JP4647977B2 - Fib自動加工時のドリフト補正方法及び装置 - Google Patents
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Description
前記参照画像領域のイオンビーム照射前と照射後の画像から画像のずれの方向と量を演算により求めるステップと、
前記演算により求めた画像のずれの方向と量とに基づいてビーム偏向系の調整を行なうステップと、
により構成されるFIB自動加工時のドリフト補正方法であって、
前記イオンビーム照射後に取得した画像がずれを検出するのに適さない明かるさ又はコントラストの場合、その照射後の画像に関して適切な明かるさ又はコントラストの画像を再取得し、その再取得した画像を用いて前記画像のずれの方向と量を求めることを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明は、前記参照画像として特定の形状のマークを付したものを用いることを特徴とする。
(5)請求項5記載の発明は、試料上へのFIB加工時において、試料上に参照画像領域を設定する参照画像設定手段と、FIB加工時に前記参照画像領域の画像を読み込む画像読み込み手段と、FIB加工時に、前記読み込んだ画像からイオンビーム照射前と照射後の画像のずれの方向と量を求める演算制御手段と、該演算制御手段の出力を受けて画像のずれの方向と量とに基づいてビーム偏向系の補正を行なうビーム偏向系調整手段と、を具備し、前記イオンビーム照射後に取得した画像がずれを検出するのに適さない明かるさ又はコントラストの場合、その照射後の画像に関して適切な明かるさ又はコントラストの画像を再取得し、その再取得した画像を用いて前記画像のずれの方向と量を求めることを特徴とする。
(4)請求項4記載の発明によれば、イオンビーム照射前と照射後の画像からフーリエ変換以外の画像処理を用いて画像のずれの方向と量を求めることができる。
図1は本発明の要部の一実施の形態例を示す構成図である。図において、1はイオンを出射するイオン源、2はイオン源1から出射されたイオンビームを収束させる光学系、3はイオンビームを偏向するビーム偏向系調整手段としての偏向器である。10は加工領域と参照画像領域とからなる加工設定画面である。該加工設定画面10において、11は参照画像領域、12は第1の加工領域(加工1領域)、13は第2の加工領域(加工2領域)である。
2 光学系
3 偏向器
4 増幅器
5 増幅器
10 加工設定画面
11 参照画像領域
12 加工領域
13 加工領域
20 画像読み込み手段
21 ドリフト前画像
22 ドリフト後画像
30 演算制御手段
Claims (5)
- 試料上へのFIB加工時において、試料上に参照画像領域を設けるステップと、
前記参照画像領域のイオンビーム照射前と照射後の画像から画像のずれの方向と量を演算により求めるステップと、
前記演算により求めた画像のずれの方向と量とに基づいてビーム偏向系の調整を行なうステップと、
により構成されるFIB自動加工時のドリフト補正方法であって、
前記イオンビーム照射後に取得した画像がずれを検出するのに適さない明かるさ又はコントラストの場合、その照射後の画像に関して適切な明かるさ又はコントラストの画像を再取得し、その再取得した画像を用いて前記画像のずれの方向と量を求めることを特徴とするFIB自動加工時のドリフト補正方法。 - 前記参照画像のイオンビーム照射前と照射後の画像から画像のずれの方向と量を求める手段としてフーリエ変換を用いることを特徴とする請求項1記載のFIB自動加工時のドリフト補正方法。
- 前記参照画像として特定の形状のマークを付したものを用いることを特徴とする請求項1記載のFIB自動加工時のドリフト補正方法。
- 前記イオンビーム照射前と照射後の画像からフーリエ変換以外の画像処理を用いて画像のずれの方向と量を求めることを特徴とする請求項1記載のFIB自動加工時のドリフト補正方法。
- 試料上へのFIB加工時において、試料上に参照画像領域を設定する参照画像設定手段と、
FIB加工時に前記参照画像領域の画像を読み込む画像読み込み手段と、
FIB加工時に、前記読み込んだ画像からイオンビーム照射前と照射後の画像のずれの方向と量を求める演算制御手段と、
該演算制御手段の出力を受けて画像のずれの方向と量とに基づいてビーム偏向系の補正を行なうビーム偏向系調整手段と、
を具備し、
前記イオンビーム照射後に取得した画像がずれを検出するのに適さない明かるさ又はコントラストの場合、その照射後の画像に関して適切な明かるさ又はコントラストの画像を再取得し、その再取得した画像を用いて前記画像のずれの方向と量を求めることを特徴とするFIB自動加工時のドリフト補正装置。
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