JP4600033B2 - 保護シートの剥離治具 - Google Patents
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Description
請求項5に記載ように、上記保護シートの剥離治具は、前記半導体ウェハにおいて、前記保護シートとの貼り合わせ面側に、前記ダイシングのためのスクライブラインとは別に、空隙状態の溝が形成されている半導体ウェハに対して効果的である。
空隙状態の溝がある半導体ウェハでは、飛散した切り屑が空隙状態の溝に入り込んで、再付着し易い。このような半導体ウェハであっても、上記保護シートの剥離治具によれば、保護シートの剥離時に飛散する切り屑を真空吸引して半導体ウェハへの再付着を抑制することができる。
特に請求項6に記載ように、前記空隙状態の溝が、前記半導体ウェハを貫通していない場合には、飛散した切り屑が一旦空隙状態の溝に入り込むと抜け難いため、飛散する切り屑を真空吸引して再付着を抑制する上記保護シートの剥離治具が効果的である。
上記保護シートの剥離治具は、例えば請求項7に記載ように、前記半導体ウェハに、前記空隙状態の溝を介して変位可能に支持された慣性可動部を有する静電容量式の力学量センサが形成され、前記慣性可動部が、印加される力学量に応じて変位する重錘部と、前記重錘部に一体形成された櫛歯状の可動電極と、前記重錘部に連結し、前記力学量の印加による撓みで前記重錘部を力学量に応じて変位させる矩形枠状のばね部とを有してなり、前記可動電極と対向して櫛歯状の固定電極が形成されている場合に、効果的に適用することができる。
上記静電容量式の力学量センサにおいては、櫛歯状の可動電極と固定電極の間や矩形枠状のばね部に、微細で複雑な形状の空隙状態の溝が存在する。このような静電容量式の力学量センサが形成された半導体ウェハであっても、上記保護シートの剥離治具によれば、飛散する切り屑を真空吸引して半導体ウェハへの再付着を抑制することができる。
以上のようにして、上記保護シートの剥離治具は、保護シートの剥離時におけるダイシング切り屑の飛散を抑制することができ、飛散した切り屑の再付着に起因する半導体ウェハに形成された回路領域の特性不具合を低減することのできる剥離治具となっている。
また、上記保護シートの剥離治具によれば、請求項8に記載ように、前記ダイシング後の半導体ウェハにおける保護シートの貼り付け面と反対の面に、UVシートが貼り付けられていてもよい。これによって、切断形成された半導体チップの散らばりを防止することができる。
1s スクライブライン
1c 切断部
1d 切り屑
2 保護シート
2a ベースフィルム
2b 接着剤層
3,3a〜3g,103 吸引口
4 UVシート
91,92 静電容量式の力学量センサ
100 剥離治具
101 ウェハ移動ガイド
102,102a〜102d 保護シート剥離ガイド
Claims (8)
- 半導体ウェハに貼り付けられたダイシング時の保護シートを、前記半導体ウェハのダイシング後に剥離するための保護シートの剥離治具であって、
前記保護シートが貼り付けられた半導体ウェハを、一定の平面内において直線的に移動させるウェハ移動ガイドと、
前記ウェハ移動ガイドにより規定される前記半導体ウェハの移動平面の中間位置に設けられ、前記保護シートを、移動する前記半導体ウェハの後方に屈曲させて半導体ウェハから剥離する保護シート剥離ガイドとが備えられ、
前記保護シートの剥離時における前記半導体ウェハと保護シートの剥離先端近傍に、真空吸引するための吸引口が、前記半導体ウェハの移動方向の前方から、前記保護シート剥離ガイドによる前記保護シートの屈曲部に現れる前記半導体ウェハのダイシングの切断部に向かって設けられていることを特徴とする保護シートの剥離治具。 - 前記保護シート剥離ガイドによる前記保護シートの後方への屈曲角が、90°以上であることを特徴とする請求項1に記載の保護シートの剥離治具。
- 前記吸引口の開口面の法線方向が、前記半導体ウェハの移動平面の法線方向に対して、前記半導体ウェハの移動方向の前方に向かって、0°以上、45°以下の傾き角にあることを特徴とする請求項1または2に記載の保護シートの剥離治具。
- 前記吸引口が、複数個、設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の保護シートの剥離治具。
- 前記半導体ウェハには、
前記保護シートとの貼り合わせ面側に、前記ダイシングのためのスクライブラインとは別に、空隙状態の溝が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の保護シートの剥離治具。 - 前記空隙状態の溝が、前記半導体ウェハを貫通していないことを特徴とする請求項5に記載の保護シートの剥離治具。
- 前記半導体ウェハには、前記空隙状態の溝を介して変位可能に支持された慣性可動部を有する静電容量式の力学量センサが形成され、
前記慣性可動部が、印加される力学量に応じて変位する重錘部と、前記重錘部に一体形成された櫛歯状の可動電極と、前記重錘部に連結し、前記力学量の印加による撓みで前記重錘部を力学量に応じて変位させる矩形枠状のばね部とを有してなり、
前記可動電極と対向して櫛歯状の固定電極が形成されていることを特徴とする請求項5または6に記載の保護シートの剥離治具。 - 前記ダイシング後の半導体ウェハにおける保護シートの貼り付け面と反対の面に、UVシートが貼り付けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の保護シートの剥離治具。
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