JP4652282B2 - シリコン基板の表面処理方法および太陽電池セルの製造方法 - Google Patents
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Description
<A.構成>
図1は、本実施の形態1に係るシリコン基板の表面処理装置の構成を模式的に示す図である。図1に示すように、実施の形態1に係るシリコン基板の表面処理装置は、シリコン基板2を収容して、その表面に所定の処理を施すための石英、アルミニウム、あるいはステンレス製の反応容器1を有している。
<B−1.シリコン基板表面の処理方法>
次に、図2を参照して、本実施の形態1に係る表面処理装置を用いたシリコン基板表面の処理方法の一例について説明する。図2は、本実施の形態1に係る表面処理装置の処理方法を説明するための図である。ここで、図2は、処理時間に対する、反応容器1に供給されるエッチングガスの流量であるエッチングガス流量、反応容器1に供給されるパージガスの流量であるパージガス流量、反応容器1からガスを排気する排気速度、および反応容器1内のガス圧力を示している。
次に、例えば、図2のT2−T1の時間に対応するエッチングガスの供給時間を適切に設定するため、エッチングガスの供給時間と多孔質層の形成について調べた実験結果を説明する。
次に、本実施の形態1に係るシリコン基板表面の処理方法の具体的な処理条件について説明する。エッチングガス供給工程では、ClF3ガス流量:10sccm、Arガス流量:490sccm、ClF3/Arガス圧力:10Torr、エッチングガス供給時間:15秒に処理条件を設定した。そして、パージガス供給工程では、N2ガス流量:5000sccm、N2ガス圧力:10Torr、パージガス供給時間:30秒に処理条件を設定した。
本実施の形態1に係る表面処理方法は、ClF3を含むエッチングガスを用いてシリコン基板表面に微細な凹凸を少しずつ形成しつつ、その各回ごとに未反応のエッチングガスの成分がシリコン基板内部に侵入する前にパージガスで除去しているので、シリコン基板内部のエッチングにより生じる多孔質層の発生を防ぎつつ、太陽電池セルに適した反射率の低い表面を実現できる。
実施の形態1では、エッチングガスとパージガスを交互に反応容器1内に供給し、パージガス供給工程において、シリコン基板表面に吸着した未反応のClF3(なおこの他に、F,Cl等)を脱離している。しかしながら、これら未反応のClF3(なおこの他に、F,Cl等)を完全に除去することが困難な場合がある。この場合、シリコン基板内部でエッチング反応が進行し続け、多孔質層が形成されるおそれがある。
本実施の形態2に係るシリコン基板の表面処理装置の構成は、実施の形態1と同一であるので詳細な説明は省略する。
まず、実施の形態1と同様に、ガス排気管6を通じて真空排気した反応容器1内の基板ステージ3上に、表面処理を施すシリコン基板2を設置する。次に、時間T1<t<T2の工程では、反応容器1内にClF3を含むエッチングガスを供給することにより、シリコン基板表面をエッチングして凹凸を形成する。ここで、ガス排気バルブ9は、オン状態となっており、一定の排気速度で反応容器1内を排気している。
本実施の形態2に係るシリコン基板の表面処理方法によれば、パージガス供給工程において、排気バルブ9をオフにしている。その結果、パージガス供給工程において、シリコン基板2の表面に入射するN2分子のフラックスを実施の形態1の場合より大きくすることが可能となり、表面に吸着しているClF3(なおこの他に、F,Cl等)の脱離・除去性を高めることができる。その結果、実施の形態1で説明した反応容器1を常時排気する場合に比べ、パージガス供給時間を短縮できる。
本実施の形態3では、パージガス供給工程において、パージガスの一部を放電よりプラズマ化し、プラズマ化したパージガスを用いることで、シリコン基板表面に吸着した未反応のエッチングガスの成分であるClF3(なおこの他に、F,Cl等)をより高効率に脱離・除去できるシリコン基板の表面処理方法について説明する。
図7は、本実施の形態3に係るシリコン基板の表面処理装置の構成を模式的に示す図である。図7に示すように、本実施の形態3に係るシリコン基板の表面処理装置では、実施の形態1の構成に比べて、誘導結合方式のRFプラズマを発生できる構成が付加されている。
次に、上述したシリコン基板の表面処理装置を用いた処理方法の一例について図8を参照して説明する。図8は、本実施の形態3に係るシリコン基板の表面処理方法を説明するための図である。例えば、t=T3、T7、T11において、パージガス供給工程がスタートすると、制御部10は、N2ガスの供給バルブ7をオンにするのと同時にRF電源14もオンになるように制御する。
本実施の形態3に係るシリコン基板の表面処理方法は、実施の形態1と同様に、ClF3を含むエッチングガスの供給とパージガスの供給工程とを交互に行っているので、多孔質層の発生が無い良好な低反射シリコン面を形成することができる。そして、良好な特性の太陽電池セルを実現することができる。
Claims (5)
- (a)真空排気した反応容器内にシリコン基板を設置する工程と、
(b)前記反応容器内にClF3を含むエッチングガスを供給することにより、前記シリコン基板表面をエッチングして凹凸を形成する工程と、
(c)前記反応容器内にパージガスを供給することにより、前記シリコン基板表面に吸着した未反応の前記エッチングガスの成分を除去する工程と、
を備え、
前記工程(b)と前記工程(c)とを交互に繰り返すことを特徴とするシリコン基板の表面処理方法。 - 前記工程(c)は、前記パージガスを供給中に、前記反応容器内の排気を停止する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載のシリコン基板の表面処理方法。
- 前記工程(c)は、前記パージガスの一部をプラズマ化し、プラズマ化した前記パージガスにより、前記未反応のエッチングガスの成分を除去する工程を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコン基板の表面処理方法。
