JP4739298B2 - 放射線画像検出器 - Google Patents
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Description
2 記録用光導電層
3 電荷輸送層
4 読取用光導電層
5a 第1の線状電極
5b 第2の線状電極
5c、35c 誘電体
5d、35d 結晶化防止層
6a 透明絶縁層
6b カラーフィルター層
7 支持体
8 蓄電部
10、30 放射線画像検出器
31 電極層
32 光導電層
33 電荷検出層
34 画素部
35 画素電極
36 蓄積容量
37 スイッチ素子
Claims (4)
- 電磁波の照射を受けて電荷を発生する光導電層と、
該光導電層において発生した電荷に応じた信号を検出するための複数の検出電極からなる電極層とをこの順に積層してなる放射線固体検出器であって、
前記検出電極における側面および該側面に連続する前記光導電層との対向面の一部からなる端部を覆う誘電体と、
該誘電体および前記検出電極を覆い、前記光導電層における結晶化を防止するための結晶化防止層とを備え、
前記検出電極の前記対向面と前記誘電体との接触角が、5度以上60度以下であることを特徴とする放射線画像検出器。 - 前記光導電層が、a−Seを主成分とする材料から構成され、
前記結晶化防止層が、Se−As合金を主成分とする材料から構成されていることを特徴とする請求項1記載の放射線画像検出器。 - 前記結晶化防止層のAs濃度が、5%以上15%以下であることを特徴とする請求項2記載の放射線画像検出器。
- 前記結晶化防止層の前記検出電極側界面におけるAs濃度が、5%以上15%以下であり、
前記積層方向において前記光導電層側に行くに従い前記結晶化防止層のAs濃度が低くなるように構成されていることを特徴とする請求項2記載の放射線画像検出器。
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