JP4705815B2 - データ処理装置、およびデータ処理方法、データ処理プログラム - Google Patents
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従来このような不等間隔データに対しフィルタ処理を行う際には、直線補間やスプライン補間等の補間法によってあらかじめ測定データ群の測定点を人工的に等間隔化し、それに対しフィルタ処理を行うという方法をとっていた。しかしながら、この補間処理によって測定データ群に意図しない情報が付加されてしまい、処理後のデータに対する信頼性の点で大きな問題があった。
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は測定点の間隔が一定間隔でない不等間隔の測定データに対し、フィルタ処理を行うことが可能なデータ処理装置を提供することにある。
上記のデータ処理装置において、前記フィルタ係数決定手段は測定点間の距離が所定値以上の場合フィルタ係数を0とすることが好適である。
図1は本発明の実施形態にかかるデータ処理装置の概略構成図である。データ処理装置10はコンピュータ等で構成されており、測定系12から送られる測定データ群の処理をプログラムとして実行する。本実施形態では測定系12として三次元測定機を用いた場合を想定して説明を行うが、本発明のデータ処理装置10は三次元測定機からの測定データに限らず、他の表面性状測定装置もしくは他の測定装置によって測定した不等間隔な測定データ群に対しても、好適にフィルタ処理を施すことができる。
同様に図3に測定点の座標空間が二次元の場合の測定点の位置関係を示す模式図を示す。これは測定子をXY方向(水平方向)に走査して、Z方向(高さ方向)の位置情報を取得し、被測定物の表面形状を測定する場合に相当する。理想的な状態を仮定すると、図3(a)に示すように、測定点は格子点上に整列し、隣接する測定点間の間隔はそれぞれ等しくなるはずである。しかしながら、実際の測定では図3(b)に示すように、測定点は格子点上に整列するとは限らず、隣接する測定点間の間隔はそれぞれ異なるものとなってしまう。
また、データ処理装置10は、ディスプレイ等で構成される表示手段46と、マウス、キーボード等の入力手段48とを備えており、フィルタ処理前、処理後の測定データ群の表示や、フィルタ条件の設定などを行うことができる。
フィルタ係数決定工程ではフィルタ処理対象となる一の測定値に対し、測定データ群の測定点の座標情報を基にフィルタ係数を算出する。例えば、1個目の測定値D(1)をフィルタ処理の対象とした場合、その測定点P(1)と測定データ群の各測定点P(m)(m=1〜N)との位置関係(距離等)を求める。そして、算出した位置関係に基いて各フィルタ係数K1mを算出する。各フィルタ係数K1mはフィルタ対象となる測定値の測定点P(1)と各測定点P(m)とを変数とする関数K[P(m),P(1)]によって決められることになる。つまり、各フィルタ係数K1mは測定点P(1)から測った測定点P(m)までの距離および/または方向の関数として求まる。フィルタ処理の特性は関数K[P(m),P(1)]の関数形によって決まるため、データ処理の目的に応じて関数形を選択できるように構成しておくことが好適である。位置関係からのフィルタ係数の算出は上記の関数を計算するようにプログラムしておくか、もしくは位置関係とフィルタ係数とを対応させたテーブルとして記憶手段に記憶しておけばよい。
フィルタ係数を決定する関数(以下、フィルタ係数決定関数と呼ぶ)として、測定点間の距離Xを変数とした、次の式で表されるガウス関数を用いた。
次にフィルタ係数決定関数として次式で表される指数型関数を用いたフィルタ処理を行った。
フィルタ係数決定関数として次式で表される矩形関数を用いてフィルタ処理を行った。
以上のように、本実施形態のデータ処理装置および方法によれば、不等間隔の測定データ、例えば三次元測定機の倣い測定、真円度測定、形状測定等において測定されたデータに対し、測定点の位置情報を保持したままフィルタ処理を実現することができる。本方法は従来のように補間法によって測定データに人工的なデータを付加していないため、従来よりもより信頼性の高い結果が得られると期待される。
12 測定系
20 フィルタ係数決定手段
22 処理手段
Claims (4)
- 離散的かつ不等間隔に分布した各測定点の座標情報と前記各測定点での測定値とを組にした測定データ群に対して、不等間隔データのまま前記各測定点の座標空間上で前記測定値にフィルタ処理を行うデータ処理装置であって、
フィルタ処理の対象となる任意の位置の測定点の座標情報と前記測定データ群の各測定点の座標情報に基づいて、前記任意の位置の測定点と前記測定データ群の各測定点との間の各距離を求める距離算出部と、
前記測定データ群の各測定点に対応するフィルタ係数を前記距離算出部で算出した各距離を変数としてフィルタ決定関数に代入して求める係数算出部と、を有し、前記各距離に基づいて前記測定データ群の各測定点に対応した各フィルタ係数を算出するフィルタ係数決定手段と、
前記フィルタ係数決定手段にて算出したフィルタ係数の合計値を求める係数合計部と、
前記測定データ群の測定値と該測定値の測定点の各距離を反映した前記フィルタ係数とを乗算することにより乗算値を求め、該乗算値を前記測定データ群の各測定値に渡って合計する乗算値合計部と、
該乗算値合計部で算出した合計値を前記係数合計部で算出したフィルタ係数の合計値で除算して、前記任意の位置の測定点の測定値に対するフィルタ処理された値を求める除算部と、を有し、前記測定データ群の各測定値と前記フィルタ係数決定手段にて算出した各フィルタ係数とに基づいて、前記任意の位置の測定点の測定値に対するフィルタ処理された値を得る処理手段と、を備えることを特徴とするデータ処理装置。 - 請求項1に記載のデータ処理装置において、
前記フィルタ係数決定手段は測定点間の距離が所定値以上の場合フィルタ係数を0とすることを特徴とするデータ処理装置。 - 離散的かつ不等間隔に分布した各測定点の座標情報と該各測定点での測定値とを組にした測定データ群に対して、不等間隔データのまま前記各測定点の座標空間上で前記測定値にフィルタ処理を行うデータ処理方法であって、
前記各測定点の座標情報と前記各測定点での測定値とを組にした前記測定データ群を取得するデータ取得工程と、
フィルタ処理の対象となる任意の位置の測定点の測定値に対し、該測定点と前記測定データ群の各測定点との間の各距離を前記座標情報から求め、該各距離を変数としてフィルタ決定関数に代入して前記測定データ群の各測定点に対応した各フィルタ係数を算出するフィルタ係数決定工程と、
前記フィルタ係数決定工程にて算出したフィルタ係数の合計値を求め、
前記測定データ群の測定値と該測定値の測定点の各距離を反映した前記フィルタ係数とを乗算することにより乗算値を求め、該乗算値を前記測定データ群の各測定値に渡って合計値とし、
該合計値を前記フィルタ係数の合計値で除算して、前記任意の位置の測定点の測定値に対するフィルタ処理された値を求める処理工程と、を備えることを特徴とするデータ処理方法。 - 請求項3記載のデータ処理方法をコンピュータに実行させることを特徴とするデータ処理プログラム。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001052039A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Sony Corp | 情報処理装置及び方法、表示装置及び方法並びに記録媒体 |
JP2002014025A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Canon Inc | プローブの走査制御装置、該走査制御装置による走査型プローブ顕微鏡、及びプローブの走査制御方法、該走査制御方法による測定方法 |
JP2004101503A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-04-02 | Mitsutoyo Corp | 信号処理方法、信号処理プログラム、この信号処理プログラムを記録した記録媒体および信号処理装置 |
JP2004333293A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Mitsutoyo Corp | 信号処理装置、信号処理方法、信号処理プログラム、信号処理プログラムを記録した記録媒体および測定機 |
JP2005201870A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Mitsutoyo Corp | 信号処理装置、信号処理方法、信号処理プログラム、信号処理プログラムを記録した記録媒体および測定機 |
JP2005201869A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Mitsutoyo Corp | 信号処理方法、信号処理プログラム、この信号処理プログラムを記録した記録媒体および信号処理装置 |
JP2006064617A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Rozefu Technol:Kk | 粗さ曲線の抽出方法および3次元表面粗さ形状の抽出方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001052039A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Sony Corp | 情報処理装置及び方法、表示装置及び方法並びに記録媒体 |
JP2002014025A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Canon Inc | プローブの走査制御装置、該走査制御装置による走査型プローブ顕微鏡、及びプローブの走査制御方法、該走査制御方法による測定方法 |
JP2004101503A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-04-02 | Mitsutoyo Corp | 信号処理方法、信号処理プログラム、この信号処理プログラムを記録した記録媒体および信号処理装置 |
JP2004333293A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Mitsutoyo Corp | 信号処理装置、信号処理方法、信号処理プログラム、信号処理プログラムを記録した記録媒体および測定機 |
JP2005201870A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Mitsutoyo Corp | 信号処理装置、信号処理方法、信号処理プログラム、信号処理プログラムを記録した記録媒体および測定機 |
JP2005201869A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Mitsutoyo Corp | 信号処理方法、信号処理プログラム、この信号処理プログラムを記録した記録媒体および信号処理装置 |
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