JP4700706B2 - 真空成膜装置 - Google Patents
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Description
6 成膜物質の発生源
7 プラズマ放出源
10 成膜ローラ
12〜14 防着板
15 成膜室
16 バッフル
17 成膜室排気口
18 チャンバー排気口
19 排気ポンプ
20 バイパス管路
21 バイパス管路20の一端側開口部
F 樹脂フィルム(被成膜体)
A 成膜室排気口17とチャンバー排気口18との間の間隔
B 防着板12〜14と真空チャンバー1内面との最小間隔
C バイパス管路20の一端側開口部21の開口径
D チャンバー排気口18の開口径
Claims (4)
- 排気ポンプによって減圧させられる真空チャンバー内に収容される被成膜体に、該真空チャンバー内に配設された成膜物質の発生源によって薄膜を形成する真空成膜装置であって、上記真空チャンバー内には、上記成膜物質の発生源を囲繞するように防着板が配設されて成膜室が形成されるとともに、上記排気ポンプは、上記真空チャンバーの側壁に設けられたチャンバー排気口に水平取り付けされており、上記成膜室の防着板には、上記チャンバー排気口に対向する位置に、このチャンバー排気口と間隔をあけて、バッフルを備えた成膜室排気口が設けられていることを特徴とする真空成膜装置。
- 上記チャンバー排気口と上記成膜室排気口との間隔が、上記成膜室の防着板と上記真空チャンバー内面との最小の間隔よりも大きくされていることを特徴とする請求項1に記載の真空成膜装置。
- 上記真空チャンバーには、該真空チャンバー内面において一端が上記チャンバー排気口と上記成膜室排気口との間隔部分に臨む位置に開口するとともに他端がこれよりも上方に開口するバイパス管路が備えられており、上記チャンバー排気口と上記成膜室排気口との間隔が、このバイパス管路の上記一端における上記真空チャンバー内面への開口径よりも大きくされていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空成膜装置。
- 上記チャンバー排気口と上記成膜室排気口との間隔が、該チャンバー排気口の開口径よりも大きくされていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の真空成膜装置。
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JP2008056227A JP4700706B2 (ja) | 2008-03-06 | 2008-03-06 | 真空成膜装置 |
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JP2006307291A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | スパッタ装置 |
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Patent Citations (2)
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JP2006307291A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Seiko Epson Corp | スパッタ装置 |
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