JPH11218526A - 分析方法 - Google Patents

分析方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体デバイスに対して悪影響を及ぼすクリ
ーンルーム雰囲気中の有機物を、より正確に分析できる
ようにする。 【解決手段】 クリーンルーム雰囲気の空気を、ポンプ
などを用いて吸着管１０１内に通過させ、吸着管１０１
内に充填してある粒径１μｍ程度のポリシリコン粒子か
らなる捕集剤１０１ａに空気中の有機物などを吸着させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体装
置が製造されているクリーンルームなどの雰囲気中に存
在する物質の分析を行う分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームの雰囲気において、製造
しているデバイス（半導体装置）に対して悪影響を及ぼ
す有機物の測定は、従来、次に示すようにして行ってい
た。まず、樹脂系の捕集剤を吸着管に充填し、ポンプな
どを用いてクリーンルーム雰囲気の空気を吸着管内に捕
獲する。その後、吸着管内の捕集剤に吸着している物質
を高温で熱脱離させ、熱脱離した物質を質量分析計ガス
クロマトグラフ分析などにより分析する。この分析で
は、ガスクロマトグラフにより試料成分の分離を行った
後、それぞれの成分を質量分析器により定性・定量す
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の方法
では、デバイスに対して悪影響を及ぼさない有機物を数
多く検出してしまうため、デバイスに悪影響を及ぼす有
機物の検出に対してそれらがノイズとなってしまうとい
う問題があった。すなわち、従来では、有機物質からな
る樹脂系の捕集剤を用いており、この捕集剤が有機物全
般を吸着する性能を有しているため、捕集剤から熱脱離
させた物質の中にデバイスに対して悪影響を及ぼさない
有機物が数多く含まれることになっていた。また、従来
では、捕集剤に有機物質を用いているため、熱脱離させ
る温度をあまり高い温度とすることができなかった。
【０００４】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、半導体デバイスに対して
悪影響を及ぼすクリーンルーム雰囲気中の有機物を、よ
り正確に分析できるようにすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の分析方法は、
シリコンの小片からなる捕集剤を分析対象雰囲気の空気
に晒して分析対象雰囲気の空気中の物質を捕集材に吸着
させ、ついで、その捕集剤を加熱して捕集剤に吸着した
物質を熱脱離させ、そして、その熱脱離した物質の分析
を行うようにした。したがって、この分析方法によれ
ば、シリコンに吸着する物質のみが分析対象となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１は、この発明の実施の形態にお
ける分析方法を実現するためのシステム構成を示す構成
図である。以下、この図１を参照して分析方法について
説明する。クリーンルーム雰囲気の空気をポンプなどを
用いて吸着管１０１内に通過させ、吸着管１０１内に充
填してある粒径１μｍ程度のポリシリコン粒子からなる
捕集剤１０１ａにその雰囲気の空気を晒し、空気中の有
機物などを吸着させる（図１（ａ））。そして、図１
（ｂ）に示すように、吸着管１０１を分析装置１１０の
加熱部１１１に配置し、吸着管１０１の端部にキャリア
ガス供給部１１２を取り付ける。このキャリアガス供給
部１１２より、ヘリウムなどのキャリアガスが供給され
ている。
【０００７】次に、加熱部１１１により吸着管１０１中
の捕集剤１０１ａを加熱し、シリコン粒子に吸着した有
機物を熱脱離させる。熱脱離させる温度は、従来と同様
に２５０〜３００℃程度で行ってもよいが、３００℃以
上で行った方が捕集剤１０１ａに吸着した分析対象物を
捕集剤１０１ａからより脱離させることができる。この
場合の温度の上限は、分析対象物の分解温度によって決
定されるが、通常では４００〜４５０℃程度である。ま
た、捕集剤１０１ａ表面より脱離せず、分解温度まで温
度を上げても分析対象物が捕集剤１０１ａに残る場合が
ある。この場合は、熱脱離のための温度を５００℃以上
に上げる必要がある。この場合の温度の上限は、捕集剤
１０１ａを構成するポリシリコン粒子の融点未満とな
る。また、このように高温で熱脱離させる必要がある場
合、吸着管１０１は石英などのように高融点材料で構成
する必要がある。
【０００８】ここで、熱脱離させた分析対象ガス（分析
対象物）は、キャリアガスによりクライオフォーカス部
１１３に導入されることになる。そのクライオフォーカ
ス部１１３は、液体窒素などの冷媒により内部を通過す
るガスを冷却してその体積を縮小させている。したがっ
て、クライオフォーカス部１１３により、熱脱離した分
析対象ガスは濃縮されることになる。次に、濃縮された
分析対象ガスを所定の充填剤が充填されたカラム１１４
を通過させることで、それぞれの成分に分離する。そし
て、それぞれの成分に分離された分析対象ガスを、検出
器１１５によりそれぞれ分析する。この検出器１１５と
しては、例えば質量分析計を用いればよく、カラム１１
４を通過して分離されたそれぞれの物質の定性と定量と
が同時にできる。
【０００９】以上示したように、この実施の形態によれ
ば、クリーンルーム雰囲気の空気中の有機物をポリシリ
コン粒子に吸着させ、これを熱脱離させることで、クリ
ーンルーム雰囲気中の有機物を測定するようにした。す
なわち、デバイス製造に用いられているシリコンを捕集
