JP4637017B2 - セラミックス組成物及びセラミックス配線基板 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 83
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 49
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 42
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 20
- NWXHSRDXUJENGJ-UHFFFAOYSA-N calcium;magnesium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Mg+2].[Ca+2].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O NWXHSRDXUJENGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052637 diopside Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 14
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 10
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 7
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 8
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052882 wollastonite Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010456 wollastonite Substances 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229910001720 Åkermanite Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 CaCO 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 1,4a-dimethyl-7-propan-2-yl-2,3,4,4b,5,6,10,10a-octahydrophenanthrene-1-carboxylic acid Chemical compound C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004283 SiO 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000006112 glass ceramic composition Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009766 low-temperature sintering Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/16—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay
- C04B35/20—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay rich in magnesium oxide, e.g. forsterite
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/16—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay
- C04B35/22—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay rich in calcium oxide, e.g. wollastonite
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- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
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Description
【0001】
本発明は、ディオプサイド(Diopside)結晶(CaMgSi2O6)を主結晶として含有するセラミックス組成物、及び該セラミックス組成物を利用したセラミックス配線基板に関する。
【背景技術】
【0002】
セラミックス多層配線基板においては、近年高周波化が進んでおり、高周波信号を損失なく伝送する上で、配線層を形成する導体として、銅や銀などの低抵抗金属を使用することが要求されている。これらの低抵抗金属を導体材料として用いるためには、基板材料は1000℃以下の低温で焼成が可能なことが必要となる。こうした基板材料の1つとして、ディオプサイド結晶を主結晶として含有するセラミックスが知られている。
