JP4215468B2 - 電気コネクタ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板や半導体パッケージ等からなる各種の電気電子部品を電気的に接続する電気コネクタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の電気コネクタは、例えばUS6,348,659B1に開示されているように、回路基板と半導体パッケージとの間に介在する絶縁基板と、この絶縁基板に並べて貫通支持され、回路基板と半導体パッケージの電極に接触する複数の導電接点素子とから構成されている。各導電接点素子は、上記公報に開示されているように、導電ゴムを用いて円錐台形、樽形、円柱形、断面略八角形等に成形されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、消費電力や発熱量の大きい半導体素子を使用する場合には、何らかの放熱部材を設けなければ、半導体素子の性能に悪影響を及ぼすこととなる。特に、半導体パッケージの半導体素子が発熱し、70℃を超えて使用されるときには、半導体素子が誤動作したり、故障するおそれがある。
そこで、従来においては、半導体素子にヒートシンクを直接取り付けたり、ヒートシンクに空気を送風して冷却するようにしている。
【0004】
しかしながら、半導体素子は、近年さらに高性能化して発熱量がますます増大する傾向にあり、中には消費電力が10Wを超えるタイプも出現してきている。これに対処するには、ヒートシンクを大型化せざるを得ず、その分大きなスペースを確保しなければならないことになる。また、ヒートシンクに対する送風量を増やすと、電子機器の消費電力の増大を招くおそれが少なくない。
【0005】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、ヒートシンクを大型化する必要がなく、電子機器の消費電力を抑制することのできる電気コネクタを提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記課題を解決するため、相対向する回路基板と表面実装型の半導体パッケージとを電気的に接続するものであって、
回路基板と半導体パッケージとの間に介在するポリイミド製の絶縁基板と、この絶縁基板に貫通支持されて回路基板と半導体パッケージの電極に接触する複数の導電接点素子とを含み、各導電接点素子を、絶縁性エラストマー100質量部に粒状の銀粉末410〜590質量部が配合された導電性エラストマーにより成形するとともに、各導電接点素子の熱伝導率を2.6W/m・℃あるいは3.1W/m・℃とし、
各導電接点素子を、絶縁基板からそれぞれ露出する一対の錐台と、この一対の錐台間を接続して絶縁基板の貫通孔を貫通する貫通接続部とから一体形成し、一対の錐台間の長さを0.5〜2.2mmとし、各錐台の拡幅部の幅を0.3〜0.8mmとし、各錐台の縮幅部の幅を0.2〜0.6mmとし、かつこの縮幅部の端部周縁を角張らせ、貫通接続部の幅を0.2〜0.6mmとしたことを特徴としている。
【0008】
ここで特許請求の範囲における回路基板には、プリント配線板、フレキシブル基板、検査基板等が含まれ、半導体パッケージには、BGAやLGA等が含まれる。導電接点素子は、円錐台形、角錐台形、多角形の錐台形、樽形、円柱形、断面略六角形、断面略八角形、断面略小判形等に適宜形成される。また、絶縁基板は、可撓性の有無を特に問うものではない。
【0009】
本発明によれば、複数の電気接合物の間に電気コネクタを配置してその導電接点素子を電気接合物にそれぞれ電気的に接続し、導電接点素子を圧縮すれば、複数の電気接合物を電気コネクタを介して電気的に接続することができる。熱伝導率の良い導電接点素子がコネクタ機能と放熱機能とを発揮するので、一の電気接合物の熱を他の電気接合物側に伝熱することができる。
【0010】
また、本発明によれば、絶縁基板に単数複数の導電接点素子を支持させるので、導電接点素子の姿勢の安定や位置決めの容易化等を図ることができる。また、導電接点素子を構成する一対の錐台間の長さが0.5〜2.2mmの範囲なので、少なくとも低抵抗を得ることができる。また、錐台の拡幅部の幅が0.3〜0.8mmの範囲なので、少なくとも狭ピッチを得ることができる。さらに、縮幅部の幅が0.2〜0.6mmの範囲であるから、最低限抵抗を低く安定させることが可能になる。さらにまた、貫通接続部25の幅が0.2〜0.6mmの範囲であるから、低抵抗化が期待できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における電気コネクタは、図1ないし図3に示すように、回路基板1と半導体パッケージ10との間に介在する絶縁基板20と、この絶縁基板20に並べて貫通支持され、回路基板1と半導体パッケージ10の電極2・11に接触する複数の導電接点素子22とを備え、各導電接点素子22を導電性エラストマー30により形成してその熱伝導率を1.5〜3.5W/m・℃とするようにしている。
【0012】
