JP4703016B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録紙にインク滴を所定パターンに付着させて画像等を形成するインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、記録紙に画像を形成するための記録デバイスとしてインクジェットヘッドが用いられている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドの記録方式には、インク滴を記録紙に向けて吐出させるのに発熱抵抗体の発する熱エネルギーを利用するものや圧電素子の変形を利用するもの，更には電磁波の照射に伴って発生する熱を利用するもの等があり、これらの中でも発熱抵抗体の熱エネルギーを利用するサーマルジェットタイプのものは、発熱抵抗体のパターニングが容易である上に、小さな面積の発熱抵抗体であっても比較的大きな熱エネルギーを発生させることができることから、高密度記録への対応に適したものとして注目されている。
【０００４】
かかるサーマルジェットタイプのインクジェットヘッドとしては、例えば図４に示す如く、ベースプレート２２の上面に、多数の発熱抵抗体２３や多数の給電配線２４，２５等が所定パターンに被着されているヘッド基板２１上に、前記発熱抵抗体２３に１対１に対応する多数のインク吐出孔２７を有するノズル部材２６を、間に所定の間隔を空けて配置させるとともに、ヘッド基板２１−ノズル部材２６間の間隙にインク２８を充填した構造のものが知られており、記録紙を前記ノズル部材２６の外表面に沿って搬送しなから、ヘッド基板２１の発熱抵抗体２３を個々に選択的に発熱させ、この熱エネルギーによってインク２８中に気泡Ａを発生させるとともに、該気泡Ａによる圧力でもってインク２８の一部をノズル部材２６のインク吐出孔２７より外部に吐出させ、これを記録紙に付着させることによって所定の画像が記録される。
【０００５】
尚、上述したインクジェットヘッドのノズル部材２６には図示しないインクタンクからのインク２８をヘッド基板２１−ノズル部材２６間の間隙に導入するためのインク供給穴２９が設けられ、このインク供給穴２９には、インク２８を前述のインクタンクからインク供給穴２９まで導くためのインク供給管３０がノズル部材２６の外表面側で接続されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のインクジェットヘッドにおいては、インクタンクからのインク２８がノズル部材２６のインク供給穴２９を介してヘッド基板２１−ノズル部材２６間に導入されるようになっており、ノズル部材２６の外表面には、インク２８をインクタンクからインク供給穴２９まで導くためのインク供給管３０が上方に突出した形で取着されている。それ故、このような突出物が記録紙の走行を妨げることのないようにするためには、記録紙の走行位置をノズル部材２６より出来るだけ遠ざけておく必要があり、その場合、インク吐出孔２７から記録紙までの距離が長くなってしまうことから、ノズル部材２６のインク吐出孔２７より吐出されるインク滴を記録紙の所定位置に正確に着弾させることが困難になり、所望する印画を形成することが不可となる欠点を有していた。
【０００７】
また上述した従来のインクジェットヘッドを用いて記録動作を行う際、例えば駆動周期０．４ｍｓｅｃ以下の高速記録に対応すべく発熱抵抗体２３を短時間で繰り返し発熱させると、その直下に配されているベースプレート２２の内部に多くの熱が蓄積され、ベースプレート２２の温度が過度に高温となってしまうことがある。このような温度状態のまま記録動作を続けると、インク２８の吐出量が変動し、画像の濃度むらが形成される欠点を有していた。
【０００８】