【0003】
ディオプサイド結晶を利用したセラミックス組成物の一つとして、特開2000−128628号公報には、質量百分率で結晶性ガラス粉末50〜100%、フィラー粉末0〜50%からなり、該結晶性ガラス粉末がSiO240〜65%、CaO10〜20%(ただし20%を含まず)、MgO11〜30%、Al2O30.5〜10%、CuO0.01〜1%、SrO0〜25%、BaO0〜25%、ZnO0〜25%の組成を有し、主結晶としてディオプサイド結晶及び/又はディオプサイド固溶体結晶を析出することを特徴とするガラスセラミックス組成物が開示されており、それによってAgを内層導体に用いて同時焼成した場合でも、Agがガラスセラミックス中に拡散せず、しかも高周波回路に十分対応できる低い誘電損失を有する多層基板を作製できることが記載されている。
【0004】
また、特開2001−278657号公報には、ディオプサイド結晶(CaMgSi2O6)を主結晶として含有する低温焼成磁器組成物であって、その誘電率εが7以下、かつ、そのQ×f値が10000GHz以上であることを特徴とする低温焼成磁器組成物が開示されており、それによって1000℃以下の温度で焼成可能で、高周波領域において優れた誘電特性を有する配線基板が得られることが記載されている。
【0005】
しかしながら、上記特開2000−128628号公報の技術では、結晶性ガラス粉末を原料とするため、原料コストが高くなり、原料の取り扱い性も悪いという問題があった。また、CaOの含量が比較的多いため、副結晶としてフォルステライト(Forsterite)結晶が生成するため、強度低下を起こしやすいという問題もあった。
【0006】
また、特開2001−278657号公報の技術では、副結晶としてウォラストナイト(Wollastonite)結晶や、フォルステライト結晶が生成するため、強度低下を起こしやすいという問題があった。更に、セラミックス層を利用してコンデンサ、フィルター等の電子部品領域を形成する場合には、誘電率が高いほど小型化に対応しやすいが、誘電率が7以下であるため、小型で良好な特性のものを得にくくなり、高集積の要求に対応しにくいという問題もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
したがって、本発明の目的は、1000℃以下の低温焼成が可能で、強度が高く、セラミックス層を利用した電子部品領域を形成する場合にも有利なセラミックス組成物及びセラミックス配線基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するため、本発明のセラミックス組成物は、酸化物換算で、SiO2 52〜62質量%、MgO 12〜22.5質量%、CaO 21〜32質量%からなる、ガラスでないセラミックス粉末からなる主成分100質量部に対し、ホウ素成分を酸化物換算で0.5〜3質量部、アルカリ金属成分を酸化物換算で0.1〜1質量部、亜鉛成分を酸化物換算で0〜4質量部、銅成分を酸化物換算で0〜1質量部、コバルト成分を酸化物換算で0〜5質量部、銀成分を酸化物換算で0〜0.5質量部、Al2O3を0〜1.5質量部含む組成からなる原料を焼成することにより得られ、主結晶としてディオプサイド結晶を含有することを特徴とする。
【0009】
本発明のセラミックス組成物は、上記組成からなり、主結晶としてディオプサイド結晶を含有するので、低温焼成が可能である。また、アルカリ金属成分を酸化物換算で0.1〜1質量部含むので、焼成温度の低温化、緻密化を効果的に図ることができる。そして、ディオプサイド結晶の含有率が高いので、強度が高いセラミックス組成物を得ることができる。更に、誘電率が適度な範囲となるので、高周波で配線回路としての特性を維持しつつ、セラミックス層を利用して電子部品領域を形成する場合にも良好な特性を得ることができる。
【0010】
本発明のセラミックス組成物は、前記主成分100質量部に対して前記亜鉛成分を酸化物換算で0.1〜4質量部含む原料を焼成することにより得られたものであることが好ましい。
【0011】
本発明のセラミックス組成物は、前記主成分100質量部に対して前記銅成分を酸化物換算で0.1〜1質量部含む原料を焼成することにより得られたものであることが好ましい。
【0012】
本発明のセラミックス組成物は、前記主成分100質量部に対して前記コバルト成分を酸化物換算で0.1〜5質量部含む原料を焼成することにより得られたものであることが好ましい。
【0013】
本発明のセラミックス組成物は、前記主成分100質量部に対して前記銀成分を酸化物換算で0.1〜0.5質量部含む原料を焼成することにより得られたものであることが好ましい。
【0014】
上記各態様によれば、低温焼成効果を高めると共に、グリーンシートなどの成形の際におけるホウ素成分によるバインダーの特性劣化を抑えることができる。
【0015】
本発明のセラミックス組成物は、誘電率ε>7であることが好ましい。これによれば、セラミックス層を利用してコンデンサ等の電子部品領域を形成する場合に小型で良好な特性を得ることができる。