- 一回の前記工程(b)は、前記反応容器内に30秒以内の期間前記エッチングガスを供給する工程を含むことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のシリコン基板の表面処理方法。
- 請求項1ないし請求項4の何れかのシリコン基板の表面処理方法を施すことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
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Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02309631A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-25 | Matsushita Electron Corp | プラズマエッチング方法 |
JPH08181112A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | ドライエッチング装置の洗浄法およびそれを用いた半導体装置の製法 |
JPH10313128A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シリコン基板の異方性エッチング方法及び太陽電池の製造方法 |
JP2000101111A (ja) * | 1998-09-17 | 2000-04-07 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法 |
JP2001093876A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Nisso Engineering Co Ltd | 半導体ウエハのエッチング方法 |
JP2002111027A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Kyocera Corp | 太陽電池および太陽電池基板の粗面化方法 |
JP2002353205A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法およびそれに用いられるウェハ処理装置並びに半導体装置 |
JP2003197940A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Kyocera Corp | 太陽電池用基板の粗面化法 |
JP2004006537A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 薄膜形成方法及び装置並びに太陽電池の製造方法並びに太陽電池 |
JP2005150614A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 太陽電池及びその製造方法 |
JP2005217260A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sharp Corp | シリコン基板の製造方法および太陽電池セルの製造方法 |
JP2005303255A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-10-27 | Shinryo Corp | 太陽電池用シリコン基板の低反射率加工方法 |
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02309631A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-25 | Matsushita Electron Corp | プラズマエッチング方法 |
JPH08181112A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | ドライエッチング装置の洗浄法およびそれを用いた半導体装置の製法 |
JPH10313128A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シリコン基板の異方性エッチング方法及び太陽電池の製造方法 |
JP2000101111A (ja) * | 1998-09-17 | 2000-04-07 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法 |
JP2001093876A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Nisso Engineering Co Ltd | 半導体ウエハのエッチング方法 |
JP2002353205A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法およびそれに用いられるウェハ処理装置並びに半導体装置 |
JP2002111027A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Kyocera Corp | 太陽電池および太陽電池基板の粗面化方法 |
JP2003197940A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Kyocera Corp | 太陽電池用基板の粗面化法 |
JP2004006537A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 薄膜形成方法及び装置並びに太陽電池の製造方法並びに太陽電池 |
JP2005150614A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 太陽電池及びその製造方法 |
JP2005217260A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sharp Corp | シリコン基板の製造方法および太陽電池セルの製造方法 |
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