JP2964998B2 - 大気中微量不純物の分析方法 - Google Patents
大気中微量不純物の分析方法Info
- Publication number
- JP2964998B2 JP2964998B2 JP15698197A JP15698197A JP2964998B2 JP 2964998 B2 JP2964998 B2 JP 2964998B2 JP 15698197 A JP15698197 A JP 15698197A JP 15698197 A JP15698197 A JP 15698197A JP 2964998 B2 JP2964998 B2 JP 2964998B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particulate adsorbent
- analyzing
- adsorbed
- impurities
- atmosphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は大気中微量不純物の
分析方法に関し、特にクリーンルーム大気中の微量不純
物を高感度でかつ簡便に分析することができる分析方法
に関する。
分析方法に関し、特にクリーンルーム大気中の微量不純
物を高感度でかつ簡便に分析することができる分析方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスの進歩はめざまし
いが、デバイスの高集積化、微細化の進展とともに、半
導体デバイスの製造環境、すなわちクリーンルーム大気
中の微量不純物による汚染の影響が顕著になってきてい
る。従って、高信頼性の半導体デバイスを歩留りよく製
造するためにはクリーンルーム大気を高清浄度に維持す
る必要があるが、そのためには、クリーンルーム大気中
の微量不純物を高精度に分析する必要がある。
いが、デバイスの高集積化、微細化の進展とともに、半
導体デバイスの製造環境、すなわちクリーンルーム大気
中の微量不純物による汚染の影響が顕著になってきてい
る。従って、高信頼性の半導体デバイスを歩留りよく製
造するためにはクリーンルーム大気を高清浄度に維持す
る必要があるが、そのためには、クリーンルーム大気中
の微量不純物を高精度に分析する必要がある。
【０００３】クリーンルーム大気中の分析方法として
は、大気を吸引し、インピンジャー内に入れた捕集液中
に大気中の不純物を捕集し、しかる後にこの捕集液中の
不純物成分を分析する方法（インピンジャー捕集法）が
知られている。
は、大気を吸引し、インピンジャー内に入れた捕集液中
に大気中の不純物を捕集し、しかる後にこの捕集液中の
不純物成分を分析する方法（インピンジャー捕集法）が
知られている。
【０００４】また、大気中不純物成分を吸着剤に吸着さ
せた後、吸着剤を加熱し、脱離する不純物成分をガス・
クロマトグラフィー等により分析する方法も知られてい
る。
せた後、吸着剤を加熱し、脱離する不純物成分をガス・
クロマトグラフィー等により分析する方法も知られてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のインピ
ンジャー捕集法では分析対象不純物の種類により捕集液
の使い分けが必要となり、操作が煩雑であった。即ち、
捕集液に不純物成分を溶解させることにより捕集してい
たため、対象不純物の捕集液への溶解度に応じて数種類
の捕集液を準備する必要があったうえに、その後の組成
分析の方法に応じてさらに捕集液を使い分ける必要があ
った。またその組成分析においても不純物の種類に応じ
て分析方法を選択する必要があり、分析に手間がかかる
という問題があった。さらに、捕集時および捕集から分
析に至るまでの間に、インピンジャーや捕集液あるいは
捕集液を保管しておくための保管用器等からの汚染の影
響により、高感度な分析が行えないという問題もあっ
た。
ンジャー捕集法では分析対象不純物の種類により捕集液
の使い分けが必要となり、操作が煩雑であった。即ち、
捕集液に不純物成分を溶解させることにより捕集してい
たため、対象不純物の捕集液への溶解度に応じて数種類
の捕集液を準備する必要があったうえに、その後の組成
分析の方法に応じてさらに捕集液を使い分ける必要があ
った。またその組成分析においても不純物の種類に応じ
て分析方法を選択する必要があり、分析に手間がかかる
という問題があった。さらに、捕集時および捕集から分
析に至るまでの間に、インピンジャーや捕集液あるいは
捕集液を保管しておくための保管用器等からの汚染の影
響により、高感度な分析が行えないという問題もあっ
た。
【０００６】一方、大気中不純物成分を吸着材に吸着さ
せた後、吸着剤を加熱し、脱離してくる不純物成分を分
析する方法では、吸着剤に吸着している不純物成分のす
