JPH02295700A - 熱盤プレス装置 - Google Patents
熱盤プレス装置Info
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- JPH02295700A JPH02295700A JP11553189A JP11553189A JPH02295700A JP H02295700 A JPH02295700 A JP H02295700A JP 11553189 A JP11553189 A JP 11553189A JP 11553189 A JP11553189 A JP 11553189A JP H02295700 A JPH02295700 A JP H02295700A
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- furnace body
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Landscapes
- Press Drives And Press Lines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、各種素材を真空かつ高温下でプレスする際に
用いられる熱盤プレス装置に関するものである。
用いられる熱盤プレス装置に関するものである。
「従来の技術」
各種の素材を拡散接合する際、あるいは超塑性加工を施
すに際して、素材を真空かつ高温下でプレスする必要が
生じることがあり、そのような場合に用いられるプレス
装置として従来より第3図および第4図に示すような熱
盤プレス装置が用いられている。
すに際して、素材を真空かつ高温下でプレスする必要が
生じることがあり、そのような場合に用いられるプレス
装置として従来より第3図および第4図に示すような熱
盤プレス装置が用いられている。
この従来の熱盤プレス装置は、プレスフレーム1内に配
した対のプレスベッド2.3にそれぞれ電気ヒータ4,
4を埋め込んでおき、上側のプレスベノド2を油圧シリ
ンダ5により押し下げることによって、それらプレスベ
ッド2,3間に配置した真空容器6内の彼加工物を電気
ヒータ4,4により加熱しつつプレスするようにしたも
のである。図中の符号7はプレスベッド2,3の周囲を
覆うように設けられた放熱防止用の断熱材、8は電気ヒ
ータ4,4に電源を供給するための電源ケーブルであっ
て、この電源ケーブル8はプレスベッド2の昇降に追従
できるように可撓性を有するものとされている。
した対のプレスベッド2.3にそれぞれ電気ヒータ4,
4を埋め込んでおき、上側のプレスベノド2を油圧シリ
ンダ5により押し下げることによって、それらプレスベ
ッド2,3間に配置した真空容器6内の彼加工物を電気
ヒータ4,4により加熱しつつプレスするようにしたも
のである。図中の符号7はプレスベッド2,3の周囲を
覆うように設けられた放熱防止用の断熱材、8は電気ヒ
ータ4,4に電源を供給するための電源ケーブルであっ
て、この電源ケーブル8はプレスベッド2の昇降に追従
できるように可撓性を有するものとされている。
上記の熱盤プレス装置により、真空かつ高温下で拡散接
合を行う場合には、まず、第4図に示すように、接合す
るべき試料9,9を上下に重ねて容i!i 6内に収納
し、その容器6を、中央部が上面側に若干湾曲した形態
とされた耐熱金属板等からなる薄板状の蓋体10を溶接
することで密閉し、この容器6内を真空とする。そして
、この容器6をプレスベノド3上に配置した後、電気ヒ
ータ4,4に通電してプレスベッド2を押し下げる。こ
れにより、試料9,9は容器6および蓋体10を介して
電気ヒータ4,4により高温に加熱されるとともに、蓋
体lOが変形していって試料9,9に対するプレスがな
され、これによって拡散接合がなされる。
合を行う場合には、まず、第4図に示すように、接合す
るべき試料9,9を上下に重ねて容i!i 6内に収納
し、その容器6を、中央部が上面側に若干湾曲した形態
とされた耐熱金属板等からなる薄板状の蓋体10を溶接
することで密閉し、この容器6内を真空とする。そして
、この容器6をプレスベノド3上に配置した後、電気ヒ
ータ4,4に通電してプレスベッド2を押し下げる。こ
