JP4603612B2 - 回転位置センサ - Google Patents

Description

本発明の実施の形態は、全体として、位置センサの分野、より具体的には、実質的に円形の開口と、実質的に直線状の端縁とを有する磁気要素を含む位置センサに関する。

ある物体の動きを表示するセンサは、導体内の電気値が近接磁界の動きによって変化するようにした、いわゆる「ホール効果」を使用して形成することができる。例えば、エグチ（Ｅｇｕｃｈｉ）及びその他の者に対する米国特許明細書４，３９２，３７５号明細書には、磁気感知要素の回りを回転可能な２つの隔った永久磁石が開示されている。

ウオルフ（Ｗｏｌｆ）に対する米国特許明細書５，８１８，２２３号明細書には、磁気感知要素に隣接して配置され且つ、該磁気感知要素に対して回転可能である単一の矩形の磁石が開示されている。磁気感知要素の両側部におけるブックエンド形状の磁束コンセントレータ（ｆｌｕｘ ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｏｒ）を使用して磁束を集束させる。別の開示された実施の形態において、センサの軸方向の長さを短くしようとしてリング形磁石が使用され、また、磁束コンセントレータの間に挟持された感知要素を含む同様の装置がリング形磁石の間に配置されている。この装置に対して磁気感知要素を軸方向に位置決めすることは、極めて重要であり、中央の位置決めウエルを有する別個の非磁気伝導性ハウジングを含むことでセンサ／コンセントレータの装置を保持することによりその中央位置を保証するステップが採られる。ウエルの底部にて感知要素を受け入れるため、切欠きを画成することにより、軸方向に適正に位置決めすることが更に試みられている。
米国特許明細書４，３９２，３７５号明細書 米国特許明細書５，８１８，２２３号明細書

記載された上記双方の装置は、１つの磁気感知要素のみを使用することができること、説明したように、磁気感知要素を中央に配置しなければならないこと、中心から少しでも偏倚すれば、センサの精度に影響を与えること、磁気要素は、本発明の場合のように、効果的に磁気材料を使用しないこと、及び開示された装置の全体寸法を小さくするは制限されることを含む、不利益な点がある。

ウエルフの装置の場合、半径方向に対称の磁石のため、適正な向きを保証することができないから、センサの組み立ては問題を生じる。全体として円形の磁石の起こり得る方向誤差を解消しようとする試みは、磁石が組み立てられた後、磁気材料を適正な向きに磁化することを含むことができる。しかし、このことは、磁気材料が特定の方向に向き決めされるよう予め配設されるという不利益な点がある。適正な向きから少しでも偏倚すれば、最適な状態ではなくなる。

本発明の実施の形態は、添付図面と共に、以下の詳細な説明を読むことにより、容易に理解されよう。この説明の容易化のため、同様の参照番号は同様の構造要素を表示する。本発明の実施の形態については、以下に、添付図面を参照しつつ、単に一例として且つ非限定的に、説明する。

以下の詳細な説明において、同様の番号は全体を通じて同様の部品を表示し、また、本明細書の一部分を構成し且つ、本発明が実施可能である一例としての実施の形態を示す添付図面を参照する。その他の実施の形態が利用可能であり、また、代替的な実施の形態にて構造的又は合理的な変更を具体化することが可能であることを理解すべきである。このため、以下の詳細な説明は、限定的な意味にて解釈されるべきではなく、本発明に従った実施の形態の範囲は、特許請求の範囲及びそれらの等価物によって規定されるべきである。

以下の説明は、内側、外側、下方、間、上方に、下方に、外方に、内方に、頂部、底部、上に、下に、及び同様のもののような語を含む。かかる語は、説明の目的にのみ使用され、また、本明細書又は特許請求の範囲にて限定的なものと解釈されるべきではない。すなわち、これらの語は、１つの基準点に関するものであり、限定的なものと解釈することを意味するものではなく、本発明の色々な特徴の理解を容易にするため、以下の説明に含めたものである。

本発明の実施の形態は、回転変位に対して比較的敏感であり、半径方向及び軸方向変位に対して極めて敏感ではない形態とされており、且つ（又は）中央に配置されない磁気感知要素を含むことができる。実施の形態は、冗長性又は確証を要求する設計にて使用し又は使用しなくてよい１つ以上の磁気感知要素を含むこともできる。更に、その他の実施の形態は、より線形の出力を提供することを含む色々な理由のため、多数の磁気感知要素を異なる向きにて使用することができる。