べてが加熱により吸着剤から脱離するとは限らないた
め、分析対象不純物量を正確に求めるのは難しいという
問題があった。
せた後、吸着剤を加熱し、脱離してくる不純物成分を分
析する方法では、吸着剤に吸着している不純物成分のす
べてが加熱により吸着剤から脱離するとは限らないた
め、分析対象不純物量を正確に求めるのは難しいという
問題があった。
【０００７】本発明方法の目的は、上述した従来の分析
方法における問題点を解消し、高精度でかつ簡便に大気
中微量不純物の分析ができる新しい方法を提供すること
である。
方法における問題点を解消し、高精度でかつ簡便に大気
中微量不純物の分析ができる新しい方法を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の大気中微
量不純物の分析方法は、粒子状吸着剤を充填した吸着カ
ラムを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の
微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成
分析を行うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方
法である。
量不純物の分析方法は、粒子状吸着剤を充填した吸着カ
ラムを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の
微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成
分析を行うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方
法である。
【０００９】本発明の第２の大気中微量不純物の分析方
法は、粒子状吸着剤を均一に分散させたフィルターを通
じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純
物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成分析を行
うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方法であ
る。
法は、粒子状吸着剤を均一に分散させたフィルターを通
じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純
物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成分析を行
うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方法であ
る。
【００１０】本発明の大気中微量不純物の分析方法で
は、粒子状吸着剤を充填した吸着カラムを通じて大気を
吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純物成分を吸
着させるかあるいは、粒子状吸着剤を均一に分散させた
フィルターを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大
気中の微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤
の組成分析を行うことにより、サンプリングの簡略化が
達成できると同時に、吸着された不純物の構成元素を一
度に同定しかつ定量することにより、短時間にかつ簡便
に不純物の組成分析が可能となる。また、捕集液を用い
ることがないため、捕集液からの汚染や捕集液を保管す
るための保管容器からの汚染を防止することができる。
は、粒子状吸着剤を充填した吸着カラムを通じて大気を
吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純物成分を吸
着させるかあるいは、粒子状吸着剤を均一に分散させた
フィルターを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大
気中の微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤
の組成分析を行うことにより、サンプリングの簡略化が
達成できると同時に、吸着された不純物の構成元素を一
度に同定しかつ定量することにより、短時間にかつ簡便
に不純物の組成分析が可能となる。また、捕集液を用い
ることがないため、捕集液からの汚染や捕集液を保管す
るための保管容器からの汚染を防止することができる。
【００１１】さらに、本発明の分析方法では、吸着剤そ
のものを分析するため、吸着剤に吸着されている不純物
成分の全量を正確に分析することができる。
のものを分析するため、吸着剤に吸着されている不純物
