JP4706269B2 - 汚染物分析用捕集装置 - Google Patents
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Description
捕集部は、基材と、その表面に表面物質層を形成し、前記表面物質層は、所望の材料表面と同一物質からなり、前記捕集部が、物理、又は化学的反応により汚染物質を選択的に捕集する手段と、分析用気体以外の気体による汚染を受けないようにする防護手段とを備えることを特徴とする汚染物分析用捕集装置である。
沸点制御が加熱のみで良い場合はペルチェ素子210に代わり熱線ヒータや赤外線ランプヒータ、でも良い。
2…表面物質
10…捕集リール
10A…暴露表面
20…リール駆動装置
30…排気ポンプ
40…吸引管
41A…開口部
41B…開口部
42A…気密ポート
42B…気密ポート
50…吸引口
60…吸気バルブ
70…排気口
80…排気バルブ
100…捕集装置
200…温調ユニット
210…ペルチェ素子
220…温度計
230…温度制御器
300…中央制御器
310…リール駆動装置
320…排気ポンプ制御器
330…バルブ開閉器
340…温度制御器
400…照射ユニット
410…光源
420…電子線源
430…放射線源
440…フィルター
450…回折格子光学系
510A…送り側カセット
510B…受け側カセット
520A…開閉扉
520B…開閉扉
530…流量調整器
540…熱交換器
550A…バルブ
550B…バルブ
560A…圧力計
560B…圧力計
570A…バルブ
570B…バルブ
580A…接続継ぎ手
580B…接続継ぎ手
590…Oリング
710…減圧装置
720…ゲートバルブ
900…汚染物質を含んだ気体
Claims (5)
- 分析用の気体中(以下分析用気体と記す)から分子状化学汚染物質を経時的に吸引する吸引部と、
該吸引部により吸引された分子状汚染物質を経時的に捕集する捕集部と、
前記吸引部と気密接続され、分析用気体が採取される対象空間である減圧装置と、
を備えた汚染物質分析用捕集装置であって、
捕集部は、基材と、その表面に表面物質層を形成し、前記表面物質層は、所望の材料表面と同一物質からなり、
前記捕集部が、物理、又は化学的反応により汚染物質を選択的に捕集する手段と、分析用気体以外の気体による汚染を受けないようにする防護手段とを備えることを特徴とする汚染物分析用捕集装置。 - 前記基材は、金属よりなることを特徴とする請求項1記載の汚染物分析用捕集装置。
- 前記汚染物質を選択的に捕集する手段は、前記表面物質層の表面を特定温度に加熱、又は冷却することにより、前記表面物質層の表面に汚染物質を選択的に捕集することを特徴とする請求項1記載の汚染物分析用捕集装置。
- 前記汚染物質を選択的に捕集する手段は、前記表面物質層の表面近傍の分析用気体へ特定波長の光線の照射することにより、前記表面物質層の表面に汚染物質を選択的に捕集することを特徴とする請求項1記載の汚染物分析用捕集装置。
- 前記汚染物質を選択的に捕集する手段は、前記表面物質層の表面近傍の分析用気体へ特定波長の放射線の照射することにより、前記表面物質層の表面に汚染物質を選択的に捕集することを特徴とする請求項1記載の汚染物分析用捕集装置。
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