JP4720747B2 - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2004年12月2日に出願された特願2004−349729号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
その高解像度化を実現するための手段の一つとして、下記特許文献1に開示されているような、投影光学系と基板との間を液体で満たして液浸領域を形成し、その液浸領域の液体を介して露光処理を行う液浸露光装置が案出されている。
なお、本実施形態においては、第1液浸領域LR1は基板P上に形成されるものとして説明する場合があるが、投影光学系PLの像面側において、第1光学素子LS1と対向する位置に配置された物体上、例えば基板ステージPSTの上面などにも形成可能である。
保持部材60と第2ノズル部材72とは複数のボルト61によって互いに接続されている。また、ボルト61による接続を解除することにより、第1光学素子LS1は、保持部材60による保持を解除される。すなわち、第1光学素子LS1は容易に脱着可能(交換可能)に設けられている。第1光学素子LS1の下面T1側の液体LQは基板Wと接触するため、その液体LQに接触する第1光学素子LS1が汚染する可能性が高くなるが、第1光学素子LS1は容易に交換可能であるため、汚染された第1光学素子LS1のみを新たなもの(清浄なもの)と交換すればよく、清浄な第1光学素子LS1を備えた投影光学系PL及び液体LQを介した露光及び計測を良好に行うことができる。
Claims (21)
- 投影光学系を介して基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系は、該投影光学系の像面に最も近い第1光学素子と、前記第1光学素子に次いで前記像面に近い第2光学素子とを有し、
前記第2光学素子は、前記第1光学素子に対向する第1面と、該第1面とは反対側の第2面とを有し、
前記第2光学素子の第1面側の第1空間に液体を満たす液浸機構と、
前記第2光学素子の第2面側の第2空間に気体を満たす気体供給機構と、
前記第1空間の液体の圧力と、前記第2空間の気体の圧力との圧力差を調整する調整機構とを備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記調整機構は、前記第1空間の液体と前記第2空間の気体との圧力差が予め定められた許容値以下となるように、前記第1空間の液体の圧力に応じて、前記第2空間の気体の圧力を調整する請求項1記載の露光装置。
- 前記圧力差と前記投影光学系の結像特性との関係を予め記憶した記憶装置を備え、
前記調整機構は、前記記憶装置の記憶情報を参照し、所望の結像特性が得られるように前記第2空間の気体の圧力を調整する請求項2記載の露光装置。 - 前記記憶情報は、前記圧力差に応じた前記第2光学素子の変形量情報又は変動量情報を含む請求項3記載の露光装置。
- 前記第1空間の液体と前記第2空間の気体との圧力差に基づいて、前記投影光学系の結像特性を調整する結像特性調整装置を備えた請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2空間の気体の圧力に応じて、所望の結像特性が得られるように、前記投影光学系を構成する複数の光学素子のうち特定の光学素子を駆動する結像特性調整装置を備えた請求項1〜5のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1空間の液体の圧力を検出する第1検出器と、前記第2空間の気体の圧力を検出する第2検出器とを備え、
前記調整機構は、前記第1、第2検出器の検出結果に基づいて、前記第2空間の気体の圧力を調整する請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記調整機構は、所定時間内における前記第1空間の液体の圧力変動が予め定められた所定範囲内におさまるように、該第1空間の液体の圧力を設定する請求項1〜7のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記液浸機構は、前記第1光学素子と前記基板との間の空間に液体を満たし、
前記調整機構は、前記第1光学素子と前記基板との間の空間の液体の圧力と、前記第1空間の液体の圧力との圧力差を調整することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記気体供給機構は、前記調整機構を兼ねる請求項1〜9のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1光学素子と前記基板との間にも液体が満たされ、
前記第2光学素子と前記第1光学素子との間の液体、及び前記第1光学素子と前記基板との間の液体を介して前記基板上に露光光を照射して、前記基板を露光する請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記調整機構は、前記第1空間の液体と前記第2空間の気体との圧力差に基づいて、前記第2光学素子を変形又は変動する請求項1記載の露光装置。
- 前記液浸機構は、前記第1光学素子と前記基板との間の空間に液体を満たし、
前記結像特性調整装置は、前記第1空間の液体の圧力と、前記第2空間の気体の圧力と、前記第1光学素子と前記基板との間の液体の圧力とに基づいて、前記投影光学系の結像特性を調整する請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。 - 請求項1〜請求項13のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
- 投影光学系を介して基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光方法において、
前記投影光学系は、該投影光学系の像面に最も近い第1光学素子と、前記第1光学素子に次いで前記像面に近い第2光学素子とを有し、
前記第2光学素子は、前記第1光学素子に対向する第1面と、該第1面とは反対側の第2面とを有し、
前記第2光学素子の第1面側の第1空間に満たされた液体の圧力と、前記第2光学素子の第2面側の第2空間に満たされる気体の圧力との圧力差を調整することを特徴とする露光方法。 - 前記第1空間の液体と前記第2空間の気体との圧力差が予め定められた許容値以下となるように調整することを特徴とする請求項15記載の露光方法。
- 前記第1空間の液体の圧力に応じて、前記第2空間の気体の圧力を調整する請求項16記載の露光方法。
- 前記第1光学素子と前記基板との間の空間にも液体が満たされ、
前記第1光学素子と前記基板との間の空間の液体の圧力と、前記第1空間の液体の圧力との圧力差を調整することを特徴とする請求項15記載の露光方法。 - 前記圧力差と前記投影光学系の結像特性との関係を予め求め、
所望の結像特性が得られるように、前記関係に基づいて前記第2空間の気体の圧力を調整する請求項15記載の露光方法。 - 前記第1光学素子と前記基板との間の空間を液体で満たし、
前記第1空間の液体の圧力と、前記第2空間の気体の圧力と、前記第1光学素子と前記基板との間の液体の圧力とに基づいて、前記投影光学系の結像特性を調整する請求項15記載の露光方法。 - 請求項14〜請求項20のいずれか一項記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。
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