JP4640966B2 - 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 - Google Patents
粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4640966B2 JP4640966B2 JP2005232720A JP2005232720A JP4640966B2 JP 4640966 B2 JP4640966 B2 JP 4640966B2 JP 2005232720 A JP2005232720 A JP 2005232720A JP 2005232720 A JP2005232720 A JP 2005232720A JP 4640966 B2 JP4640966 B2 JP 4640966B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- meth
- group
- acrylate
- pressure
- sensitive adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
Description
本発明は、ハロゲンを有するエラストマ(以下、単に「エラストマ」ともいう)を用いることを特徴の一つとする。そのようなハロゲン含有単量体としては、例えばエピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、エピヨードヒドリン、β−メチルエピクロロヒドリン、ビニリデンフルオライド、ヘキサフルオロプロピレン、ペンタフルオロプロピレン、クロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、ビニルフルオライド、パーフルオロメチルビニルエーテル、及びパーフルオロプロピルビニリデン等が挙げられる。エラストマとしては、エピハドリンゴム及びフッ素ゴムを好適に使用することができる。
ハロゲン含有単量体単位として使用可能なハロゲン元素は、塩素、フッ素、臭素、及びヨウ素が挙げられる。ハロゲン元素の中では、分子量的に軽く、活性度が高いため反応性が良いことから、塩素及び/又はフッ素が好ましく、更に入手容易性やコスト面等の観点から、塩素がよりが好ましい。
例えば、ブチル(メタ)アクリレート、2−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、ミリスチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
加熱重合性化合物とは、加熱された加熱重合開始剤によって三次元網状化しうる分子内に、炭素−炭素二重結合を少なくとも二個以上有する低分子量化合物をいう。例えば、アクリレート系化合物、ウレタンアクリレート系オリゴマ、多価イソシアネート化合物、及びヒドロキシル基を有するアクリレート化合物等が挙げられる。加熱重合性化合物を添加し、ダイシング工程後に粘着シートを加熱すると、粘着シートの粘着力が低下して粘着シートから剥離するので、電子部品のピックアップが容易となる。
加熱重合開始剤は、ダイシング工程後の加熱を受けた際に加熱重合性化合物の硬化を促進して粘着剤全体を硬化させる化合物である。ダイシング工程後に加熱することにより粘着剤が硬化して電子部品から剥離するため、電子部品の回収が容易になる。
アミノ基を2個以上有する化合物を含有するアミン硬化剤(以下、単に「アミン硬化剤」という)は、分子内に少なくともアミノ基を2個以上有することを特徴とする。粘着剤にアミン硬化剤を添加することにより、自体の凝集性、粘着剤表面の抵抗率の低下、及び粘着力の向上等の効果が得られる。
粘着剤には、公知の添加剤、例えば、粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤、充填剤、熱重合禁止剤を適宜添加してもよい。
粘着シートは、樹脂等からなるシート状の基材に粘着剤を塗布又は印刷等によって製造する。粘着剤は原液、又は有機溶剤に溶解して基材に塗布又は印刷することができる。
加熱重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート系、市販品。
加熱重合開始剤:パーオキシジカーボネート系、市販品。
アミン硬化剤:N−ベンジルエチレンジアミン系、市販品。
エラストマ:エピクロロヒドリン含有量5質量%、エチレンオキシド45質量%、アクリル酸メチル50質量%を重合させ、エピクロロヒドリン−エチレンオキシド−アクリル酸メチル共重合体とした。
粘着剤:エラストマ100質量部、加熱重合性化合物50質量部、加熱重合開始剤3質量部、及びアミン硬化剤5質量部を配合した。
粘着シートは、厚さ150μmのポリエチレン製シートを基材とし、基材の片面に、粘着剤のトルエン溶液を塗布し、100℃×1分加熱乾燥させ、厚さ25μmの粘着剤層とした。
比較例3は実施例におけるアミン硬化剤を35質量部にした。
比較例4は実施例におけるエラストマ中のハロゲン含有単量体単位の含有率を0.05質量%にした。
比較例5は実施例におけるエラストマ中のハロゲン含有単量体単位の含有率を60質量%にした。
比較例6は加熱重合性化合物量を25質量部にした。
比較例7は加熱重合性化合物量を230質量部にした。
比較例8は加熱重合開始剤量を0.05質量部にした。
比較例9は加熱重合開始剤量を12質量部にした。
ダイシング性(チップ飛び):粘着シートを、パッケージ成形用モールド樹脂によりモールドされた縦20mm、横25mmの半導体部材に気泡が入らないよう貼り付け、10分放置後に5mm□にダイシングし、この作業を5回繰り返した際のチップ総数100個に対するチップ飛び割合である。
実施例1における粘着シートは、チップ飛びは10%以下であり、粘着剤掻き上げは確認されず、粘着剤表面の抵抗率が8.0×1011Ω/□、ハロゲン元素抽出量が0.1ppm未満であり、良好であった。
実施例3:実施例1より粘着力が高くなりチップ飛びが少なかった。
比較例2:チップ飛びはなかったが、粘着剤掻き上げ、および粘着剤表面の抵抗率が悪かった。
比較例3:粘着剤掻き上げはなく、粘着剤表面の抵抗率は良好であったが、粘着力が低く、チップ飛びが多くみられた。
比較例4:ハロゲン元素抽出量は少なかったが、粘着剤表面の抵抗率が悪かった。
比較例5:粘着剤掻き上げはなかったが、ハロゲン元素抽出量が多かった。
比較例6:粘着剤掻き上げはなかったが、ピックアップ適性が悪かった。
比較例7:チップ飛びはなかったが、粘着剤掻き上げが悪かった。
比較例8:チップ飛びはなかったが、ピックアップ適性が悪かった。
比較例9:粘着剤掻き上げはなかったが、粘着剤の加熱乾燥時に硬化し、粘着力が低くチップ飛びが多かった。
Claims (7)
- エラストマ100質量部、加熱重合性化合物50質量部、アミノ基を2個以上有する化合物を含有するアミン硬化剤0.05〜30質量部、及び加熱重合開始剤0.1〜10質量部を含有し、ハロゲン含有単量体単位がエラストマ全体に占める割合が3〜30質量%である粘着剤。
- エラストマが、更にアミノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エポキシ基、アミド基、メチロール基、スルホン酸基、スルファミン酸基、及び(亜)リン酸エステル基からなる群から選ばれる官能基を1個以上有する単量体単位を有する請求項1に記載の粘着剤。
- エラストマが、ハロゲン含有単量体単位及び(メタ)アクリル酸エステル系単量体単位を有する請求項1乃至2のいずれか一項に記載の粘着剤。
- ハロゲンが、塩素及び/又はフッ素である請求項1乃至3のいずれか一項に記載の粘着剤。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の粘着剤を用いた粘着シート。
- 電子部品固定用である請求項5に記載の粘着シート。