回路基板1は、例えば積層板からなる絶縁基板を備え、この絶縁基板の内外に、導電性を有する複数の配線パターンや電極2が適宜形成される。また、半導体パッケージ10としては、図1に示すように、例えば下面に複数の電極11が格子形に配列された表面実装用エリアアレイ型のLGAが使用される。
【0013】
絶縁基板20は、図2に示すように、所定の材料を使用して可撓性の平面矩形に形成され、XYの厚さ方向に複数の貫通孔21が所定の間隔で規則的に配列穿孔される。この絶縁基板20の材料としては、ポリイミド、ガラスエポキシ、PET、PEN、PEI、PPS、PEEK、液晶ポリマー等があげられる。これらの中でも、熱膨張係数が小さく、耐熱性に優れるポリイミドが最適である。
【0014】
各導電接点素子22は、図2や図3に示すように、導電性エラストマー30を使用して断面略八角形の縦長に形成され、上下の端部周縁の丸みが除去されており、絶縁基板20の貫通孔21に一体的に設けられる。導電性エラストマー30は、所定の絶縁性エラストマーに導電粒子が配合された導電性組成物からなる。絶縁性エラストマーとしては、硬化前に流動性を有し、硬化により架橋構造を有する各種のエラストマー(常温付近でゴム状弾性を有するものの総称)が使用される。
【0015】
具体的には、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ポリウレタンゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプロピレンゴム、クロロプレンゴム、ポリエステル系ゴム、スチレン・ブタジエン共重合体ゴム、天然ゴム等があげられる。また、これらの独立・連泡の発泡体等も該当する。これらの中でも、電気絶縁性、耐熱性、圧縮永久歪み、加工性等に優れるシリコーンゴムが最適である。
【0016】
導電粒子としては、粒状あるいはフレーク状のタイプがあげられる。具体的には、金、銀、銅、プラチナ、パラジウム、ニッケル、アルミニウム等の金属単体、あるいはこれらの合金からなる粒子の他、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂等の熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂、これらの焼成品、カーボン、セラミックス、シリカ等の無機材料を核として表面が上記金属によりメッキ、蒸着、スパッタ等の方法で被覆された粒子があげられる。
【0017】
導電粒子は、粒状あるいはフレーク状のものを単体で、あるいは混合して使用することが可能である。この導電粒子は、抵抗やコストの観点から、粒状の銀粒子を、絶縁性エラストマー材料100質量部に対して410〜590質量部の範囲で配合するのが好ましい。また、熱伝導率を向上させるため、補助的にアルミナ(酸化アルミ)粉末や酸化チタン粉末を添加することができる。
【0018】
各導電接点素子22は、図3に示すように、絶縁基板20の表裏両面からそれぞれ突出する一対の円錐台23と、この一対の円錐台23間を接続して絶縁基板20の貫通孔21を貫通する円柱形の貫通接続部24とから一体形成される。上下一対の円錐台23間の長さである高さ23Hは、0.5〜2.2mmの範囲、より好ましくは0.8〜1.2mmの範囲が良い。これは、かかる範囲から逸脱すると、低抵抗を得ることができなくなるおそれがあり、又圧縮許容範囲を考慮したものである。
【0019】
各円錐台23は、その拡径部の径23A(幅)が0.3〜0.8mmの範囲、より好ましくは0.7mmが最適であり、平坦な縮径部の径23M(幅)が0.2〜0.6mmの範囲、好ましくは0.5mmが良い。拡径部の径23Aが0.3〜0.8mmの範囲なのは、この範囲から外れると、狭ピッチを得られなくなるからであり、又絶縁基板20や導電接点素子22の接合強度を考慮したものである。また、縮径部の径23Mが0.2〜0.6mmの範囲なのは、この範囲ならば、抵抗を低く安定させ、狭ピッチを確保することができるという理由に基づく。また、貫通孔21の径、換言すれば、貫通接続部24の径24A(幅)は、0.2〜0.6mm、より好ましくは0.5mmが良い。これは、低抵抗化や絶縁基板20と導電接点素子22の接合強度を考慮したものである。
【0020】
さらに、各導電接点素子22の熱伝導率は1.5〜3.5W/m・℃の範囲が好ましい。これは、熱伝導率が1.5W/m・℃未満の場合には、熱伝導性が十分ではないので、半導体素子が70℃以上に発熱することがあり、半導体素子が誤動作したり、故障するおそれがあるからである。逆に、熱伝導率が3.5W/m・℃を超える場合には、熱伝導性には問題がないものの、導電粒子を高充填しなければならないので、導電性組成物の可塑度が上昇し、加工性が悪化するからである。また、硬化物の硬度が高くなって荷重が増大したり、導電粒子の高充填に伴い、コストアップを招くからである。
【0021】
このような電気コネクタを製造する場合には、先ず、絶縁基板20に複数の貫通孔21を穿孔し、この絶縁基板20上に導電性シリコーンゴムからなる導電性エラストマー30を重ねて金型31にセットする(図4参照)。こうして準備が完了したら、金型31を型締めして加圧加熱成形(図5参照)し、絶縁基板20と導電接点素子22とが一体化した電気コネクタを製造し、その後、金型31を型開きすれば、電気コネクタを取り出して使用することができる(図6参照)。
