JP4612424B2 - 基板処理方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
基板処理方法および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4612424B2 JP4612424B2 JP2005005505A JP2005005505A JP4612424B2 JP 4612424 B2 JP4612424 B2 JP 4612424B2 JP 2005005505 A JP2005005505 A JP 2005005505A JP 2005005505 A JP2005005505 A JP 2005005505A JP 4612424 B2 JP4612424 B2 JP 4612424B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cleaning
- tank
- chemical
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
(a)第1処理槽において、第1薬液で基板表面を洗浄する第1洗浄工程と、
(b)前記第1薬液を、基板表面の親水性を高める第2薬液に置換して、第2薬液で前記基板表面を洗浄する第2洗浄工程と、
(c)第2処理槽において、前記第1薬液を用いて前記基板表面を洗浄する第3洗浄工程と
を含む。
(a)半導体基板上に、ゲート電極およびソース・ドレイン領域を有する半導体素子を形成する工程と、
(b)前記半導体素子が形成された半導体基板を第1処理層に搬送し、第1処理槽内で、第1薬液を用いた第1洗浄と、基板表面を親水性にする第2薬液を用いた第2洗浄を行う工程と、
(c)前記半導体基板を第2処理槽に搬送して、第2処理層内で、前記第1薬液を用いた第3洗浄を行う工程と、
(d)第3洗浄を終えた半導体基板の、少なくともソース・ドレイン領域の表面にサリサイドを形成する工程と
を含む。
次に、タンク下部のノズル6より純水を22l/min供給して、リンス洗浄を540秒行う。
(付記1) 第1処理槽において、第1薬液で基板表面を洗浄する第1洗浄工程と、
前記第1薬液を、基板表面の親水性を高める第2薬液に置換して、第2薬液で前記基板表面を洗浄する第2洗浄工程と、
第2処理槽において、前記第1薬液を用いて前記基板表面を洗浄する第3洗浄工程と
を含む基板処理方法。
(付記2) 前記第1薬液は、フッ酸を含む溶液であることを特徴とする付記1に記載の基板処理方法。
(付記3) 前記第2薬液は、アンモニアと過酸化水素を含む溶液であることを特徴とする付記1に記載の基板処理方法。
(付記4) 前記第1洗浄工程における第1薬液での処理時間と、前記第3洗浄工程における第1薬液での処理時間を合わせた処理時間は、前記基板表面の清浄化に必要とされるエッチング時間であることを特徴とする付記1に記載の基板処理方法。
(付記5) 前記第3洗浄工程の後に、有機溶剤を用いた乾燥工程をさらに含むことを特徴とする付記1に記載の基板処理方法。
(付記6) 前記乾燥工程は、前記第2処理槽から前記基板を引き上げる前に、前記有機溶剤をミスト状に噴霧する工程を含むことを特徴とする付記5に記載の基板処理方法。
(付記7) 前記乾燥工程は、前記第2処理槽から前記基板の引き上げ中に、前記有機溶剤をミスト状に噴霧する工程を含むことを特徴とする付記5または6に記載の基板処理方法。
(付記8) 前記第2洗浄工程後に、前記基板を前記第2処理槽へ搬送する搬送工程をさらに含むことを特徴とする付記1に記載の基板処理方法。
(付記9) 前記第1洗浄工程、第2洗浄工程、第3洗浄工程の後に、純水によるリンス工程をさらに含むことを特徴とする付記1に記載の基板処理方法。
(付記10) 半導体基板上に、ゲート電極およびソース・ドレイン領域を有する半導体素子を形成する工程と、
前記半導体素子が形成された半導体基板を第1処理層に搬送して、前記第1処理槽内で、第1薬液を用いた第1洗浄と、基板表面を親水性にする第2薬液を用いた第2洗浄を行う工程と、
前記半導体基板を第2処理槽に搬送して、前記第2処理層内で、前記第1薬液を用いた第3洗浄を行う工程と、
前記第3洗浄を終えた半導体基板の、少なくとも前記ソース・ドレイン領域の表面にサリサイドを形成する工程と
を含む半導体装置の製造方法。
(付記11) 前記ゲート電極は、ポリシリコンゲート電極であり、前記サリサイド形成工程は、前記ゲート電極表面へのサリサイド形成を含むことを特徴とする付記10に記載の半導体装置の製造方法。
(付記12) 前記第1薬液は、希フッ酸の溶液であることを特徴とする付記10または11に記載の半導体装置の製造方法。
2 基板
3 基板支持台
4 IPA噴射ノズル
5 ミスト発生機構
6 薬液ノズル
8 有機溶媒ヒータ
11 ドレインバルブ
13チャンバ
14 真空排気バルブ
20 第1処理槽
21 ダミーウェーハ
22 測定対象ウェーハ
30 第2処理槽
101 シリコン基板
103 ゲート絶縁膜
104 ゲート電極
107 ソース・ドレイン
110 サリサイド層
Claims (6)
- 第1処理槽において、第1薬液で基板表面を洗浄する第1洗浄工程と、
前記第1薬液を、基板表面の親水性を高める第2薬液に置換して、第2薬液で前記基板表面を洗浄する第2洗浄工程と、
第2処理槽において、前記第1薬液を用いて前記基板表面を洗浄する第3洗浄工程と
を含む基板処理方法。 - 前記第3洗浄工程は、自然酸化膜を残さないように洗浄することを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記第1薬液は、フッ酸を含む溶液であることを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記第2薬液は、アンモニアと過酸化水素を含む溶液であることを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記第1洗浄工程における第1薬液での洗浄時間と、前記第3洗浄工程における第1薬液での洗浄時間を合わせた処理時間は、前記基板表面の清浄化に必要とされるエッチング時間であることを特徴とする請求項1に記載の基板処理方法。
- 半導体基板上に、ゲート電極およびソース・ドレイン領域を有する半導体素子を形成する工程と、
前記半導体素子が形成された半導体基板を第1処理層に搬送し、前記第1処理槽内で、第1薬液を用いた第1洗浄と、基板表面を親水性にする第2薬液を用いた第2洗浄を行う工程と、
前記半導体基板を第2処理槽に搬送して、前記第2処理層内で、前記第1薬液を用いた第3洗浄を行う工程と、
前記第3洗浄を終えた半導体基板の少なくとも前記ソース・ドレイン領域の表面にサリサイドを形成する工程と
を含む半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005005505A JP4612424B2 (ja) | 2005-01-12 | 2005-01-12 | 基板処理方法および半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005005505A JP4612424B2 (ja) | 2005-01-12 | 2005-01-12 | 基板処理方法および半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006192358A JP2006192358A (ja) | 2006-07-27 |
JP4612424B2 true JP4612424B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=36798838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005005505A Expired - Fee Related JP4612424B2 (ja) | 2005-01-12 | 2005-01-12 | 基板処理方法および半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4612424B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4994990B2 (ja) * | 2007-08-03 | 2012-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置、プログラム、記録媒体および置換剤 |
JP5233277B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2013-07-10 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体基板の処理方法及び半導体装置の製造方法 |
JP5424848B2 (ja) | 2009-12-15 | 2014-02-26 | 株式会社東芝 | 半導体基板の表面処理装置及び方法 |
JP2013187401A (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP6968397B2 (ja) * | 2016-12-20 | 2021-11-17 | 光洋通商株式会社 | 箱型船 |
CN112289682B (zh) * | 2020-10-30 | 2023-11-17 | 上海华力微电子有限公司 | 栅极氧化层的形成方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786220A (ja) * | 1993-09-16 | 1995-03-31 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハの洗浄方法 |
JPH08264498A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Pure Retsukusu:Kk | シリコンウエーハの清浄化方法 |
JP2002134462A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-01-12 JP JP2005005505A patent/JP4612424B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786220A (ja) * | 1993-09-16 | 1995-03-31 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハの洗浄方法 |
JPH08264498A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Pure Retsukusu:Kk | シリコンウエーハの清浄化方法 |
JP2002134462A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006192358A (ja) | 2006-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4805862B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、及び半導体装置の製造方法 | |
KR100706798B1 (ko) | 실리콘막과 실리콘 게르마늄막이 노출된 기판의 세정 방법및 이를 이용하는 반도체 제조 방법 | |
US20010053585A1 (en) | Cleaning process for substrate surface | |
JP4612424B2 (ja) | 基板処理方法および半導体装置の製造方法 | |
KR102441239B1 (ko) | 에칭 방법 | |
US7220647B2 (en) | Method of cleaning wafer and method of manufacturing gate structure | |
JP5037241B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 | |
JP2006216854A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100829597B1 (ko) | 반도체 장치의 세정 방법 및 제조 방법 | |
JP2004146516A (ja) | 成膜方法 | |
US7806988B2 (en) | Method to address carbon incorporation in an interpoly oxide | |
TWI234203B (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JPH09275085A (ja) | 半導体基板の洗浄方法ならびに洗浄装置および半導体基板製造用成膜方法および成膜装置 | |
JP2009158531A (ja) | 半導体基板の処理方法及び半導体装置の製造方法 | |
US6077776A (en) | Polysilicon residue free process by thermal treatment | |
JP2001044429A (ja) | ゲート絶縁膜形成前処理方法及びその前処理装置 | |
JP3401585B2 (ja) | 基板の洗浄方法 | |
JPH0766168A (ja) | 半導体製造方法および半導体製造装置 | |
JPH09190994A (ja) | ケイ酸残留物の生成を防止のためのフッ酸処理後の脱イオン水/オゾン洗浄 | |
US6479372B1 (en) | Method for avoiding water marks formed during cleaning after well implantation | |
KR100865442B1 (ko) | 줄무늬 디펙트를 제거하기 위한 웨이퍼 세정방법 | |
JP2006066520A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH04124825A (ja) | 半導体ウエハの洗浄方法 | |
KR100779399B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
JP2002134462A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071211 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080728 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101005 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101015 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4612424 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |