KR20090083253A - 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 - Google Patents
다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090083253A KR20090083253A KR1020080009290A KR20080009290A KR20090083253A KR 20090083253 A KR20090083253 A KR 20090083253A KR 1020080009290 A KR1020080009290 A KR 1020080009290A KR 20080009290 A KR20080009290 A KR 20080009290A KR 20090083253 A KR20090083253 A KR 20090083253A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- discharge tube
- bridges
- openings
- plasma
- discharge
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32477—Vessel characterised by the means for protecting vessels or internal parts, e.g. coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32522—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
- H05H1/4645—Radiofrequency discharges
- H05H1/4652—Radiofrequency discharges using inductive coupling means, e.g. coils
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Description
Claims (13)
- 가스 입구와 복수개의 개구부를 갖는 방전관 헤드;상기 방전관 헤드의 개구부들과 대응되는 복수개의 개구부가 상부면에 구비되며 내측에 피처리 기판이 놓이는 기판 지지대가 마련되어 상기 피처리 기판에 대한 플라즈마 처리가 이루어지는 챔버 하우징;상기 방전관 헤드의 복수개의 개구부와 상기 챔버 하우징의 복수개의 개구부 사이에 연결된 복수개의 방전관 브리지, 상기 복수개의 방전관 브리지에 설치되는 복수개의 마그네틱 코어와 일차 권선을 포함하는 다중 방전관 브리지;상기 일차 권선을 구동하기 위한 메인 전원 공급원; 및상기 방전관 헤드와 상기 챔버 하우징 그리고 상기 복수개의 방전관 브리지를 경유하는 복수개의 방전 경로에 유도되는 플라즈마에 접하도록 설치되는 보호 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 보호 부재는 상기 복수개의 방전관 브리지의 내측이 손상되는 것을 방지하기 위한 제1 보호 부재, 상기 방전관 헤드의 내측이 손상 되는 것을 방지하기 위한 제2 보호 부재, 및 상기 챔버 하우징의 내측이 손상되는 것을 방지하지 위한 제3 보호 부재 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제2항에 있어서,상기 보호 부재는 절연물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 방전관 헤드는 하나 이상의 가스 분배 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제4항에 있어서,상기 방전관 헤드의 복수개의 개구부 상부에 구비되는 가스 분배 플레이트는 절연물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 복수개의 방전 브리지는 마그네틱 코어가 장착되지 않은 하나 이상의 방전관 브리지를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 복수개의 일차 권선들은 전기적으로 직렬 구동 또는 병렬 구동 또는 직병렬 혼합 구동 방식 중 어느 하나의 전기적 구동 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 메인 전원 공급원으로부터 공급되는 무선 주파수 전원을 상기 복수개의 일차 권선들로 병렬 공급하는 전원 분할 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제8항에 있어서,상기 전원 분할 공급부는 상기 복수개의 일차 권선들을 병렬로 구동하며 구동 전류의 균형을 자동으로 수행하기 위한 자동 전류 균형 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 기판 지지대는 하나 이상의 바이어스 전원에 의해 바이어스 되는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 다중 방전관 브리지는 냉각 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 복수개의 방전 경로에 접하여 상기 방전관 헤드와 상기 복수개의 방전관 브리지 그리고 상기 챔버 하우징에 발생되는 유도 전류를 차단하기 위한 전기적 절연 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제12항에 있어서,상기 복수개의 방전 경로에 발생되는 플라즈마에 접하지 않도록 상기 전기적 절연 부재와 이웃하여 설치되는 진공 절연 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080009290A KR100980291B1 (ko) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080009290A KR100980291B1 (ko) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090083253A true KR20090083253A (ko) | 2009-08-03 |
KR100980291B1 KR100980291B1 (ko) | 2010-09-06 |
Family
ID=41204221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080009290A KR100980291B1 (ko) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100980291B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160122497A (ko) * | 2015-04-14 | 2016-10-24 | 삼성전자주식회사 | 세라믹을 이용하여 파티클 저감 효과를 가지는 원격 플라즈마 발생장치 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101336796B1 (ko) | 2012-04-18 | 2013-12-04 | 최대규 | 다중방전관을 갖는 플라즈마 반응기 |
KR102358480B1 (ko) * | 2020-05-14 | 2022-02-07 | (주)아이씨디 | 대면적 건식 식각처리 장치 |
KR20220111981A (ko) | 2021-02-03 | 2022-08-10 | (주) 엔피홀딩스 | 플라즈마 발생 장치 및 상기 플라즈마 발생 장치를 포함하는 공정 부산물 처리 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030057957A (ko) * | 2001-12-29 | 2003-07-07 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 식각 장치 |
KR20040015593A (ko) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 장치 |
KR20060126224A (ko) * | 2005-06-03 | 2006-12-07 | 삼성전자주식회사 | 월라이너를 구비한 플라즈마 식각장치의 챔버 |
KR100740584B1 (ko) | 2006-01-17 | 2007-07-18 | 주식회사 플라즈마트 | 다중 페로마그네틱 코어를 사용한 유도결합형 플라즈마안테나 모듈과 이를 이용하는 기판처리장치 |
-
2008
- 2008-01-29 KR KR1020080009290A patent/KR100980291B1/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160122497A (ko) * | 2015-04-14 | 2016-10-24 | 삼성전자주식회사 | 세라믹을 이용하여 파티클 저감 효과를 가지는 원격 플라즈마 발생장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100980291B1 (ko) | 2010-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7952048B2 (en) | Plasma source with discharge inducing bridge and plasma processing system using the same | |
KR101160906B1 (ko) | 용량 결합 플라즈마 반응기 | |
KR101463934B1 (ko) | 혼합형 플라즈마 반응기 | |
KR101496841B1 (ko) | 혼합형 플라즈마 반응기 | |
KR100980291B1 (ko) | 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 | |
KR20100010069A (ko) | 유도 결합 플라즈마 반응기 | |
KR101468730B1 (ko) | 다중 무선 주파수 안테나를 갖는 유도 결합 플라즈마반응기 | |
KR20080028848A (ko) | 대면적 플라즈마 처리를 위한 유도 결합 플라즈마 반응기 | |
KR20110066686A (ko) | 대면적의 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 반응기 | |
KR101112745B1 (ko) | 가변형 용량 결합 전극을 구비한 플라즈마 반응기 | |
KR20080028518A (ko) | 대면적 플라즈마 처리를 위한 유도 결합 플라즈마 반응기 | |
KR100743842B1 (ko) | 자속 채널에 결합된 플라즈마 챔버를 구비한 플라즈마반응기 | |
KR100845903B1 (ko) | 다중 코어 플라즈마 발생기를 갖는 플라즈마 반응기 | |
KR100798351B1 (ko) | 다중 원격 플라즈마 발생기를 구비한 플라즈마 처리 챔버 | |
KR101336796B1 (ko) | 다중방전관을 갖는 플라즈마 반응기 | |
KR100760026B1 (ko) | 플라즈마 발생기를 위한 페라이트 코어 조립체 및 이를구비한 플라즈마 처리 시스템 | |
KR20090013626A (ko) | 다중 무선 주파수 안테나를 갖는 유도 결합 플라즈마반응기 | |
KR101173643B1 (ko) | 다중 플라즈마 발생 영역을 갖는 플라즈마 반응기 | |
KR20090022564A (ko) | 다중 무선 주파수 안테나를 갖는 유도 결합 플라즈마반응기 | |
KR101446185B1 (ko) | 고효율 유도 결합 플라즈마 반응기 | |
KR20090073327A (ko) | 고밀도 원격 플라즈마 처리 장치 | |
KR100883561B1 (ko) | 자속 채널에 결합된 기판 처리 챔버를 구비한 플라즈마반응기 | |
KR101139824B1 (ko) | 대면적의 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 반응기 | |
KR20100129372A (ko) | 복합형 플라즈마 반응기 | |
KR20100129369A (ko) | 수직 듀얼 챔버로 구성된 대면적 플라즈마 반응기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130829 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140829 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150824 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160809 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170828 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180831 Year of fee payment: 9 |