JP4698625B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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真空に排気し得る容器と、
前記容器の内部に設けられた円板形状の上部電極と、
円板形状の前記上部電極の径方向外側の外周囲領域に位置しかつ前記容器に固定されるように設けられた、前記上部電極を支持するリング形状の絶縁部材と、
前記容器内に位置し、前記上部電極に対向している下部電極と、
前記上部電極の真空に排気される側と反対の側の面に、直線上では交互に極性が変わるように格子状に配置されている複数の磁石とを有し、
前記格子状に配置されている前記複数の磁石の外周部の磁石が、前記絶縁部材の前記真空に排気される側と反対の側に対応する位置に配置されることを特徴とする。
2 下部電極
3 絶縁部材
4 絶縁部材
6 マグネット
7 磁束
23 ウェハー
51 ウェハーホルダ
61 上部電極
62 絶縁部材
Claims (3)
- 真空に排気し得る容器と、
前記容器の内部に設けられた円板形状の上部電極と、
円板形状の前記上部電極の径方向外側の外周囲領域に位置しかつ前記容器に固定されるように設けられた、前記上部電極を支持するリング形状の絶縁部材と、
前記容器内に位置し、前記上部電極に対向している下部電極と、
前記上部電極の真空に排気される側と反対の側の面に、直線上では交互に極性が変わるように格子状に配置されている複数の磁石とを有し、
前記格子状に配置されている前記複数の磁石の外周部の磁石が、前記絶縁部材の前記真空に排気される側と反対の側に対応する位置に配置されることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記複数の磁石は、前記上部電極の真空に排気される側と反対の側に、同一平面で配置されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記絶縁部材は、前記上部電極よりも厚いことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
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JP2000353667A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Anelva Corp | プラズマ処理装置 |
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