剤として用いるようにしたので、この捕集剤に吸着され
る有機物はデバイス製造に用いられているシリコンウエ
ハーに吸着しやすいものである。また、クリーンルーム
中に存在していてもシリコンには吸着しにくい揮発性の
有機物は、シリコンからなる捕集剤には捕集されない。
【００１０】例えば、従来のように樹脂系の捕集剤（Ｔ
ＥＮＡＸ ＴＡ：TENAX FIBERS GmbH & Co.KG 製）を用
いてクリーンルーム雰囲気の分析を行った場合、以下の
表１に示すような物質が検出される。
【００１１】
【表１】
【００１２】これらに対して、上述したこの発明によれ
ば、以下の表２に示すように物質が検出される。
【００１３】
【表２】
【００１４】ここで、表１の中でＮｏ１〜４，Ｎｏ６，
７の物質は、表２示されるようにポリシリコン粒子を用
いた場合は検出されない。これらの物質は、シリコンに
吸着しても揮発しやすいため、または、シリコンに対し
て吸着しにくい等に理由により、ポリシリコン粒子を捕
集剤として用いた場合には検出されない。すなわち、こ
れらの物質は、シリコンデバイスに対して問題を発生さ
せる要因とはならない。これに対して、表２に示すよう
に、シリコンを捕集剤として用いたこの発明による検出
では、実際にシリコンに吸着される物質が選択的に検出
され、シリコンデバイスに対して悪影響を及ぼすと思わ
れる物質の検出が可能となる。ここで、表１において
も、Ｎｏ８，９等のシリコンデバイスに対して悪影響を
及ぼすと思われる物質が検出されているが、他の関係の
ない物質が多く検出され、それらがノイズとして所望の
物質の検出を妨げる結果となっている。
【００１５】以上示したように、上述した実施の形態に
よれば、シリコンデバイスに悪影響を及ぼすと思われる
物質を、ノイズを低減した状態で選択的に検出できるよ
うになる。なお、上述では、ポリシリコン粒子を捕集剤
として吸着管に充填するようにしたが、これに限るもの
ではなく、結晶シリコンの小片を捕集剤として吸着管に
充填して用いるようにしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明では、シ
リコンの小片からなる捕集剤を分析対象雰囲気の空気を
晒して分析対象雰囲気の空気中の物質を捕集材に吸着さ
せ、ついで、その捕集剤を加熱して捕集剤に吸着した物
質を熱脱離させ、そして、その熱脱離した物質の分析を
行うようにした。したがって、この分析方法によれば、
シリコンに吸着する物質のみが分析対象となる。この結
果、この発明によれば、半導体デバイス製造に用いられ
るシリコンウエハーには吸着されないような有機物は検
出されないことになり、半導体デバイスに対して悪影響
を及ぼすクリーンルーム雰囲気中の有機物を、より正確
に分析できるようになるという効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態における分析方法を実
現するためのシステム構成を示す構成図である。
【符号の説明】
１０１…吸着管、１０１ａ…捕集剤、１１０…分析装
置、１１１…加熱部、１１２…キャリアガス供給部、１
１３…クライオフォーカス部、１１４…カラム、１１５
…検出器。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シリコンの小片からなる捕集剤を分析対
    象雰囲気の空気に晒して前記分析対象雰囲気の空気中の
    物質を前記捕集材に吸着させる第１の工程と、 前記捕集剤を加熱して前記捕集剤に吸着した物質を熱脱
    離させる第２の工程と、 前記第２の工程により熱脱離した物質の分析を行う第３
    の工程とからなることを特徴とする分析方法。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の分析方法において、 前記第３の工程における分析は、ガスクロマトグラフに
    よる分析であることを特徴とする分析方法。
  3. 【請求項３】 請求項２記載の分析方法において、 前記ガスクロマトグラフによる分析では、検出器として
    質量分析器を用いることを特徴とする分析方法。
  4. 【請求項４】 請求項１〜３いずれか１項記載の分析方
    法において、 前記シリコンの小片は、ポリシリコンの粒子であること
    を特徴とする分析方法。
  5. 【請求項５】 請求項１〜４いずれか１項記載の分析方
    法において、 前記捕集剤を筒状の吸着管に充填し、この吸着管に前記
    分析対象雰囲気の空気を通すことで前記捕集材を前記分
    析対象雰囲気の空気に晒すことを特徴とする分析方法。
  6. 【請求項６】 請求項５項記載の分析方法において、 前記吸着管は石英から構成されていることを特徴とする
    分析方法。
  7. 【請求項７】 請求項１〜６いずれか１項記載の分析方
    法において、 前記分析対象雰囲気は半導体および半導体装置を製造す
    るクリーンルーム内の雰囲気であることを特徴とする分
    析方法。
  8. 【請求項８】 請求項１〜７いずれか１項記載の分析方
    法において、 前記分析対象雰囲気の空気中の物質が有機物であること
    を特徴とする分析方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006208136A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Toppan Printing Co Ltd 汚染物分析用捕集装置
CN100394179C (zh) * 2004-06-04 2008-06-11 中国科学院大连化学物理研究所 一种用于固态吸附搅拌棒热解析器的装置

