JP4665632B2 - 研磨方法および研磨部材 - Google Patents
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- 研磨材の層が形成された研磨部材により被研磨部材の被研磨面を研磨する研磨方法において、
前記研磨材の層は、相対的に大きい粒径の研磨用砥粒と、相対的に小さい粒径の研磨用砥粒と、それら大小の研磨用砥粒を保持する保持部材とにより形成されていて、
前記研磨部材は、互いに噛み合う二つの歯車のうちいずれか一方の歯車であり、
前記被研磨部材は、前記二つの歯車のうち他方の歯車である
ことを特徴とする研磨方法。 - 前記研磨部材は、互いに噛み合う二つの歯車のうち相対的に歯数の多い方の歯車であり、
前記被研磨部材は、互いに噛み合う二つの歯車のうち相対的に歯数の少ない方の歯車である
ことを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。 - 被研磨部材の被研磨面を研磨する研磨材の層が形成された研磨部材において、
前記研磨材の層は、相対的に大きい粒径の研磨用砥粒と、相対的に小さい粒径の研磨用砥粒と、それら大小の研磨用砥粒を保持する保持部材とにより形成されていて、
前記研磨部材は、互いに噛み合う二つの歯車のうちいずれか一方の歯車である
ことを特徴とする研磨部材。 - 前記研磨部材は、互いに噛み合う二つの歯車のうち相対的に歯数の多い方の歯車であることを特徴とする請求項3に記載の研磨部材。
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JPH07100710A (ja) * | 1993-10-05 | 1995-04-18 | Nissan Motor Co Ltd | 歯車の仕上処理用砥石 |
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JP2003326464A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-11-18 | Adamas:Kk | 切断用ホイール及びその製造方法 |
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2005
- 2005-07-12 JP JP2005202707A patent/JP4665632B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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