【0016】
一方、本発明のセラミックス配線基板は、上記セラミックス組成物で構成されたセラミックス層と、このセラミックス層に積層された、導電性部材で形成された配線層とを備えていることを特徴とする。
【0017】
本発明のセラミックス配線基板は、セラミックス層が上記組成からなり、主結晶としてディオプサイド結晶を含有するので、低温焼成が可能となり、導電性部材として銀、銅等の低抵抗金属を用いた配線層を形成することが可能となる。また、ディオプサイド結晶の含有率が高いので、強度が高いセラミックス配線基板を得ることができる。更に、誘電率が適度な範囲となるので、高周波で配線回路としての特性を維持しつつ、セラミックス層を利用して電子部品領域を形成する場合にも小型で良好な特性を得ることができる。
【0018】
本発明のセラミックス配線基板は、前記セラミックス層を利用して形成された部品領域を更に具備することが好ましい。すなわち、本発明のセラミックス配線基板は、誘電率が適度な範囲となるので、高周波で配線回路としての特性を維持しつつ、小型で良好な特性の電子部品を形成することができるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【0019】
本発明のセラミックス組成物の主成分は、ガラスでない酸化物、炭酸塩などのセラミックス粉末を用いることができ、特に酸化物が好ましく用いられる。
【0020】
セラミックス組成物の主成分は、酸化物換算で、SiO2、MgO、CaOの配合割合が、SiO2 52〜62質量%、MgO 12〜22.5質量%、CaO 21〜32質量%となるように調整される。
【0021】
SiO2が62質量%より多いと、ウォラストナイト結晶が生成して、誘電損失が大きくなり、強度も低下する。また、52質量%より少ないとオーケルマナイト(Akermanite)結晶が生成し、誘電損失が大きくなる。
【0022】
MgOが22.5質量%より多いと、フォルステライト結晶が生成し、強度が低下する。また、12質量%より少ないと、ウォラストナイト結晶が生成し、誘電損失が大きくなる。
【0023】
CaOが32質量%より多いと、ウォラストナイト結晶や、オーケルマナイト結晶が生成し、誘電損失が大きくなり、強度も低下する。また、21質量%より少ないと、フォルステライト結晶が生成し、強度が低下する。
【0024】
また、本発明のセラミックス組成物は、副成分として、ホウ素成分、アルカリ金属成分、亜鉛成分、銅成分、コバルト成分、銀成分が用いられる。副成分の材料としては、酸化物、炭酸塩、酢酸塩、硝酸塩、弗化物、単体金属が用いられ、あるいは前記割合になるような組成のガラスなどを併用してもよいが、好ましくは酸化物が用いられる。上記副成分のうち、ホウ素成分、アルカリ金属成分は、本発明において必須成分である。
【0025】
ホウ素成分は、上記SiO2、MgO、CaOからなる主成分100質量部に対して、酸化物換算で0.5〜3質量部となるように添加される。ホウ素成分が0.5質量部より少ないと、1000℃以下で焼成することが困難となり、3質量部より多いと、焼成時に融着が起こり、焼結体の形状が安定しにくくなると共に、グリーンシート等の成形時におけるバインダーの結着性が低下して、作業性が悪くなる。
【0026】
アルカリ金属成分は、前記主成分100質量部に対して、酸化物換算で0.1〜1質量部添加される。アルカリ金属成分が0.1質量部未満では、その添加効果が乏しく、1質量部を超えると、焼成時に融着が起こり、焼結体の形状が安定しにくくなると共に、絶縁性が劣化しやすくなる。アルカリ金属成分としては、例えばLi、Na、Kなどが用いられ、特にLiが好ましい。
【0027】
上記副成分のうち、亜鉛成分、銅成分、コバルト成分、銀成分は、必ずしも必要なものではないが、焼成温度の低温化、緻密化を効果的に図り、低温焼成効果を高めるために、添加するのが好ましい成分である。
【0028】
亜鉛成分は、前記主成分100質量部に対して、酸化物換算で0.1〜4質量部添加することが好ましく、0.1質量部未満では、その添加効果が乏しく、4質量部を超えると、誘電損失が大きくなる。
【0029】
銅成分は、前記主成分100質量部に対して、酸化物換算で0.1〜1質量部添加することが好ましく、0.1質量部未満では、その添加効果が乏しく、1質量部を超えると、誘電損失が大きくなる。
【0030】
コバルト成分は、前記主成分100質量部に対して、酸化物換算で0.1〜5質量部添加することが好ましく、0.1質量部未満では、その添加効果が乏しく、5質量部を超えると、誘電損失が大きくなる。
【0031】
銀成分は、前記主成分100質量部に対して、酸化物換算で0.1〜0.5質量部添加することが好ましく、0.1質量部未満では、その添加効果が乏しく、0.5質量部を超えると、誘電損失が大きくなる。
【0032】
本発明のセラミックス組成物は、上記各成分の他に、その特性を損なわない範囲で他の成分を含有していてもよい。例えばAl2O3を前記主成分100質量部に対して、1.5質量部以下の範囲で含有していてもよい。ただし、Al2O3が1.5質量部を超えると誘電損失が大きくなる。
【0033】
本発明のセラミックス組成物は、上記のような組成となるように配合された原料に、必要に応じて結合剤、可塑剤、溶剤等を添加し、所定形状に成形して、焼成することによって製造することができる。なお、上記セラミックス原料は、あらかじめ仮焼してから用いることが好ましい。
【0034】
上記結合剤としては、例えばポリビニルブチラール樹脂、メタアクリル酸樹脂等が用いられ、可塑剤としては、例えばフタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル等が用いられ、溶剤としては、例えばトルエン、メチルエチルケトン等を使用することができる。
【0035】
成形は、公知のプレス法を用いてブロック体にしたり、公知のドクターブレード法でグリーンシート化し、更に圧着して積層体にしたり、ペースト状にして厚膜印刷技術を用いて多層体にしたりできる。セラミックス配線基板を形成するには、グリーンシートに成形するのが、多層化が容易でよい。
【0036】
セラミックス配線基板を形成するには、まず、上記セラミックス原料又はその仮焼粉末を含む原料粉末を公知のドクターブレード法を用いてグリーンシート化する。グリーンシート上には導電ペーストを用いてスクリーン印刷法により配線層を印刷形成する。このグリーンシートを圧着して積層体を形成する。この積層体を脱バインダー化した後、1000℃以下(好ましくは850〜1000℃)で低温焼成して、目的とするセラミックス配線基板を得る。なお、配線にAgを用いる場合は大気雰囲気下、Cuを用いる場合は還元雰囲気下で焼成する。
【0037】
本発明によれば、セラミックス原料をディオプサイドの化学量論組成比率に近い比率で混合することにより、ディオプサイド結晶を主結晶として含有し、副結晶の生成が極めて少ないセラミックス組成物を得ることができる。なお、本発明のセラミックス組成物におけるディオプサイド結晶の含有量は、95質量%以上であることが好ましく、99質量%以上であることがより好ましい。
【0038】
また、本発明のセラミックス組成物は、ディオプサイド結晶を主結晶として含有し、副結晶の含有量が少ないので、誘電損失を増大させることなく、しかもセラミックス層を利用して電子部品領域を形成する場合に良好な特性を得ることができる程度の適度な誘電率を有している。なお、本発明のセラミックス組成物の誘電率εは、ε>7であることが好ましく、10>ε>7であることがより好ましい。
【0039】
本発明のセラミックス配線基板は、主結晶としてディオプサイド結晶を含有するセラミックス層と、このセラミックス層に積層された、導電性部材で形成された配線層とを備えている。すなわち、配線層は、セラミックス層どうしの間及び/又は最外層のセラミックス層の外側に形成される。
【0040】
本発明のセラミックス配線基板において、セラミックス層を利用した電子部品としては、例えばコンデンサ、フィルター等が挙げられる。セラミックス層の誘電率ε>7とすることにより、これらの電子部品の特性を小型で良好にすることができる。
【実施例】
【0041】
(実施例1)
SiO2、CaCO3、MgO、Al2O3、B2O3、Li2CO3、ZnO、CuO、Co2O3、Ag2O粉末を表1に示す割合で秤量し、15時間湿式混合後、120℃で乾燥し、乾燥した粉体を大気中700℃で2時間仮焼した。
この仮焼物にPVA系バインダーを適量添加し、造粒、プレス成型後、大気中500℃で脱バインダー処理し成型体を得た。
上記成型体を大気中で850〜1000℃で2時間焼成し、表2に示す試料番号1〜43の焼結体を得た。
この焼結体を用いて、アルキメデス法による相対密度、JIS R1601に準ずる抗折強度、JIS R1627に準ずる共振周波数(10〜15GHz)における誘電率、誘電損失を測定した。誘電損失は(周波数)×(1/誘電損失)=(一定)と仮定し、10GHzでの値に換算した。また、焼結体中の結晶相をX線回折により同定した。これらの結果も表2に併せて示す。
【0042】
【表1】
【0043】
【表2】
【0044】
その結果、本発明の範囲に入るセラミックス組成物(*のマークがついていないもの)は、いずれも1000℃以下で焼結し、誘電損失が1.0×10 −3 以下と小さく、抗折強度は280MPa以上が得られた。
これに対して本発明の範囲を外れたセラミックス組成物(*のマークがついているもの)は、焼結しなかったり、誘電損失が大きすぎたり、抗折強度が低かったりする問題が生じることがわかる。
また、上記結果に基づいて、セラミックス組成物中の各元素の配合割合を検討すると下記の通りである。
【0045】
SiO2は、62質量%より多いと、ウォラストナイト(Wollastonite)が生成し、誘電損失が大きくなり、強度も低下する(No.26参照)。また、52質量%より少ないと、オーケルマナイト(Akermanite)が生成し、誘電損失が大きくなる(No.42、43参照)。
MgOは、22.5質量%より多いと、フォルステライト(Forsterite)が生成し、強度が低下する(No.31、32参照)。また、12質量%より少ないと、ウォラストナイト(Wollastonite)が生成し、誘電損失が大きくなる(No.27、37参照)。
CaOは、32質量%より多いと、ウォラストナイト(Wollastonite)やオーケルマナイト(Akermanite)が生成し、誘電損失が大きくなり、強度も低下する(No.37、38参照)。また、21質量%より少ないと、フォルステライト(Forsterite)が生成し、強度が低下する(No.31参照)。
Al2O3は、1.5質量部より多いと、誘電損失が大きくなる(No.6参照)。
B2O3は、0.5質量部より少ないと、1000℃で焼結しない(No.1参照)。
また、3.0質量部より多いと、900℃焼成時に融着が起こり、焼結体の形状が安定しない(No.5参照)
Li2Oは、1質量部より多いと、900℃焼成時に融着が起こり、焼結体の形状が安定しない(No.10参照)。
ZnOは4質量部より多いと、Zn2SiO4が生成し、誘電損失が大きくなる(No.13参照)。
CuOは1質量部より多いと、誘電損失が大きくなる(No.16参照)。
Co2O3は5質量部より多いと、誘電損失が大きくなる(No.19参照)。
Ag2Oは0.5質量部より多いと、誘電損失が大きくなる(No.22参照)。
なお、Al2O3、Li2CO3、ZnO、CuO、Co2O3、Ag2Oは添加しなくても1000℃で焼結するが、添加により焼結する温度が低下する効果があるため、上記の範囲内で添加するのが好ましいことがわかる。
【0046】
(実施例2)
SiO2、CaCO3、MgO粉末を表3に示す割合で秤量し、15時間湿式混合後、120℃で乾燥し、乾燥した粉体を大気中1100℃で2時間仮焼した。この仮焼物にAl2O3、B2O3、Li2Co3、ZnO、CuO、Co2O3、Ag2O粉末を表3に示す割合で秤量し、15時間湿式混合後、120℃で乾燥した。
【0047】
【表3】
【0048】
この混合粉体を実施例1と同様の方法で成型、焼成し、評価した。これらの評価結果を表4に示す。いずれも1000℃以下で焼結し、誘電損失が1.0×10 −3 以下と小さく、抗折強度は280MPa以上が得られた。つまり、上記組成範囲内であれば、主成分を予め仮焼してから副成分を添加するプロセスとしても、同様の効果が得られることがわかる。
【0049】
【表4】
【産業上の利用可能性】
【0050】
以上説明したように、本発明のセラミックス組成物及びそれを利用したセラミックス配線基板によれば、1000℃以下の低温焼成が可能となり、銀、銅等の低抵抗金属を導体材料として用いることが可能となる。また、ディオプサイド結晶の含有率が高いので、強度が高いセラミックス組成物を得ることができる。更に、誘電率が適度な範囲となるので、高周波で配線回路としての特性を維持しつつ、セラミックス層を利用して電子部品領域を形成する場合にも小型で良好な特性を得ることができる。
Claims (8)
- 酸化物換算で、SiO2 52〜62質量%、MgO 12〜22.5質量%、CaO 21〜32質量%からなる、ガラスでないセラミックス粉末からなる主成分100質量部に対し、ホウ素成分を酸化物換算で0.5〜3質量部、アルカリ金属成分を酸化物換算で0.1〜1質量部、亜鉛成分を酸化物換算で0〜4質量部、銅成分を酸化物換算で0〜1質量部、コバルト成分を酸化物換算で0〜5質量部、銀成分を酸化物換算で0〜0.5質量部、Al2O3を0〜1.5質量部含む組成からなる原料を焼成することにより得られ、主結晶としてディオプサイド結晶を含有することを特徴とするセラミックス組成物。
- 前記主成分100質量部に対して前記亜鉛成分を酸化物換算で0.1〜4質量部含む原料を焼成することにより得られたものである請求項1記載のセラミックス組成物。
- 前記主成分100質量部に対して前記銅成分を酸化物換算で0.1〜1質量部含む原料を焼成することにより得られたものである請求項1又は2記載のセラミックス組成物。
- 前記主成分100質量部に対して前記コバルト成分を酸化物換算で0.1〜5質量部含む原料を焼成することにより得られたものである請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックス組成物。
- 前記主成分100質量部に対して前記銀成分を酸化物換算で0.1〜0.5質量部含む原料を焼成することにより得られたものである請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックス組成物。
- 誘電率ε>7である請求項1〜5のいずれか1つに記載のセラミックス組成物。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のセラミックス組成物で構成されたセラミックス層と、このセラミックス層に積層された、導電性部材で形成された配線層とを備えていることを特徴とするセラミックス配線基板。
- 前記セラミックス層を利用して形成された部品領域を更に具備する請求項7記載のセラミックス配線基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003052567 | 2003-02-28 | ||
JP2003052567 | 2003-02-28 | ||