- 請求項5又は請求項6に記載の粘着シートを用いることを特徴とする電子部品製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005232720A JP4640966B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005232720A JP4640966B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007045955A JP2007045955A (ja) | 2007-02-22 |
JP4640966B2 true JP4640966B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=37849057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005232720A Expired - Fee Related JP4640966B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4640966B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5483808B2 (ja) * | 2007-08-14 | 2014-05-07 | チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド | 粘着剤組成物及び光学部材 |
JP6709103B2 (ja) * | 2016-04-21 | 2020-06-10 | ソマール株式会社 | 接着剤組成物およびこれを用いた接着シート |
JP2021095526A (ja) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社 | 再剥離粘着剤組成物および粘着シート |
WO2023054085A1 (ja) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | 日東電工株式会社 | 粘着剤組成物及び該粘着剤組成物を用いた粘着シート |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677192A (ja) * | 1992-08-27 | 1994-03-18 | Mitsui Toatsu Chem Inc | ウエハ加工用テープおよびその使用方法 |
JPH06177094A (ja) * | 1992-12-10 | 1994-06-24 | Mitsui Toatsu Chem Inc | ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法 |
JPH1025456A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-27 | Toyo Chem Co Ltd | 半導体ウエハ固定用シート |
JP2004043642A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 接着性物質、片面粘着テープ及び両面粘着テープ |
-
2005
- 2005-08-11 JP JP2005232720A patent/JP4640966B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677192A (ja) * | 1992-08-27 | 1994-03-18 | Mitsui Toatsu Chem Inc | ウエハ加工用テープおよびその使用方法 |
JPH06177094A (ja) * | 1992-12-10 | 1994-06-24 | Mitsui Toatsu Chem Inc | ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法 |
JPH1025456A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-27 | Toyo Chem Co Ltd | 半導体ウエハ固定用シート |
JP2004043642A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 接着性物質、片面粘着テープ及び両面粘着テープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007045955A (ja) | 2007-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5184161B2 (ja) | 半導体加工用テープ | |
KR100991940B1 (ko) | 점접착 시트 | |
JP4027332B2 (ja) | 半導体用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
KR101370245B1 (ko) | 점접착제 조성물, 점접착 시트 및 반도체장치의 제조방법 | |
JP2009260332A (ja) | 半導体ウエハ固定用帯電防止性粘着テープ | |
JP4994895B2 (ja) | 粘着シート | |
JP2006202926A (ja) | ダイシングテープ | |
JP2008247936A (ja) | 粘接着剤組成物、粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
CN110546739B (zh) | 半导体芯片的制造方法、表面保护带 | |
JP6393449B2 (ja) | 接着剤組成物、接着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP4640966B2 (ja) | 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 | |
CN113795380B (zh) | 粘合带 | |
JP4805765B2 (ja) | 電子部品固定用粘着シート及びそれを用いた電子部品の製造方法。 | |
JP2007308694A (ja) | 半導体用接着部材、半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2010278297A (ja) | 半導体固定用粘着テープ、およびその製造方法 | |
JP2013062446A (ja) | ダイシング・ダイボンディングシート | |
WO2013157567A1 (ja) | 接着剤組成物、接着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP5560537B2 (ja) | 半導体ウエハ加工用粘着テープ | |
KR20180122375A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2006286808A (ja) | ウエハ加工用テープおよびそれを用いたウエハ加工方法 | |
JP4676297B2 (ja) | 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 | |
JP2022093308A (ja) | 半導体保護テープ及び半導体装置の製造方法 | |
JP4680717B2 (ja) | 粘着剤、それを用いた粘着シート、及び粘着シートを用いた電子部品製造方法。 | |
TW202106831A (zh) | 黏著帶 | |
JP2014194031A (ja) | 接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101004 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4640966 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |