,310…鞘、320…蓋。
Claims (6)
- 板状の第1のセラミック焼結体と、円筒状部及び鍔部を有する第2のセラミック焼結体とを接合する装置であって、
前記第1のセラミック焼結体を載置可能な非炭素系材料からなる台座と、
前記第1のセラミック焼結体の平面部と前記第2のセラミック焼結体の鍔部との接合面に付与する荷重を発生可能な荷重発生手段と、
第2のセラミック焼結体を包囲可能で、かつ前記鍔部に前記荷重を伝達可能な第1の荷重伝達部材と、
前記第1のセラミック焼結体の平面部と前記第2のセラミック焼結体の鍔部との接合面を加熱可能な加熱手段と、
前記第1のセラミック焼結体又は前記第2のセラミック焼結体の少なくとも一方の少なくとも一部を包囲可能な非炭素系材料を含むカバーと、
を備え、
前記カバーとして、前記第1のセラミック焼結体及び前記第2のセラミック焼結体を包囲可能で、前記第1の荷重伝達部材を出し入れ可能な開口部を有し、かつ少なくとも内側部材が非炭素系材料からなる容器を備える、セラミック焼結体接合装置。 - 請求項1記載のセラミック焼結体接合装置であって、
前記カバーとして、前記容器のほかに、非炭素系材料からなる前記第1の荷重伝達部材と、前記荷重発生手段と前記第1の荷重伝達部材との間に配置され、前記荷重発生手段の荷重を前記第1の荷重伝達部材に伝達可能な第2の荷重伝達部材とを備える、
セラミック焼結体接合装置。 - 請求項1又は2記載のセラミック焼結体接合装置であって、
前記開口部に装着可能であり、内径が前記第1の荷重伝達部材の外径より大きく、前記開口部の端面と前記第1の荷重伝達部材との間隙に配置可能な、非炭素系材料からなる蓋をさらに備える、
セラミック焼結体接合装置。 - 請求項1に記載のセラミック焼結体接合装置の台座に第1のセラミック焼結体を載せ、前記第1のセラミック焼結体上に第2のセラミック焼結体を載せ、第2のセラミック焼結体を包囲可能で、かつ第2のセラミック焼結体の鍔部に荷重を伝達可能な第1の荷重伝達部材を載せ、さらに前記荷重伝達部材の上に荷重発生手段を載せ、前記第1のセラミック焼結体又は前記第2のセラミック焼結体の少なくとも一方の少なくとも一部を非炭素系材料を含むカバーによって包囲した状態で、加熱可能な加熱手段で前記第1のセラミック焼結体と前記第2のセラミック焼結体とを加熱して接合温度まで昇温させる、セラミック焼結体接合方法であって、
前記カバーとして、前記第1のセラミック焼結体及び前記第2のセラミック焼結体を包囲可能で、前記第1の荷重伝達部材を出し入れ可能な開口部を有し、かつ少なくとも内側部材が非炭素系材料からなる容器を用いる、セラミック焼結体接合方法。 - 請求項4記載のセラミック焼結体接合方法であって、
前記カバーとして、前記容器のほかに、非炭素系材料からなる前記第1の荷重伝達部材を用い、さらに、前記カバーとして、前記荷重発生手段と前記第1の荷重伝達部材との間に前記荷重発生手段の荷重を前記第1の荷重伝達部材に伝達可能な第2の荷重伝達部材を配置する、セラミック焼結体接合方法。 - 請求項4又は5に記載のセラミック焼結体接合方法であって、
前記開口部に装着可能であり、内径が前記第1の荷重伝達部材の外径より大きく、非炭素系材料からなる蓋を前記開口部の端面と前記第1の荷重伝達部材との間隙に、さらに配置する、セラミック焼結体接合方法。
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