JP4692720B2 - 配線基板、半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記ベース基板に設けられた配線パターンと、
前記配線パターンを部分的に覆う樹脂層と、
を含み、
前記樹脂層は、前記樹脂層を囲む最も小さい矩形の内側であって前記矩形に内接する円又は楕円よりも外側の角部領域内に、前記樹脂層の外周に至るように設けられた凹部を有する。本発明によると、接着シートを、樹脂層との間にボイドが発生しないように設けることができる。そのため、接着層を、配線基板と密着性が高くなるように形成することができるため、信頼性の高い電子部品を製造することが可能になる。
(2)この配線基板において、
前記凹部は、前記円又は楕円の内側に至るように設けられていてもよい。
(3)この配線基板において、
前記凹部は、溝状に延びていてもよい。
(4)この配線基板において、
開口を有する第2の樹脂層をさらに含み、
前記樹脂層は、前記開口の内側に配置されていてもよい。
(5)この配線基板において、
前記第2の樹脂層の前記開口は、前記ベース基板の面と平行に拡がる溝部を有してもよい。
(6)この配線基板において、
前記第2の樹脂層の前記開口は矩形をなし、
前記第2の樹脂層は、前記開口に連通する第2の凹部を有してもよい。
(7)本発明に係る半導体装置は、ベース基板と、前記ベース基板に設けられた、複数の電気的接続部を有する配線パターンと、前記電気的接続部を避けて配置された、前記配線パターンを部分的に覆う樹脂層とを含む配線基板と、
複数の電極を有し、それぞれの前記電極がいずれかの前記電気的接続部と対向するように前記配線基板に搭載された半導体チップと、
前記配線基板と前記半導体チップとの間に配置されて、両者を接着する接着層と、
を含み、
前記樹脂層は、前記樹脂層を囲む最も小さい矩形の内側であって前記矩形に内接する円又は楕円よりも外側の角部領域内に、前記樹脂層の外周に至るように設けられた凹部を有する。本発明によると、樹脂層と接着層との密着性の高い、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
(8)この半導体装置において、
前記凹部は、前記円又は楕円の内側に至るように設けられていてもよい。
(9)この半導体装置において、
前記凹部は、溝状に延びていてもよい。
(10)この半導体装置において、
前記配線基板は、開口を有する第2の樹脂層をさらに含み、
前記樹脂層は、前記開口の内側に配置されていてもよい。
(11)この半導体装置において、
前記第2の樹脂層の前記開口は、前記ベース基板の面と平行に拡がる溝部を有してもよい。
(12)この半導体装置において、
前記第2の樹脂層の前記開口は矩形をなし、
前記第2の樹脂層は、前記開口に連通する第2の凹部を有してもよい。
(13)本発明に係る半導体装置の製造方法は、ベース基板と、前記ベース基板に設けられた、複数の電気的接続部を有する配線パターンと、前記電気的接続部を避けて配置された、前記配線パターンを部分的に覆う樹脂層とを含む配線基板を用意すること、
前記配線基板に、接着シートを、前記樹脂層を覆うように設けること、
複数の電極を有する半導体チップを、それぞれの前記電極がいずれかの前記電気的接続部と対向するように前記配線基板に搭載して、前記電極と前記電気的接続部とを電気的に接続すること、及び、
前記接着シートを利用して、前記配線基板と前記半導体チップとの間に、両者を接着する接着層を形成することを含み、
前記樹脂層は、前記樹脂層を囲む最も小さい矩形の内側であって前記矩形に内接する円又は楕円よりも外側の角部領域内に、前記樹脂層の外周に至るように設けられた凹部を有する。本発明によると、接着層を、樹脂層との密着性が高くなるように形成することができるため、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。
(14)この半導体装置の製造方法において、
前記凹部は、前記円又は楕円の内側に至るように設けられていてもよい。
(15)この半導体装置の製造方法において、
前記凹部は、溝状に延びていてもよい。
(16)この半導体装置の製造方法において、
前記配線基板は、開口を有する第2の樹脂層をさらに含み、
前記樹脂層は、前記開口の内側の領域に配置されていてもよい。
(17)この半導体装置の製造方法において、
前記第2の樹脂層の前記開口は、前記ベース基板の面と平行に拡がる溝部を有し、
前記接着シートを、前記溝部と部分的にオーバーラップするように設けてもよい。
(18)この半導体装置の製造方法において、
前記第2の樹脂層の前記開口は矩形をなし、
前記第2の樹脂層は、前記開口に連通する第2の凹部を有し、
前記接着シートを、前記第2の凹部と部分的にオーバーラップするように設けてもよい。
(19)この半導体装置の製造方法において、
前記接着シートを設ける工程は、前記接着シートを前記配線基板に向かって押圧することを含んでもよい。
図1(A)〜図5は、本発明を適用した第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明するための図である。
図9に示す例では、配線基板は、樹脂層35を含む。樹脂層35は、樹脂層35の外周に至るように設けられた凹部36を有する。凹部36は、図9に示すように、樹脂層35を囲む最も小さい矩形の対角線上に設けられていてもよい。これによっても、上記の樹脂層30と同様の効果を奏することができ、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。
図12(A)〜図16は、本発明を適用した第2の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明するための図である。
Claims (7)
- ベース基板と、
前記ベース基板の半導体チップが接着シートを介して搭載される側の面に設けられ、前記半導体チップと電気的に接続される電気的接続部を有する配線パターンと、
前記配線パターンを部分的に覆う第1の樹脂層と、
矩形の開口を有する第2の樹脂層と、
を含み、
前記第1の樹脂層は、前記開口の内側に配置され、かつ、前記第1の樹脂層を囲む最も小さい矩形の内側であって前記矩形に内接する円又は楕円よりも外側の角部領域内に、前記第1の樹脂層の外周に至るように設けられた凹部を有し、前記凹部は、前記円又は楕円の内側に至るように設けられ、
前記第2の樹脂層の前記開口は、前記ベース基板の面と平行に拡がり、前記第2の樹脂層は、前記開口に連通する溝部を有し、
前記電気的接続部は、前記第1の樹脂層および前記第2の樹脂層から露出し、
前記接着シートは、前記溝部と部分的にオーバーラップするように設けられる、配線基板。 - 請求項1において、
前記溝部は、前記第2の樹脂層からなる第2の凹部である、配線基板。 - ベース基板と、前記ベース基板に設けられた、複数の電気的接続部を有する配線パターンと、前記電気的接続部を避けて配置された、前記配線パターンを部分的に覆う第1の樹脂層と、矩形の開口を有する第2の樹脂層と、を含む配線基板と、
複数の電極を有し、それぞれの前記電極がいずれかの前記電気的接続部と対向し、かつ、電気的に接続するように前記配線基板に搭載された半導体チップと、
前記配線基板と前記半導体チップとの間に配置されて、両者を接着する接着層と、
を含み、
前記第1の樹脂層は、前記開口の内側に配置され、かつ、前記第1の樹脂層を囲む最も小さい矩形の内側であって前記矩形に内接する円又は楕円よりも外側の角部領域内に、前記第1の樹脂層の外周に至るように設けられた凹部を有し、前記凹部は、前記円又は楕円の内側に至るように設けられ、
前記第2の樹脂層の前記開口は、前記ベース基板の面と平行に拡がり、前記第2の樹脂層は、前記開口に連通する溝部を有し、
前記電気的接続部は、前記樹脂層および前記第2の樹脂層から露出し、
前記接着層は、前記溝部と部分的にオーバーラップするように設けられる、半導体装置。 - 請求項3において、
前記溝部は、前記第2の樹脂層からなる第2の凹部である、半導体装置。 - ベース基板と、前記ベース基板に設けられた、複数の電気的接続部を有する配線パターンと、前記電気的接続部を避けて配置された、前記配線パターンを部分的に覆う第1の樹脂層と、矩形の開口を有する第2の樹脂層と、を含む配線基板を用意すること、
前記配線基板に、接着シートを、前記第1の樹脂層を覆うように設けること、
複数の電極を有する半導体チップを、それぞれの前記電極がいずれかの前記電気的接続部と対向するように前記配線基板に搭載して、前記電極と前記電気的接続部とを電気的に接続すること、及び、
前記接着シートを利用して、前記配線基板と前記半導体チップとの間に、両者を接着する接着層を形成することを含み、
前記第1の樹脂層は、前記開口の内側に配置され、かつ、前記第1の樹脂層を囲む最も小さい矩形の内側であって前記矩形に内接する円又は楕円よりも外側の角部領域内に、前記樹脂層の外周に至るように設けられた凹部を有し、前記凹部は、前記円又は楕円の内側に至るように設けられ、
前記第2の樹脂層の前記開口は、前記ベース基板の面と平行に拡がり、前記第2の樹脂層は、前記開口に連通する溝部を有し、
前記電気的接続部は、前記第1の樹脂層および前記第2の樹脂層から露出し、
前記接着シートを、前記溝部と部分的にオーバーラップするように設ける、半導体装置の製造方法。 - 請求項5において、
前記溝部は、前記第2の樹脂層からなる第2の凹部である、半導体装置の製造方法。 - 請求項5または6において、
前記接着シートを設ける工程は、前記接着シートを前記配線基板に向かって押圧することを含む半導体装置の製造方法。
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