JP4589478B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク装置の記録媒体として好適な磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、高記録密度化に伴い磁気記録媒体には一層の高保磁力、低ノイズ化が求められている。低ノイズ化のためには、磁性膜の結晶粒の微細化が必須である。
磁性膜の結晶粒径は下地膜の結晶粒径に影響されるため、下地膜の結晶粒径を微細化することが有効である。下地膜の結晶粒径を微細化するために種々の金属層、合金層、酸化物層を下地膜と基板の間に設けることが試みられており、この層はシード層と呼ばれている。
【0003】
シード層の一つとして、B2構造を有するNiAlを用いる(米国特許第5693426号明細書)ことが報告されている。NiAlシード層を設けることにより、磁性膜の結晶配向が(10.0)を示すため、高い面内保磁力を得ることが可能となる。
【0004】
しかしこの場合でも、NiAlは高融点材料であってスパッタリング時の結晶粒の成長の度合いは低いとはいえ、NiAlシード層形成時にNiAlの結晶粒の成長を抑制することは難しいため、媒体ノイズは大きくは改善されなかった。
【0005】
本発明者は、NiAlシード層に酸素を添加することによって、NiAlの結晶粒成長を抑制できる(特開平11−339244号公報)ことや、NiAlシード層を設け、さらに磁性層を中間層によって分割する(特開平11−328646号公報)ことによって媒体ノイズが改善できることを先に示した。
しかし、急速な高記録密度化にともない、さらに媒体ノイズ(Nm)の低い磁気記録媒体が求められている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、媒体ノイズ(Nm)が低く、媒体ノイズに対する信号出力の比(S/Nm)の高い高密度の記録再生が可能な磁気記録媒体を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、非磁性基板上にN(窒素)を含むアモルファス膜(以下、第1シード層と書くことがある)、結晶構造としてB2構造を有する膜(以下、第2シード層と書くことがある)およびCr膜もしくはBCC構造を有するCr合金膜(以下、該Cr膜もしくは該Cr合金膜をまとめて下地膜層と書くことがある)がこの順に設けられ、さらに該Cr膜もしくは該Cr合金膜の上にCoを主成分とする磁性膜を有することを特徴とする磁気記録媒体を提供する。
【0008】
本発明における第1シード層は、窒素を含有するアモルファス合金からなっており、材料としてNiTaN、NiWN、NiNbN、NiZrN、NiMoN、CoTaN、CoWN、CoMoN、CoNbNおよびCoZrNからなる群から選ばれた1種を使用できる。
【0009】
第1シード層に含有されるNは媒体ノイズ(Nm)を低減させる効果を有する。また、第1シード層の膜厚は0.5nm以上5nm以下であることが好ましい。膜厚が0.5nm未満の場合にはノイズ低減の効果が十分ではない。また、5nmを超えるとノイズ低減の効果は認めがたく、また、保磁力の低下や磁気記録媒体として必要な分解能、孤立再生波時間半値幅(PW50)といった特性が悪くなる。これらの観点から好ましくは0.5nm以上5nm以下、さらに好ましくは1nm以上4nm以下である。
【0010】
本発明における第2シード層の材料として、結晶構造としてB2構造を有するNiAl、NiAlRu、NiAlNd、NiAlCr、NiAlPt、CoTi、CoAlおよびCoZrからなる群から選ばれた少なくとも1種を使用できる。
【0011】
本発明における下地膜層の材料として、Cr、CrMo、CrV、CrW、CrTa、CrMnおよびCrTiからなる群から選ばれた少なくとも1種を使用できる。
【0012】
本発明における磁性膜として、Coを主成分とし、さらにCrとPtとBとを含む合金からなる磁性膜を選択できる。また前記Cr、PtおよびCrに加えて、Ta、Mo、W、Nb、V、Zr、CuおよびTiからなる群から選ばれる少なくとも1種を含む合金からなる磁性膜を選択できる。
【0013】
本発明における非磁性基板は、アルミニウム合金、ガラス、結晶化ガラスなどの材料からなる基板から選択できる。
上記した磁性膜の上にさらに保護膜、潤滑膜を設けることにより、本発明の磁気記録媒体を得ることができる。
保護膜としては、例えば炭素系の材料を、潤滑膜としては、例えばパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を使用できる。
【0014】
本発明は、基板上に上記した第1シード層を設けることにより、その上の第2シード層の結晶粒径および膜生成が適切に制御され、それにより該第2シード層の上に形成される下地膜層および磁性膜の結晶粒径および膜生成が適切に制御される。
【0015】
【実施例】
[例1]
スパッタリング室内を到達真空度3×10-6Paまで排気した後、下記のように0.6Paの雰囲気かつ基板温度220℃で基板バイアスを印加せず成膜を行った。
【0016】
アルミノシリケートガラスからなる非磁性基板上に、まずCo50Ta50(各成分量は原子%、以下同じ)からなるターゲットを用い、アルゴンと窒素の混合ガスをスパッタリング室内に導入し圧力を0.6Paとし、窒素濃度を0%〜4%の範囲(%はアルゴンと窒素の混合ガスに対する窒素ガスの容積比、以下同じ)で変化させながらマグネトロンスパッタリング法により成膜を行い、第1シード層(膜厚:2nm)を形成した。
【0017】
次に該第1シード層の上に、B2構造を有するNi50Al50からなるターゲットを用い、アルゴンガスを導入し圧力を0.6Paとし第2シード層としてB2構造を有するNiAl層(膜厚:30nm)を形成した。
次に第2シード層の上にCr80Mo20のターゲットを用い下地膜層としてCrMo層(膜厚:10nm、BCC構造)を形成した。
【0018】
次に前記CrMo層上にCo64Cr22Pt11B3 からなる磁性膜を20nmの膜厚で形成し、その上に炭素系保護膜、パーフルオロポリエーテル系潤滑膜を設けて本発明の磁気記録媒体の例1の試料とした。
上記第1シード層(窒素濃度を0%の場合を除く)はオージェ電子分光分析(AES)によりCoTaNの構成をもつこと、またX線回折により上記第1シード層はアモルファスであることが同定された。
【0019】
上記試料について、保磁力Hcを測定した。高記録密度媒体にとって高保磁力は必須である。
図1に窒素濃度を0%〜4%の範囲で変化させたときの保磁力Hc(kA/m)の変化を示す。窒素添加により、この窒素濃度範囲では保磁力Hcの大きな変化は認められない。
【0020】
図2に窒素濃度を0%〜4%の範囲で変化させたときの媒体ノイズNm(mV2 )と媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nm(dB)の変化を示す。2〜3%濃度の窒素添加により、媒体ノイズNmが低減し、媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nmが改善された。
【0021】
上記例1で示すように、窒素を含む第1シード層を設けることにより、保磁力Hcの大きな変化はなく、一方媒体ノイズNmが低減し、媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nmが改善されることがわかる。
【0022】
[例2]
スパッタリング室内を到達真空度3×10-6Paまで排気した後、下記のように0.6Paの雰囲気かつ基板温度220℃で基板バイアスを印加せず成膜を行った。
【0023】
アルミノシリケートガラスからなる非磁性基板上に、まずCo50Ta50からなるターゲットを用い、アルゴンと窒素の混合ガスをスパッタリング室内に導入し圧力を0.6Paとし、窒素濃度を3%として、マグネトロンスパッタリング法により成膜を行い、第1シード層を膜厚0nm〜10nmの範囲で変化させ形成した。
【0024】
次に該第1シード層の上に、B2構造を有するNi50Al50からなるターゲットを用い、アルゴンガスを導入し圧力を0.6Paとし第2シード層としてB2構造を有するNiAl層(膜厚:30nm)を形成した。
次に第2シード層の上にCr80Mo20のターゲットを用い下地膜層としてCrMo層(膜厚:10nm、BCC構造)を形成した。
【0025】
次に前記CrMo層上にCo64Cr22Pt11B2 Cu1 からなる磁性膜を20nmの膜厚で形成し、その上に炭素系保護膜、パーフルオロポリエーテル潤滑膜を設けて本発明の磁気記録媒体の例2の試料とした。
上記第1シード層はAESによりCoTaNの構成をもつこと、またX線回折により上記第1シード層はアモルファスであることが同定された。
【0026】
図3に第1シード層CoTaNの膜厚を変化させたときの保磁力Hc(kA/m)の変化を示す。第1シード層CoTaNの膜厚の増加とともに保磁力Hcは低下する傾向にあるが、その程度は緩やかである。
【0027】
図4に第1シード層CoTaNの膜厚を変化させたときの媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nmの変化を示す。S/Nmは第1シード層CoTaNの膜厚が0〜2.5nmの範囲で増加し、その後低下する傾向を示すが、膜厚0.5nm以上5nm以下の範囲で第1シード層を設けない場合(膜厚0)に比べて向上している。
【0028】
このS/Nmが向上する膜厚0.5nm以上5nm以下の範囲における保磁力Hcの低下は、図3からわかるように10kA/m程度とわずかな値であり、上記膜厚の範囲におけるHcの平均値約315kA/mと比べて大きな問題ではない。
【0029】
これらから、膜厚が0.5nm以上5nm以下、特に1nm以上4nm以下の薄い第1シード層を設けることにより、保磁力Hcを大きく低下させることなく、S/Nmを向上させうることがわかる。
【0030】
【発明の効果】
本発明の磁気記録媒体は、非磁性基板上にNを含むアモルファス膜、B2構造を有する膜およびCr膜もしくはBCC構造を有するCr合金膜がこの順に設けられ、さらに該Cr膜もしくは該Cr合金膜の上にCoを主成分とする磁性膜を有することにより、保磁力を大きく低下させることなく、媒体ノイズNmが改善され、媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nmが改善された特徴を有する磁気記録媒体である。
【図面の簡単な説明】
【図1】保磁力Hcと第1シード層成膜時の成膜雰囲気の窒素濃度との関係を示す図。
【図2】媒体ノイズNmおよび媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nmと第1シード層成膜時の成膜雰囲気の窒素濃度との関係を示す図。
【図3】保磁力Hcと第1シード層膜厚との関係を示す図。
【図4】媒体ノイズに対する信号出力の比S/Nmと第1シード層膜厚との関係を示す図。
Claims (5)
- 非磁性基板上に、窒素を2〜3%の濃度で含む成膜雰囲気で形成したNを含み膜厚が0.5nm以上5nm以下であるアモルファス膜、B2構造を有する膜およびCr膜もしくはBCC構造を有するCr合金膜がこの順に設けられ、さらに該Cr膜もしくは該Cr合金膜の上にCoを主成分とする磁性膜が設けられており、前記Nを含むアモルファス膜が、CoTaNからなることを特徴とする磁気記録媒体。
- 前記B2構造を有する膜がNiAl、NiAlRu、NiAlNd、NiAlCr、NiAlPt、CoTi、CoAlおよびCoZrからなる群から選ばれた少なくとも1種からなる請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記BCC構造を有するCr合金膜がCrMo、CrV、CrW、CrTa、CrMnおよびCrTiからなる群から選ばれた少なくとも1種からなる請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 前記Coを主成分とする磁性膜がCoとCrとPtとBとを含む合金からなる請求項1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体。
- 前記CoとCrとPtとBとを含む合金が、さらにTa、Mo、W、Nb、V、Zr、CuおよびTiからなる群から選ばれる少なくとも1種を含む合金である請求項4に記載の磁気記録媒体。
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