JP4597730B2 - 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
表示領域と周辺領域とを有する透明絶縁基板と、
前記表示領域上に行列状に配置された多数の画素薄膜トランジスタであって、各画素薄膜トランジスタが、移動度が第1の方向で他の方向より高い多結晶半導体膜を用いて形成されたチャネルを含み、チャネル長方向が前記第1の方向に沿い、複数組の画素薄膜トランジスタのチャネルが夫々第1の方向に長い一定幅のストライプ状領域内に配置された多数の画素薄膜トランジスタと、
前記周辺領域中、前記ストライプ状領域の延長を含む周辺領域に配置され、移動度が第1の方向と交差する第2の方向で他の方向より高い多結晶半導体膜を用いて形成された多数の薄膜トランジスタを含む複数の周辺回路であって、前記複数の周辺回路の内少なくとも1つの周辺回路は、チャネル長方向が前記第2の方向に沿う高速動作薄膜トランジスタを含み、前記高速動作薄膜トランジスタのチャネルは、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている、複数の周辺回路と、
を有する薄膜トランジスタ基板が提供される。
表示領域と周辺領域とを有する透明絶縁基板上に非晶質半導体膜を堆積する工程と、
前記非晶質半導体膜をパターニングして島状非晶質半導体膜に整形する工程であって、前記表示領域においては第1の方向に長い一定幅の複数のストライプ領域内に夫々前記第1の方向にチャネル長方向を有する複数の画素薄膜トランジスタを形成するための島状半導体膜をパターニングし、前記周辺領域においては前記ストライプ領域の延長を含む周辺回路領域内に複数の周辺回路を形成する夫々複数の周辺回路薄膜トランジスタを形成するための島状半導体膜をパターニングする工程と、
前記周辺回路領域の島状半導体膜は、前記第1の方向と異なる第2の方向で移動度が高いように多結晶化し、前記表示領域の島状半導体膜は前記第1の方向で移動度が高いように多結晶化する多結晶化工程と、
多結晶化した島状半導体膜を用いて薄膜トランジスタを形成する工程と
を含み、
前記複数の周辺回路の内少なくとも1つの周辺回路は、チャネル長方向が前記第2の方向に沿う高速動作薄膜トランジスタを含み、前記高速動作薄膜トランジスタのチャネルは、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている、薄膜トランジスタ基板の製造方法が提供される。
表示領域と周辺領域とを有する透明絶縁基板上に非晶質半導体膜を堆積する工程と、
前記非晶質半導体膜をパターニングして島状非晶質半導体膜に整形する工程であって、前記表示領域においては第1の方向に長い一定幅の複数のストライプ領域内に夫々前記第1の方向にチャネル長方向を有する複数の画素薄膜トランジスタを形成するための島状半導体膜をパターニングし、前記周辺領域においては前記ストライプ領域の延長を含む周辺回路領域内に複数の周辺回路を形成する夫々複数の周辺回路薄膜トランジスタを形成するための島状半導体膜をパターニングする工程と、
前記表示領域の島状半導体膜を前記第1の方向で移動度が高いように多結晶化する第1の多結晶化工程と、
前記第1の多結晶化工程の後、前記周辺回路領域の島状半導体膜を前記第1の方向と異なる第2の方向で移動度が高いように多結晶化する第2の多結晶化工程と、
多結晶化した島状半導体膜を用いて薄膜トランジスタを形成する工程と
を含む、薄膜トランジスタ基板の製造方法が提供される。
EST ストライプ領域延長部
GL ゲートライン
DL ドレインライン
PXT 画素TFT
PX 画素電極
DRT 駆動回路TFT
CH チャネル
G ゲート電極
S ソース
D ドレイン
DRC 駆動回路
SI 島状シリコン膜
AR 活性領域
1 ガラス基板(透明絶縁基板)
2 窒化シリコン膜
3 酸化シリコン膜
4 非晶質シリコン膜
5 表示領域
6 ゲート側駆動回路領域
7 島状非晶質シリコン膜
7p 島状多結晶シリコン膜
8 (画素TFT用)多結晶シリコン膜
9 (ゲート側駆動回路TFT用)多結晶シリコン膜
10 酸化シリコン膜
11 Mo膜
12 酸化シリコン膜
13 Mo膜
17 酸化シリコン膜
18 窒化シリコン膜
20 電極層(Ti/Al/Ti積層)
22 オーバーコート層
23 ITO層
24 水平配向結晶粒
26 垂直配向結晶粒
30 CWレーザ光ビーム
31 ビームスプリッタ
32 分割ビーム
110 透明絶縁基板
111 表示領域
112 ドレイン側駆動回路
113 ゲート側駆動回路
Claims (9)
- 表示領域と周辺領域とを有する透明絶縁基板と、
前記表示領域上に行列状に配置された多数の画素薄膜トランジスタであって、各画素薄膜トランジスタが、移動度が第1の方向で他の方向より高い多結晶半導体膜を用いて形成されたチャネルを含み、チャネル長方向が前記第1の方向に沿い、複数組の画素薄膜トランジスタのチャネルが夫々第1の方向に長い一定幅のストライプ状領域内に配置された多数の画素薄膜トランジスタと、
前記周辺領域中、前記ストライプ状領域の延長を含む周辺領域に配置され、移動度が第1の方向と交差する第2の方向で他の方向より高い多結晶半導体膜を用いて形成された多数の薄膜トランジスタを含む複数の周辺回路であって、前記複数の周辺回路の内少なくとも1つの周辺回路は、チャネル長方向が前記第2の方向に沿う高速動作薄膜トランジスタを含み、前記高速動作薄膜トランジスタのチャネルは、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている、複数の周辺回路と、
を有する薄膜トランジスタ基板。 - 前記少なくとも1つの周辺回路がチャネル長方向が前記第2の方向に沿う複数の周辺回路薄膜トランジスタを含み、前記複数の周辺回路薄膜トランジスタのチャネルが、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている請求項1記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記少なくとも1つの周辺回路が、さらにチャネル長方向が前記第2の方向以外の方向に沿う他の周辺回路薄膜トランジスタを含み、前記少なくとも1つの周辺回路の全薄膜トランジスタのチャネルが、前記ストライプ領域以外の領域に配置されている請求項1または2記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記少なくとも1つの周辺回路の全周辺回路薄膜トランジスタを構成する半導体膜が、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている請求項1記載の薄膜トランジスタ基板。
- 前記少なくとも1つの回路がゲート制御回路のシフトレジスタである請求項1記載の薄膜トランジスタ基板。
- 表示領域と周辺領域とを有する透明絶縁基板上に非晶質半導体膜を堆積する工程と、
前記非晶質半導体膜をパターニングして島状非晶質半導体膜に整形する工程であって、前記表示領域においては第1の方向に長い一定幅の複数のストライプ領域内に夫々前記第1の方向にチャネル長方向を有する複数の画素薄膜トランジスタを形成するための島状半導体膜をパターニングし、前記周辺領域においては前記ストライプ領域の延長を含む周辺回路領域内に複数の周辺回路を形成する夫々複数の周辺回路薄膜トランジスタを形成するための島状半導体膜をパターニングする工程と、
前記周辺回路領域の島状半導体膜は、前記第1の方向と異なる第2の方向で移動度が高いように多結晶化し、前記表示領域の島状半導体膜は前記第1の方向で移動度が高いように多結晶化する多結晶化工程と、
多結晶化した島状半導体膜を用いて薄膜トランジスタを形成する工程と
を含み、
前記複数の周辺回路の内少なくとも1つの周辺回路は、チャネル長方向が前記第2の方向に沿う高速動作薄膜トランジスタを含み、前記高速動作薄膜トランジスタのチャネルは
、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている、薄膜トランジスタ基板の製造方法。 - 前記少なくとも1つの周辺回路がチャネル長方向が前記第2の方向に沿う複数の周辺回路薄膜トランジスタを含み、前記複数の周辺回路薄膜トランジスタのチャネルが、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている請求項6記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
- 前記少なくとも1つの周辺回路が、さらにチャネル長方向が前記第2の方向以外の方向に沿う他の周辺回路薄膜トランジスタを含み、前記少なくとも1つの周辺回路の全薄膜トランジスタのチャネルが、前記ストライプ領域以外の領域に配置されている請求項6または7記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
- 前記少なくとも1つの周辺回路の全周辺回路薄膜トランジスタを構成する半導体膜が、前記ストライプ領域の延長以外の領域に配置されている請求項6記載の薄膜トランジスタ基板の製造方法。
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