JP4610289B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
図1の(a)及び(b)は、本発明によるプローブ装置の一例を示した外観図である。このプローブ装置は、筐体本体30、筐体天板31及びローダーボックス32からなる。筐体本体30の上面に設けられた開口部30hは、筐体天板31によって覆われ、メンテナンスなどを行う際には、この筐体天板31が取り外され、上記開口部30hが開放される。ローダーボックス32は、検査対象物である半導体ウエハの搬入口であり、ウエハカセットに収納された半導体ウエハがセットされる。
実施の形態1では高温試験を行うためのプローブ装置の例について説明したが、本実施の形態では、低温試験を行うためのプローブ装置について説明する。なお、本実施の形態によるプローブ装置の概略構成は、図1及び図2の場合(実施の形態1)と同様である。
本実施の形態では、温調ユニット51を備えたカードホルダ22の他の構成例について、詳細に説明する。
本実施の形態では、温調ユニット51を備えたカードホルダ22について、更に他の構成例を説明する。
10 検査テーブル
11 駆動シャフト
12 駆動装置
20 プローブカード
21 プローブピン
22 カードホルダ
31 筐体天板
31h 検査用開口部
50〜52 温調ユニット
50H〜52H ヒータ
50P〜52P ペルチェ素子
50S〜52S 温度センサ
53 温度制御装置
54 温調データ記憶部
54D 温調データ
T1,T22,T31 目標温度
Claims (1)
- 検査対象物が載置され、昇降駆動される検査テーブルと、
上記検査テーブルの上方に配置され、多数のプローブピンを有するプローブカードと、
上記プローブカードを着脱可能に支持するプローブカード支持部と、
上記検査テーブルに設けられ、上記検査対象物を加熱又は冷却する第1の温調素子と、
上記第1の温調素子を制御し、上記プローブピンの上記検査対象物への接触前に、上記検査テーブルを加熱又は冷却する温度制御装置とを備え、
上記プローブカード支持部は、検査用開口部を有する筐体天板と、この筐体天板に取り付けられ、上記プローブカードの周辺端部を着脱可能に支持し、当該プローブカードを上記検査用開口部に配置するカードホルダと、当該カードホルダに設けられ、当該カードホルダを加熱又は冷却する第2の温調素子と、上記筐体天板に設けられ、当該筐体天板を加熱又は冷却する第3の温調素子とを有し、
上記温度制御装置が、上記第2及び第3の温調素子を制御し、上記プローブピンの上記検査対象物への接触前に、上記カードホルダ及び上記筐体天板を加熱又は冷却することを特徴とするプローブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004294385A JP4610289B2 (ja) | 2004-10-07 | 2004-10-07 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004294385A JP4610289B2 (ja) | 2004-10-07 | 2004-10-07 | プローブ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006108456A JP2006108456A (ja) | 2006-04-20 |
JP4610289B2 true JP4610289B2 (ja) | 2011-01-12 |
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ID=36377808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004294385A Expired - Fee Related JP4610289B2 (ja) | 2004-10-07 | 2004-10-07 | プローブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4610289B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008064490A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Yamaha Corp | 検査装置および検査方法 |
JP4999775B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2012-08-15 | 株式会社東京精密 | プローバ |
TW201011848A (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-16 | Star Techn Inc | Apparatus for testing integrated circuits |
JP5861557B2 (ja) * | 2012-04-26 | 2016-02-16 | 三菱電機株式会社 | 検査装置 |
JP2012178599A (ja) * | 2012-05-14 | 2012-09-13 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバおよびプローバの温度制御方法 |
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TWI628449B (zh) | 2017-05-05 | 2018-07-01 | 漢民科技股份有限公司 | 晶圓針測裝置主動式預熱及預冷系統及晶圓檢測方法 |
JP7090517B2 (ja) * | 2018-09-20 | 2022-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
KR102023742B1 (ko) * | 2019-01-31 | 2019-11-04 | (주)래딕스 | 테스트 핀 조립체 |
US11754619B2 (en) * | 2021-01-11 | 2023-09-12 | Star Technologies, Inc. | Probing apparatus with temperature-adjusting mechanism |
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JP2001319953A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ |
-
2004
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JP2001319953A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006108456A (ja) | 2006-04-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100819 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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