JP4735032B2 - 微小共振器、バンドパスフィルタ、半導体装置、及び通信装置 - Google Patents
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Description
しかし、異なる共振周波数を有する微小共振器を相互に接続すると、微小共振器の間にリップル電圧が発生し、このリップル電圧は、微小共振器のQ値が高ければ大きくなるという問題が生じる。リップル電圧を低くするためには、微小共振器のQ値を低くすればよいことが知られている。
そこで、共振周波数の異なる微小共振子を組み合わせて微小共振器を構成して、微小共振器のQ値を低くすることが知られている。
しかしながら、この場合には、微小共振器を製造する工程において、微小共振子のビームの長さやビームの厚さを正確に異ならせる必要があるため、製造プロセスにおけるエッチング技術等の制御等が困難になるという問題がある。
また、本発明は、この微小共振器を用いたバンドパスフィルタ、半導体装置及び通信装置を提供するものである。
好ましくは、振動子素子間に抵抗が設けられていることが適当である。
本発明に係る半導体装置は、直流電圧が印加される並列に配置された複数のビーム型の振動子素子を具備し、この振動子素子間の直流電圧を異ならせた微小共振器からなる。
本発明に係る通信装置は、送信信号及び/又は受信信号の帯域制限を行うフィルタを備えた通信装置において、フィルタとして、上述したいずれかの微小共振器によるフィルタが用いられてなるものである。
また、本発明に係る半導体装置によれば、通過帯域の広い優れた特性のフィルタを備えた半導体装置を提供することができる。
また、本発明に係る通信装置によれば、通過帯域の広い優れた特性を有する通信装置を提供することができる。
ラダー型フィルタ21は、図2の等価回路に示すように、高周波信号線路22をマイクロストリップ線路で構成し、その信号線路23の入力端子IN及び出力端子OUT間に直列に並列化された複数の微小共振子(振動子群)で構成された共振周波数f1の微小共振器25が接続され、この微小共振器25の出力側とグランド(GND)線路24間に同様に並列化された複数の微小共振子(振動子群)で構成された共振周波数f2の微小共振器26が接続されて構成される。
なお、並列に配置された複数の微小共振子の態様は、図4に示すようにビーム長が横方向に向くように配列されたものであってもよい。
この振動子31は、例えば半導体基板12上に絶縁膜13を介して入力電極14及び出力電極15が形成され、この入力電極14及び出力電極15に対向して空間16を挟んで振動板となる電極、いわゆるビーム(梁)37が形成されて成る。ビーム37は、入出力電極14、15をブリッジ状に跨ぎ、入出力電極14、15の外側に配置した配線層18に接続されるように、両端をアンカー部(支持部)19(19A,19B)で一体に支持される。入力電極14から入力端子t1が導出され、入力端子t1を通じて高周波信号S1が入力される、出力電極15から出力端子t2が導出される。ビーム37には所要のDCバイアス電圧V1が印加される。
ここで、ビーム37へ印加するDCバイアス電圧V1を大きくすると、入力電極14との間で生じる静電力が大きくなり、ビーム37が入力電極14側へ大きく撓むという、いわゆるソフトニング現象が生じる。一般に、共振周波数の高い微小共振子31のビーム長は小さく、共振周波数の低い微小共振子31のビーム長は大きいので、ビーム37に印加するDCバイアスの値が大きくなると、ビーム37の撓みにより、ビーム長が見かけ上長くなるので、微小共振子31の共振周波数は低くなる。また、ビーム37へ印加するDCバイアスの値が小さくなると、ビームの撓みがなくなるので、ビーム長は見かけ上短くなり、微小共振子31の共振周波数が高くなる。すなわち、ビーム37へ印加するDCバイアスの値を異ならせることで、同一の構造を有する微小共振子31であっても、共振周波数の大きさを異ならせることができる。
DC電源に接続された微小共振子31−1、微小共振子31−2、微小共振子31−3が並列に配設されており、微小共振子31−1のビーム37と31−2のビーム37との間には、抵抗40−1が設けられ、微小共振子31−2のビーム37と31−3のビーム37との間には、抵抗40−2が設けられている。微小共振子31−1、31−2、31−3は、ビーム37の長さや厚さなどを含めて同一の構造となるように形成されている。
DC電源により微小共振子31−1のビーム37に所定のバイアスを印加した場合には、抵抗40−1により電圧降下が生じて、微小共振子31−2のビーム37に印加されるバイアスは、微小共振子31−1のビーム37に印加されるバイアスよりも低くなる。同様に、抵抗40−2により電圧降下が生じて、微小共振子31−3のビーム37に印加されるバイアスは、微小共振子31−2のビーム37に印加されるバイアスよりも低くなる。すなわち、微小共振子31−1、31−2、31−3に印加されるバイアスの値はそれぞれ異なるので、ビーム37の撓み量が変化し、微小共振子31−1、31−2、31−3の共振周波数の大きさもそれぞれ異なることになる。
なお、印加されるDC電圧の値が、並列に配設された複数の微小共振子31間において異なるものであればよい。また、本実施の形態の微小共振器をラティス型のフィルタに適用することもできる。
また、不純物濃度の低い配線層部79に代えて、スパッタリングにより導電性の低い膜を形成することにより、抵抗40を形成するようにしてもよい。また、不純物濃度の低い配線層部79に代えて、あらかじめCVD法により導電性の低い膜を形成し抵抗40を形成するようにしてもよい。
本実施の形態のバンドパスフィルタによれば、微小共振器のQ値が低くおさえられるので、リップル電圧の発生を抑えながら、通過帯域の広いバンドパスフィルタを提供することができる。
本実施の形態の半導体装置によれば、通過帯域の広い優れた特性を有する半導体装置を提供することができる。
まず送信系の構成について説明すると、Iチャンネルの送信データとQチャンネルの送信データを、それぞれデジタル/アナログ変換器(DAC)201I及び201Qに供給してアナログ信号に変換する。変換された各チャンネルの信号は、バンドパスフィルタ202I及び202Qに供給して、送信信号の帯域以外の信号成分を除去し、バンドパスフィルタ202I及び202Qの出力を、変調器210に供給する。
03から供給される送信周波数に対応した周波数信号を混合して変調し、両混合信号を加算器214で加算して1系統の送信信号とする。この場合、ミキサ212Iに供給する周波数信号は、移相器213で信号位相を90°シフトさせてあり、Iチャンネルの信号とQチャンネルの信号とが直交変調されるようにしてある。
Claims (4)
- 直流電源と、同一構造の矩形のビームからなる複数の振動子素子を、前記ビームの短辺が対向するように直線的に配置し、抵抗を挟んで接続して構成した振動子群と、を備え、前記直流電源と前記振動子群とを接続し、この振動子群に直流電源から電圧を印加して、前記複数の振動子素子間の直流電圧を異ならせること
を特徴とする微小共振器。 - 直流電源と、同一構造の矩形のビームからなる複数の振動子素子を、前記ビームの短辺が対向するように直線的に配置し、抵抗を挟んで接続して構成した振動子群と、を備え、前記直流電源と前記振動子群とを接続し、この振動子群に直流電源から電圧を印加して、前記複数の振動子素子間の直流電圧を異ならせること
を特徴とするバンドパスフィルタ。 - 直流電源と、同一構造の矩形のビームからなる複数の振動子素子を、前記ビームの短辺が対向するように直線的に配置し、抵抗を挟んで接続して構成した振動子群と、を備え、前記直流電源と前記振動子群とを接続し、この振動子群に直流電源から電圧を印加して、前記複数の振動子素子間の直流電圧を異ならせる微小共振器を具備すること
を特徴とする半導体装置。 - 送信信号及び/又は受信信号の帯域制限を行うフィルタを備えた通信装置において、
前記フィルタとして、直流電源と、同一構造の矩形のビームからなる複数の振動子素子を、前記ビームの短辺が対向するように直線的に配置し、抵抗を挟んで接続して構成した振動子群と、を備え、前記直流電源と前記振動子群とを接続し、この振動子群に直流電源から電圧を印加して、前記複数の振動子素子間の直流電圧を異ならせる微小共振器からなるフィルタを用いること
を特徴とする通信装置。
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