JP4709850B2 - 電気的接続デバイス及びこれの製造方法 - Google Patents
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Description
図2は、図1に示される電気コンタクトのアレイの、例えば破線12に沿った断面図を示す図である。図2は、エラストマ・バンプ4が、キャリア8のエラストマ・バンプ4とは反対側の側面から延びる、対応するエラストマ・バンプ5を有することを示す。この配置により、エラストマ・バンプの対、例えばエラストマ・バンプ4及びエラストマ・バンプ5は、キャリア8の面の上下に、例えば、キャリア8の開口10及び13を貫通して、連続的に延びる。このエラストマ・バンプの対、例えばエラストマ・バンプ4及び5は、結合した金属層、例えば金属層6によって、単一の電気コンタクトを形成する。
図4に示される別の構造的特徴は、開口45aなど、金属層の形成のための導管として機能する2つの開口があるので、2つの向き合う導電金属線が形成されることである。そのような配置を有することは、単一の非対称導電体経路と比較すると、有利となることがある。例えば、2本の導電線を有することは、信頼性を高めて、信号の完全性への誘導負荷を制御する助けとなり得る。
図10は、図9に示される電気コンタクトのアレイの、例えば破線94に沿った、断面図を示す図である。図10は、上述のように、エラストマ・バンプ82がエラストマ・バンプ83と共に、コンタクトの1対のエラストマ・バンプの部分であることを示している。さらに、図9の説明と関連して上述されたように、金属層92は、エラストマ・バンプの2つの対向する側面に沿って延びる。
図13は、図12に示される電気コンタクトのアレイの、例えば破線1238に沿った、断面図を示す図である。図13は、上述のように、エラストマ・バンプ1210及び1216は、それぞれ、エラストマ・バンプ1211及び1217と共に、それぞれ、コンタクト1202及び1208の一対のエラストマ・バンプを構成することを示す。さらに、図12の説明に関連して上述されたように、金属層1218及び1224は、それぞれ、コンタクト1202及び1208の各々の、単一の同じ向きの側面にそって延びる。
理解されたい。
4、5、43、44、82、83、1210、1211、1212、1213、1214、1215、1216、1217、1520、1918:エラストマ・バンプ
6、49、92,1218、1220、1222,1224、1524、1920:金属層
8、47、72、1201、1910:キャリア
10、13、45a、45b、74,1203:開口
14、46、48、94、96、1238、1240:断面図描画の方向を示す破線
1502、1504、1506、1508、1510、1902、1904、1906、1908:ステップ
1511:ブランク・キャリア
1512、1602:金型の上半分
1514、1604:金型の下半分
1516:注入口ポート
1518、1914:エラストマ材
1522:不均一部分
1600:金型
1702、1802:側面図
1704、1804:上面図
1706、1806:型穴
1708:スタッド
1912:空体積
1916:区域
2002、2004:誘電体コーティング
2102、2104、2106、2108、2202:導電体材料(導電体パターン)
2102´:放射状スポーク型パターン
2104´:らせん型パターン
2402、2404、2406、2408:端部(頂部)
2410、2412:同軸コネクタ
2502、2504:プローブ・ティップ
2506、2508:位置
2602、2604:パッド
2606、2608:スパイク
2702:集積回路ウェハ
2704、2706、2708:チップ・ロケーション
2710、2712、2714、2722,2732:コンタクト・ロケーション
2716:本発明の構造体
2718:基板
2720:第1の面
2726:電気コネクタ
2728、2740:端部
2730:はんだ
2734:第2の面
2736:導電体パターン
2738:コンタクト・ティップ
Claims (22)
- 対向する2つの面を有すると共に開口を有する電気絶縁性キャリアと、
該電気絶縁性キャリアの前記開口を貫通して設けられた複数個のコンタクト構造体とを備え、
該コンタクト構造体のそれぞれは、
前記2つの面の一方の面のうち前記開口に隣接する部分に設けられた第1エラストマー・バンプ及び該第1エラストマー・バンプに対向するように前記2つの面の他方の面のうち前記開口に隣接する部分に設けられた第2エラストマー・バンプであって、前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプは、前記開口を通って一体化されている、前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプと、
