JP4719174B2 - スパッタリングターゲットの製造方法 - Google Patents
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Description
テルミット還元した粗Ta材をプレスで固めて電極を形成した後、EB溶解を5回実施し、さらに帯溶融精練により不純物除去を行った後、2500℃×24時間の条件で均一化熱処理を施した。これらによって、酸素、窒素、炭素の均一分散化処理を実施した。
Claims (6)
- Taを主成分とし、全体の酸素量の平均値が300ppm以下であり、各部位の酸素量が全体の酸素量の平均値に対して±20%以内の範囲にあるスパッタリングターゲットを製造する方法であって、
Taを主成分とする粗金属材を真空溶解して溶解材を得る工程と、
前記溶解材に対して、合計加工率が200%以上となるように径方向および軸方向への熱間加工を繰り返し行った後、さらにTa材の融点近傍でアニール処理する工程と、
を含むことを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。 - Taを主成分とし、全体の窒素量の平均値が300ppm以下であり、各部位の窒素量が全体の窒素量の平均値に対して±40%以内の範囲にあるスパッタリングターゲットを製造する方法であって、
Taを主成分とする粗金属材を真空溶解して溶解材を得る工程と、
前記溶解材に対して、合計加工率が200%以上となるように径方向および軸方向への熱間加工を繰り返し行った後、さらにTa材の融点近傍でアニール処理する工程と、
を含むことを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。 - Taを主成分とし、全体の炭素量の平均値が300ppm以下であり、各部位の炭素量が全体の炭素量の平均値に対して±70%以内の範囲にあるスパッタリングターゲットを製造する方法であって、
Taを主成分とする粗金属材を真空溶解して溶解材を得る工程と、
前記溶解材に対して、合計加工率が200%以上となるように径方向および軸方向への熱間加工を繰り返し行った後、さらにTa材の融点近傍でアニール処理する工程と、
を含むことを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。 - 請求項1記載のスパッタリングターゲットの製造方法において、
ターゲットの各部位の窒素量がターゲット全体の窒素量の平均値に対して±40%以内の範囲にあることを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。 - 請求項2または請求項4記載のスパッタリングターゲットの製造方法において、
ターゲットの各部位の炭素量がターゲット全体の炭素量の平均値に対して±70%以内の範囲にあることを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載のスパッタリングターゲットの製造方法において、
前記ターゲットが高純度Taからなることを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。
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JP2000104164A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-04-11 | Toshiba Corp | スパッタタ―ゲット |
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Patent Citations (1)
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