PCT/JP2004/002180 WO2004076380A1 (ja) | 2003-02-28 | 2004-02-25 | セラミックス組成物及びセラミックス配線基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2004076380A1 JPWO2004076380A1 (ja) | 2006-06-01 |
JP4637017B2 true JP4637017B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=32923404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005502899A Expired - Lifetime JP4637017B2 (ja) | 2003-02-28 | 2004-02-25 | セラミックス組成物及びセラミックス配線基板 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7176154B2 (ja) |
EP (1) | EP1598327A4 (ja) |
JP (1) | JP4637017B2 (ja) |
WO (1) | WO2004076380A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4619173B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2011-01-26 | 太陽誘電株式会社 | 複合電子部品材料 |
JP4802039B2 (ja) * | 2006-04-14 | 2011-10-26 | 太陽誘電株式会社 | セラミックス組成物及び積層セラミック回路装置 |
JP2010037126A (ja) * | 2008-08-04 | 2010-02-18 | Taiyo Yuden Co Ltd | セラミック組成物及びセラミック焼結体 |
JP6293704B2 (ja) * | 2015-05-28 | 2018-03-14 | スナップトラック・インコーポレーテッド | ガラスセラミックス焼結体及び配線基板 |
JP2020015635A (ja) | 2018-07-24 | 2020-01-30 | 太陽誘電株式会社 | セラミックス組成物及び当該セラミックス組成物を用いた電子部品 |
JP7455515B2 (ja) | 2019-03-28 | 2024-03-26 | 太陽誘電株式会社 | セラミックス組成物及び当該セラミックス組成物を用いた電子部品 |
CN112592160B (zh) * | 2020-12-23 | 2022-05-24 | 嘉兴佳利电子有限公司 | 一种复相低温共烧陶瓷材料及其制备方法 |
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Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3863996B2 (ja) * | 1998-06-30 | 2006-12-27 | 日本特殊陶業株式会社 | 結晶化ガラス−セラミック複合体及びそれを用いた配線基板並びにその配線基板を具備するパッケージ |
JP3890779B2 (ja) | 1998-10-26 | 2007-03-07 | 日本電気硝子株式会社 | ガラスセラミックス組成物 |
JP2001278657A (ja) | 2000-01-24 | 2001-10-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 低温焼成磁器組成物及びその製造方法並びにその低温焼成磁器組成物を用いた低温焼成配線基板 |
-
2004
- 2004-02-25 WO PCT/JP2004/002180 patent/WO2004076380A1/ja active Application Filing
- 2004-02-25 EP EP04714439A patent/EP1598327A4/en not_active Withdrawn
- 2004-02-25 JP JP2005502899A patent/JP4637017B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-02-25 US US10/515,729 patent/US7176154B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1598327A1 (en) | 2005-11-23 |
JPWO2004076380A1 (ja) | 2006-06-01 |
EP1598327A4 (en) | 2011-04-13 |
US20060040819A1 (en) | 2006-02-23 |
US7176154B2 (en) | 2007-02-13 |
WO2004076380A1 (ja) | 2004-09-10 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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