JP2009058383A - 放射線画像検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の線状電極5aまたは第2の線状電極5b等の検出電極における側面および該側面に連続する記録用光導電層2との対向面の一部からなる端部を誘電体5cで覆う。また、第1の線状電極5a、第2の線状電極5bおよび誘電体5cの表面を、読取用光導電層4の結晶化を防止するための結晶化防止層5dで覆う。このとき電極端部を覆う誘電体5cは、5〜60度の接触角θをもって段差を生じないよう電極表面部を滑らかに覆い、上層の結晶化防止層5dに断裂が生じない様にする。
【選択図】図2
Description
2 記録用光導電層
3 電荷輸送層
4 読取用光導電層
5a 第1の線状電極
5b 第2の線状電極
5c、35c 誘電体
5d、35d 結晶化防止層
6a 透明絶縁層
6b カラーフィルター層
7 支持体
8 蓄電部
10、30 放射線画像検出器
31 電極層
32 光導電層
33 電荷検出層
34 画素部
35 画素電極
36 蓄積容量
37 スイッチ素子
Claims (4)
- 電磁波の照射を受けて電荷を発生する光導電層と、
該光導電層において発生した電荷に応じた信号を検出するための複数の検出電極とをこの順に積層してなる放射線固体検出器であって、
前記検出電極における側面および該側面に連続する前記光導電層との対向面の一部からなる端部を覆う誘電体と、
該誘電体および前記検出電極を覆い、前記光導電層における結晶化を防止するための結晶化防止層とを備え、
前記検出電極の前記対向面と前記誘電体との接触角が、5度以上60度以下であることを特徴とする放射線画像検出器。 - 前記光導電層が、a−Seを主成分とする材料から構成され、
前記結晶化防止層が、Se−As合金を主成分とする材料から構成されていることを特徴とする請求項1記載の放射線画像検出器。 - 前記結晶化防止層のAs濃度が、5%以上15%以下であることを特徴とする請求項2記載の放射線画像検出器。
- 前記結晶化防止層の前記検出電極側界面におけるAs濃度が、5%以上15%以下であり、
前記積層方向において前記光導電層側に行くに従い前記結晶化防止層のAs濃度が低くなるように構成されていることを特徴とする請求項2記載の放射線画像検出器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007226097A JP4739298B2 (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 放射線画像検出器 |
US12/201,781 US7728299B2 (en) | 2007-08-31 | 2008-08-29 | Radiation image detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007226097A JP4739298B2 (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 放射線画像検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009058383A true JP2009058383A (ja) | 2009-03-19 |
JP4739298B2 JP4739298B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=40405915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007226097A Expired - Fee Related JP4739298B2 (ja) | 2007-08-31 | 2007-08-31 | 放射線画像検出器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7728299B2 (ja) |
JP (1) | JP4739298B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8008627B2 (en) * | 2007-09-21 | 2011-08-30 | Fujifilm Corporation | Radiation imaging element |
DE102009015563B4 (de) * | 2009-03-30 | 2018-02-22 | Siemens Healthcare Gmbh | Röntgenstrahlungsdetektor zur Detektion von ionisierender Strahlung, insbesondere zur Verwendung in einem CT-System |
US20100252744A1 (en) * | 2009-04-06 | 2010-10-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Radiation detector with a plurality of electrode systems |
KR101520433B1 (ko) * | 2013-07-08 | 2015-05-14 | 주식회사 레이언스 | 이미지센서 및 이의 제조방법 |
US10690787B2 (en) * | 2018-07-16 | 2020-06-23 | Vieworks Co., Ltd. | Radiation imaging system |
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EP1780802B1 (en) * | 2005-11-01 | 2012-03-28 | Fujifilm Corporation | X-ray radiation image detector based on amorphous selen |
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JP2009010075A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出器 |
-
2007
- 2007-08-31 JP JP2007226097A patent/JP4739298B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-08-29 US US12/201,781 patent/US7728299B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7728299B2 (en) | 2010-06-01 |
US20090057563A1 (en) | 2009-03-05 |
JP4739298B2 (ja) | 2011-08-03 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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