実施の形態は、例えば、特定の角度に配置された磁界センサに入射する最大又は最小の磁束によって影響を受ける特定の向きにスロットルペダルのような装置がある、別個の事象（イベント）の表示を出力することができる。本発明の実施の形態は、事象の表示のような、２進信号及び例えば、回転量のような値を表示するアナログ信号を出力することができる。例えば、スロットルペダルが特定の点の前方又は後方にあることを確証するため、アイドル確証スイッチ（ＩＶＳ）を配置することができる。ペダルを押した量を表示するスロットルペダルの位置を表示するため加速位置センサ（ＡＰＳ）を配置することができる。磁気要素（１つ又は複数）は、例えば、感知された最大の磁束量にて事象を表示するため、任意の特定の位置に配置することができる。更に、磁束の照射量を増し得るよう磁気感知要素を任意の角度に配置することができる。

図１には、本発明の第一の説明した実施の形態の斜視図が示されている。回転位置センサ１０は、その内部にキャビティ１４を有する磁気要素１２を含むことができる。この又はその他の実施の形態において、キャビティは、磁気要素を完全に貫通するようにし又は貫通しなくてもよい。磁界センサ１６（その一部分のみを図示）をキャビティ１４内に配置することができる。磁気要素１２は、本体２０に画成された中空部１８内に配置することができる。中空体２０は、矢印２２で示すように、回転し得るようにすることができる。磁気要素１２の直線状の形状及び本体２０における同様の形状の中空部１８は、磁石の適正な向きを保証することができる点にてセンサの組み立てを助ける。１つの実施の形態において、本体２０は、キャビティ１４内にて磁界の強度を増し得るよう透磁性材料にて出来たものとすることができる。例えば、本体は、中実な金属の片にて出来たものとしてもよい。

図２ａ、図２ｂには、本発明の可能な実施の形態の作用を示す部分的な平面図が示されている。均一な磁界は、磁気要素１２のキャビティ１４内にて実質的に平行な線２４により示されている。磁界センサ１６は、キャビティ１４内にその中央にて又は中央付近に配置することができる。１つの実施の形態において、均一な磁界を乱すようなその他の要素は、キャビティ１４内に配置されていない。磁界は均一であるから、磁界センサ１６は、偏心位置を含む、キャビティ１４内のいずれの位置にも配置し、組み立てを容易にし且つ、コストを削減することができる。本発明は、磁気要素１２に対する磁界センサ１６の半径方向及び軸方向の変位の双方に対する許容性が大きい。

センサ１０は、例えば、信号を出力するか又は、磁気要素の位置に基づいてエンジンに燃料を提供するといったような、動作を実行するため、適宜な機器（図示せず）に連結し得る形態とすることができる。１つの実施の形態において、キャビティは、円形の穴又は開口とし、また、磁気要素に穴開けし又は成形することを含む色々な方法にて形成することができる。

図３ａ、図３ｂには、本発明の別の実施の形態の可能な作用を示す部分的な平面図が示されている。磁気要素３２は、キャビティ３４を含む。３つの磁界センサ３６ａ、３６ｂ、３６ｃをキャビティ３４内に配置することができる。均一な磁界は、ほぼ平行な線３８により表示することができる。図３ａには、第一の向きにある磁気要素３２が示されている。図３ｂには、第二の向きにある磁気要素３２が示されている。３つの磁界センサ３６ａ、３６ｂ、３６ｃの各々は、それぞれの各向きにて磁界センサ３６ａ、３６ｂ、３６ｃの各々を横断する実質的に同一数の線３８により表示されるものと実質的に同一量の磁束の変化による影響を受ける。この場合にも、本発明の色々な実施の形態において、磁界センサの数、寸法、配置、及び向きは、適用例に依存して変更することができる。