れにより、試料9,9は容器6および蓋体10を介して
電気ヒータ4,4により高温に加熱されるとともに、蓋
体lOが変形していって試料9,9に対するプレスがな
され、これによって拡散接合がなされる。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、上記従来の熱盤プレス装置により上記のよう
な拡散接合を行う場合、容器6の蓋体lOはプレスの際
に変形してしまってこれを再使用することはできないの
で、蓋体10をその都度使い捨てとせざるを得ず、この
ため製造コストがかさんでしまうものであった。
な拡散接合を行う場合、容器6の蓋体lOはプレスの際
に変形してしまってこれを再使用することはできないの
で、蓋体10をその都度使い捨てとせざるを得ず、この
ため製造コストがかさんでしまうものであった。
また、試料9,9を1 . O O O ’Cを越える
ような高温に加熱してプレスを行う必要がある場合には
、蓋体10もそのような高温に耐え得るものとしなけれ
ばならず、したがってたとえばモリブデンやタングステ
ン等の極めて高価な材料を使用せざるを得ないが、その
ような高価な耐熱金属を使用し、しかも、1回の処理ご
とに使い捨てとすることは製造コストの点で現実的では
なく、結局、この従来の熱盤プレス装置では余り高温下
における処理を行うことができないものであった。
ような高温に加熱してプレスを行う必要がある場合には
、蓋体10もそのような高温に耐え得るものとしなけれ
ばならず、したがってたとえばモリブデンやタングステ
ン等の極めて高価な材料を使用せざるを得ないが、その
ような高価な耐熱金属を使用し、しかも、1回の処理ご
とに使い捨てとすることは製造コストの点で現実的では
なく、結局、この従来の熱盤プレス装置では余り高温下
における処理を行うことができないものであった。
さらに、上記従来の熱盤プレス装置では、プレスベッド
2.3に埋め込んだ電気ヒータ4.4に対して可撓性の
電源ケーブル8により電源供給を行っているのであるが
、この電源ケーブル8は繰り返し変形を受けるので比較
的早期に劣化したり損傷を受ける恐れがあり、また、特
にプレスベノド2の昇降ストロークが大きい場合にはそ
の電源ケーブル8を収容しておくために十分なスペース
を確保しなければならず、このため、装置全体が大型化
してしまう、という欠点もあった。
2.3に埋め込んだ電気ヒータ4.4に対して可撓性の
電源ケーブル8により電源供給を行っているのであるが
、この電源ケーブル8は繰り返し変形を受けるので比較
的早期に劣化したり損傷を受ける恐れがあり、また、特
にプレスベノド2の昇降ストロークが大きい場合にはそ
の電源ケーブル8を収容しておくために十分なスペース
を確保しなければならず、このため、装置全体が大型化
してしまう、という欠点もあった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、高温下か
つ真空下におけるプレスを低コストで行うことができ、
また、装置全体をコンパクトなものとできる熱盤プレス
装置を提供することを目的としている。
つ真空下におけるプレスを低コストで行うことができ、
また、装置全体をコンパクトなものとできる熱盤プレス
装置を提供することを目的としている。
「課題を解決するための手段」
本発明の熱盤プレス装置は、真空を保持可能な炉体の内
部に少なくとも一方が炉体に対して昇降可能な対のプレ
スベッドを配し、それら対のプレスベッドの周囲に電気
ヒータを配するとともにそれらプレスベッドにそれぞれ
電気ヒータを埋め込んでなり、被加工物を前記各電気ヒ
ータにより加熱するとともに両プレスベッドにより押圧
してプレスするように構成されてなることを特徴とする
ものである。
部に少なくとも一方が炉体に対して昇降可能な対のプレ
スベッドを配し、それら対のプレスベッドの周囲に電気
ヒータを配するとともにそれらプレスベッドにそれぞれ
電気ヒータを埋め込んでなり、被加工物を前記各電気ヒ
ータにより加熱するとともに両プレスベッドにより押圧
してプレスするように構成されてなることを特徴とする
ものである。
上記の熱盤プレス装置においては、昇降可能とされたプ
レスベッドに埋め込まれている電気ヒータへの給電線を