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、インク滴を記録紙に対して正確に着弾させて、所望する画像を形成することが可能な高性能のインクジェットヘッドを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のインクジェットヘッドは、上面に主走査方向に配列した多数の発熱抵抗体を有するヘッド基板と、前記発熱抵抗体に対応した多数のインク吐出孔を有するノズル部材とを、間に所定の間隔を空けて配置させるとともに、前記ヘッド基板と前記ノズル部材との間の間隙にインクを充填してなり、該インクが前記多数の発熱抵抗体上を副走査方向に流動するようにインクを循環させながら記録動作を行うインクジェットヘッドであって、前記ヘッド基板に、該ヘッド基板の下面側より該ヘッド基板と前記ノズル部材との間にインクを導入するための複数個のインク供給穴を前記発熱抵抗体の配列と略平行に配列・形成し、前記複数個のインク供給穴の間に位置する前記ヘッド基板上にインクを弾く撥水コート層もしくは撥油コート層を、その一端側が前記発熱抵抗体側に延在するようにして被着・形成しており、前記撥水コート層もしくは前記撥油コート層の幅が前記発熱抵抗体側に向かって漸次狭くなしてあることを特徴とするものである。
【００１０】
また本発明のインクジェットヘッドは、前記撥水コート層もしくは前記撥油コート層に対するインクの接触角が１０°〜１００°であることを特徴とするものである。
【００１１】
更に本発明のインクジェットヘッドは、前記撥水コート層がフッ素樹脂もしくはシリコーン樹脂から成ることを特徴とするものである。
【００１２】
また更に本発明のインクジェットヘッドは、前記撥油コート層が、フッ素系樹脂，フルオロアルキルシラン系樹脂，ＩＴＯのいずれかより成ることを特徴とするものである。
【００１４】
また更に本発明のインクジェットヘッドは、前記ヘッド基板が、上面を｛１００｝面に設定した単結晶シリコンにより形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
更にまた本発明のインクジェットヘッドは、前記インク供給孔が、前記ヘッド基板を形成する単結晶シリコンに対する異方性エッチングにて穿設されたものであることを特徴とするものである。
【００１６】
また更に本発明のインクジェットヘッドは、前記インクの流速が５０μｍ／ｓｅｃ〜２０００μｍ／ｓｅｃであることを特徴とするものである。
【００１７】
更にまた本発明のインクジェットヘッドは、前記撥水コート層もしくは前記撥油コート層が、前記ヘッド基板の上面のパターンと対応するパターンで前記ノズル部材の内面にも形成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
本発明のインクジェットヘッドによれば、インクタンク等からのインクを、ヘッド基板に設けたインク供給穴を介してヘッド基板の下面側よりヘッド基板−ノズル部材間の間隙に導入するように構成したことから、ノズル部材の外表面にインク供給管等の突出物を取着させる必要がなく、これにより、記録紙の走行位置をノズル部材の外表面に近づけてインクジェットヘッドが組み込まれるプリンタの全体構造を小型化することができるとともに、記録紙をノズル部材の外表面に沿ってスムーズに搬送することができるようになる。従って、ノズル部材のインク吐出孔より吐出されるインク滴は記録紙の所定位置に正確に着弾されるようになり、所望する画像を形成することが可能となる。
【００１９】
また本発明のインクジェットヘッドによれば、ヘッド基板−ノズル部材間のインクを副走査方向に流動させながら記録動作を行うようにしたことから、ヘッド基板中の熱は流動するインクによって吸収され、印画動作時、ヘッド基板が効率良く冷却されるようになる。従って、高速記録に対応すべく発熱抵抗体を短時間で繰り返し発熱させる場合であっても、ヘッド基板の温度を記録動作に適した温度に維持してインクの吐出量を略一定に保つことができ、記録紙に濃度むらの少ない良好な画像を形成することが可能となる。
【００２０】
しかも本発明のインクジェットヘッドによれば、隣接するインク供給穴の間に位置するヘッド基板上にはインクを弾く撥水コート層もしくは撥油コート層が、一端側をインクの流動方向に延在させるようにして設けられているため、インク供給穴を介してヘッド基板−ノズル部材間に導入されたインクは撥水コート層もしくは撥油コート層の延在方向に向かって良好かつ安定的に流動させ、ヘッド基板全体を主走査方向にわたり均等に冷却することができる利点もある。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図、図２は図1のインクジェットヘッドに用いられるヘッド基板の平面図であり、同図に示すインクジェットヘッドは、大略的に、ヘッド基板１とノズル部材８とで構成され、この両者間に出来る間隙にインク１０が充填される。
【００２２】
前記ヘッド基板１は、ベースプレート２の上面に、複数の発熱抵抗体３、多数の個別給電配線４、共通給電配線５及び複数のドライバーＩＣ７を取着させた構造を有している。
【００２３】
前記ベースプレート２としては、例えばグレーズドアルミナ基板、即ち、アルミナセラミックスから成るセラミック基板２ａの上面に断面円弧状のグレーズ層２ｂを主走査方向に帯状に被着させたものが用いられ、このようなベースプレート２のグレーズ層２ｂの上面には多数の発熱抵抗体３が、グレーズ層２ｂの上面からセラミック基板２ａの上面にかけては給電配線４，５等が被着・形成されている。
【００２４】
前記ベースプレート２は、発熱抵抗体３や給電配線４，５を支持するための支持母材として機能するものであり、これら発熱抵抗体３や給電配線４，５等のパターンが配されていない空白部には後述するインク供給穴１ａが穿設される。
【００２５】
尚、前記ベースプレート２としてグレーズドアルミナ基板を用いる場合、ベースプレート２は、まずアルミナ、シリカ、マグネシア等のセラミックス原料を用いて形成したセラミックグリーンシートを所定形状に打ち抜いた上、これを高温で焼成することによってセラミック基板２ａを得、しかる後、前記セラミック基板２ａの上面に所定のガラスペーストを従来周知のスクリーン印刷等によって部分的に塗布し、これを高温で焼き付けてグレーズ層２ｂを形成することによって製作される。
【００２６】
また前記ベースプレート２の上面、具体的にはグレーズ層２ｂの上面には、例えば２４００個の発熱抵抗体３が主走査方向に直線状に被着・配列され、これら発熱抵抗体３の一端には共通給電配線５が共通接続され、他端には個別給電配線４の一端側が個別に接続される。
【００２７】
前記発熱抵抗体３は、例えば６００ｄｐｉ(dot per inch)の密度で配列されており、その各々がＴａＮやＴａＳｉＯ,ＴａＳｉＮＯ,ＴｉＳｉＯ，ＴｉＳｉＣＯ，ＮｂＳｉＯ等の電気抵抗材料から成っているため、個別給電配線４及び共通給電配線５等を介して電源電力が印加されるとジュール発熱を起こし、インク１０中に気泡Ａを発生させるのに必要な所定の熱エネルギーを発生する作用を為す。
【００２８】
また前記発熱抵抗体３に接続されている個別給電配線４及び共通給電配線５は、アルミニウムや銅等の金属材料により形成されており、これら給電配線４，５は後述するドライバーＩＣ７の駆動に基づいて外部からの電源電力を発熱抵抗体３に印加する作用を為す。
【００２９】
尚、前記発熱抵抗体３、個別給電配線４及び共通給電配線５は、従来周知の薄膜形成技術、具体的にはスパッタリング法、フォトリソグラフィー技術及びエッチング技術等を採用し、前述の電気抵抗材料や金属材料をベースプレート２の上面に所定厚み、所定パターンに被着させることにより形成される。
【００３０】
また前述した多数の個別給電配線４は更に、主走査方向に連続するＮ個（Ｎは２以上の自然数）の個別給電配線４を一単位とした複数のグループに区分されるとともに、各グループ毎に発熱抵抗体３より離間する方向に導出されている。
【００３１】
これらの各グループを構成する個別給電配線３の個数Ｎは例えば「６４」に設定され、これらの各グループに属するＮ個の個別給電配線４は、その配列ピッチが他端側に比し一端側（発熱抵抗体３側）で大となるように、他端側から一端側に向けて放射状に配置される。
【００３２】
また前記個別給電配線４の導出部には、該配線４を外部電気回路に接続するための端子として機能する接続パッドが設けらており、これらの接続パッドは発熱抵抗体３の配列よりも高い密度でグループ毎にまとまって主走査方向に配列される。
【００３３】
尚、本実施形態においては外部電気回路としてフリップチップ型のドライバーＩＣ７が使用され、前記接続パッドはドライバーＩＣ７の端子に半田等のロウ材を介して電気的に接続される。このドライバーＩＣ７は、個別給電配線４のグループと１対１に対応するようにしてベースプレート２の上面にフェースダウンボンディングにて搭載され、外部からの画像データに基づいて発熱抵抗体３のジュール発熱を制御する。
【００３４】
このように、各グループに属するＮ個の個別給電配線４を前述した如く他端側から一端側に向けて放射状に配置させたことにより、ベースプレート２の上面には、隣接するグループ間、及び主走査方向の両端に位置するグループの外側に、発熱抵抗体３や給電配線４，５等が配されていない空白部が複数箇所設けられ、これらの空白部にはインク供給穴１ａが穿設される。
【００３５】
前記インク供給穴１ａは、図示しないインクタンクからのインク１０をベースプレート２の下面側よりヘッド基板１−ノズル部材８間の間隙に導入するためのものであり、本実施形態においては各々が略円形状をなすように形成され、該インク供給穴１ａの開口部には、図示しないインクタンクよりヘッド基板１−ノズル部材８間にインク１０を導くためのインク供給管１３がヘッド基板１の下面側で接続されている。
【００３６】
これらのインク供給穴１ａは、その開口面積が全て等しく揃えられ、発熱抵抗体３の配列領域にわたって等間隔で主走査方向に配列されており、従来周知のレーザー加工等を採用し、ベースプレート２の空白部に略円形状のインク供給穴１ａを穿設することによって形成される。
【００３７】
そして、上述した複数個のインク供給穴１ａの間に位置するヘッド基板１上には、フッ素樹脂やシリコーン樹脂から成る撥水コート層１１が、その一端側を発熱抵抗体３側に延在させた形で被着・形成されており、該撥水コート層１１の幅は発熱抵抗体３側に向かって漸次狭くなしてある。
【００３８】
前記撥水コート層１１は、発熱抵抗体３や個別給電配線４等を被覆する窒化珪素製の保護膜１２上に例えば０．５μｍ〜２．０μｍの厚みをもって所定パターン（図２中の斜線で示される領域）に被着・形成されており、その表面で水分を弾くようになっていることから、インク１０として水性染料インク等を用いることによってインク１０を良好に弾き、インク１０が撥水コート層１１に沿って流動するようにインク１０の流れを整える。
【００３９】
尚、前記撥水コート層１１の材質としてはインク１０の接触角が１０°〜１００°のもの、より好ましくは５０°〜８０°のものを使用し、例えばフッ素系樹脂を用いる場合、撥水コート層１１に対するインク１０の接触角は７０°となる。
【００４０】
前記撥水コート層１１は、上述した樹脂の前駆体ワニスを従来周知のスプレー法やディッピング法等によってヘッド基板上面に被着させるとともに、これを加熱・重合させた後、この樹脂を従来周知のフォトリソグラフィー技術及びエッチング技術により所定パターンに加工することで形成される。
【００４１】
また一方、前記ノズル部材８は、上述したヘッド基板１の上面との間に例えば１０μｍ〜１００μｍの間隙を設けるようにして、ヘッド基板１と略平行に配設される。
【００４２】
前記ノズル部材８は、前記発熱抵抗体３と１対１に対応する複数個のインク吐出孔９を有しており、各インク吐出孔９を対応する発熱抵抗体３の真上に位置させてある。
【００４３】
前記ノズル部材８のインク吐出孔９は、インクジェットヘッドの記録動作時、インク滴を記録紙に向けて吐出するためのものであり、発熱抵抗体３と略等しい密度、例えば６００ｄｐｉのドット密度で主走査方向に直線状に配列される。
【００４４】
尚、前記ノズル部材８は、感光性のエポキシ樹脂やポリイミド樹脂，モリブデン等を所定形状に加工したり、或いは、上記の材料を組み合わせることによって形成され、例えばモリブデンから成る場合、モリブデンのインゴット（塊）を従来周知の金属加工法によって所定厚みの板体と成し、得られた板体に従来周知のレーザー加工によって直径１０μｍ〜１００μｍのインク吐出孔９を複数個、穿設することにより製作され、得られたノズル部材８を図示しないスペーサを介してヘッド基板１上に載置させることによりノズル部材８がヘッド基板１上の所定位置に固定される。
【００４５】
また、ヘッド基板１−ノズル部材８間の間隙に充填されるインク１０としては、撥水コート層１１に接触した際に良好に弾かれる水溶性のインク、例えば水性染料インクが好適に使用され、その粘度は例えば０．３ｍＰａ・ｓ〜３．０ｍＰａ・ｓ（２５℃）に調整される。
【００４６】
前記インク１０は、図示しないインクタンクからインク供給管１３及びインク供給穴１ａを介してヘッド基板１−ノズル部材８間に供給され、ヘッド基板１の副走査方向の端部で発熱抵抗体３の配列領域にわたり開口する排出孔（図示せず）を介してヘッド基板１−ノズル部材８間より外部に排出されるようになっており、記録動作時、インク１０が多数の発熱抵抗体３上を副走査方向（発熱抵抗体３の配列と直交する方向）に流動するように、図示しないポンプ等によって前述したインクタンクとの間を循環する。
【００４７】
このようなインク１０の流速は、例えば５０μｍ／ｓｅｃ〜２０００μｍ／ｓｅｃの流速で略一定に保たれており、前述した発熱抵抗体３の熱エネルギーによってインク１０中に気泡Ａが発生すると、該気泡Ａによる圧力でもってインク１０の一部がインク滴となり、インク吐出孔９より外部に吐出される。
【００４８】
またこの場合、ヘッド基板１−ノズル部材８間にインク１０を供給すべくヘッド基板１の空白部に設けられているインク供給穴１ａは、前述した如く、その開口面積が全て等しく揃えられ、しかも発熱抵抗体３の配列領域にわたり等間隔で主走査方向に配列されているため、発熱抵抗体３上を流れるインク１０の流量は主走査方向にわたり略一定に制御されることとなる。
【００４９】
かくして上述した本実施形態のインクジェットヘッドは、ヘッド基板１−ノズル部材８間のインク１０を副走査方向に流動させながら、記録紙をノズル部材８の外表面に沿って搬送しながら、複数個の発熱抵抗体３をドライバーＩＣ７の駆動に伴って個々に選択的に発熱させ、この熱エネルギーによって発熱抵抗体３上のインク１０中に気泡Ａを発生させるとともに、該発生した気泡Ａによる圧力でもってインク１０の一部をノズル部材８のインク吐出孔９より外部に吐出させ、これを記録紙に付着させることによって記録紙に所定の画像が記録される。
【００５０】
以上のような本実施形態のインクジェットヘッドにおいては、インクタンクからのインク１０を、ヘッド基板１に設けたインク供給穴１ａを介してヘッド基板１の下面側よりヘッド基板１−ノズル部材８間の間隙に導入するようになしたことから、ノズル部材８の外表面にインク供給管等の突出物を取着させる必要がなく、これにより、記録紙の走行位置をノズル部材８の外表面に近づけてインクジェットヘッドが組み込まれるプリンタの全体構造を小型化することができるとともに、記録紙をノズル部材８の外表面に沿ってスムーズに搬送することができるようになる。従って、ノズル部材８のインク吐出孔９より吐出されるインク滴は記録紙の所定位置に正確に着弾されるようになり、所望する画像を形成することが可能となる。
【００５１】
また上述した本実施形態のインクジェットヘッドによれば、ヘッド基板１−ノズル部材８間のインク１０を副走査方向に流動させながら記録動作が行われることから、ヘッド基板１中の熱は流動するインク１０によって吸収され、印画動作時、ヘッド基板１が効率良く冷却されるようになっている。従って、高速記録に対応すべく発熱抵抗体３を短時間で繰り返し発熱させる場合であっても、ベースプレート２の温度を記録動作に適した温度に維持してインク１０の吐出量を略一定に保つことができ、記録紙に鮮明な画像を形成することが可能となる。
【００５２】
更に上述した本実施形態のインクジェットヘッドによれば、隣接するインク供給穴１ａの間に位置するヘッド基板１上にはインク１０を弾く撥水コート層１１が、その一端側をインク１０の流動方向（副走査方向）に延在させるようにして設けられているため、インク供給穴１ａを介してヘッド基板１−ノズル部材８間に導入されたインク１０は撥水コート層１１の延在方向に向かって良好かつ安定的に流動させ、ヘッド基板全体を主走査方向にわたり均等に冷却することができる利点もある。
【００５３】
しかもこの場合、前記撥水コート層１１の幅は発熱抵抗体３側に向かって漸次狭くなしてあるため、インク１０を発熱抵抗体３の配列領域にわたってより均等に供給することができる利点もある。
【００５４】
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００５５】
例えば上述の実施形態においてはインク１０として水性染料インクを用い、ヘッド基板１上には水性染料インクを弾く撥水コート層１１を形成するようにしたが、インク１０として顔料タイプの油性インクを用いる場合にはヘッド基板１上に油性インクを弾くフッ素系樹脂，フルオロアルキルシラン系樹脂，ＩＴＯ（インジウム・ティン・オキサイド）等から成る撥油コート層を形成すれば良く、この場合も上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
また上述の実施形態においてはヘッド基板１のベースプレート２としてグレーズドアルミナ基板を用いるようにしたが、これに代えて、ベースプレートを単結晶シリコンや金属等によって形成するようにしても構わない。その場合、ベースプレート２’の表面を、図３に示す如く、酸化シリコン等から成る厚み１μｍ〜３μｍ程度の絶縁膜２ｂ’で被覆しておく必要があり、このような絶縁膜２ｂ’によって発熱抵抗体３や給電配線４，５が単結晶シリコン等から確実に絶縁される。また、ベースプレート２’をシリコン基板２ａ’を用いて形成する場合は、その上面を単結晶シリコンの｛１００｝面と合致させておくようにすれば、ヘッド基板１にインク供給孔１ａを穿設する際、従来周知の異方性エッチングを採用することによってインク供給孔１ａをベースプレート２’の厚み方向に精度良く、しかも容易に形成することができる利点がある。
【００５７】
更に上述の実施形態においてはヘッド基板１に設けたインク供給穴１ａを円形状になしたが、これに代えて楕円形状や多角形状になしても構わない。
【００５８】
また更に上述の実施形態においてはドライバーＩＣ７の端子を半田等のロウ材を介して個別給電配線の接続パッドに接続させるようにしたが、これに代えて、ドライバーＩＣ７の端子をボンディングワイヤ等の他の接続部材を介して接続パッドと接続するようにしても良い。
【００５９】
更にまた上述の実施形態においてはヘッド基板１の保護膜１２を窒化珪素により形成するようにしたが、これに代えて保護膜１２を窒化珪素以外のセラミック材料で形成しても良い。
【００６０】
また更に上述の実施形態においてヘッド基板１と対向するノズル部材８の内表面に、撥水コート層１１（もしくは撥油コート層）と同じパターン形状の撥水コート層（もしくは撥油コート層）を形成するようにしても良い。
【００６１】
【発明の効果】
本発明のインクジェットヘッドによれば、インクタンク等からのインクを、ヘッド基板に設けたインク供給穴を介してヘッド基板の下面側よりヘッド基板−ノズル部材間の間隙に導入するように構成したことから、ノズル部材の外表面にインク供給管等の突出物を取着させる必要がなく、これにより、記録紙の走行位置をノズル部材の外表面に近づけてインクジェットヘッドが組み込まれるプリンタの全体構造を小型化することができるとともに、記録紙をノズル部材の外表面に沿ってスムーズに搬送することができるようになる。従って、ノズル部材のインク吐出孔より吐出されるインク滴は記録紙の所定位置に正確に着弾されるようになり、所望する画像を形成することが可能となる。
【００６２】
また本発明のインクジェットヘッドによれば、ヘッド基板−ノズル部材間のインクを副走査方向に流動させながら記録動作を行うようにしたことから、ヘッド基板中の熱は流動するインクによって吸収され、印画動作時、ヘッド基板が効率良く冷却される。従って、高速記録に対応すべく発熱抵抗体を短時間で繰り返し発熱させる場合であっても、ヘッド基板の温度を記録動作に適した温度に維持してインクの吐出量を略一定に保つことができ、記録紙に濃度むらの少ない良好な画像を形成することが可能となる。
【００６３】
しかも本発明のインクジェットヘッドによれば、隣接するインク供給穴の間に位置するヘッド基板上にはインクを弾く撥水コート層もしくは撥油コート層が、一端側をインクの流動方向に延在させるようにして設けられているため、インク供給穴を介してヘッド基板−ノズル部材間に導入されたインクは撥水コート層もしくは撥油コート層の延在方向に向かって良好かつ安定的に流動させ、ヘッド基板全体を主走査方向にわたり均等に冷却することができる利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドに用いられるヘッド基板の平面図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図４】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
【符号の説明】
１・・・ヘッド基板、１ａ・・・インク供給穴、２・・・ベースプレート、３・・・発熱抵抗体、８・・・ノズル部材、９・・・インク吐出孔、１０・・・インク、１１・・・撥水コート層

Claims (8)

1. 上面に主走査方向に配列した多数の発熱抵抗体を有するヘッド基板と、前記発熱抵抗体に対応した多数のインク吐出孔を有するノズル部材とを、間に所定の間隔を空けて配置させるとともに、前記ヘッド基板と前記ノズル部材との間の間隙にインクを充填してなり、該インクが前記多数の発熱抵抗体上を副走査方向に流動するようにインクを循環させながら記録動作を行うインクジェットヘッドであって、
   前記ヘッド基板に、該ヘッド基板の下面側より該ヘッド基板と前記ノズル部材との間にインクを導入するための複数個のインク供給穴を前記発熱抵抗体の配列と略平行に配列・形成し、前記複数個のインク供給穴の間に位置する前記ヘッド基板上にインクを弾く撥水コート層もしくは撥油コート層を、その一端側が前記発熱抵抗体側に延在するようにして被着・形成しており、
   前記撥水コート層もしくは前記撥油コート層の幅が前記発熱抵抗体側に向かって漸次狭くなしてあることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記撥水コート層もしくは前記撥油コート層に対するインクの接触角が１０°〜１００°であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記撥水コート層がフッ素樹脂もしくはシリコーン樹脂から成ることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記撥油コート層が、フッ素系樹脂，フルオロアルキルシラン系樹脂，ＩＴＯのいずれかより成ることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記ヘッド基板が、上面を｛１００｝面に設定した単結晶シリコンにより形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
6. 前記インク供給孔が、前記ヘッド基板を形成する単結晶シリコンに対する異方性エッチングにて穿設されたものであることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記インクの流速が５０μｍ／ｓｅｃ〜２０００μｍ／ｓｅｃであることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
8. 前記撥水コート層もしくは前記撥油コート層が、前記ヘッド基板の上面のパターンと対応するパターンで前記ノズル部材の内面にも形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。

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