前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って設けられた導電層とを有する、電気的接続デバイス。 - 前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプは、前記電気絶縁性キャリアの少なくとも1つの開口を介して一体化され、
前記導電層は、前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記1つの開口に隣接する他の開口を通り、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って設けられている、請求項1の記載の電気的接続デバイス。 - 前記エラストマ・バンプの材料は、ポリジメチルシロキサン・ゴム、ポリウレタン、エポキシ及びブタジエン含有ポリマーからなる群から選択された材料である、請求項1に記載の電気的接続デバイス。
- 前記導電層の材料は、銅、金、ニッケル及びニッケル−チタン合金からなる群から選択される、請求項1に記載の電気的接続デバイス。
- 対向する2つの面を有すると共に開口を有する電気絶縁性キャリアと、
該電気絶縁性キャリアに設けられた複数個のコンタクト構造体とを備え、
該コンタクト構造体のそれぞれは、
前記2つの面の一方の面のうち少なくとも2個の開口の間の部分に設けられた第1エラストマー・バンプ及び該第1エラストマー・バンプに対向するように前記2つの面の他方の面に設けられた第2エラストマー・バンプであって、前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプは、前記少なくとも2個の開口を通って一体化されている、前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプと、
前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記少なくとも2個の開口から離れた位置で前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプの縁に配置された他の開口、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って設けられた導電層とを有する、電気的接続デバイス。 - 前記エラストマ・バンプの材料は、ポリジメチルシロキサン・ゴム、ポリウレタン、エポキシ及びブタジエン含有ポリマーからなる群から選択された材料である、請求項5に記載の電気的接続デバイス。
- 前記導電層の材料は、銅、金、ニッケル及びニッケル−チタン合金からなる群から選択される、請求項5に記載の電気的接続デバイス。
- 対向する2つの面を有すると共に細長い開口を有する電気絶縁性キャリアと、
該電気絶縁性キャリアに設けられた複数個のコンタクト構造体とを備え、
該コンタクト構造体のそれぞれは、
前記2つの面の一方の面のうち前記細長い開口に隣接する部分に設けられた第1エラストマー・バンプ及び該第1エラストマー・バンプに対向するように前記2つの面の他方の面のうち前記細長い開口に隣接する部分に設けられた第2エラストマー・バンプであって、前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプは、前記細長い開口を通って一体化されている、前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプと、
前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記細長い開口の端部、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って設けられた導電層とを有する、電気的接続デバイス。 - 前記導電層の上に設けられた誘電体コーティングと、
前記誘電体コーティングの上に設けられた導電材料とを備え、
前記複数個のコンタクト構造体の前記導電材料が、前記電気絶縁性キャリアに設けられた導電パターンにより互いに接続され且つグラウンドに接続されている、請求項8に記載の電気的接続デバイス。 - 前記エラストマ・バンプの材料は、ポリジメチルシロキサン・ゴム、ポリウレタン、エポキシ及びブタジエン含有ポリマーからなる群から選択された材料である、請求項8に記載の電気的接続デバイス。
- 前記導電層の材料は、銅、金、ニッケル及びニッケル−チタン合金からなる群から選択される、請求項8に記載の電気的接続デバイス。
- 上半分及び下半分を備える金型の前記上半分及び前記下半分の間に、対向する2つの面を有すると共に開口を有する電気絶縁性キャリアを位置決めして、前記上半分の型穴及び前記下半分の型穴にエラストマー材を注入した後硬化することにより、前記電気絶縁性キャリアの前記2つの面の一方の面のうち前記開口に隣接する部分に第1エラストマー・バンプを形成すると共に、前記開口を通って前記第1エラストマー・バンプと一体であって且つ該第1エラストマー・バンプに対向するように前記2つの面の他方の面のうち前記開口に隣接する部分に第2エラストマー・バンプを形成するステップと、
前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプに金属を選択的に付着することにより、前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って導電層を形成するステップとを含む、電気的接続デバイスの製造方法。 - 前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプは、前記電気絶縁性キャリアの少なくとも1つの開口を介して一体化され、
前記導電層は、前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記1つの開口に隣接する他の開口を通り、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って設けられている、請求項12の記載の電気的接続デバイスの製造方法。 - 前記エラストマ・バンプの材料は、ポリジメチルシロキサン・ゴム、ポリウレタン、エポキシ及びブタジエン含有ポリマーからなる群から選択された材料である、請求項12に記載の電気的接続デバイスの製造方法。
- 前記導電層の材料は、銅、金、ニッケル及びニッケル−チタン合金からなる群から選択される、請求項12に記載の電気的接続デバイスの製造方法。
- 上半分及び下半分を備える金型の前記上半分及び前記下半分の間に、対向する2つの面を有すると共に開口を有する電気絶縁性キャリアを位置決めして、前記上半分の型穴及び前記下半分の型穴にエラストマー材を注入した後硬化することにより、前記電気絶縁性キャリアの前記2つの面の一方の面のうち少なくとも2個の開口の間の部分に第1エラストマー・バンプを形成すると共に、前記少なくとも2個の開口を通って前記第1エラストマーバンプと一体であって且つ前記第1エラストマー・バンプと対向するように前記2つの面の他方の面に第2エラストマー・バンプを形成するステップと、
前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプに金属を選択的に付着することにより、前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記少なくとも2個の開口から離れた位置で前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプの縁に配置された他の開口、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って導電層を形成するステップとを含む、電気的接続デバイスの製造方法。 - 前記エラストマ・バンプの材料は、ポリジメチルシロキサン・ゴム、ポリウレタン、エポキシ及びブタジエン含有ポリマーからなる群から選択された材料である、請求項16に記載の電気的接続デバイスの製造方法。
- 前記導電層の材料は、銅、金、ニッケル及びニッケル−チタン合金からなる群から選択される、請求項16に記載の電気的接続デバイスの製造方法。
- 上半分及び下半分を備える金型の前記上半分及び前記下半分の間に、対向する2つの面を有すると共に細長い開口を有する電気絶縁性キャリアを位置決めして、前記上半分の型穴及び前記下半分の型穴にエラストマー材を注入した後硬化することにより、前記電気絶縁性キャリアの前記2つの面の一方の面のうち前記細長い開口に隣接する部分に第1エラストマー・バンプを形成すると共に、前記細長い開口を通って前記第1エラストマー・バンプと一体であって且つ前記第1エラストマー・バンプに対向するように前記2つの面の他方の面のうち前記細長い開口に隣接する部分に第2エラストマー・バンプを形成するステップと、
前記第1エラストマー・バンプ及び前記第2エラストマー・バンプに金属を選択的に付着することにより、前記第1エラストマー・バンプの頂部から該第1エラストマー・バンプの側面、前記細長い開口の端部、前記第2エラストマー・バンプの側面を経て該第2エラストマー・バンプの頂部に亘って導電層を形成するステップとを含む、電気的接続デバイスの製造方法。 - 前記導電層の上に誘電体コーティングを形成するステップと、
前記誘電体コーティングの上に導電材料を形成するステップとを含み、
前記複数個のコンタクト構造体の前記導電材料が、前記電気絶縁性キャリアに設けられた導電パターンにより互いに接続され且つグラウンドに接続されている、請求項19に記載の電気的接続デバイスの製造方法。 - 前記エラストマ・バンプの材料は、ポリジメチルシロキサン・ゴム、ポリウレタン、エポキシ及びブタジエン含有ポリマーからなる群から選択された材料である、請求項19に記載の電気的接続デバイスの製造方法。
- 前記導電層の材料は、銅、金、ニッケル及びニッケル−チタン合金からなる群から選択される、請求項19に記載の電気的接続デバイスの製造方法。
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