このプレスベッドの昇降方向と平行にかつ前記炉体を貫
通させて設けるとともに、この給電線をプレスベッドと
ともに昇降可能となし、この給電線の外側に前記給電線
および前記プレスベッドとともに昇降する中空ロッドを
取り付けてその端部を炉体に設けた貫通孔から炉体内に
挿入し、この中空ロッドの外面と前記貫通孔内面との間
、および中空ロッドの内面と前記給電線との間に、それ
ぞれ炉体内の真空を保持するためのシール材を取り付け
るようにすることが望ましい。
レスベッドに埋め込まれている電気ヒータへの給電線を
このプレスベッドの昇降方向と平行にかつ前記炉体を貫
通させて設けるとともに、この給電線をプレスベッドと
ともに昇降可能となし、この給電線の外側に前記給電線
および前記プレスベッドとともに昇降する中空ロッドを
取り付けてその端部を炉体に設けた貫通孔から炉体内に
挿入し、この中空ロッドの外面と前記貫通孔内面との間
、および中空ロッドの内面と前記給電線との間に、それ
ぞれ炉体内の真空を保持するためのシール材を取り付け
るようにすることが望ましい。
「作用」
本発明の熱盤プレス装置は、内部に対のプレスベ,ドを
設けた炉体内全体を真空となすとともに、プレスベッド
の周囲に設けた電気ヒータおよびプレスベノドに埋め込
んだ電気ヒータによって被加工物を加熱して高温となし
、それらプレスベッドにより被加工物を押圧してプレス
を行うものである。
設けた炉体内全体を真空となすとともに、プレスベッド
の周囲に設けた電気ヒータおよびプレスベノドに埋め込
んだ電気ヒータによって被加工物を加熱して高温となし
、それらプレスベッドにより被加工物を押圧してプレス
を行うものである。
「実施例」
以下、本発明の一実施例を第1図および第2図を参照し
て説明する。
て説明する。
第1図は本実施例の熱盤プレス装置の概略構成を示す立
断面図であって、図中符号11はプレスフレーム、12
はその内側に設けられた真空を保持可能な炉体、13は
その内面側に設けられた断熱材、14はその内側に取り
付けられた電気ヒータ、15はフレーム11下部に支持
されることによって炉体12内の底部に固定された下側
のプレスベ,ド、16は炉体l2内の上部において昇降
可能とされた上側のプレスベッド、17.18はプレス
ベッド16を昇降させるための主プレス/リングおよび
副プレス7リンタ、19はそれらプレスシリンダ17.
18のロツド17a,18aとプレスベッド16との間
に設けられたプレスラムである。
断面図であって、図中符号11はプレスフレーム、12
はその内側に設けられた真空を保持可能な炉体、13は
その内面側に設けられた断熱材、14はその内側に取り
付けられた電気ヒータ、15はフレーム11下部に支持
されることによって炉体12内の底部に固定された下側
のプレスベ,ド、16は炉体l2内の上部において昇降
可能とされた上側のプレスベッド、17.18はプレス
ベッド16を昇降させるための主プレス/リングおよび
副プレス7リンタ、19はそれらプレスシリンダ17.
18のロツド17a,18aとプレスベッド16との間
に設けられたプレスラムである。
上記の主および副プレスシリンダ17.18はいずれも
両ロッド型のもので、それらは同期して作動することに
よって下方に延びる上記ロッド17a,18aによりプ
レスラム19を介してプレスベッド16を昇降させると
ともに、その際に、上方に延びるロソド17b,18b
に連結された給電線27(後述)および中空ロツド23
(後述)をプレスへ,ド16とともに昇降させるように
なっている。
両ロッド型のもので、それらは同期して作動することに
よって下方に延びる上記ロッド17a,18aによりプ
レスラム19を介してプレスベッド16を昇降させると
ともに、その際に、上方に延びるロソド17b,18b
に連結された給電線27(後述)および中空ロツド23
(後述)をプレスへ,ド16とともに昇降させるように
なっている。
上記の両プレスベッド15.16には、それぞれ電気ヒ
ータ20,21が埋め込まれており、それら電気ヒータ
20,21に通電することによってプレスベッド15.
16は高温となるようにされている。
ータ20,21が埋め込まれており、それら電気ヒータ
20,21に通電することによってプレスベッド15.
16は高温となるようにされている。
そして、下側のプレスベソド15に埋め込まれている電
気ヒータ20、および炉体12内面に取り付けられてい
る上記の電気ヒータ14はいずれも固定的に設けられて
いるのでこれらに対する電源供給は適宜行なわれている
が、上側のプレスベッド16に埋め込まれている電気ヒ
ータ21はプレスベノド16とともに昇降するので、そ
の電気ヒータ2lに対する電源供給は次のようになされ
ている。
気ヒータ20、および炉体12内面に取り付けられてい
る上記の電気ヒータ14はいずれも固定的に設けられて
いるのでこれらに対する電源供給は適宜行なわれている
が、上側のプレスベッド16に埋め込まれている電気ヒ
ータ21はプレスベノド16とともに昇降するので、そ
の電気ヒータ2lに対する電源供給は次のようになされ
ている。
すなわち、第2図に示すように、上記プレスシ’J :
/ 夕’ l 7 , 1 8の上方に延びている各ロ
ッド17b,18bには連結部材22が固定されており
、その連結部材22の端部には、たとえばステンレスか
らなる中空ロツド23がその上端部をフランジ24によ
り固定されることによって吊り下げられている。この中
空ロッド23は各シリンダ17,18のロッド17b,
18bおよびプレスラム19と平行な状態で(すなわち
プレスベッドl6の昇降方向と平行な状態で)下方に延
び、その下端部は、炉体l2に設けられた貫通孔12a
の内側に取り付けられているロツドガイド25により上
下方向に摺動可能な状態で支持されて炉体12内に挿入
されている。したがって、この中空ロッド23は、プレ
スシリンダ17.18を作動させたときにはプレスベッ
ド16とともに昇降することになる。なお、上記のロン
ドガイド25と炉体l2の貫通孔12aと間、およびガ
イドロッド25と中空ロツド23外面との間にはOリン
グ26が装着されており、これら○リング26によって
炉体l2内の真空が保持されるとともに、中空ロッド2
3の昇降が許容されるようになっている。
/ 夕’ l 7 , 1 8の上方に延びている各ロ
ッド17b,18bには連結部材22が固定されており
、その連結部材22の端部には、たとえばステンレスか
らなる中空ロツド23がその上端部をフランジ24によ
り固定されることによって吊り下げられている。この中
空ロッド23は各シリンダ17,18のロッド17b,
18bおよびプレスラム19と平行な状態で(すなわち
プレスベッドl6の昇降方向と平行な状態で)下方に延
び、その下端部は、炉体l2に設けられた貫通孔12a
の内側に取り付けられているロツドガイド25により上
下方向に摺動可能な状態で支持されて炉体12内に挿入
されている。したがって、この中空ロッド23は、プレ
スシリンダ17.18を作動させたときにはプレスベッ
ド16とともに昇降することになる。なお、上記のロン
ドガイド25と炉体l2の貫通孔12aと間、およびガ
イドロッド25と中空ロツド23外面との間にはOリン
グ26が装着されており、これら○リング26によって
炉体l2内の真空が保持されるとともに、中空ロッド2
3の昇降が許容されるようになっている。
一方、電気ヒータ21には給電線27の下端が接続され
、その給電線27は上方に延びて断熱材13を貫通し、
さらに上記中空ロッド23の内部を非接触状態を保って
挿通し、その上端部は上記フランジ24を介して上記連
結部材22に固定されている。そして、その上端には給
電瑞子28を介して電源ケーブル29が連結されている
。したがって、この給電線27はプレスベッド16およ
び中空ロツド23とともに炉体12に対して昇降するこ
とになる。
、その給電線27は上方に延びて断熱材13を貫通し、
さらに上記中空ロッド23の内部を非接触状態を保って
挿通し、その上端部は上記フランジ24を介して上記連
結部材22に固定されている。そして、その上端には給
電瑞子28を介して電源ケーブル29が連結されている
。したがって、この給電線27はプレスベッド16およ
び中空ロツド23とともに炉体12に対して昇降するこ
とになる。
なお、給電線27はたとえば水冷銅製とすれば良いが、
少なくとも炉体12内に位置する部分は耐熱性を考慮し
て黒鉛製とすることが良い。
少なくとも炉体12内に位置する部分は耐熱性を考慮し
て黒鉛製とすることが良い。
そして、給電線27の上端部とフランジ24との間、お
よび中空ロッド23の下端部と給電線27との間には、
それぞれたとえばテフロン製の絶縁材30が介装されて
いて、これら絶縁材30により中空ロツド23と給電線
27との電気的な絶縁状態が保持されるようになってい
る。また、フランジ24の内側に設けられた上記絶縁材
30のさらに内側にはOリング31が装着されており、
このOリング31によって給電線27と中空ロツド23
の間の隙間かシールされて炉体l2内の真空が保持され
るようになっている。
よび中空ロッド23の下端部と給電線27との間には、
それぞれたとえばテフロン製の絶縁材30が介装されて
いて、これら絶縁材30により中空ロツド23と給電線
27との電気的な絶縁状態が保持されるようになってい
る。また、フランジ24の内側に設けられた上記絶縁材
30のさらに内側にはOリング31が装着されており、
このOリング31によって給電線27と中空ロツド23
の間の隙間かシールされて炉体l2内の真空が保持され
るようになっている。
上記の熱盤プレス装置によってプレスを行うには、まず
、上側のプレスベッド16を上昇させて下側のプレスベ
ッドl5上に彼加工物32を直接的に配置し、炉体12
内部から排気を行って所望の真空度となすとともに、電
気ヒータ14,20.21に通電して炉体12内および
彼加工物゛32を所望の温度まで昇温させた後、プレス
シリンダ17,18を作動させてプレスベノド16を降
下させ、被加工物32に対して所望の押圧力を直接的に
加えれば良い。
、上側のプレスベッド16を上昇させて下側のプレスベ
ッドl5上に彼加工物32を直接的に配置し、炉体12
内部から排気を行って所望の真空度となすとともに、電
気ヒータ14,20.21に通電して炉体12内および
彼加工物゛32を所望の温度まで昇温させた後、プレス
シリンダ17,18を作動させてプレスベノド16を降
下させ、被加工物32に対して所望の押圧力を直接的に
加えれば良い。
上記構成の熱盤プレス装置では、炉体12内全体を真空
として処理を行うので十分な高真空を容易に得ることが
できるとともに、従来の熱盤プレス装置においては必要
であった第4図に示したような使い捨てとせざるを得な
い容器6およびその蓋体10を用いる必要がないので、
製造コストの点で大きく有利である。
として処理を行うので十分な高真空を容易に得ることが
できるとともに、従来の熱盤プレス装置においては必要
であった第4図に示したような使い捨てとせざるを得な
い容器6およびその蓋体10を用いる必要がないので、
製造コストの点で大きく有利である。
また、この熱盤プレス装置は、炉体12内に設けた電気
ヒータ14、およびプレスベッド15.16に埋め込ん
だ電気ヒータ20,21の双方により炉体12内および
被加工物32を加熱するので、従来の熱盤プレス装置、
あるいは従来のホ・ットプレス装置に比してより高温が
容易に得られるとともに急速加熱が可能であり、しかも
、従来の熱盤プレス装置のように高価な耐熱金属性の容
器6やその蓋体10を用いる必要がないことから、従来
においては困難であった1,OOO’Cを越えるような
高温下における処理を行うことが可能なものである。
ヒータ14、およびプレスベッド15.16に埋め込ん
だ電気ヒータ20,21の双方により炉体12内および
被加工物32を加熱するので、従来の熱盤プレス装置、
あるいは従来のホ・ットプレス装置に比してより高温が
容易に得られるとともに急速加熱が可能であり、しかも
、従来の熱盤プレス装置のように高価な耐熱金属性の容
器6やその蓋体10を用いる必要がないことから、従来
においては困難であった1,OOO’Cを越えるような
高温下における処理を行うことが可能なものである。
また、プレスベッド16に埋め込んだ電気ヒータ21へ
の給電線27をプレスベノド16の昇降方向と平行に、
かつそのプレスベッド16とともに炉体12に対して昇
降可能に設けたので、従来の可撓性の電源ケーブル8を
用いて電源供給を行う場合のように給電線27が変形を
受けることがなく、このためそれが早期に劣化したり損
傷を受けてしまうようなことはないことは勿論のこと、
電源ケーブル8を収納しておくためのスペースが不要と
なり、このため、装置全体をコンパクトなものとできる
。
の給電線27をプレスベノド16の昇降方向と平行に、
かつそのプレスベッド16とともに炉体12に対して昇
降可能に設けたので、従来の可撓性の電源ケーブル8を
用いて電源供給を行う場合のように給電線27が変形を
受けることがなく、このためそれが早期に劣化したり損
傷を受けてしまうようなことはないことは勿論のこと、
電源ケーブル8を収納しておくためのスペースが不要と
なり、このため、装置全体をコンパクトなものとできる
。
そして、給電線27の外側に中空ロッド23を給電線2
7とともに昇降可能に設け、この中空口・ノド23と炉
体12の貫通孔12aとの間、および中空ロッド23と
給電線27との間にそれぞれOリング26.31を介装
したので、炉体12内の真空を十分に保持できるととも
に、Oリング26によって中空ロッド23の炉体12に
対する昇降は許容され、しかも、給電線27と中空ロッ
ド23との間に介装した絶縁材によりそれらの間の電気
的な絶縁は十分に確保することができる。
7とともに昇降可能に設け、この中空口・ノド23と炉
体12の貫通孔12aとの間、および中空ロッド23と
給電線27との間にそれぞれOリング26.31を介装
したので、炉体12内の真空を十分に保持できるととも
に、Oリング26によって中空ロッド23の炉体12に
対する昇降は許容され、しかも、給電線27と中空ロッ
ド23との間に介装した絶縁材によりそれらの間の電気
的な絶縁は十分に確保することができる。
なお、給電線27の上端および中空口,ソド23の下端
をそれぞれ自由端としておくことにより、それら給電線
27および中空口・ノド23の熱変形(長さ方向の膨張
および収縮)を支障なく吸収することができる。
をそれぞれ自由端としておくことにより、それら給電線
27および中空口・ノド23の熱変形(長さ方向の膨張
および収縮)を支障なく吸収することができる。
「発明の効果」
以上で詳細に説明したように、本発明によれば、真空を
保持可能な炉体の内部に対のプレスベ.,ドを配し、そ
れら対のプレスベッドの周囲に配した電気ヒータおよび
それらプレスベ・ノドに埋め込んだ電気ヒータにより被
加工物を加熱してプレスするように構成したので、被加
工物を収納するための容器を必要とする従来の熱盤プレ
ス装置に比してより高温下における処理を低コストで行
うことが可能となる、という優れた効果を奏する。
保持可能な炉体の内部に対のプレスベ.,ドを配し、そ
れら対のプレスベッドの周囲に配した電気ヒータおよび
それらプレスベ・ノドに埋め込んだ電気ヒータにより被
加工物を加熱してプレスするように構成したので、被加
工物を収納するための容器を必要とする従来の熱盤プレ
ス装置に比してより高温下における処理を低コストで行
うことが可能となる、という優れた効果を奏する。
また、プレスベッドに埋め込んだ電気ヒータへの給電線
をプレスベッドの昇降方向と平行に、かつそのプレスベ
ッドとともに炉体に対して昇降可能に設ければ、従来の
可撓性の電源ケーブルを用いて電源供給を行う場合のよ
うに給電線が変形を受けて早期に劣化したり損傷を受け
てしまうようなことはないことは勿論のこと、電源ケー
ブルを収納してお《ためのスペースが不要となり、この
ため、装置全体をコンパクトなものにできる。
をプレスベッドの昇降方向と平行に、かつそのプレスベ
ッドとともに炉体に対して昇降可能に設ければ、従来の
可撓性の電源ケーブルを用いて電源供給を行う場合のよ
うに給電線が変形を受けて早期に劣化したり損傷を受け
てしまうようなことはないことは勿論のこと、電源ケー
ブルを収納してお《ためのスペースが不要となり、この
ため、装置全体をコンパクトなものにできる。
さらに、給電線の外側に中空ロツドを給電線およびプレ
スベ,ドとともに炉体に対して昇降可能に設け、その給
電線と中空ロッドとの間および中空口,ドと炉体の貫通
孔との間に炉体内の真空を保持するためのシール材をそ
れぞれ介装すれば、中空ロソドおよび給電線の昇降を許
容しつつ炉体内の真空を十分に保持することができる。
スベ,ドとともに炉体に対して昇降可能に設け、その給
電線と中空ロッドとの間および中空口,ドと炉体の貫通
孔との間に炉体内の真空を保持するためのシール材をそ
れぞれ介装すれば、中空ロソドおよび給電線の昇降を許
容しつつ炉体内の真空を十分に保持することができる。
第1図は本発明に係わる熱盤プレス装置の一実施例を示
す立断面図、第2図はその要部拡大図である。 第3図は従来の熱盤プレス装置を示す立断面図、第4図
はこの従来の熱盤プレス装置によって拡散接合を行う場
合に使用する容器を示す断面図である。 1・・・・・プレスフレーム、12・・・・・・炉体、
2a・・・・・・貫通孔、X4・・・・・・電気ヒータ
、5.16・・・・・・プレスベソド、 7.18・・・・・・プレスシリンダ、9・・・・・プ
レスラム、20,2 3・・・・・・中空ロツド、 6.3 1・・・・・・0リング(シール材)、7・・
・・・・給電線、30・・・・・・絶縁材、2・・・・
・・被加工物。 ■・・・・・・電気ヒータ、 出願人 石川島播磨重工業株式会社 第1図
す立断面図、第2図はその要部拡大図である。 第3図は従来の熱盤プレス装置を示す立断面図、第4図
はこの従来の熱盤プレス装置によって拡散接合を行う場
合に使用する容器を示す断面図である。 1・・・・・プレスフレーム、12・・・・・・炉体、
2a・・・・・・貫通孔、X4・・・・・・電気ヒータ
、5.16・・・・・・プレスベソド、 7.18・・・・・・プレスシリンダ、9・・・・・プ
レスラム、20,2 3・・・・・・中空ロツド、 6.3 1・・・・・・0リング(シール材)、7・・
・・・・給電線、30・・・・・・絶縁材、2・・・・
・・被加工物。 ■・・・・・・電気ヒータ、 出願人 石川島播磨重工業株式会社 第1図
Claims (2)
- (1)真空を保持可能な炉体の内部に少なくとも一方が
炉体に対して昇降可能な対のプレスベッドを配し、それ
ら対のプレスベッドの周囲に電気ヒータを配するととも
にそれらプレスベッドにそれぞれ電気ヒータを埋め込ん
でなり、被加工物を前記各電気ヒータにより加熱すると
ともに両プレスベッドにより押圧してプレスするように
構成されてなることを特徴とする熱盤プレス装置。 - (2)昇降可能とされた前記プレスベッドに埋め込まれ
ている電気ヒータへの給電線をこのプレスベッドの昇降
方向と平行にかつ前記炉体を貫通させて設けるとともに
、この給電線をプレスベッドとともに昇降可能となし、
この給電線の外側に前記給電線および前記プレスベッド
とともに昇降する中空ロッドを取り付けてその端部を炉
体に設けた貫通孔から炉体内に挿入し、この中空ロッド
の外面と前記貫通孔内面との間、および中空ロッドの内
面と前記給電線との間に、それぞれ炉体内の真空を保持
するためのシール材を取り付けてなることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の熱盤プレス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11553189A JPH02295700A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 熱盤プレス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11553189A JPH02295700A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 熱盤プレス装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02295700A true JPH02295700A (ja) | 1990-12-06 |
Family
ID=14664839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11553189A Pending JPH02295700A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 熱盤プレス装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02295700A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06241662A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | セラミックス接合炉 |
JP2006232576A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Ngk Insulators Ltd | セラミック焼結体接合装置及びセラミック焼結体接合方法 |
JP2019111560A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 株式会社Ihi | ホットプレス装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62271716A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-26 | Fujikawa Masaru | 成形プレス機 |
JPS6318007A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ホツトプレス方法 |
-
1989
- 1989-05-09 JP JP11553189A patent/JPH02295700A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62271716A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-26 | Fujikawa Masaru | 成形プレス機 |
JPS6318007A (ja) * | 1986-07-08 | 1988-01-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ホツトプレス方法 |
Cited By (5)
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JPH06241662A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-02 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | セラミックス接合炉 |
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JP2019111560A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 株式会社Ihi | ホットプレス装置 |
EP3733392A4 (en) * | 2017-12-25 | 2021-09-29 | IHI Corporation | HOT PRESS DEVICE |
US11820093B2 (en) | 2017-12-25 | 2023-11-21 | Ihi Corporation | Hot-press device |
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