成分の全量を正確に分析することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明方法の好ましい実施の形態
においては、粒子状吸着剤の組成分析方法として、第１
の本発明方法の場合は不純物が吸着された粒子状吸着剤
をプラズマ中に導入しイオン化し、その際生ずる発光の
発光強度および発光スペクトルを測定することにより、
粒子状吸着剤に吸着されている不純物元素の定量および
同定を行う。第２の本発明方法の場合は不純物が吸着さ
れた粒子状吸着剤をフィルター上から吸引した後プラズ
マ中に導入しイオン化し、その際生ずる発光の発光強度
および発光スペクトルを測定することにより、粒子状吸
着剤に吸着されている不純物元素の定量および同定を行
う。
においては、粒子状吸着剤の組成分析方法として、第１
の本発明方法の場合は不純物が吸着された粒子状吸着剤
をプラズマ中に導入しイオン化し、その際生ずる発光の
発光強度および発光スペクトルを測定することにより、
粒子状吸着剤に吸着されている不純物元素の定量および
同定を行う。第２の本発明方法の場合は不純物が吸着さ
れた粒子状吸着剤をフィルター上から吸引した後プラズ
マ中に導入しイオン化し、その際生ずる発光の発光強度
および発光スペクトルを測定することにより、粒子状吸
着剤に吸着されている不純物元素の定量および同定を行
う。
【００１３】本発明方法のもう一つの好ましい実施の形
態においては、粒子状吸着剤の組成分析方法として、第
１の本発明方法の場合は不純物が吸着された粒子状吸着
剤をプラズマ中に導入しイオン化し、生成したイオンを
質量分析器に導入することにより、粒子状吸着剤に吸着
されている不純物元素の定量および同定を行う。第２の
本発明方法の場合は不純物が吸着された粒子状吸着剤を
フィルター上から吸引した後プラズマ中に導入しイオン
化し、生成したイオンを質量分析器に導入することによ
り、粒子状吸着剤に吸着されている不純物元素の定量お
よび同定を行う。
態においては、粒子状吸着剤の組成分析方法として、第
１の本発明方法の場合は不純物が吸着された粒子状吸着
剤をプラズマ中に導入しイオン化し、生成したイオンを
質量分析器に導入することにより、粒子状吸着剤に吸着
されている不純物元素の定量および同定を行う。第２の
本発明方法の場合は不純物が吸着された粒子状吸着剤を
フィルター上から吸引した後プラズマ中に導入しイオン
化し、生成したイオンを質量分析器に導入することによ
り、粒子状吸着剤に吸着されている不純物元素の定量お
よび同定を行う。
【００１４】
【実施例】以下に、図面を参照しながら本発明方法の実
施例について説明する。
施例について説明する。
【００１５】実施例１ 図１（ａ）に本発明の第１の実施例における試料のサン
プリング法についての概略図を示す。吸着カラム１０１
内に、粒子状吸着剤１０２を充填した。次に粒子状吸着
剤を充填したこの吸着カラムを通じて、大気を吸引ポン
プ１０３によって吸引した。この時吸引された大気中の
微量不純物成分が粒子状吸着剤に吸着され、不純物成分
のサンプリングが行われた。
プリング法についての概略図を示す。吸着カラム１０１
内に、粒子状吸着剤１０２を充填した。次に粒子状吸着
剤を充填したこの吸着カラムを通じて、大気を吸引ポン
プ１０３によって吸引した。この時吸引された大気中の
微量不純物成分が粒子状吸着剤に吸着され、不純物成分
のサンプリングが行われた。
【００１６】図１（ｂ）に粒子状吸着剤の組成分析法の
概略を示す。不純物成分が吸着された粒子状吸着剤１０
４を試料容器１０５に入れ、試料導入部１０６にセット
した。次にアスピレータ１０７により粒子状吸着剤を吸
引した。この時のキャリアガスとして、Ｈｅ，Ａｒ等の
不活性ガスを使用する。アスピレータにより吸引された
粒子状吸着剤１０８はキャリアガスに運ばれて、分析器
１０９において組成分析された。この時粒子状吸着剤そ
のものの組成分析を行うため、粒子状吸着剤に吸着され
ている微量不純物の全量を知ることができた。
概略を示す。不純物成分が吸着された粒子状吸着剤１０
４を試料容器１０５に入れ、試料導入部１０６にセット
した。次にアスピレータ１０７により粒子状吸着剤を吸
引した。この時のキャリアガスとして、Ｈｅ，Ａｒ等の
不活性ガスを使用する。アスピレータにより吸引された
粒子状吸着剤１０８はキャリアガスに運ばれて、分析器
１０９において組成分析された。この時粒子状吸着剤そ
のものの組成分析を行うため、粒子状吸着剤に吸着され
ている微量不純物の全量を知ることができた。
【００１７】図２に粒子状吸着剤の組成分析方法として
発光分光法を用いた場合について示す。アスピレータ２
０１で吸引された粒子状吸着剤２０２はキャリアガスと
ともに、プラズマ２０３中に導入されイオン化された。
プラズマの発生は石英製のトーチ２０４に高周波電源２
０５より高周波を印加することによって行われる。この
時に生ずる発光の発光強度および発光スペクトルを分光
器２０６によって測定した。分光器を２台以上設置し、
同時に発光する元素の組み合わせと元素の量から、不純
物成分の組成を知ることができた。
発光分光法を用いた場合について示す。アスピレータ２
０１で吸引された粒子状吸着剤２０２はキャリアガスと
ともに、プラズマ２０３中に導入されイオン化された。
プラズマの発生は石英製のトーチ２０４に高周波電源２
０５より高周波を印加することによって行われる。この
時に生ずる発光の発光強度および発光スペクトルを分光
器２０６によって測定した。分光器を２台以上設置し、
同時に発光する元素の組み合わせと元素の量から、不純
物成分の組成を知ることができた。
【００１８】図３に粒子状吸着剤の組成分析方法として
質量分析法を用いた場合について示す。アスピレータ３
０１で吸引された粒子状吸着剤３０２はキャリアガスと
ともに、プラズマ３０３中に導入された。プラズマの発
生は石英製のトーチ３０４に高周波電源３０５より高周
波を印加することによって行われる。このプラズマ中で
粒子状吸着剤の成分元素および不純物成分元素はイオン
化され、生成したイオンは質量分析部３０６に導かれ、
ここで質量分析され、検出器３０７で検出された。この
時の質量数およびイオン強度から各元素の同定および定
量を行った。質量分析を用いる方法は、発光分光を用い
る方法よりもさらに感度を向上させることができ、より
微量な不純物成分の分析が可能となる。
質量分析法を用いた場合について示す。アスピレータ３
０１で吸引された粒子状吸着剤３０２はキャリアガスと
ともに、プラズマ３０３中に導入された。プラズマの発
生は石英製のトーチ３０４に高周波電源３０５より高周
波を印加することによって行われる。このプラズマ中で
粒子状吸着剤の成分元素および不純物成分元素はイオン
化され、生成したイオンは質量分析部３０６に導かれ、
ここで質量分析され、検出器３０７で検出された。この
時の質量数およびイオン強度から各元素の同定および定
量を行った。質量分析を用いる方法は、発光分光を用い
る方法よりもさらに感度を向上させることができ、より
微量な不純物成分の分析が可能となる。
【００１９】実施例２ 図４（ａ）に本発明の第２の実施例における試料のサン
プリング方法の概略図を示す。粒子状吸着剤４０１を均
一に分散させた分析用フィルター４０２をフィルターホ
ルダー４０３にセットした。次に、粒子状吸着剤を分散
させたこの分析用フィルターを通じて、大気を吸引ポン
プ４０４によって吸引した。この時吸引された大気中の
微量不純物成分が粒子状吸着剤に吸着され、不純物成分
のサンプリングが行われた。
プリング方法の概略図を示す。粒子状吸着剤４０１を均
一に分散させた分析用フィルター４０２をフィルターホ
ルダー４０３にセットした。次に、粒子状吸着剤を分散
させたこの分析用フィルターを通じて、大気を吸引ポン
プ４０４によって吸引した。この時吸引された大気中の
微量不純物成分が粒子状吸着剤に吸着され、不純物成分
のサンプリングが行われた。
【００２０】図４（ｂ）に粒子状吸着剤の組成分析法の
概略を示す。不純物成分が吸着された粒子状吸着剤４０
５が均一に分散された分析用フィルター４０６を、試料
導入部４０７内の分析用フィルターホルダー４０８にセ
ットした。次にアスピレータ４０９により分析用フィル
ター上の粒子状吸着剤を吸引した。この時のキャリアガ
スとして、Ｈｅ，Ａｒ等の不活性ガスを使用する。アス
ピレータにより吸引された粒子状吸着剤４１０はキャリ
アガスに運ばれて、分析器４１１において組成分析され
た。この時粒子状吸着剤そのものの組成分析を行うた
め、粒子状吸着剤に吸着されている微量不純物の全量を
知ることができた。アスピレータおよび分析用フィルタ
ーホルダーを走査することにより、分析用フィルター全
面の粒子状吸着物を効率よく吸引することができる。
概略を示す。不純物成分が吸着された粒子状吸着剤４０
５が均一に分散された分析用フィルター４０６を、試料
導入部４０７内の分析用フィルターホルダー４０８にセ
ットした。次にアスピレータ４０９により分析用フィル
ター上の粒子状吸着剤を吸引した。この時のキャリアガ
スとして、Ｈｅ，Ａｒ等の不活性ガスを使用する。アス
ピレータにより吸引された粒子状吸着剤４１０はキャリ
アガスに運ばれて、分析器４１１において組成分析され
た。この時粒子状吸着剤そのものの組成分析を行うた
め、粒子状吸着剤に吸着されている微量不純物の全量を
知ることができた。アスピレータおよび分析用フィルタ
ーホルダーを走査することにより、分析用フィルター全
面の粒子状吸着物を効率よく吸引することができる。
【００２１】比較例 図５に従来法として、インピンジャー捕集法の概略を示
す。内部に捕集液５０１を例えば１０ｍｌ入れたインピ
ンジャー５０２を吸引ポンプ５０３に連結した。吸引ポ
ンプによってインピンジャー内に導入された大気中の不
純物成分は、バブリングによって捕集液中に溶解した。
この時、不純物成分の捕集液への溶解度に応じて捕集液
を数種類用意する必要があり、そのため、インピンジャ
ーを複数個数用意する必要がある。例えば、陽イオン
（ＮＨ4 +等）や陰イオン（Ｃｌ- ，ＮＯ2 -，ＮＯ3 -，Ｓ
Ｏ4 2- 等）の捕集には超純水を用い、金属不純物の分析
には希酸（希釈ＨＮＯ3 ，希釈ＨＣｌ等）の溶液を用い
る必要がある。さらに有機物成分に関しては、超純水や
有機溶剤等を用いる必要がある。
す。内部に捕集液５０１を例えば１０ｍｌ入れたインピ
ンジャー５０２を吸引ポンプ５０３に連結した。吸引ポ
ンプによってインピンジャー内に導入された大気中の不
純物成分は、バブリングによって捕集液中に溶解した。
この時、不純物成分の捕集液への溶解度に応じて捕集液
を数種類用意する必要があり、そのため、インピンジャ
ーを複数個数用意する必要がある。例えば、陽イオン
（ＮＨ4 +等）や陰イオン（Ｃｌ- ，ＮＯ2 -，ＮＯ3 -，Ｓ
Ｏ4 2- 等）の捕集には超純水を用い、金属不純物の分析
には希酸（希釈ＨＮＯ3 ，希釈ＨＣｌ等）の溶液を用い
る必要がある。さらに有機物成分に関しては、超純水や
有機溶剤等を用いる必要がある。
【００２２】次いで、不純物成分が溶解した捕集液を分
析した。この際、不純物成分の種類と捕集液の種類に応
じて、複数の異なった分析方法が必要となるため、分析
器５０４も複数必要となり、分析に手間がかかると同時
に、分析時間も長くなる。
析した。この際、不純物成分の種類と捕集液の種類に応
じて、複数の異なった分析方法が必要となるため、分析
器５０４も複数必要となり、分析に手間がかかると同時
に、分析時間も長くなる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の大気中微
量不純物の分析方法は、大気中の微量不純物成分を粒子
状吸着剤に吸着させた後、この粒子状吸着剤の組成分析
を行うことによって、サンプリングの簡略化が達成でき
ると同時に、短時間にかつ簡便に不純物の組成分析が可
能となる。また、従来法で問題となっていた、捕集液や
保管容器等からの汚染も防止することができる。
量不純物の分析方法は、大気中の微量不純物成分を粒子
状吸着剤に吸着させた後、この粒子状吸着剤の組成分析
を行うことによって、サンプリングの簡略化が達成でき
ると同時に、短時間にかつ簡便に不純物の組成分析が可
能となる。また、従来法で問題となっていた、捕集液や
保管容器等からの汚染も防止することができる。
【図１】本発明方法の実施例１を説明するための図面
で、（ａ）は試料のサンプリング法についての概略図、
（ｂ）は粒子状吸着剤の組成分析法の概略図
で、（ａ）は試料のサンプリング法についての概略図、
（ｂ）は粒子状吸着剤の組成分析法の概略図
【図２】粒子状吸着剤の組成分析方法として、発光分光
法を用いた場合の概略図
法を用いた場合の概略図
【図３】粒子状吸着剤の組成分析方法として、質量分析
法を用いた場合の概略図
法を用いた場合の概略図
【図４】本発明方法の実施例２を説明するための図面
で、（ａ）は試料のサンプリング法の概略図、（ｂ）は
粒子状吸着剤の組成分析法の概略図
で、（ａ）は試料のサンプリング法の概略図、（ｂ）は
粒子状吸着剤の組成分析法の概略図
【図５】従来法のインピンジャー捕集法の概略図で、
（ａ）は捕集図、（ｂ）は捕集液の分析操作図
（ａ）は捕集図、（ｂ）は捕集液の分析操作図
１０１ 吸着カラム １０２ 粒子状吸着剤 １０３ 吸引ポンプ １０４ 粒子状吸着剤 １０５ 試料容器 １０６ 試料導入部 １０７ アスピレータ １０８ 粒子状吸着剤 １０９ 分析器 ２０１ アスピレータ ２０２ 粒子状吸着剤 ２０３ プラズマ ２０４ プラズマトーチ ２０５ 高周波電源 ２０６ 分光器 ３０１ アスピレータ ３０２ 粒子状吸着剤 ３０３ プラズマ ３０４ プラズマトーチ ３０５ 高周波電源 ３０６ 質量分析部 ３０７ 検出器 ４０１ 粒子状吸着剤 ４０２ 分析用フィルター ４０３ フィルターホルダー ４０４ 吸引ポンプ ４０５ 粒子状吸着剤 ４０６ 分析用フィルター ４０７ 試料導入部 ４０８ 分析用フィルターホルダー ４０９ アスピレータ ４１０ 粒子状吸着剤 ４１１ 分析器 ５０１ 捕集液 ５０２ インピンジャー ５０３ 吸引ポンプ ５０４ 分析器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 1/02 G01N 1/22 G01N 21/62 - 21/74 G01N 27/62 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (6)
- 【請求項１】 粒子状吸着剤を充填した吸着カラムを通
じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純
物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成分析を行
うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方法。 - 【請求項２】 前記粒子状吸着剤の組成分析方法が、不
純物が吸着された粒子状吸着剤をプラズマ中に導入しイ
オン化し、その際生ずる発光の発光強度および発光スペ
クトルを測定することにより、粒子状吸着剤に吸着され
ている不純物元素の定量および同定を行うことを特徴と
する請求項１に記載の大気中微量不純物の分析方法。 - 【請求項３】 前記粒子状吸着剤の組成分析方法が、不
純物が吸着された粒子状吸着剤をプラズマ中に導入しイ
オン化し、生成したイオンを質量分析器に導入すること
により、粒子状吸着剤に吸着されている不純物元素の定
量および同定を行うことを特徴とする請求項１に記載の
大気中微量不純物の分析方法。 - 【請求項４】 粒子状吸着剤を均一に分散させたフィル
ターを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の
微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成
分析を行うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方
法。 - 【請求項５】 前記粒子状吸着剤の組成分析方法が、不
純物が吸着された粒子状吸着剤をフィルター上から吸引
した後プラズマ中に導入しイオン化し、その際生ずる発
光の発光強度および発光スペクトルを測定することによ
り、粒子状吸着剤に吸着されている不純物元素の定量お
よび同定を行うことを特徴とする請求項４に記載の大気
中微量不純物の分析方法。 - 【請求項６】 前記粒子状吸着剤の組成分析方法が、不
純物が吸着された粒子状吸着剤をフィルター上から吸引
した後プラズマ中に導入しイオン化し、生成したイオン
を質量分析器に導入することにより、粒子状吸着剤に吸
着されている不純物元素の定量および同定を行うことを
特徴とする請求項４に記載の大気中微量不純物の分析方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15698197A JP2964998B2 (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | 大気中微量不純物の分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15698197A JP2964998B2 (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | 大気中微量不純物の分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112607A JPH112607A (ja) | 1999-01-06 |
| JP2964998B2 true JP2964998B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=15639568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15698197A Expired - Fee Related JP2964998B2 (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | 大気中微量不純物の分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2964998B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001194306A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-07-19 | Advantest Corp | 化学物質検出方法及び装置 |
| JP5441573B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-03-12 | 学校法人中部大学 | 農薬および添加物のスクリーニング法およびその装置 |
| KR101142149B1 (ko) | 2009-10-16 | 2012-05-10 | 인천대학교 산학협력단 | 나노 입자 샘플링 장치 |
| JP6110116B2 (ja) * | 2012-11-28 | 2017-04-05 | 日本写真印刷株式会社 | 気体成分吸着管、気体成分採取装置及び気体成分採取方法。 |
| JP6227934B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2017-11-08 | 株式会社Ｎｔｔドコモ | ガスの測定装置及びガスの測定方法 |
| JP7286346B2 (ja) * | 2019-03-04 | 2023-06-05 | 清水建設株式会社 | 医薬品の飛散状態のモニタリングシステム及び医薬品の飛散状態のモニタリング方法 |
-
1997
- 1997-06-13 JP JP15698197A patent/JP2964998B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH112607A (ja) | 1999-01-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7882754B2 (en) | Gas component collector, gas component collecting device, filter producing method, and gas component analyzing apparatus | |
| JP2580988B2 (ja) | 有機物分析装置および有機物分析方法 | |
| Huang et al. | Direct detection of benzene, toluene, and ethylbenzene at trace levels in ambient air by atmospheric pressure chemical ionization using a handheld mass spectrometer | |
| Parshintsev et al. | Methods for characterization of organic compounds in atmospheric aerosol particles | |
| JP2964998B2 (ja) | 大気中微量不純物の分析方法 | |
| JP3506599B2 (ja) | 分析方法 | |
| JP2004205313A (ja) | ガスクロマトグラフィー装置 | |
| US6967717B1 (en) | Thermo-electrically cooled surface enhanced Raman spectroscopy sensor system | |
| RU2285253C1 (ru) | Способ десорбции-ионизации химических соединений | |
| JP2002214199A (ja) | 土壌汚染域の確定方法 | |
| CN104677976B (zh) | 粉末状磁性吸附剂与常压质谱源的联用分析方法 | |
| Bezabeh | Screening of aerosol filter samples for PAHs and nitro-PAHs by laser desorption ionization TOF mass spectrometry | |
| JP3632748B2 (ja) | 汚染物質の固体表面吸着評価方法 | |
| CN112129873B (zh) | 土壤中杀螟腈农药残留的检测方法 | |
| JPH1164316A (ja) | クリーンルーム空気中の有機ガス分析方法 | |
| US7358486B1 (en) | Cleaning and reconditioning of an inline automated chemical analysis system | |
| JP2003307511A (ja) | クリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法 | |
| JPH07159293A (ja) | 表面分析方法及び表面分析装置 | |
| JP2000304734A (ja) | 空気中の汚染物質の検出方法 | |
| JP4089646B2 (ja) | 有機揮発物測定用捕集管及び有機揮発物測定方法 | |
| JP3353823B2 (ja) | 気体分析方法 | |
| JP3550389B2 (ja) | 気体中の塩基性化合物の定量方法 | |
| JPH0979957A (ja) | 試料抽出方法及び装置 | |
| JP2001091504A (ja) | 半導体基板表面の不純物の分析方法 | |
| Donovan | Off-Wafer Measurement of Contaminants |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |