JP4684403B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置(LCD)用のガラス基板等の被処理基板に対してドライエッチング等のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、LCD製造プロセスにおいては、被処理基板であるガラス製のLCD基板に対して、ドライエッチングやスパッタリング、CVD(化学気相成長)等のプラズマ処理が多用されている。
【0003】
このようなプラズマ処理においては、例えば、チャンバー内に一対の平行平板電極(上部および下部電極)を配置し、下部電極として機能するサセプタ(載置台)に基板を載置し、処理ガスをチャンバー内に導入するとともに、電極の少なくとも一方に高周波を印加して電極間に高周波電界を形成し、この高周波電界により処理ガスのプラズマを形成して被処理基板に対してプラズマ処理を施す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近時、LCD基板に対して一層の薄型化の要求が高まっており、0.7mmという極めて薄い基板も製造されつつある。このように被処理基板が薄型化すると、基板が載置されているサセプタの表面状態がプラズマ処理に影響してしまう。例えば、サセプタの加工形状(表面の微細な凹凸)および汚れ等の経時的な変化がエッチング特性等の不均一をもたらす。
【0005】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、薄型の被処理基板に対しても載置台の表面状態の影響を受けずに均一なプラズマ処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、前記チャンバー内で前記液晶表示装置用ガラス基板を載置する基板載置台と、前記基板載置台に載置された前記液晶表示装置用ガラス基板の周囲部分を機械的にクランプするクランプ機構と、前記クランプ機構によりクランプされた前記液晶表示装置用ガラス基板を前記載置台から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、前記チャンバー内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、前記チャンバー内に処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成手段とを具備し、前記液晶表示装置用ガラス基板と前記載置台との間の距離が基板中央部で1〜15mmであることを特徴とするプラズマ処理装置を提供する。
【0007】
また、本発明は、液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、前記チャンバー内に相対向するように設けられた上部電極および前記液晶表示装置用ガラス基板が載置される下部電極と、前記上部電極および前記下部電極の少なくとも一方に高周波電力を供給する高周波電源と、前記液晶表示装置用ガラス基板を前記下部電極から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、前記チャンバー内に処理ガスを導入する処理ガス導入手段とを具備し、前記液晶表示装置用ガラス基板と前記載置台との間の距離を基板中央部で1〜15mmとし、前記高周波電力により処理ガスをプラズマ化して、前記液晶表示装置用ガラス基板に対しプラズマ処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置を提供する。
【0008】
さらに、本発明は、液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、前記チャンバー内で前記液晶表示装置用ガラス基板を載置する基板載置台と、前記液晶表示装置用ガラス基板を前記載置台から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、前記チャンバー内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、前記チャンバー内に処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成手段とを具備し、前記液晶表示装置用ガラス基板と前記載置台との間の距離が基板中央部で1〜15mmであるすることを特徴とするプラズマ処理装置を提供する。
【0009】
本発明によれば、被処理基板を浮き上がらせるように被処理基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給機構を設けたので、被処理基板が薄い場合でも従来のように載置台表面の影響を受けることなくプラズマ処理を行うことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施形態に係るLCDガラス基板用のプラズマエッチング装置を模式的に示す断面図である。このプラズマエッチング装置1は、容量結合型平行平板プラズマエッチング装置として構成されている。
【0011】
このプラズマエッチング装置1は、例えば表面がアルマイト処理(陽極酸化処理)されたアルミニウムからなる角筒形状に成形されたチャンバー2を有しており、このチャンバー2は接地されている。前記チャンバー2内の底部には絶縁材からなる角柱状のサセプタ支持台3が設けられており、さらにこのサセプタ支持台3の上には、被処理基板であるLCDガラス基板Gを載置するためのサセプタ5が設けられている。このサセプタ5はアルマイト処理(陽極酸化処理)されたアルミニウムからなり、下部電極として機能する。また、サセプタ5の外周および上面周縁には絶縁部材4が設けられている。
【0012】
サセプタ5の上方には基板Gの周囲を上面から機械的にクランプするための額縁状をなすクランプ部材6が設けられている。このクランプ部材6は、シリンダ機構等で構成される昇降機構7により昇降される。なお、クランプ部材6は、基板Gの製品として使用しない部分をクランプするようになっている。例えば、基板Gの周縁3mmまでの部分がクランプされる。
【0013】
サセプタ5の内部には、クランプ部材6によりクランプされた基板Gを浮上させるための浮上ガスを供給する浮上ガス供給機構8から流量圧力制御機構9を介してガスが供給されるようになっており、浮上ガスは、ガスライン8aを経てサセプタ5の内部に形成されたガス流路10およびサセプタ5の表面近傍で分岐した分岐路11を通ってサセプタ5の表面と基板Gの裏面との間に供給される。これにより、少なくとも基板Gのクランプされていない部分、つまり製品として使用される部分がサセプタ5から浮上するようになっている。浮上ガスとしては、処理に影響を及ぼさないガスであればよく、Heガス、N2ガス、Arガス等が例示される。
【0014】
サセプタ5には、高周波電力を供給するための給電線12が接続されており、この給電線12には整合器13および高周波電源14が接続されている。高周波電源14からは例えば13.56MHzの高周波電力がサセプタ5に供給される。
【0015】
前記サセプタ5の上方には、このサセプタ5と平行に対向して上部電極として機能するシャワーヘッド15が設けられている。このシャワーヘッド15は、絶縁部材16を介してチャンバー2の上部に支持されており、内部に空間17を有するとともに、サセプタ5との対向面に処理ガスを吐出する多数の吐出孔18が形成されている。このシャワーヘッド15は接地されており、サセプタ5とともに一対の平行平板電極を構成している。
【0016】
シャワーヘッド15の上面にはガス導入口19が設けられ、このガス導入口19には、ガス供給管20が接続されており、このガス供給管20には、バルブ21、およびマスフローコントローラ22を介して、処理ガス供給源23が接続されている。処理ガス供給源23から、エッチングのための処理ガスが供給される。処理ガスとしては、ハロゲン系のガス、O2ガス、Arガス等、通常この分野で用いられるガスを用いることができる。
【0017】
前記チャンバー2の側壁底部には排気管24が接続されており、この排気管24には排気装置25が接続されている。排気装置25はターボ分子ポンプなどの真空ポンプを備えており、これによりチャンバー2内を所定の減圧雰囲気まで真空引き可能なように構成されている。また、チャンバー2の側壁には基板搬入出口26と、この基板搬入出口26を開閉するゲートバルブ27が設けられており、このゲートバルブ27を開にした状態で基板Gが隣接するロードロック室(図示せず)との間で搬送されるようになっている。
【0018】
次に、プラズマエッチング装置1における処理動作について説明する。
まず、被処理体である基板Gは、ゲートバルブ27が開放された後、図示しないロードロック室から基板搬入出口26を介してチャンバー2内へと搬入され、サセプタ5上に載置される。この場合に、基板Gの受け渡しはサセプタ5の内部を挿通しサセプタ5から突出可能に設けられたリフターピン(図示せず)によって行われる。次いで、基板Gはクランプ部材6によりサセプタ5にクランプされる。その後、ゲートバルブ27が閉じられ、排気装置25によって、チャンバー2内が所定の真空度まで真空引きされる。
【0019】
その後、バルブ21が開放されて、処理ガス供給源23から処理ガスがマスフローコントローラ22によってその流量が調整されつつ、処理ガス供給管20、ガス導入口19を通ってシャワーヘッド15の内部空間17へ導入され、さらに吐出孔18を通って基板Gに対して均一に吐出され、チャンバー2内の圧力が所定の値に維持される。
【0020】