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040023419A1 (en) * 2001-09-24 2004-02-05 Extraction Systems, Inc System and method for monitoring contamination
US7092077B2 (en) * 2001-09-24 2006-08-15 Entegris, Inc. System and method for monitoring contamination
KR100484982B1 (ko) * 2002-04-09 2005-04-25 금호석유화학 주식회사 휘발성 유기화합물의 분석을 위한 흡착관 및 그 제조방법
DE10338024B3 (de) * 2003-08-19 2005-01-27 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Überwachen korrosiver Luftinhaltsstoffe
NZ537372A (en) * 2004-12-23 2007-07-27 Agres Ltd Sample extraction system
DE102012007403B4 (de) 2012-04-16 2018-03-29 Sim Scientific Instruments Manufacturer Gmbh Temperiereinrichtung für ein chemisches Analysegerät
JP5909153B2 (ja) * 2012-06-14 2016-04-26 信越化学工業株式会社 高純度多結晶シリコンの製造方法
CN104390815B (zh) * 2013-10-23 2017-01-25 中国科学院地球环境研究所 气体自动收集的方法
JP6413047B1 (ja) 2016-12-16 2018-10-24 株式会社トクヤマ ポリシリコン破砕物の付着樹脂の分析方法
US10217621B2 (en) * 2017-07-18 2019-02-26 Applied Materials Israel Ltd. Cleanliness monitor and a method for monitoring a cleanliness of a vacuum chamber
US11415495B2 (en) 2019-07-16 2022-08-16 Hamilton Sundstrand Corporation Thermal desorbers

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA997169A (en) * 1973-10-01 1976-09-21 John L. Brokenshire Detector for a trace of a specific vapour in the atmosphere
GB2250633B (en) * 1990-10-31 1995-01-25 Extrel Corp Improvements relating to gas analysis
US5272337A (en) * 1992-04-08 1993-12-21 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Sample introducing apparatus and sample modules for mass spectrometer
JP3298974B2 (ja) * 1993-03-23 2002-07-08 電子科学株式会社 昇温脱離ガス分析装置
JP2580988B2 (ja) * 1993-12-17 1997-02-12 日本電気株式会社 有機物分析装置および有機物分析方法
CA2120682C (en) * 1994-04-06 1999-02-23 Sabatino Nacson Improved apparatus for rapid and specific detection of organic vapours
DE19653406C1 (de) * 1996-12-20 1998-01-29 Gerstel Gmbh Verfahren zum Aufgeben von gaschromatographisch zu untersuchenden Proben und Probenaufnahmerohr

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100394179C (zh) * 2004-06-04 2008-06-11 中国科学院大连化学物理研究所 一种用于固态吸附搅拌棒热解析器的装置
JP2006208136A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Toppan Printing Co Ltd 汚染物分析用捕集装置
JP4706269B2 (ja) * 2005-01-27 2011-06-22 凸版印刷株式会社 汚染物分析用捕集装置

Also Published As

Publication number Publication date
GB9902322D0 (en) 1999-03-24
GB2334101B (en) 2001-10-24
KR19990072391A (ko) 1999-09-27
GB2334101A (en) 1999-08-11
US6248997B1 (en) 2001-06-19
KR100310881B1 (ko) 2001-10-17
JP3506599B2 (ja) 2004-03-15
CN1236095A (zh) 1999-11-24

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