JP4706380B2 - 蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents
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Description
ΔTemp=13×ΔRate … (1)
の関係式(温度制御予測式)が得られた。
ΔMV=係数×ΔRate … (2)
の関係式(出力制御予測式)が得られ、蒸着目標レートを変えること、つまり蒸着温度によって、係数は約2〜4の間の値で変化する。
そこで、本例においては、出力制御予測式(2)を使用して得られた単位時間(1秒)の出力値が例えば図5Aに示す如く最大出力の65.354%のとき、この出力値を出力分解能例えば0.02で割り、その商に出力分解能例えば0.02を乗算した値例えば65.34%を基底数とし、この基底数例えば65.34%とこの基底数例えば65.34%に出力分解能例えば0.02%を加算した値例えば65.36%とを図5Cに示す如くこの単位時間(1秒)を時分割し、例えば700msecを基底数例えば65.34%に出力分解能例えば0.02%を加算した値例えば65.36%とし、300msecを基底数例えば65.34%としてヒーター5に出力する。
Claims (4)
- 真空槽内に被蒸着体と、蒸着物を蒸発する蒸着源と、該蒸着源を加熱する加熱手段と、前記蒸着源の温度を検出する温度検出手段と、蒸着膜厚を間欠的に計測する水晶振動子膜厚計とを有する蒸着装置において、
蒸着目標レートと蒸着現状レートとの差により決る単位時間の出力値を前記加熱手段の出力分解能で割り、その商に出力分解能を乗算した値を基底数とし、この基底数とこの基底数に出力分解能を加算した値とを前記単位時間を時分割して前記加熱手段に供給する出力とした
蒸着装置。 - 請求項1記載の蒸着装置において、
前記蒸着現状レートをレート検出開始後一定時間後からレート検出終了までの検出レートの平均値とした
蒸着装置。 - 真空槽内に被蒸着体と、蒸着物を蒸発する蒸着源と、該蒸着源を加熱する加熱手段と、前記蒸着源の温度を検出する温度検出手段と、蒸着膜厚を間欠的に計測する水晶振動子膜厚計とを有した蒸着装置で、前記被蒸着体に蒸着物を蒸着する蒸着方法において、
蒸着目標レートと蒸着現状レートとの差により決る単位時間の出力値を前記加熱手段の出力分解能で割り、その商に出力分解能を乗算した値を基底数とし、この基底数とこの基底数に出力分解能を加算した値とを前記単位時間を時分割して前記加熱手段に供給する出力とした
蒸着方法。 - 請求項3記載の蒸着方法において、
前記蒸着現状レートをレート検出開始後一定時間後からレート検出終了までの検出レートの平均値とした
蒸着方法。
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