そして、高周波電源14から整合器13を介して高周波電力がサセプタ5に印加され、これにより、下部電極としてのサセプタ5と上部電極としてのシャワーヘッド15との間に高周波電界が生じ、処理ガスが解離してプラズマ化し、エッチング処理が施される。
【0021】
この際に、浮上ガス供給機構8からの浮上ガスが、ガスライン8aを経てサセプタ5の内部に形成されたガス流路10およびサセプタ5の表面近傍で分岐した分岐路11を通ってサセプタ5の表面と基板Gの裏面との間に供給される。これにより、図2に示すように、少なくとも基板Gのクランプされていない部分、つまり製品として使用される部分がサセプタ5から浮上する。
【0022】
このように、浮上ガスを供給することにより基板Gがサセプタ5から浮上するので、サセプタの加工形状および汚れ等の経時的な変化が基板Gの表面に影響を与えることがなく、これらによるエッチングの不均一が生じずに、均一なエッチングを行うことができる。これは、浮上ガスにより、サセプタ5表面と被処理基板G裏面との間に絶縁性の空間(隙間)つまり絶縁層が形成され、この絶縁層が、サセプタ表面状態がエッチング処理に与える悪影響をキャンセルするためと考えられる。
【0023】
特に、基板Gの厚さが1.1mm以下、例えば0.7mmの場合に、エッチング特性がサセプタ表面状態の影響を受けやすかったが、上記構成によりこのような薄い基板であってもサセプタ表面の状態の影響を受けずに均一なエッチングを実現することが可能となった。したがって、本発明は基板Gの厚さが1.1mm以下、さらには0.7mm以下の時に特に有効である。
【0024】
この場合に、クランプ部材6が基板Gをクランプする距離aは例えば約3mm(図2参照)であり、基板Gのそれよりも内側の部分が主に浮上する。基板Gにおける使用領域は、通常、基板周縁より10mm程度内側部分までであるから、クランプ部材6で基板Gをクランプしても基板Gの使用領域の全域を浮上させることができ、エッチングの不均一を回避することができる。
【0025】
ここで、基板Gの中央における浮上高さb(サセプタ5表面と基板G裏面との距離(図2参照))は、1mm以上であることが望ましい。サセプタ5の付着物(デポ)の高さは最大100μm程度であるから、中央における浮上高さが1mm以上あれば基板Gの使用領域全体においてサセプタ表面状態の影響を有効に排除することができる。一方、浮上高さが15mmを超えると、エッチングに悪影響を与えるおそれがあるため15mm以下であることが望ましい。浮上高さbのより好ましい範囲は1〜3mmである。
【0026】
前記浮上ガス供給機構8からのガスの圧力は、基板Gの大きさや強度等の物理的特性にもよるが、20Pa(150mTorr)〜350Pa(2.6Torr)であることが好ましい。例えば、基板Gの大きさが550×650mmで厚さが0.7mmであり、チャンバー2内の圧力が1.33Pa(10mTorr)である場合、ガスの圧力が133Pa(1Torr)で浮上高さbを約6mmとすることができる。この浮上ガスの圧力は流量圧力制御機構9により適宜される。
【0027】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、基板をクランプ部材によりサセプタにクランプさせたが、クランプ部材は必ずしも必要はない。例えば、図3に示すように、表面に基板G用の落とし込み部30を形成したサセプタ5′を用い、浮上ガス供給機構8から浮上ガスを供給して、基板Gを落とし込み部30内で浮上させるようにしてもよい。この実施形態では、基板Gは均一に浮上するので、基板Gの中央における浮上高さbは100μm以上、好ましくは200μm以上であればよい。この実施形態でもサセプタ5′の外周および上面周縁には絶縁部材4′が設けられている。
【0028】
また、上記実施形態ではサセプタに基板の温度を調節する機構を特別設けていないが、例えば冷媒流路等の温度調節機構を設けてもよい。ただし、冷却機構等が存在する場合には、この浮上ガスが冷却効率等に影響を及ぼす場合もある。
【0029】
さらに、上記実施形態では下部電極に高周波電力を印加するRIEタイプの容量結合型平行平板プラズマエッチング装置を示したが、エッチング装置に限らず、スパッタリングや、CVD成膜等の他のプラズマ処理装置に適用することができるし、上部電極に高周波電力を供給するタイプであっても、また容量結合型に限らず誘導結合型であってもよい。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被処理基板を浮き上がらせるように被処理基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給機構を設けたので、被処理基板が薄い場合でも従来のように載置台表面の影響を受けることなくプラズマ処理を行うことができ、均一なプラズマ処理を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るLCDガラス基板用のプラズマエッチング装置を模式的に示す断面図
【図2】図1のプラズマエッチング装置において、サセプタと基板との間に浮上ガスを供給した状態を示す断面図。
【図3】本発明の他の実施形態に係るLCDガラス基板用のプラズマエッチング装置の要部を示す断面図。
【符号の説明】
1;プラズマエッチング装置
2;チャンバー
5,5′;サセプタ(基板載置台)
6;クランプ部材(クランプ機構)
8;浮上ガス供給機構(浮上ガス供給手段)
9;流量圧力制御機構
10;ガス流路
11;分岐路
14;高周波電源
15;シャワーヘッド
23;処理ガス供給源
30;落とし込み部
G;LCDガラス基板(被処理基板)
Claims (7)
- 液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、
前記チャンバー内で前記液晶表示装置用ガラス基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台に載置された前記液晶表示装置用ガラス基板の周囲部分を機械的にクランプするクランプ機構と、
前記クランプ機構によりクランプされた前記液晶表示装置用ガラス基板を前記載置台から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成手段と
を具備し、
前記液晶表示装置用ガラス基板と前記載置台との間の距離が基板中央部で1〜15mmであることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、
前記チャンバー内に相対向するように設けられた上部電極および前記液晶表示装置用ガラス基板が載置される下部電極と、
前記上部電極および前記下部電極の少なくとも一方に高周波電力を供給する高周波電源と、
前記液晶表示装置用ガラス基板を前記下部電極から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスを導入する処理ガス導入手段と
を具備し、
前記液晶表示装置用ガラス基板と前記載置台との間の距離を基板中央部で1〜15mmとし、前記高周波電力により処理ガスをプラズマ化して、前記液晶表示装置用ガラス基板に対しプラズマ処理を行うことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、
前記チャンバー内で前記液晶表示装置用ガラス基板を載置する基板載置台と、
前記液晶表示装置用ガラス基板を前記載置台から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成手段と
を具備し、
前記液晶表示装置用ガラス基板と前記載置台との間の距離が基板中央部で1〜15mmであるすることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記浮上ガス供給手段からのガスが、前記基板載置台の内部形成されたガス流路および前記基板載置台の表面近傍で分岐した分岐路を通って前記基板載置台の表面と前記液晶表示装置用ガラス基板との間に供給されることを特徴とする請求項1または請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記浮上ガス供給手段からのガスが、前記下部電極の内部形成されたガス流路および前記下部電極の表面近傍で分岐した分岐路を通って前記基板載置台の表面と前記液晶表示装置用ガラス基板との間に供給されることを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記浮上ガス供給手段からのガスの圧力が20〜350Paであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 液晶表示装置用ガラス基板が収容されるチャンバーと、
前記チャンバー内で前記液晶表示装置用ガラス基板を載置する基板載置台と、
前記液晶表示装置用ガラス基板を前記載置台から浮き上がらせるように前記液晶表示装置用ガラス基板の裏面側からガスを供給する浮上ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記チャンバー内に処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成手段と
を具備し、
前記基板載置台の表面に、前記液晶表示装置用ガラス基板を落とし込む落とし込み部が形成され、前記液晶表示装置用ガラス基板を前記落とし込み部内で浮上させることを特徴とするプラズマ処理装置。
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