【0022】
上記構成において、回路基板1と半導体パッケージ10との間に電気コネクタを介在してその複数の導電接点素子22における上下両端部を回路基板1と半導体パッケージ10の電極2・11にそれぞれ導通可能に弾接し、半導体パッケージ10を圧下押圧して複数の導電接点素子22を圧縮させれば、回路基板1と半導体パッケージ10とを電気コネクタを介して電気的に導通接続することができる(図1参照)。
【0023】
上記構成によれば、導電接点素子22が電気コネクタ機能と放熱機能とを発揮するので、半導体パッケージ10の熱を回路基板1側に伝熱することができる。したがって、ヒートシンクの大型化やヒートシンクに対する送風量の増加を図る必要が全くない。特に、2.5W以上の電力を消費する半導体素子の場合には、きわめて有意義である。また、導電接点素子22の上下両端部の周縁が図3のように角張っているので、導電接点素子22の端面面積の拡大に伴い電極接触部分が拡大し、半導体パッケージ10と導電接点素子22の接触面積が小さくなることがない。したがって、初期接続を安定させ、抵抗値の上昇を抑制することができる。さらに、導電接点素子22を圧縮して接触面積を拡大する必要がないから、接続時に大きな荷重が必要になることがない。
【0024】
次に、図7は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、各導電接点素子22をストレートで拡径の円柱形に成形するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、導電接点素子22の形状の多様化を図ることができるのは明らかである。
【0025】
次に、図8は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、各導電接点素子22をストレートで縮径の円柱形に成形するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、導電接点素子22の形状の多様化を図ることができるのは明らかである。
【0026】
次に、図9は本発明の第4の実施形態を示すもので、この場合には、各導電接点素子22を基本的には円柱形に成形してその上下両端部をそれぞれ半球形に湾曲形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、導電接点素子22の形状の多様化を図ることができるのは明白である。
【0027】
次に、図10は本発明の第5の実施形態を示すもので、この場合には、各導電接点素子22を略球形に形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、導電接点素子22の設計の自由度を大幅に向上させることができるのは明白である。
【0028】
次に、図11は本発明の第6の実施形態を示すもので、この場合には、各導電接点素子22を基本的には円柱形に成形してその上下両端部をそれぞれ円錐台形に形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、導電接点素子22の設計の自由度を大幅に向上させることができる。
【0029】
次に、図12は本発明の第7の実施形態を示すもので、この場合には、各導電接点素子22を基本的には円錐台形に成形してその周面を凹ませながら湾曲させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、導電接点素子22の形状の多様化を図ることが可能になる。
【0030】
【実施例】
実施例1、実施例2、比較例1、比較例2に示す電気コネクタをそれぞれ作製し、これらを図13に示すように、回路基板と測定用熱電対を搭載したヒータの間に介在し、ヒータ表面温度を測定・評価した。
実施例1の電気コネクタ
電気コネクタを、厚さ0.1mmのポリイミドからなる絶縁基板と、この絶縁基板に1mmピッチで並べて貫通支持される1156個の導電接点素子(34個×34個)とから構成し、各導電接点素子を熱伝導率2.6W/m・℃の導電性シリコーンゴム組成物により成形した(図2参照)。
【0031】
導電性シリコーンゴム組成物は、メチルビニルポリシロキサン100質量部、及び粒状銀粉末500質量部と、これらの混合物100質量部に対してジクミルパーオキサイド0.5質量部配合することにより調製した。この導電性シリコーンゴム組成物は厚み6mm、幅50mm、長さ100mmに加工し、熱伝導率は京都電子工業株式会社製の測定装置〔商品名QTM‐D3〕で測定した。また、各導電接点素子を形成する一対の円錐台間の高さを1.0mmとし、円錐台の拡径部の径を0.7mmとするとともに、縮径部の径を0.5mmとし、貫通孔の径を0.5mmとした(図14参照)。
【0032】
実施例2の電気コネクタ
基本的には実施例1と同様だが、メチルビニルポリシロキサン100質量部、及び粒状銀粉末550質量部と、これらの混合物100質量部に対してジクミルパーオキサイド0.5質量部配合して熱伝導率が3.1W/m・℃の導電性シリコーンゴム組成物を調製した。
本実施例の電気コネクタは、3.1W/m・℃という良好な熱伝導率を得ることができたが、粒状銀粉末の増加に伴い実施例1の電気コネクタに比べてゴムの硬度が上昇し、加工性の低下を招いた。
【0033】
比較例1の電気コネクタ
基本的には実施例1と同様だが、メチルビニルポリシロキサン100質量部、及び粒状銀粉末400質量部と、これらの混合物100質量部に対してジクミルパーオキサイド0.5質量部配合して熱伝導率が1.4W/m・℃の導電性シリコーンゴム組成物を調製した。
本実施例の電気コネクタは、1.4W/m・℃という不十分な熱伝導率しか得ることができず、半導体パッケージの半導体素子が誤動作した。
【0034】
比較例2の電気コネクタ
基本的には実施例1と同様だが、メチルビニルポリシロキサン100質量部、及び粒状銀粉末600質量部と、これらの混合物100質量部に対してジクミルパーオキサイド0.5質量部配合して熱伝導率が3.6W/m・℃の導電性シリコーンゴム組成物を調製した。
本実施例の電気コネクタは、3.6W/m・℃という良好な熱伝導率を得ることができたものの、導電性シリコーンゴム組成物の可塑度が必要以上に上昇し、加工性が悪化した。さらに、ゴム硬さ(JISK6253:デュロメータ硬さ タイプA)が80を越えてしまい、圧縮荷重が増大し、回路基板が損傷した。
【0035】
【表1】
【0036】
実施例1の電気コネクタと比較例1の電気コネクタに関し、ヒータ表面温度を測定して図15のグラフにまとめた。このグラフからも明らかなように、実施例1の電気コネクタを使用した場合には、ヒータ表面温度の温度上昇が少なく、良好な放熱効果を得ることができた。
【0037】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ヒートシンクを大型化する必要がなく、しかも、電子機器の消費電力を抑制することができるという効果がある。
またこれ以外にも、絶縁基板がポリイミド製なので、熱膨張係数を小さくし、優れた耐熱性を得ることができる。また、絶縁基板に複数の導電接点素子を支持させるので、導電接点素子の姿勢の安定や位置決めの容易化等を図ることができる。また、各導電接点素子を、絶縁性エラストマー100質量部に粒状の銀粉末410〜590質量部が配合された導電性エラストマーにより成形するので、抵抗やコストの観点から有益である。また、導電接点素子を構成する一対の錐台間の長さが0.5〜2.2mmの範囲なので、少なくとも低抵抗を得ることができる。
また、錐台の拡幅部の幅が0.3〜0.8mmの範囲なので、少なくとも狭ピッチを得ることができる。また、縮幅部の幅が0.2〜0.6mmの範囲であるから、最低限抵抗を低く安定させることが可能になる。また、縮幅部の端部周縁が角張っているので、導電接点素子の端面面積の拡大に伴い電極接触部分が拡大し、半導体パッケージと導電接点素子の接触面積が小さくなることが少ない。したがって、初期接続を安定させ、抵抗値の上昇を抑制することが可能になる。さらに、貫通接続部の幅が0.2〜0.6mmの範囲であるから、低抵抗化が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電気コネクタの実施形態を示す説明図である。
【図2】本発明に係る電気コネクタの実施形態を示す斜視説明図である。
【図3】本発明に係る電気コネクタの実施形態における導電接点素子を示す模式断面説明図である。
【図4】本発明に係る電気コネクタの実施形態における絶縁基板に貫通孔を設け、絶縁基板上に導電エラストマーを重ねて金型にセットした状態を示す模式断面説明図である。
【図5】図4の金型を型締めして成形する状態を示す模式断面説明図である。
【図6】図5の金型を型開きして電気コネクタを取り出す状態を示す模式断面説明図である。
【図7】本発明に係る電気コネクタの第2の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図8】本発明に係る電気コネクタの第3の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図9】本発明に係る電気コネクタの第4の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図10】本発明に係る電気コネクタの第5の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図11】本発明に係る電気コネクタの第6の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図12】本発明に係る電気コネクタの第7の実施形態を示す模式断面説明図である。
【図13】本発明に係る電気コネクタの実施例を示す全体説明図である。
【図14】図13の電気コネクタの導電接点素子を示す模式断面説明図である。
