JP4669658B2 - 溶液の供給装置 - Google Patents
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Description
上面に上記基板を載置して上記噴射塗布時に水平面上の一方向に駆動される搬送テーブルと、
上記搬送テーブルの上方に配置され上記溶液を液滴状に噴射する複数のノズルを上記一方向に対して交差する方向に沿って有する複数のヘッドと、
上記搬送テーブルの上記一方向への移動を直接検出する検出手段と、
上記基板の上記一方向に沿う移動中に上記検出手段からの検出信号に基づいて上記ヘッドのノズルより上記予め設定された配置パターンを構成する複数の噴射位置の上記一方向に沿う塗布間隔で溶液を噴射させ、上記基板上に上記配置パターンで液滴状の溶液を塗布する制御手段と、
上記一方向と交差する方向に駆動可能に設けられ上記ヘッドの下方を通過しながら溶液が供給された上記基板を撮像し、その撮像によって上記基板に供給された溶液のパターンの上記一方向と交差する方向の縁部を検出する撮像手段と
を具備したことを特徴とする溶液の供給装置にある。
なお、ヘッド本体12の内部には後述する駆動回路部41が設けられ、この駆動回路部41によって圧電素子18にパルス電圧が印加されるようになっている。
搬送テーブル3に基板7を供給載置したならば、駆動源4を作動させて搬送テーブル3をX方向に駆動する。搬送テーブル3のX方向の駆動位置はリニアエンコーダ20によって測定される。リニアエンコーダ20の検出信号は制御装置31に入力され、この制御装置31からヘッドコントローラ32を介して第1のCPU35にパルス信号として出力される。
Claims (3)
- 基板に溶液をインクジェット方式によって予め設定された配置パターンで噴射塗布して溶液の膜を形成する溶液の供給装置において、
上面に上記基板を載置して上記噴射塗布時に水平面上の一方向に駆動される搬送テーブルと、
上記搬送テーブルの上方に配置され上記溶液を液滴状に噴射する複数のノズルを上記一方向に対して交差する方向に沿って有する複数のヘッドと、
上記搬送テーブルの上記一方向への移動を直接検出する検出手段と、
上記基板の上記一方向に沿う移動中に上記検出手段からの検出信号に基づいて上記ヘッドのノズルより上記予め設定された配置パターンを構成する複数の噴射位置の上記一方向に沿う塗布間隔で溶液を噴射させ、上記基板上に上記配置パターンで液滴状の溶液を塗布する制御手段と、
上記一方向と交差する方向に駆動可能に設けられ上記ヘッドの下方を通過しながら溶液が供給された上記基板を撮像し、その撮像によって上記基板に供給された溶液のパターンの上記一方向と交差する方向の縁部を検出する撮像手段と
を具備したことを特徴とする溶液の供給装置。 - 上記検出手段は、上記搬送テーブルの移動方向に沿って設けられたリニアスケールと、上記搬送テーブルに設けられ上記リニアスケールの位置を検出するリニアセンサとからなるリニアエンコーダであることを特徴とする請求項1記載の溶液の供給装置。
- 上記撮像手段による溶液のパターンの上記所定方向と交差する方向の両側縁部の撮像は、それぞれ上記一方向と交差する方向の外方から内方に向かって上記撮像手段を駆動して撮像することを特徴とする請求項1記載の溶液の供給装置。
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