本発明の実施の形態は、互いに異なる向きにて多数の磁界センサを含むことができる。図４ａ、図４ｂには、本発明に従ったその他の実施の形態の可能な作用を示す部分的な平面図が示されている。磁気要素４２は、キャビティ４４を含む。第一の磁界センサ４６ａ及び第二の磁界センサ４６ｂは、例えば、互いに垂直な異なる向きにてキャビティ４４内に配置することができる。均一な磁界は、線４８にて示されている。図４ａには、第一の向きにて磁気要素４２が示されており、ここで、第一の磁界センサ４６ａは、磁界センサ４６ａを横断する相対的により多数の線４８により示したように、最大量の磁束による影響を受けることができる。第二の磁界センサ４６ｂは、磁界センサ４６ｂを横断するより少数の線４８により示したように、最小量の磁束による影響を受けることができる。

他方、図４ｂには、例えば、４５°のような、第二の向きにある磁気要素４２が示されており、ここにおいて、第一の磁界センサ４６ａ、及び第二の磁界センサ４６ｂの双方は、実質的に同一量の磁束による影響を受けることができる。磁気要素４２が第一の向きから第二の向きに動くと、第一の磁気センサ４６ａにおける磁束は減少し、第二の磁気センサ４６ｂにおける磁束は増大する。

図５には、本発明に従った別の実施の形態の部分的な側面図又は平面図が示されている。センサ５０は、キャビティ５４を画成する磁気要素５２を含むことができる。３つの磁界センサ５６ａ、５６ｂ、５６ｃは、例えば０°、６０°、１２０°というような異なる向きにてキャビティ５４内に配置することができる。磁気要素５２の回転に伴なう、磁界センサ５６ａ、５６ｂ、５６ｃに入射する磁束の変化は、正弦関数と近似するであろう。線５８で示した磁界が磁界センサ５６ｘの各々に対し約４５°の角度を形成するとき、磁界センサ５６ｘ（ｘは、ａ、又はｂ又はｃを表わす）の各々に対する１°の回転当たりの磁束の変化量は、最大で且つ最も直線状となるであろう。また、磁束線５８がある角度を形成するとき、磁界センサ５６ｘの各々が約０°ないし９０°回転するに伴ない、回転度当たりの磁束の変化量は最小で且つ最小直線状となるであろう。この一例としての実施の形態において、センサ５０の線形の出力は、出力の全体的な直線性を伸ばすため、異なる向きにて多数の磁気感知要素を使用して一層良く近似化することができる。

図６には、本発明に従った別の実施の形態の平面図が示されている。回転位置センサ６０は、キャビティ６４を有する磁気要素６２を含むことができる。磁束コンセントレータ６６は、磁気要素６２を実質的に取り囲むよう配置することができる。磁界センサ６８をキャビティ６４内に配置することができる。線７０は、キャビティ６４内の磁界強度を増大させることができる磁束コンセントレータ６６により集束された磁界を表わす。磁界は、キャビティを渡って実質的に均一である。磁気要素６２は、互いに実質的に平行である、真っ直ぐな又は直線状の頂端線７２及び真っ直ぐ又は直線の底端線７４を含むことができる。磁気要素は、リング形状の磁束コンセントレータ６６内に嵌まる形状とされた曲線状端部７６を有することができる。

この実施の形態又は任意の実施の形態において、磁気要素は、永久磁石とし又は任意の適した方法にて磁化することができる。磁気要素６２のキャビティ６４内の磁界７０は、完全に円形の磁石内の磁界と等しい強度とし又はより強力とすることができ、また、使用する磁気材料は少なくて済む。例えば、磁気要素６２は、完全な円形の磁石よりも使用する磁気材料が２４％少なく、キャビティ内の磁界強度は４％増大することが本発明者により実証されている。

図７には、本発明に従った別の実施の形態の分解等方位図が示されている。センサ８０は、磁束コンセントレータ６６を受け入れるキャビティ８６を画成するよう形成され又は組み立てられた受け入れ面８４を含むよう配置された、本体８２を含むことができる。キャビティ８６は、磁束コンセントレータ６６内に嵌まるよう配置され且つ、磁気要素６２を受け入れ得るよう配置された突出部８８を含む。キャビティ８６及び突出部８８は、コンセントレータ６６及び磁気要素６２を本体８２内にて確実に且つ強固に向き決めすることができる。突出部８８は、例えば、成形により下方面に形成することができ又は、その位置にスナップ嵌め装置、ねじ止め、ボルト止め又はピン止めを含むが、これらにのみ限定されないその他の方法にて追加することができる。

図８には、本発明の第４の実施の形態を示す側面図、又は平面図が図示されている。回転位置センサ９０は、キャビティ９４を有することができる磁気要素９２を含むことができる。磁束コンセントレータ９６は、磁気要素９２を実質的に取り囲むよう配置することができる。磁束コンセントレータ９６は、１つ又はより多くのキャビティ又は切欠き９８を含むことができ、このキャビティ又は切欠き内に、磁気要素の端部１００が嵌まり、このことは、取り付けを容易にし、適正に向き決めし、且つ確実な嵌まりを保証するのを助けることができる。端部１００は、図示するように曲線状とすることができる。頂端縁及び底端縁１０２は、直線状とすることができる。１つ又はより多くの磁界センサ１０４をキャビティ９４内に配置することができる。

図９には、本発明に従った第五の実施の形態を示す側面図又は平面図が図示されており、この場合、回転位置センサ１１０は、矩形又は四角形のような、完全に直線状の形状を有する磁気要素１１２を含む。磁気要素は、磁束コンセントレータ１１８内に画成されたキャビティ又は切欠き１１６内に嵌まる端部１１４を有しており、このことは、磁気要素１１２を磁束コンセントレータ１１８内に取り付け、適正に向き決めし且つ確実に嵌まることを容易にすることを保証することができる。磁束コンセントレータ１１２は、キャビティ１２０を有することができ、そのキャビティ１２０内にて、１つ又はより多くの磁界センサ１２２を配置することができる。

図１０には、本発明に従った別の一例としての実施の形態を示す側面図又は平面図が図示されており、この場合、回転位置センサ１３０は、湾曲し又はフィレット付き外隅部１３４を有する矩形又は四角形のような、直線状の形状を有することができる磁気要素１３２を含む。磁束コンセントレータ１３６は、同様であり且つ相応する内隅部１３８を有することができ、この内隅部１３８内に磁気要素１３２が嵌まることができ、このことは、磁気要素１３２を磁束コンセントレータ１３６内に取り付け、適正に向き決めし且つ確実に嵌めることを容易にすることを保証することになる。磁束コンセントレータ１３２は、キャビティ１４０を有することができ、このキャビティ１４０内に、１つ又はより多くの磁界センサ１４２を配置することができる。

図１１には、本発明に従った別の一例としての実施の形態を示す側面図又は平面図が図示されており、この場合、回転位置センサ１５０は、磁束コンセントレータ１５４のキャビティ１５６内に嵌まる突出部１５８を有する磁気要素１５２を含む。この配置は、磁気要素１５２を磁束コンセントレータ１５４内に取り付け、適正に向き決めし且つ確実に嵌めることを容易にすることを保証することになる。磁束要素１５２は、キャビティ１６０を有することができ、このキャビティ１６０内に、１つ又はより多くの磁界センサ１６２を配置することができる。

図１２には、本発明に従った別の一例としての実施の形態を示す側面図又は平面図が示されており、この場合、回転位置センサ１７０は、磁束コンセントレータ１７４内に配置された磁気要素１７２を含む。磁気要素１７２及び磁束コンセントレータ１７４の各々は、キー溝１７６の部分１７６ａ、１７６ｂを画成する。キー１７８は、キー溝１７６内に嵌まる寸法とされており、このことは、磁気要素１７２を磁束コンセントレータ１７４内に取り付け、適正に向き決めし且つ確実に嵌まることを容易にすることを保証することになる。磁束コンセントレータ１７２は、キャビティ１８０を有することができ、このキャビティ１８０内には、１つ又はより多くの磁界センサ１８２を配置することができる。

図１３には、本発明に従った別の一例としての実施の形態の側面図又は平面図が示されており、この場合、回転位置センサ１９０は、直線状の磁束コンセントレータ１９４内に配置することができる直線状の磁気要素１９２を含む。磁気要素１９２はキャビティ１９６を有することができる。磁界センサ１９８はキャビティ１９６内に配置することができる。任意のその他の実施の形態の要素は、この実施の形態の要素と、又は任意のその他の要素を含むが、これらにのみ限定されない要素と組み合わせて、適正な向き決め及び確実な嵌まり状態を保証し、また、多数の磁気感知要素を有することが可能であることが認識される。

図１４は、図１３の線１４−１４に沿った断面図である。この実施の形態において、厚さ２００は、キャビティの直径（図１３に図示）にほぼ等しく又はそれ以上とすることができる。かかる関係は、最適な性能を実現し、また、軸方向位置決め誤差に対する最小の感受性を実現することができる。

図１５は、本発明に従った別の一例としての実施の形態を示す角方位図である。センサ２１０は、矩形の磁束コンセントレータ２１４内に配置された矩形の磁気要素２１２を含む。磁気要素２１２を磁束コンセントレータ２１４内に確実に配置することができるよう、保持部２１６を配置することができる。保持部２１６は、例えば、成形により下面上に形成することができ、又は、保持部は、その位置にスナップ止めし又はねじ止めし、ボルト止めし又はピン止めすることを含むが、これらにのみ限定されない方法にて追加することができる。同様の構造の保持部を使用して磁束コンセントレータ２１４をその位置に保持し且つコンセントレータを確実に配置することができる。

図示した色々な実施の形態は、異なる数、形状、寸法及び向きの磁気感知要素を有し、また、色々な形状、寸法及び向きの磁気要素及び磁束コンセントレータを有するが、本発明の実施の形態は、そのように限定されるものではない。実施の形態は、磁気要素の寸法、キャビティの寸法、磁界の強度、磁界センサの感度に依存し且つ、センサが使用される方法に依存して、実施可能であるような、任意の数のセンサを含むことができる。色々な用途は、２つの独立的なセンサが使用される、二重加速器位置スイッチ（ＡＰＳ）／アイドル確証スイッチ（ＩＶＳ）センサを含むが、これらのみ限定されるものではない。実施の形態は、磁界センサの別の１つ又はより多くからの信号を確証する形態とされた１つ又はより多くの磁気センサを含むこともできる。

本発明の実施の形態は、磁気要素に対する磁界センサ、又はその逆に磁気センサの磁気要素に対する揺れのような静的及び動的な整合誤差に対し敏感でないことが分かった。実施の形態は、また、軸受ブッシュ、及びかみ合い面を含むが、これらに限定されないより緩い設計上の許容公差及びより経済的な部品を許容することもできる。一部の実施の形態は、適正で且つ確実な整合を保証する。特定の実施の形態は、低磁気材料に対し効果的である。特定の実施の形態は、１つ以上の磁界センサと共に使用することができる。

好ましい実施の形態を説明する目的のため、特定の実施の形態について図示し且つ本明細書に記載したが、当該技術の当業者には、図示し且つ説明した実施の形態に代えて、同一の目的を実現する設計とされた多岐に亙る代替的及び（又は）等価的な実施の形態又は実施例を使用することができることが理解されよう。当該技術の当業者は、本明細書に従った実施の形態は、極めて多岐に亙る態様にて実施することが可能であることが容易に理解されよう。本発明は、本明細書に記載した実施の形態の任意の適応化又は変更例を包含することを意図するものである。このため、本発明に従った実施の形態は、特許請求の範囲及びその等価物によってのみ限定されることを明白に意図するものである。

本発明の第一の説明した実施の形態の斜視図である。 ２ａは、本発明の実施の形態に従った磁気要素の１つの向きを示す説明した実施の形態のセグメントを示す図である。

２ｂは、本発明の実施の形態に従った磁気要素の別の向きを示す説明した実施の形態のセグメントの図である。
３ａは、本発明の実施の形態に従った磁気要素の１つの向きを示すその他の説明した実施の形態のセグメントの図である。 ３ｂは、本発明の実施の形態に従った磁気要素の別の向きを示すその他の説明した実施の形態のセグメントの図である。 ４ａは、本発明の実施の形態に従った磁気要素の１つの向きを示すその他の説明した実施の形態のセグメントの図である。 ４ｂは、本発明の実施の形態に従った磁気要素の別の向きを示すその他の説明した実施の形態のセグメントの図である。 本発明の実施の形態に従った磁気要素の２つの向きを示す説明した実施の形態のセグメントの図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 本発明の１つの実施の形態に従った斜視図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 本発明の１つの実施の形態に従った側面図又は平面図である。 図３の線１４-１４に沿った断面図である。 本発明に従った実施の形態の等方位図である。

Claims (20)

1. 位置センサにおいて、
   対向した直線状端縁を有し且つキャビティがその内部に配設された磁気要素であって、直線状の頂端縁と、直線状の底端縁と、曲線状の端部とを含む前記磁気要素と、
   磁気要素の周縁の回りにて少なくとも部分的に配設された磁束コンセントレータと、
   キャビティ内に配置された磁界センサとを備える、位置センサ。
2. 請求項１に記載の位置センサにおいて、キャビティ内に多数の磁界センサを更に備える、位置センサ。
3. 請求項２に記載の位置センサにおいて、多数の磁界センサの少なくとも１つは、多数の磁界センサの別のものからの信号を確証する形態とされる、位置センサ。
4. 請求項２に記載の位置センサにおいて、多数の磁界センサの各々は互いに異なる向きにある、位置センサ。
5. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁界センサは、アナログ値を出力する形態とされた第一の磁界センサであり、また、キャビティ内に配置され且つ２進信号を出力する形態とされた第二の磁界センサである、位置センサ。
6. 請求項１に記載の位置センサにおいて、曲線状端部は円弧状であり、磁束コンセントレータはリング形状であり且つ曲線状端部に対して同軸状であり、磁束コンセントレータは、曲線状端部と少なくとも部分的に接触している、位置センサ。
7. 請求項６に記載の位置センサにおいて、磁束コンセントレータは、少なくとも１つの切欠きを含むよう配置された内面を有し、磁気要素は、少なくとも１つの切欠き内に伸びる一部分を有する、位置センサ。
8. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁束コンセントレータは、２つの切欠きを含むよう配置された内面を有し、磁気要素は、各々が２つの切欠き内のそれぞれ一方内に嵌まるよう配置された２つの端部を有する、位置センサ。
9. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁気要素はキー溝の第一の部分を画成し、磁束コンセントレータは、キー溝の第二の部分を画成し、キー溝の第一の部分及びキー溝の第二の部分はキー溝を画成し、キー溝内に配置可能なキーを更に備える、位置センサ。
10. 請求項１に記載の位置センサにおいて、キャビティは直径を有し、磁気要素は、直径と実質的に同一か又はそれ以上である厚さを有する位置センサ。
11. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁束コンセントレータを受け入れるよう配置された中空体を画成するよう形成された受け入れ面と、
    磁束コンセントレータ及び磁気要素を受け入れるよう配置された中空体内の耳状突起とを有する本体を更に備える、位置センサ。
12. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁束コンセントレータはリング形状である、位置センサ。
13. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁束コンセントレータは、磁気要素の周縁の少なくとも一部分と接触する、位置センサ。
14. 請求項１に記載の位置センサにおいて、磁気要素は永久磁石である、位置センサ。
15. 回転位置センサにおいて、
    １つ又はより多くの直線状端縁を有し且つその内部にキャビティが配設された磁気要素であって、直線状の頂端縁と、直線状の底端縁と、曲線状の端部とを含む前記磁気要素と、
    １つ又はより多くの磁界センサから成る、キャビティ内に配置された要素とを備える、回転位置センサ。
16. 請求項１５に記載の回転位置センサにおいて、磁気要素を実質的に取り囲む磁束コンセントレータを更に備える、回転位置センサ。
17. 請求項１５に記載の回転位置センサにおいて、１つ又はより多くの磁界センサは、キャビティに対して互いから異なる向きとされた複数の磁界センサである、回転位置センサ。
18. 請求項１５に記載の回転位置センサにおいて、１つ又はより多くの磁界センサは複数の磁界センサであり、複数の磁界センサの少なくとも１つは、複数の磁界センサの別のものからの信号を確証する形態とされる、回転位置センサ。
19. 請求項１５に記載の回転位置センサにおいて、１つ又はより多くの磁界センサは複数の磁界センサであり、複数の磁界センサの少なくとも１つは、アナログ信号を出力する形態とされ、複数の磁界センサの別のものは、デジタル信号を出力する形態とされる、回転位置センサ。
20. 請求項１５に記載の回転位置センサにおいて、キャビティ内に配置された１つの磁界センサは偏心している、回転位置センサ。

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