【図15】本発明に係る電気コネクタの実施例におけるヒータ表面温度と時間の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1 回路基板(電気接合物)
10 半導体パッケージ(電気接合物)
20 絶縁基板
21 貫通孔
22 導電接点素子
23 円錐台(錐台)
23A 円錐台の拡径部の径(錐台の拡幅部の幅)
23H 一対の円錐台間の高さ(一対の錐台間の長さ)
23M 円錐台の縮径部の径(錐台の縮幅部の幅)
24 貫通接続部
24A 貫通接続部の径(貫通接続部の幅)
30 導電性エラストマー
Claims (1)
- 相対向する回路基板と表面実装型の半導体パッケージとを電気的に接続する電気コネクタであって、
回路基板と半導体パッケージとの間に介在するポリイミド製の絶縁基板と、この絶縁基板に貫通支持されて回路基板と半導体パッケージの電極に接触する複数の導電接点素子とを含み、各導電接点素子を、絶縁性エラストマー100質量部に粒状の銀粉末410〜590質量部が配合された導電性エラストマーにより成形するとともに、各導電接点素子の熱伝導率を2.6W/m・℃あるいは3.1W/m・℃とし、
各導電接点素子を、絶縁基板からそれぞれ露出する一対の錐台と、この一対の錐台間を接続して絶縁基板の貫通孔を貫通する貫通接続部とから一体形成し、一対の錐台間の長さを0.5〜2.2mmとし、各錐台の拡幅部の幅を0.3〜0.8mmとし、各錐台の縮幅部の幅を0.2〜0.6mmとし、かつこの縮幅部の端部周縁を角張らせ、貫通接続部の幅を0.2〜0.6mmとしたことを特徴とする電気コネクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002245390A JP4215468B2 (ja) | 2002-08-26 | 2002-08-26 | 電気コネクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002245390A JP4215468B2 (ja) | 2002-08-26 | 2002-08-26 | 電気コネクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004087694A JP2004087694A (ja) | 2004-03-18 |
JP4215468B2 true JP4215468B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=32053587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002245390A Expired - Fee Related JP4215468B2 (ja) | 2002-08-26 | 2002-08-26 | 電気コネクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4215468B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7452212B2 (en) * | 2004-12-16 | 2008-11-18 | International Business Machines Corporation | Metalized elastomeric electrical contacts |
US8832936B2 (en) | 2007-04-30 | 2014-09-16 | International Business Machines Corporation | Method of forming metallized elastomeric electrical contacts |
KR20200037246A (ko) * | 2017-08-14 | 2020-04-08 | 소니 주식회사 | 전자 부품 모듈, 그 제조방법, 내시경 장치 및 이동체 카메라 |
-
2002
- 2002-08-26 JP JP2002245390A patent/JP4215468B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004087694A (ja) | 2004-03-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080722 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080904 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4215468 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141114 Year of fee payment: 6 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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