JP4707503B2 - 薄膜バルク音響共振器 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1における薄膜バルク音響共振器の構造を図1に、その製造工程を図2に示す。
実施の形態2における薄膜バルク音響共振器の構造を、図4に示す。図1に示した共振器の要素と同様の要素については、同一の参照符号を付して、説明の繰り返しを省略する。
実施の形態3における薄膜バルク音響共振器の構造を、図5に示す。図1に示した共振器の要素と同様の要素については、同一の参照符号を付して、説明の繰り返しを省略する。
1a 粗面
2 支持導電膜
3、3a コンタクト電極
4 下部電極
5 圧電(PZ)層
6 膜形成用シリコン基板
7 上部電極
8、8a 空隙部
9、9a 支持部
10 振動子
101 半導体基板
102 圧電(PZ)層
103、104 電極
105 開口部
Claims (4)
- 圧電層を下部電極および上部電極により挟んで形成された振動子が、支持基板上に支持された薄膜バルク音響共振器において、
前記振動子の前記下部電極側と前記支持基板との間に介在して前記振動子を前記支持基板上に支持する支持部を備え、前記支持部は、平面形状の中央部が中空であり、それにより、前記振動子の共振部と前記支持基板との間に空隙部が形成され、
前記支持部の前記空隙部に面する側面が、前記圧電層の面に対して傾斜していることを特徴とする薄膜バルク音響共振器。 - 前記支持部の前記支持基板に対向する下面の面積と、前記支持部の前記振動子に対向する上面の面積とが相違することにより、前記支持部の前記空隙部に面する側面が、前記圧電層の面に対して傾斜している請求項1に記載の薄膜バルク音響共振器。
- 前記支持部の前記支持基板に対向する下面の面積と、前記支持部の前記振動子に対向する上面の面積とが同等であり、前記支持部の中間部における断面積が前記上下面の面積より大きいことにより、前記支持部の前記空隙部に面する側面が、前記圧電層の面に対して傾斜している請求項1に記載の薄膜バルク音響共振器。
- 前記支持部により囲まれた前記空隙部に面する前記支持基板のラフネスが、5オングストローム以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜バルク音響共振器。
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- 2005-08-25 JP JP2005244649A patent/JP4707503B2/ja not_active Expired - Fee Related
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