JP4641441B2 - 画像検査方法および画像検査システム - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る画像検査システム10の一実施形態を示す。画像検査システム10は、データ交換及び信号制御のために相互に接続された制御システム100および画像測定機200を含む。また、画像検査システム10には、データ交換及び信号制御のために、1つ以上のモニタ111、プリンタ112、ジョイスティック113、キーボード114、マウス115が接続されている。画像測定機200は、可動ワークステージ210と、画像を様々な倍率で拡大するズームレンズや多数の交換レンズなどが含まれる光学画像システム205を備える。
20…ワーク
100…制御システム
102…表示装置
104…入力装置
110…入出力インターフェイス
120…コントローラ
130…メモリ
132…動作制御部
133…照明制御部
133A〜133N…光制御素子
143…ビデオツール制御部
143A〜143M…ビデオツール
150…関心領域生成部
160…外来特徴識別・表示部
170…ワークプログラム生成・実行部
180…ファイル特徴抽出部
200…画像測定機
205…光学画像システム
210…ワークステージ
220,230,240…光源
250…光学アセンブリ
252…対物レンズ
260…カメラシステム
280…タレットレンズアセンブリ
286,288…レンズ
294…モータ
302…バックグラウンド層
304…グリッド
610…線ツール
612…セレクタ
810A,B…ボックスツール部品
820…線ツール部品
830…円弧ツール部品
840…表面焦点ツール部品
1520…制御部品
1600…グラフィカルユーザインターフェイスツールバーウインドウ
1610…マスクモードセレクタ
Claims (21)
- 画像検査システムにより取得されるワークの画像検査方法であって、
外来特徴を含む画像を取得する工程と、
前記画像検査システムにおけるユーザインターフェイスを介して提供されるビデオツールについて関心領域を定義する工程と、
前記関心領域内において前記外来特徴に対応する外来画素を識別する工程と、
識別された前記外来画素を前記関心領域から除去する工程と、
前記外来画素が除去された前記関心領域に対して前記ビデオツールを用いた所定の作業を行う工程と、
を有し、
前記外来画素を識別する工程では、
前記外来特徴の少なくとも一部分のテンプレートを決定する工程と、
前記テンプレートおよび検査画像に基づいて相関作業を実施し、前記テンプレートと略適合する前記検査画像内の特徴に対応する相関ピーク位置を識別する工程と、
前記ワークについての先験的な知識に基づいて、前記外来特徴の少なくとも一部分に対応する幾何学的特徴を特徴付ける工程と、
前記幾何学的特徴を前記相関ピーク位置に対して配置する工程と、
配置された前記幾何学的特徴に対応する画素を前記外来画素として識別する工程と、
が設けられることを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1に記載の画像検査方法において、
前記外来特徴が、グリッド状の特徴、及び、フラットパネルディスプレイスクリーンマスクにおけるグリッド状の特徴、の少なくともいずれかを含む、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1または請求項2に記載の画像検査方法において、
前記関心領域内において識別された前記外来画素以外の画素に対応する画像データが、前記ビデオツールを用いた前記作業より前には修正されない、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記関心領域内において前記外来画素を識別する工程では、
前記外来特徴に対応するものと推定される画素の第1セットを識別する工程と、
前記第1セットの画素に隣接する緩衝領域を構成する画素の第2セットを決定する工程と、
前記第1および第2セットに対応する画素を前記外来画素に含める工程と、
が設けられることを特徴とする画像検査方法。 - 請求項4に記載の画像検査方法において、
前記第2セットを決定する工程では、前記第1セットに対してディレーション作業を行う、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記外来画素は、前記関心領域内においてのみ識別される、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記ユーザインターフェイスによって、前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードの開始、および、前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードのオン状態の表示、の少なくともいずれかを実行することが可能である、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記ユーザインターフェイスによって、前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードの停止を実行することが可能である、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記関心領域を定義する工程では、
前記ビデオツールの関心領域表示部品を使用して前記関心領域を定義し、
前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードの開始、および、オン状態の表示、の少なくともいずれかが、前記ビデオツールに関連するモード状態表示手段およびモード制御手段の少なくともいずれかによって実行される、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記外来画素を識別する工程では、前記外来画素に対応する領域を識別するための閾値技術と、識別された当該領域の境界における異常部分をフィルタリングするための形態論技術と、を使用する、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項10のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記画像検査システムは、前記外来画素を識別する作業が起動される作業モードを有し、
前記ユーザインターフェイスは、前記作業モードを起動するための制御部品を有する、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項11のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記画像検査システムは、所定の外来画素識別作業を行い、
前記ユーザインターフェイスは、画像に適用すべき前記外来画素識別作業のサブセット、および、画像に適用すべき前記外来画素識別作業を制御するパラメータ、の少なくともいずれかを決定するためにオペレータによって使用可能な特徴を含んで構成され、
前記外来画素を識別する工程では、オペレータによって、前記サブセットおよび前記パラメータの少なくともいずれかが選択される、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項12に記載の画像検査方法において、
前記外来画素を識別する工程では、
前記オペレータによる前記サブセットおよび前記パラメータの少なくともいずれかの選択に応じて外来画素のセットを識別する工程と、
オリジナルの検査画像における所定の位置に重ね合わされた前記外来画素のセットの表示を提供する工程と、
前記表示に基づいて前記オペレータが前記外来画素のセットを承認する工程と、
が設けられ、
前記ビデオツールを用いた前記作業を行う前に、前記オペレータによる承認が行われる、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項13に記載の画像検査方法において、
当該画像検査方法は、前記画像検査システムの訓練モード中に実施され、
前記ビデオツールを用いた前記作業を行う前に前記オペレータによる承認が行われる場合には、前記オペレータによる前記サブセットおよび前記パラメータの少なくともいずれかの選択に対応する制御命令が、前記ワークの自動検査のためのパートプログラム内にある、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項1から請求項14のいずれかに記載の画像検査方法において、
前記関心領域内において前記外来画素を識別するために使用される作業の第1セットが、前記ビデオツールを用いた前記作業を行うために使用される作業の第2セットが開始される前に行われる、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 請求項15に記載の画像検査方法において、
前記画像検査システムの作業を制御するために使用されるプログラムのソースコードにおいて、前記作業の第1セットを行うためのプログラム命令の間には、前記作業の第2セットを行うためのプログラム命令が入り込まない、
ことを特徴とする画像検査方法。 - 外来特徴を含むワークの画像を検査可能な画像検査システムであって、
外来特徴を含む画像を取得する画像取得手段と、
ユーザインターフェイスを介して提供される各ビデオツールについて関心領域を定義する関心領域定義手段と、
前記関心領域内において前記外来特徴に対応する外来画素を識別する外来画素識別手段と、
識別された前記外来画素を前記関心領域から除去する外来画素除去手段と、
前記外来画素が除去された前記関心領域に対して前記ビデオツールを用いた所定の作業を行うビデオツール作業手段と、
を有し、
前記外来画素識別手段は、
前記外来特徴の少なくとも一部分のテンプレートを決定し、
前記テンプレートおよび検査画像に基づいて相関作業を実施し、前記テンプレートと略適合する前記検査画像内の特徴に対応する相関ピーク位置を識別し、
前記ワークについての先験的な知識に基づいて、前記外来特徴の少なくとも一部分に対応する幾何学的特徴を特徴付け、
前記幾何学的特徴を前記相関ピーク位置に対して配置し、
配置された前記幾何学的特徴に対応する画素を前記外来画素として識別する処理を行う
ことを特徴とする画像検査システム。 - 請求項17に記載の画像検査システムにおいて、
前記外来画素除去手段は、前記外来画素識別手段によって識別された前記外来画素を自動的に除去する、
ことを特徴とする画像検査システム。 - 請求項17または請求項18に記載の画像検査システムにおいて、
前記ユーザインターフェイスによって、前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードの開始、および、前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードのオン状態の表示、の少なくともいずれかを実行することが可能である、
ことを特徴とする画像検査システム。 - 請求項17から請求項19のいずれかに記載の画像検査システムにおいて、
前記関心領域定義手段は、前記ビデオツールの関心領域表示部品を使用して前記関心領域を定義し、
前記外来画素を識別する作業が起動される前記画像検査システムの作業モードの開始、および、オン状態の表示、の少なくともいずれかが、前記ビデオツールに関連するモード状態表示手段およびモード制御手段の少なくともいずれかによって実行される、
ことを特徴とする画像検査システム。 - 請求項17から請求項20のいずれかに記載の画像検査システムにおいて、
前記外来画素識別手段は、所定の外来画素識別作業を行い、
前記ユーザインターフェイスは、画像に適用すべき前記外来画素識別作業のサブセット、および、画像に適用すべき前記外来画素識別作業を制御するパラメータ、の少なくともいずれかを決定するためにオペレータによって使用可能な特徴を含んで構成され、
前記外来画素識別手段は、オペレータによる前記サブセットおよび前記パラメータの少なくともいずれかの選択に応じて前記外来画素を識別する、
ことを特徴とする画像検査システム。
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