JP4668244B2 - 電子ビーム加工で使用するためのチャンバ構造 - Google Patents
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Description
別の有利な実施形態は従属請求項に規定されている。
図1は、第1の実施形態によるチャンバ構造100の一実施形態を示している。チャンバ構造100は、チャンバハウジング26を備えている。チャンバハウジング26は、チャンバ23を画定している。チャンバ23では、ワークピースの真空電子ビーム溶接のような電子ビーム加工を行うことができる。本実施形態では、チャンバハウジング26は、環状円筒の壁部1とカバー22とロード/アンロード開口部30とを備える。壁部1の円筒軸線により、チャンバ23の垂直軸線が規定される。カバー22は、垂直軸線の方向においてチャンバ23の上部境界を形成する。ロード/アンロード開口部30は、垂直軸線の方向においてチャンバハウジング26の下面に形成され、環状円筒の壁部1と同一の直径を有する環状形状である。
図2は、チャンバ構造100の第2の実施形態を示している。第2の実施形態は、以下に説明するチャンバ閉鎖部3の構成と特徴とを除いて、第1の実施形態に一致する。第1の実施形態と同様に、チャンバ閉鎖部3は基板の形状である。本実施形態のチャンバ閉鎖部3は外部要素12と内部要素14とカップリング27とを備える。
図3は、チャンバ構造100の第3の実施形態を示している。第3の実施形態は、以下に説明する特徴を除いて、第2の実施形態に一致する。歯車7が係合する歯付きリング8の歯システム44は半径方向外側に形成される。
図4は、チャンバ構造100の第4の実施形態を示している。第4の実施形態は、以下に説明する特徴を除いて、第2の実施形態に一致する。歯車7が係合する歯付きリング8の歯システム44は半径方向外側に形成される。
2 リング
2a 外歯システム
3 チャンバ閉鎖部
4 駆動装置
4a モータ
4b 駆動軸
4c ピニオン
5 シール
6 昇降手段
7 歯車
8 歯付きリング
9 軸
10 スプライン
11 溝
12 外部要素
13 軸受
14 内部要素
15 リング
16 ばね
17 ディスク
18 ウォーム軸
19 テーブル
20 スピンドル
21 駆動軸
22 カバー
23 チャンバ
24 回転軸
25 移動軸
26 チャンバハウジング
27 カップリング
28 マニピュレータ
29 マニピュレータ
30 ロード/アンロード開口部
31 回転軸線
32 入口/出口開口部
33 ポンプ
34 環状面
35 ライン
36 軸受
37 シール
38 シール
39 突出部
40 貫通孔
41 凹部
42 貫通孔
43 ロック手段
44 歯システム
100 チャンバ構造
H 昇降手段6の上昇方向
S 昇降手段6の下降方向
F 外部要素12と内部要素14との間の間隙
Claims (12)
- 電子ビーム加工用のチャンバ構造(100)であり、
チャンバ(23)を画定しかつ少なくとも1つのロード/アンロード開口部(30)を有するチャンバハウジング(26)と、
前記ロード/アンロード開口部(30)を囲むように前記チャンバハウジング(26)に支持され、かつ前記ロード/アンロード開口部(30)に対して回転軸線(31)を中心に回転可能であるリング(2)と、
前記ロード/アンロード開口部(30)をシールして閉じるために前記リング(2)に接続可能でありかつ前記ロード/アンロード開口部(30)に対して前記リング(2)と共に回転可能であるチャンバ閉鎖部(3)と、
を備えるチャンバ構造(100)。 - 前記チャンバ閉鎖部(3)が、
前記回転軸線(31)を中心に回転させるために前記リング(2)に接続可能な外部要素(12)と、
前記チャンバ閉鎖部(3)によって前記ロード/アンロード開口部(30)が閉じられている状態において、前記チャンバ(23)に対面する前記外部要素(12)の側に配置される内部要素(14)と、
を備える請求項1に記載のチャンバ構造。 - 前記外部要素(12)に対して前記内部要素(14)を選択的に移動させてロックすることができる請求項2に記載のチャンバ構造。
- 前記内部要素(14)に回転不能に接続される軸(9)と、
楔状の環状間隙(F)を形成する前記軸(9)に対向する前記外部要素(12)の環状面(34)と、
前記環状間隙(F)に相補的でありかつ前記軸(9)の長手方向軸線の周りでまた該長手方向軸線と同軸に移動可能であるように配置される楔状のリング(15)と、
前記内部要素(14)と前記外部要素(12)との間に強制嵌合を生じさせるために、前記軸(9)の前記長手方向軸線の方向において前記リング(15)を前記環状間隙(F)に付勢するばね(16)と、
を備えるカップリング(27)をさらに備える請求項2または3に記載のチャンバ構造。 - 前記外部要素(12)に対する前記内部要素(14)の移動を選択的に許容するために、前記ばね(16)の前記付勢に抗して楔状の前記リング(15)を移動させることができる請求項4に記載のチャンバ構造。
- 前記外部要素(12)の回転中に、前記内部要素(14)と前記外部要素(12)とが共に回転するように前記内部要素(14)を保持すべく、または前記外部要素(12)の回転とは独立して前記内部要素(14)を回転駆動すべく適合される外部装置(6)に、前記内部要素(14)が接続されるように適合される請求項3から5のいずれか一項に記載のチャンバ構造。
- 前記外部装置が昇降手段(6)である請求項6に記載のチャンバ構造。
- 前記外部要素(12)または前記内部要素(14)に配置された歯付きリング(8)と、
前記外部要素(12)および前記内部要素の他の要素に保持され、前記歯付きリング(8)に係合し、前記外部要素および前記内部要素(12、14)の相対運動によって駆動できる少なくとも1つの歯車(7)と、
前記歯車(7)を回転させるために前記歯車(7)に接続される少なくとも1つの駆動軸(21)と、
をさらに備える請求項2から7のいずれか一項に記載のチャンバ構造。 - 前記チャンバ(23)内にワークピースを位置決めするためのマニピュレータ(28、29)と、
前記マニピュレータ(28、29)の回転軸(24)および/または移動軸(25)を駆動するために前記駆動軸(21)に接続されかつ前記マニピュレータ(28、29)に接続されるウォーム軸(18)と、
をさらに備える請求項8に記載のチャンバ構造。 - 前記ウォーム軸(18)が、前記駆動軸(21)の回転を複数の被駆動軸(24、25)の1つ以上の軸に選択的に伝達する前記チャンバ(23)内の作動手段である請求項9に記載のチャンバ構造。
- 前記マニピュレータ(28、29)の複数の動作位置に応じて対応する複数の溝(11)が前記軸(9)の適切な箇所に設けられ、前記昇降手段(6)の上昇時にスプライン(10)が前記対応する複数の溝に係合可能であるように適合される請求項9または10に記載のチャンバ構造。
- 前記リング(2)用の回転駆動装置(4)をさらに備える請求項1から11のいずれか一項に記載のチャンバ構造。
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