JP4588245B2 - 半導体チップ装着方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波振動を作用させてバンプを介して、半導体チップに相当するいわゆるベアチップの装着を行なう半導体チップ装着装置、及び該半導体チップ装着装置にて実行される半導体チップ装着方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハから切り分けられた半導体チップである、いわゆるベアチップを回路形成体上へ電気的に接続しかつ固定する方法として、ベアチップ及び回路形成体のいずれか一方に形成されたバンプと、いずれかの他方における電極箇所とを接合する方法がある。以下では、ベアチップの電極に形成したバンプを回路形成体上の電極部へ接合する方法を例に採る。又、上記回路形成体として回路基板を例に採る。
このようなバンプ接合方法を実行する装置として、図23に示すベアチップ装着装置1が存在する。該ベアチップ装着装置1は、大別して、ベアチップ供給装置2、ボンディングステージ3、部品反転装置4、バンプ接合装置5、及び回路基板搬送装置6を備える。
【0003】
上記ベアチップ供給装置2は、半導体ウエハより切り分けたベアチップを供給する装置であり、上記回路基板搬送装置6は当該ベアチップ装着装置1へ回路基板20を搬入、搬出する装置である。上記ボンディングステージ3は、上記回路基板搬送装置6にて搬入された上記回路基板20を載置して上記バンプ接合を行うためのステージであり、Y軸ロボット7にてY方向へ可動であり、又、バンプ接合のため上記回路基板20の加熱を行う。上記部品反転装置4は、上記ベアチップ供給装置2から図25に示すベアチップ150を保持し該ベアチップ150の電極13に形成されているバンプ11が上記ボンディングステージ3に載置されている上記回路基板20に対向するように、保持したベアチップ150を反転する装置である。上記バンプ接合装置5は、上記ベアチップ150を保持する保持装置と、保持したベアチップ150をその厚み方向へ移動させるZ方向駆動装置51と、詳細後述する超音波振動発生装置9とを備える。該バンプ接合装置5は、X軸ロボット8に取り付けられ、該X軸ロボット8にてX方向へ可動であり、上記部品反転装置4から上記ベアチップ150を受け取り上記ボンディングステージ3へ搬送した後、上記ボンディングステージ3に載置されている上記回路基板20の所定位置へ、保持しているベアチップ150を上記Z方向駆動装置51の駆動により押圧するとともに超音波を加えて上記バンプ11の接合を行う装置である。
【0004】
尚、上記回路基板20の電極部21へ押圧される前における上記バンプ150は図25に示すような形状であり、直径寸法Iは、約100μmであり、ベアチップ150の電極13上における土台部分11aの高さ寸法IIIは約30〜35μmであり、全高寸法IIは約70〜75μmである。又、上記押圧後のつぶれた上記バンプ(以後、つぶれたバンプ11に対して符号「12」を付す)は、図26に示すような形状であり、バンプ12の高さ寸法IVは、上記土台部分11aの高さ寸法IIIにほぼ等しい。
【0005】
又、上記回路基板20上へ接合すべきベアチップ150の位置合わせは、上記X軸ロボット8及び上記Y軸ロボット7にて行われる。
又、上記バンプ11の接合を行うとき、上記バンプ11を上記Y方向又はX方向へ振動させて上記バンプ11と回路基板20側の電極部21との間に摩擦熱を発生させて、上記ボンディングステージ3の加熱温度の低減を図りかつ上記バンプの接合を強固なものにするため、上記バンプ接合装置5には上記バンプを振動させるための超音波振動発生装置9を備えている。該超音波振動発生装置9は、図24に示すように、圧電素子91と該圧電素子91が一端部に接続される超音波ホーン92とを備え、圧電素子91を複数積層しており、これらの圧電素子91に電圧が印加されることで超音波振動を発生し、発生する例えば上記Y方向への振動を超音波ホーン92にて増幅する。超音波ホーン92の他端部にはノズル93が固定されている。該ノズル93の先端部分は、ベアチップ150を吸着保持するチップ保持部95を形成している。このような構成において、圧電素子91の上記振動により、ノズル93及びチップ保持部95、即ちチップ保持部95に保持されているベアチップ150が上記Y方向へ超音波振動する。尚、圧電素子91は例えば上記Y方向へ振動するが、発生した振動が上記ベアチップ150へ伝導する過程にて種々の方向への振動が生じ、上記ベアチップ150では主たる振動方向は上記Y方向であるが実際には種々の方向へ振動している。
【0006】
上述のような従来のベアチップ装着装置1では、上記ボンディングステージ3にて約150℃に加熱された上記回路基板20に対して上記ベアチップ150の上記バンプ11を押圧した後、上記ベアチップ150を介して上記バンプ11を超音波振動して上記バンプ11と上記電極部21との間に摩擦熱を発生させて上記接合を行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記超音波振動の印加により、特に、バンプ11と電極部21とが接合し始めると、ベアチップ150が振動し難くなることから、ベアチップ150とチップ保持部95との接触部分にてベアチップ150に対してチップ保持部95が擦れる場合がある。よって接合動作を繰り返す内に、チップ保持部95のチップ接触面95aには、ベアチップ150の材料であるSiが例えば図27に示すような形状にて堆積して固着しチップ接触面95aが汚れる。このようなチップ接触面95aの汚れは、チップ保持部95とベアチップ150との接触面積を減少させることから、チップ保持部95とベアチップ150との間の摩擦力が低下する。よって、チップ保持部95の超音波振動がベアチップ150に有効に作用しなくなり、その結果、規定の接合強度を得られず、ベアチップ150と回路基板20との接合品質が低下するという問題が生じる。
又、ベアチップ150とチップ保持部95との擦れの発生により、チップ保持部95が例えばステンレス鋼にて作製されているときでさえ、上記チップ接触面95aは削られ、図28に誇張して図示するように、チップ接触面95aにはベアチップ150の大きさに対応した窪み96が形成されてしまう。該窪み96は、上記汚れの場合と同様にチップ保持部95とベアチップ150との接触面積を減少させる場合や、逆に、ベアチップ150を嵌め込んだ状態となったときには通常に比して強い振動を作用させることになることから、バンプ11が規定値を超えて潰れてしまう場合を生じさせる。いずれの場合においても上記接合品質の低下を招くという問題がある。
【0008】
上述のような接合品質の低下を防止するため、従来、ベアチップ装着装置1の例えばベアチップの装着回数等に基づいて作業者の経験により、チップ接触面95aの洗浄や、チップ保持部95の交換が行なわれている。しかしながら、作業者の経験に頼ることから、接合品質の均一化を図るのは困難であった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、超音波振動を作用させてバンプを介して半導体チップの装着を行なう半導体チップ装着装置において、従来に比べて接合品質の均一化が図れる半導体チップ装着装置、及び該半導体チップ装着装置にて実行される半導体チップ装着方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1態様の半導体チップ装着方法は、半導体ウエハより切り分けた半導体チップと回路形成体とを押圧しながら相対的に振動させて上記半導体チップの電極と上記回路形成体の電極部とをバンプを介して接合する半導体チップ装着方法において、
上記半導体チップと上記回路形成体とを相対的に振動させる振動発生装置におけるインピーダンス値の変化に基づいて、上記振動発生装置に接続される判定装置にて上記振動の変化を検出し、
検出した振動変化、及び上記回路形成体への上記半導体チップの装着回数に基づいて、上記半導体チップを保持するチップ接触面の汚れ及び変形の有無を上記判定装置にて判定し、
上記判定装置では、押圧動作により上記インピーダンス値が低下した後、上昇してくるインピーダンス値に上昇の閾値を設け、この閾値を超えなければ上記チップ接触面に汚れありと判断し、あるいは上記半導体チップの電極と上記回路形成体の電極部との押圧後、経過時間と上記インピーダンス値の変化とによる上記インピーダンス値の上昇割合が正常状態に比べて大きい場合に上記チップ接触面の変形有りと判断し、
汚れ有りと判断されたときは、上記チップ接触面の洗浄を行い、上記チップ接触面の変形有りと判断されたときは、上記チップ接触面を有するチップ保持部の交換を促す、
ことを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態における、半導体チップ装着装置、及び該半導体チップ装着装置にて実行される半導体チップ装着方法について、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において同じ構成部分については同じ符号を付している。
又、「半導体チップ」は、本実施形態では、シリコンウエハ等の半導体基板上に集積回路を形成し該集積回路の電極にバンプが形成され、さらに個々の上記集積回路部分に切り分けられた、いわゆるベアチップである。
又、「回路形成体」とは、樹脂基板、紙−フェノール基板、セラミック基板、ガラス・エポキシ(ガラエポ)基板、フィルム基板等の回路基板、単層基板若しくは多層基板などの回路基板、部品、筐体、又は、フレーム等、回路が形成されている対象物を意味する。尚、本実施形態では、上記回路基板を例に採る。
【0020】
又、「振動変化検出装置」の機能を果たす一例として、下記の、実施形態においては超音波装置133に備わるインピーダンス測定装置1332の振動成分電流分離部や、測長装置が相当するが、これらに限定されるものではない。
又、「判定装置」の機能を果たす一例として、制御装置が相当するが、これに限定されるものではない。
又、「振動発生装置」の機能を果たす一例として本実施形態ではバンプ接合装置105に備わり圧電素子91を有する超音波振動発生装置9が相当するが、これに限定されるものではない。
さらに振動について、上記バンプと回路基板の電極部との間に摩擦熱が発生しボンディングステージによる上記回路基板の加熱温度を低下させることができるような振動であれば良く、上記超音波振動に限定されるものではない。又、振幅値としては、最低約0.5μm程度である。
【0021】
又、以下に説明する実施形態では、バンプは上記半導体チップに形成されており該バンプを回路形成体上の電極部へ接合する場合を例に採るが、本発明の実施形態における半導体チップ装着装置及び方法は、これに限定されるものではなく、上述の場合とは逆の場合、つまり図19に示すように回路基板20上の電極部21にバンプ11を形成した場合を含めて、電子部品及び回路基板のいずれか一方に形成されたバンプと、いずれか他方における電極箇所とを接合させるときに適用可能である。
【0022】
図1に示すように、上記実施形態のバンプ接合判定装置を有する半導体チップ装着装置101の構造は、基本的に上述したベアチップ装着装置1の構造に類似するが、半導体チップ装着装置101では詳細後述する、バンプ接合装置のチップ接触面の不良、例えば汚れ又は変形の判定を実行する制御装置110を備えた点が特徴となる。即ち、半導体チップ装着装置101は、大別して、バンプ接合装置105、及び制御装置110を備え、さらに洗浄装置161、部品供給装置102、ボンディングステージ103、部品反転装置104、回路基板搬送装置106、認識装置171を備えることもできる。
【0023】
ここで、上記部品供給装置102は上述した従来のベアチップ供給装置2に相当し、上記ボンディングステージ103は上述した従来のボンディングステージ3に相当し、上記部品反転装置104は上述した従来の部品反転装置4に相当し、上記バンプ接合装置105は上述した従来のバンプ接合装置5に相当し、上記回路基板搬送装置106は上述した従来の回路基板搬送装置6に相当する。よって、部品供給装置102、ボンディングステージ103、部品反転装置104、バンプ接合装置105、及び回路基板搬送装置106について、以下に示すように補足説明を加えるものを除き、ここでの詳しい説明は省略する。
【0024】
上記部品供給装置102には、上述のように半導体ウエハに形成された集積回路の電極13にバンプ11が形成され、さらに個々の集積回路部分にダイシングされた状態のウエハ112がマガジンリフタから供給される。部品供給装置102は、ウエハ112のいわゆる引き延ばしを行い個々の上記半導体チップ150に分割する。又、部品供給装置102に供給されたウエハ112及び個々の上記半導体チップ150の状態は、部品供給装置102の上方に設置されたウエハ認識装置113にて撮像され、その撮像情報は制御装置110に供給される。
尚、上記ウエハ112では、当然に、上記バンプを有する回路形成部分が上を向いている。そして、分割された上記半導体チップ150のそれぞれは、部品供給装置102に備わる突き上げ装置にて上記半導体チップ150の厚み方向に突き上げられた後、部品反転装置104にて一つずつ保持され、上記バンプ11が回路基板20の電極部21に対向するように反転される。又、バンプ11の材料は、本実施形態では金である。
【0025】
上記ボンディングステージ103は、図5に示すように、いわゆるボールねじ構造にてなり駆動部の一例としてのモータ114を有するY軸ロボット107にて、Y方向へ滑動する。又、ボンディングステージ103は、回路基板搬送装置106から供給される回路基板20の大きさに応じて、該回路基板20をボンディングステージ103上に載置するため、上記回路基板20のY方向に沿った周縁部分を保持しX方向に可動な基板規正部115と、上記回路基板20のX方向に沿った周縁部分を保持しY方向に可動な基板規正部116とを備える。又、上記ボンディングステージ103には、上記回路基板20を吸着保持するための吸入用通路が形成されており上記吸入用通路は吸引装置117に連通している。又、バンプ接合のために上記回路基板20を約150℃に加熱する加熱装置118が備わる。
【0026】
バンプ接合装置105は、図24を参照して上述したように、下端部分に超音波振動発生装置9及びノズル93を備える。該ノズル93の先端部には、上記半導体チップ150を保持し半導体チップ150に接触する上記チップ接触面95aを有するチップ保持部95が備わる。本実施形態では、上記チップ接触面95aの面積は、保持する半導体チップ150の面積よりも大きい。
上記超音波振動発生装置9を構成する圧電素子91は、図2及び図3に示すように、超音波装置133を介して制御装置110に接続される。詳細後述するが制御装置110は、圧電素子91におけるインピーダンスの変化を検出することで上記チップ接触面95aの不良、本実施形態ではチップ接触面95aの汚れ又は変形の有無若しくは上記汚れ及び変形の有無を判定する。又、以下の説明では、主に上記汚れを例に採り説明する。尚、図3では、バンプ接合装置105について圧電素子91及び超音波ホーン92周りのみを図示している。
【0027】
上記超音波装置133は、上記圧電素子91に接続され圧電素子91を発振させる発振器1331と、インピーダンス測定装置1332とを備える。インピーダンス測定装置1332は、図4に示すように、発振素子91へ供給される電流を振動成分電流と熱成分電流とに分離して制御装置110にて上記振動成分電流に基づき上記発振素子91におけるインピーダンスを測定する。上記インピーダンス測定装置1332は、図4の等価回路にて示される構成をなし、コンデンサ1333部分の振動成分電流分離部と、コイル1334部分、コンデンサ1335部分、抵抗1336部分から構成される熱成分、即ち損失成分の電流分離部とを有し、上記振動成分電流分離部にて分離された上記振動成分電流のみを制御装置110へ送出する。本実施形態では、上記コンデンサ1333は、1.22712nFであり、上記コイル1334は20.9407mHであり、上記コンデンサ1335は295.144pFであり、上記抵抗1336は10.6797Ωに設定している。尚、このように振動成分電流及び損失成分電流を分離する動作及び構成は、既に公知であるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【0028】
さらに、図24に示すように上記ノズル93には、本実施形態では上記半導体チップ150を吸着保持するための吸引用通路94がノズル93内をその軸方向に沿って形成させており、該吸引用通路94は吸引装置119に連通している。又、本実施形態では、上記バンプ11と上記回路基板20の電極部21とを接合するため、上記電極部21に対して上記バンプ11を対向させてバンプ11と上記電極部21とが互いに近接する方向(本実施形態では、Z方向)へ上記半導体チップ150を移動し、バンプ11と上記電極部21とを押圧する。よって、上記半導体チップ150を移動、押圧の駆動装置として本実施形態では、図2に示すように、公知のボイスコイルモータ(VCM)121を用いている。さらにバンプ接合装置105には、ノズル93をその軸周り方向へ回転させる軸回り用モータ122を備えている。バンプ接合装置105の動作制御は制御装置110にて行われる。
このようなバンプ接合装置105をX軸方向へ移動させるX軸ロボット108は、本実施形態では図2に示すようにいわゆるボールねじ構造を有し、駆動部としてのモータ123を有する。
【0029】
上記認識装置171は、上記チップ接触面95aを撮像可能に配置される撮像カメラ172と、該撮像カメラ172から供給される撮像情報を解析する解析部とを有する。本実施形態では、上記解析部は制御装置110に含まれている。
【0030】
上記洗浄装置161は、上記ボンディングステージ103に並設され、上記チップ接触面95aの上記汚れを除去する装置であり、図6に示すように、いわゆるボールねじ構造にてなり駆動部の一例としてのモータ1621にてY方向へ滑動するYテーブル1622を有する洗浄用Y軸ロボット162を備える。尚、上記モータ1621は、制御装置110にて動作制御される。Yテーブル1622上には、洗浄用部材の一例として本実施形態では、いわゆるサンドペーパ等の研磨部材163が貼付されている。尚、研磨部材163は、粗さ8000〜10000番程度のものがよい。
【0031】
このように構成される洗浄装置161は、図6から図8に示すように動作する。即ち、上記チップ接触面95aの洗浄を行うときには、まず、チップ接触面95aを研磨部材163上に位置させるため、図6に示すように、上記X軸ロボット108にてバンプ接合装置105をX軸方向へ移動させるとともに、洗浄用Y軸ロボット162にてYテーブル1622をY軸方向に移動させる。研磨部材163の上方にチップ接触面95aが配置されたところで、図7に示すように、バンプ接合装置105にてチップ保持部95をZ方向に移動させ、チップ接触面95aを研磨部材163に接触させる。チップ接触面95aと研磨部材163とが接触した状態にて、図8に示すように、X軸ロボット108を動作させてバンプ接合装置105をX軸方向に往復動させるとともに、洗浄用Y軸ロボット162を動作させてYテーブル1622をY軸方向に往復動させる。該動作にて、チップ接触面95aは、研磨部材163にて研磨され、チップ接触面95aの汚れを除去することができる。
【0032】
又、上記洗浄装置161として、図9に示すように、洗浄液を入れた洗浄用容器164を設けることもできる。上記洗浄液として、例えばアセトン等の溶剤を用いることができる。上記洗浄用容器164を設けることで、上記研磨動作を行う代わりに、又は研磨動作と並行して、チップ保持部95を上記洗浄液に漬けることでチップ接触面95aの汚れを除去することもできる。
【0033】
チップ接触面95aの汚れを洗浄するため、本実施形態では上述のように、チップ接触面95a及び研磨部材163の両方を移動させたが、該動作に限定されるものではない。即ち、チップ接触面95a及び研磨部材163のいずれか一方を移動させてもよいし、又、さらに超音波振動発生装置9を動作させてチップ接触面95aに超音波振動を生じさせてもよい。又、X軸ロボット108及び洗浄用Y軸ロボット162は動作させず、上記超音波振動のみをチップ接触面95aに作用させて上記洗浄動作を行っても良い。
【0034】
このようにチップ接触面95aの洗浄方法には、いくつかの形態が考えられ、例えば上記汚れの程度にて、どの洗浄方法を採るかを制御装置110にて選択するように構成することもできる。上記汚れの程度の判断基準としては、上記超音波装置133に備わるインピーダンス測定装置1332にて測定されたインピーダンス変化や、上記認識装置171にてチップ接触面95aを撮像しその認識結果等を用いることができる。
【0035】
又、上記汚れの程度に応じて、制御装置110は、X軸ロボット108によるバンプ接合装置105のX軸方向への移動量、及び洗浄用Y軸ロボット162によるYテーブル1622のY軸方向への移動量、さらに超音波振動発生装置9によるチップ接触面95aの超音波印加量を制御することができる。又、同じ洗浄動作を行なっても、チップ接触面95aの面積の大小によってチップ接触面95aの洗浄良否に差が生じることから、上述のX軸方向、Y軸方向への移動量、及び上記超音波印加量は、チップ接触面95aの面積に応じて制御することもできる。
【0036】
上記制御装置110は、上述したそれぞれの装置、例えば部品供給装置102、ボンディングステージ103、部品反転装置104、ボイスコイルモータ121及び圧電素子91を含めたバンプ接合装置105、回路基板搬送装置106、洗浄装置161等と電気的に接続され、それぞれの動作制御を行う。
【0037】
又、本実施形態における制御装置110では、図3に示すように、上記超音波装置133との関係において、チップ接合面95aの不良を判定する判定装置の一例としてのクリーニング要否判定装置1101と、不良情報の一例としてのクリーニング情報を格納する格納部1102と、半導体チップ150の回路基板20への装着回数を計数する装着回数カウンタ1104とを有する。上記クリーニング要否判定装置1101は、上記インピーダンス測定装置1332にて測定された圧電素子91におけるインピーダンス値の変化、及び装着回数カウンタ1104の計数値に基づいて、上記チップ接触面95aの汚れを除去するための洗浄動作が必要か否かを判断する。上記インピーダンス値の変化のみならず、上記装着回数カウンタ1104の計数値も判断要素とする理由は、上記汚れ及び変形は、複数回にわたり半導体チップ150を回路基板20へ装着することで生じる現象であることから、例えば第1回目の装着動作において不良のインピーダンス値変化が現れたとしてもこれを上記汚れ及び変形の発生有りと誤認するのを防止するためである。
【0038】
インピーダンス値の変化の具体例として、例えば図10及び図11に示すグラフにて表される変化があり、図10に示す変化は、チップ接触面95aの洗浄が必要と判断される場合のインピーダンス変化であり、図11に示す変化は洗浄不要と判断される場合の変化である。本実施形態では、チップ保持部95に保持された半導体チップ150をバンプ11を介して回路基板20の電極部21へ押圧しながら超音波振動発生装置9にて超音波振動を半導体チップ150に作用させるが、チップ保持部95のチップ接触面95aが汚れているときにはチップ接触面95aに凹凸ができておりチップ接触面95aと半導体チップ150との接触面積が少なくなることから、チップ保持部95と半導体チップ150との間の摩擦力が低下する。よって、上記超音波振動を作用させたとき、チップ接触面95aと半導体チップ150との間で滑りが生じ、半導体チップ150が有効に振動しない状態となる。したがって圧電素子91から得られるインピーダンス値は、図10に示すように、符号191aに示すように上記押圧動作により一旦低下した後、符号191bにて示すようにほとんど変化しない。
【0039】
一方、チップ接触面95aが汚れていないときにはチップ接触面95aに凹凸がなくチップ保持部95における半導体チップ150の吸着保持力は大きい。よって、上記超音波振動を作用させたとき、チップ接触面95aと半導体チップ150との間で滑りは生じず、半導体チップ150は振動する。したがって圧電素子91から得られるインピーダンス値は、図11に示すように、符号192aに示すように上記押圧動作により一旦低下した後、バンプ11と電極部21とが徐々に接合するにつれて半導体チップ150及びチップ保持部95が振動できなくなることから、符号192bにて示すように徐々に上昇する。
【0040】
このようにチップ接触面95aの汚れの有無に起因してインピーダンス値の変化に特徴があることから、クリーニング要否判定装置1101は、装着回数を加味しながらインピーダンス値の変化を検出することでチップ接触面95aの洗浄の要否を判定することができる。
尚、バンプ11を介して半導体チップ150を上記電極部21に押圧したときのインピーダンス値は、半導体チップ150、バンプ11の接合状態等により変化するので、図10及び図11に示すように、しきい値193を設定しており、該しきい値193を外れるときには初期押圧異常と判断し警告を発して接合動作を中止する等の措置を採る。又、半導体チップ150が回路基板20に接合したときのインピーダンス値も諸条件により変化するので、図11に示すように、しきい値194を設けている。よって、クリーニング要否判定装置1101は、上記電極部21への半導体チップ150の押圧後、符号192bに示すようにインピーダンス値が上昇した場合でも、上記しきい値194に満たないときには、チップ接触面95aに汚れ有りと判断する。
【0041】
さらに又、図28に示すように、チップ接触面95aに、窪み96のような変形が生じたときには、窪み96にて半導体チップ150の滑りが抑制されることから、図11に点線195に示すように、正常な場合に比べてインピーダンス値の上昇割合が大きくなる。よって、クリーニング要否判定装置1101は、装着回数を加味しながら、上記電極部21への半導体チップ150の押圧後、経過時間と、インピーダンス値の変化とに基づいてチップ接触面95aの変形の有無を判定する。
【0042】
制御装置110の上記格納部1102には、予め、又は接合動作中に、チップ接触面95aの汚れ有りの場合及び変形有りの場合における、インピーダンス値の変化情報に相当するクリーニング情報を格納する。よって、クリーニング要否判定装置1101は、格納部1102に格納されているクリーニング情報に基づいて、チップ接触面95aの汚れ及び変形の有無を判断する。尚、上記クリーニング情報は、通信回線等を用いて上記格納部1102へ供給するように構成することもできる。
【0043】
尚、本実施形態では制御装置110は、半導体チップ装着装置101の全体にて一つ設けられ、例えばバンプ接合動作の制御等を行うが、もちろん、例えばバンプ接合装置105に備わりチップ接触面95aの汚れの判定動作制御を行うように、それぞれの装置に対応して個々に制御装置を設けることもできる。
【0044】
以上のように構成される半導体チップ装着装置101における動作、つまり半導体チップの装着方法について以下に説明する。但し、上記部品供給装置102から部品反転装置104及びバンプ接合装置105にて、半導体チップ150をボンディングステージ103上の回路基板20上に装着するまでの動作については従来の動作に基本的に類似することから、ここでの説明は省略する。よって以下では、特にチップ接触面95aの汚れ及び変形の判定動作について詳しく説明する。尚、上記半導体チップ装着方法は、上記制御装置110にて動作制御されて実行される。又、図12を参照して説明する、チップ接触面95aの汚れ及び変形の判定動作を第1判定動作とし、その変形動作である第2判定動作について図13を参照して説明し、さらに第2判定動作の変形動作である第3判定動作について図14を参照して説明し、さらに第2判定動作の変形動作である第4判定動作について図15を参照して説明する。さらに、上記第1判定動作の変形動作である第5判定動作について図20を参照して説明し、該第5判定動作の変形動作である第6判定動作について図21を参照して説明し、さらに第7判定動作について図22を参照して説明する。尚、上記第1〜第7の判定動作において、同じ動作については同じステップ番号を付し説明を省略する。
【0045】
図12のステップ(図では「S」にて示す)1にて、制御装置110は、上記X軸ロボット108及びY軸ロボット107の動作制御を行い、接合すべき上記電極部21に対向して半導体チップ150のバンプ11を配置した後、上記ボイスコイルモータ121を駆動してバンプ11と上記電極部21とを接触させ、バンプ11を電極部21へ押圧していき図26に示すバンプ12の形状とする。バンプ12の状態になった時点で超音波振動発生装置9を動作させることでバンプ12に超音波振動を作用させる。尚、このときバンプ12はさらにつぶれるほど押圧されず、そのままの形状を維持する。このようなバンプ12への上記超音波振動は、上記超音波装置133から圧電素子91へ電流、電圧を供給することで発生する。又、バンプ12へ作用する上記超音波振動は、本実施形態では、超音波振動発生装置9の圧電素子91にて発生する周波数63KHzの超音波振動であり、これにてノズル93の上記チップ保持部95において0.7〜1μmの振幅が得られる。
【0046】
上記超音波振動をバンプ12へ作用させる期間中、上記発振器1331は圧電素子91に対して一定の電流、電圧を供給しようとするが、回路基板20の加熱、及び上記超音波振動の作用による摩擦熱の発生によりバンプ12は徐々に上記電極部21へ固着していくので、それにつれてバンプ12は徐々に振動しにくくなる。このようにバンプ12が振動しにくくなることは、半導体チップ150を保持しているチップ保持部95を介して圧電素子91の振動を抑制することになり、その結果、発振器133から圧電素子91へ供給される電流値が徐々に低下していく。一方、圧電素子91へ印加される電圧は理論上一定であることから、圧電素子91におけるインピーダンス値は、オームの法則に従い、バンプ12が徐々に振動しにくくなるにつれて即ちバンプ12の電極部21への接合が進むにつれて、徐々に上昇することになる。
【0047】
次のステップ2では、インピーダンス測定装置1332は、発振器1331から圧電素子91へ供給される電流値を検出し、制御装置110に備わるクリーニング要否判定装置1101は、インピーダンス測定装置1332にて検出された上記電流値変化に基づいて上記インピーダンス値の変化を求める。
後述の第4判定動作におけるステップ11、12の動作に同等である、次のステップ3では、上述したように、上記装着回数、及び上記インピーダンス値の変化に基づき、クリーニング要否判定装置1101は、格納部1102に格納されている上記クリーニング情報に基づいて、チップ保持部95のチップ接触面95aの汚れ及び変形の有無を判定する。
そして洗浄必要と判断したときには、ステップ4にて、上述した洗浄装置161を用いてチップ接触面95aの洗浄を行なう。又、クリーニング要否判定装置1101にてチップ接触面95aの変形有りと判断されたときには、制御装置110は警告を発し、チップ保持部95の交換を促す。
【0048】
次に図13を参照して第2判定動作について説明する。該第2判定動作は、複数回に渡って連続的に洗浄動作必要と判断されるのを防止し、接合不良となる半導体チップ150及び回路基板20の発生を防止することを目的とする。即ち、接合不良を生じる程度にチップ接触面95aが汚れているときには、接合させる半導体チップ150を変えたとしても、例えば図10に示すような、不良を示すインピーダンス値の変化が現れる。一方、接合不良が生じる程度まではチップ接触面95aが汚れていないときには、一つの半導体チップ150について、何らかの原因で上記不良を示すインピーダンス値の変化が現れたとしても、通常、次の半導体チップ150については良好を示すインピーダンス値の変化が現れる。そこで、第2判定動作では、連続的に複数回、不良を示すインピーダンス値の変化が現れた場合には設備を停止して半導体チップ150と回路基板20の消費を防止する。以下により具体的に説明する。
【0049】
該第2判定動作の実行に当たっては、例えばクリーニング要否判定装置1101に洗浄動作を実行した回数を計数する計数装置としてのクリーニングカウンタ1103を設ける。そして、上記ステップ3にてチップ接触面95aの洗浄必要と判断されたときには、ステップ5へ移行する。ステップ5では、クリーニング要否判定装置1101は、クリーニングカウンタ1103の計数値をチェックし、該計数値が設定値以上であるときには、当該半導体チップ装着装置101の動作を停止させる。上記設定値としては、上述の趣旨に基づき、「2」以上の数を設定することができる。
一方、ステップ5にて上記計数値が設定値未満であるときには、上記ステップ4に進み、チップ接触面95aの洗浄動作を実行する。そして、ステップ6にて、上記クリーニングカウンタ1103の計数値を一つカウントアップして、次工程へ進む。
【0050】
一方、ステップ3にてチップ接触面95aの洗浄不要と判断されたときには、上記クリーニングカウンタ1103の計数値をクリアして「0」に戻し、次工程に進む。
【0051】
次に図14を参照して第3判定動作について説明する。上述の第2判定動作では、チップ接触面95aの洗浄後に回路基板20に装着されるものは、実際の半導体チップ150を使用している。しかしながら、洗浄後においても何らかの原因で上記不良を示すインピーダンス値の変化が現れたときには、このとき使用した半導体チップ150は無駄になってしまう。本第3判定動作はこの点を解消する動作である。以下に詳しく説明する。
図14において、ステップ3にてチップ接触面95aの洗浄が必要と判断されたときには、次のステップ4にて洗浄動作が実行され、次のステップ6にて上記クリーニングカウンタ1103の計数値を一つ増加させる。そして次のステップ5にてクリーニングカウンタ1103の計数値が上記設定値以上か否かを判断する。ここで上記計数値が上記設定値以上であれば、制御装置110は、当該半導体チップ装着装置101の動作を停止させる。
【0052】
一方、上記計数値が上記設定値未満であるときには、部品装着動作を続行するが、このとき、ステップ8において制御装置110は、バンプ接合装置105に対して、図3にしめすように、製品である半導体チップ150ではなく、製品ではない擬似半導体チップ152を保持させ、回路基板20に装着させる。尚、このとき、使用する回路基板は擬似基板とするのが好ましい。そして、ステップ9では、上記インピーダンス測定装置1332にて上記擬似半導体チップ152における上記インピーダンス値の変化を検出し、ステップ10にて、上記インピーダンス値の変化に基づいてクリーニング要否判定装置1101はチップ接触面95aの洗浄の要否を判断する。そしてステップ10にてチップ接触面95aの洗浄が必要と判断されたときには、再びステップ4に戻りステップ4、ステップ6、ステップ5、ステップ8、ステップ9、ステップ10を実行する。一方、ステップ10にてチップ接触面95aの洗浄不要と判断されたときには、次工程へ進む。
【0053】
このように上記擬似半導体チップ152を使用することで、洗浄動作後においても不良と判定されるインピーダンス値変化が現れたときであっても、製品となる半導体チップ150を無駄に消費するのを防止することができる。
又、上記半導体チップ150を上記擬似回路基板に装着することもできる。
【0054】
次に図15を参照して第4判定動作について説明する。上述したように当該半導体チップ装着装置101にはチップ接触面95aを撮像可能な撮像装置171を備え、チップ接触面95aの汚れ程度を撮像し該撮像情報に基づいて洗浄方法等の洗浄動作を制御することができる。該第4判定動作では、上記撮像装置171を使用して洗浄後にてチップ接触面95aを撮像して洗浄の良否を判定しようとする動作である。以下に詳しく説明する。
図15に示すように、ステップ1の次のステップ11において制御装置110は、各半導体チップ150の装着動作毎に、上記装着回数カウンタ1104の計数値をカウントアップする。次のステップ12にて、制御装置110は、上記装着回数がチップ接触面95aの洗浄要求回数未満か否かを判断する。ここで上記洗浄要求回数とは、予め制御装置110に設定され、洗浄要求を指示するための数である。
【0055】
ステップ12にて、半導体チップ150の装着回数が上記洗浄要求回数以上となったときには、チップ接触面95aに汚れが堆積してきていると判断できるので、ステップ4に移行してチップ接触面95aの洗浄動作が実行され、次のステップ6にて上記クリーニングカウンタ1103の計数値を一つ増加させる。
次のステップ13では、洗浄後におけるチップ接触面95aの状態を上記撮像装置171の撮像カメラ172にて撮像し認識する。次のステップ14では、該認識情報に基づいてチップ接触面95aの汚れの有無を判定する。汚れ無しと判断したとき、ステップ15にて、制御装置110は上記装着回数をクリアし、次工程へ進む。一方、ステップ14にてチップ接触面95aの汚れの有りと判定されたときには、ステップ16に移行し上記クリーニングカウンタ1103の計数値が上記設定値以上か否かを判断する。ここで、上記計数値が上記設定値以上のときには、当該半導体チップ装着装置101の動作を停止させ、一方、上記計数値が上記設定値未満のときには、上記ステップ4に戻りステップ6、ステップ13、ステップ14を実行する。
一方、ステップ12において、装着回数が洗浄要求回数未満であるときには、チップ接触面95aは未だ汚れていないと判断できるので、次工程へ進む。
【0056】
このように洗浄後のチップ接触面95aの状態を撮像カメラ172にて撮像し、該撮像結果に基づいて半導体チップの装着動作続行、又は設備の動作停止、又は再洗浄を行なうことから、チップ接触面95aの状態に応じた適切な措置を採ることができる。よって従来に比べて接合品質の向上、均一化を図ることができる。
【0057】
次に図20を参照して第5判定動作について説明する。上述の第1判定動作のように、設定した装着回数毎に上記チップ接触面95aの洗浄を行なうが、該洗浄動作を複数回繰り返していく内に残留した汚れが徐々に蓄積されていき同一の洗浄条件では汚れが除去しきれないようになってくる。該第5判定動作は、このような状態を改善するための洗浄方法である。
即ち、ステップ1による部品装着動作毎に、上記ステップ2に相当するステップ21にて、クリーニング要否判定装置1101に備わる装着カウンタ1105を1ずつインクリメントする。次のステップ31では、クリーニング要否判定装置1101にて上記装着カウンタ1105の計数値が第1設定値(NB)以上か否かが判断され、上記計数値が第1設定値(NB)以上のときにはステップ41へ移行して洗浄条件Bによる洗浄動作が実行され、未満のときはステップ32へ移行する。尚、これらステップ31、32が上記ステップ3に対応する。上記ステップ32では、ステップ31と同様に、上記装着カウンタ1105の計数値が第2設定値(NA)以上か否かが判断され、上記計数値が第2設定値(NA)以上のときにはステップ43へ移行して洗浄条件Aによる洗浄動作が実行され、未満のときは次動作へ移行する。ここで、上記第1設定値は、上記第2設定値よりも大きい値であり、例えば第1設定値を1000、第2設定値を100の値に設定される。又、上記洗浄条件Bは、上記洗浄条件Aよりも強力な洗浄条件であり、例えば、上記研磨部材163をサンドペーパとしたときその粗さを8000番、上記研磨部材163への上記チップ接触面95aの押圧荷重を2kg、印加する超音波の出力を1W、上記チップ接触面95aを上記研磨部材163に擦りつける長さを100mmとした条件である。一方、上記洗浄条件Aは、例えば、上記研磨部材の粗さを10000番、上記押圧荷重を1kg、上記超音波出力を0.5W、上記擦りつけ長さを50mmとする条件である。
又、ステップ41の次にはステップ42にて上記装着カウンタ1105の計数値がリセットされ、次動作へ移行する。
【0058】
この第5判定動作によれば、装着回数が上記第1設定値(NB)未満のときには、上記洗浄条件Aによる比較的軽めの洗浄が繰り返され、そのうちに装着回数が上記第1設定値(NB)以上になったときには上記洗浄条件Aよりも強力な洗浄条件Bにて上記チップ接触面95aの洗浄が実行される。よって、洗浄条件Aでは完全に除去しきれずに徐々に蓄積された汚れを洗浄条件Bにて除去することができる。
【0059】
第6判定動作では、上述の第5判定動作における、例えば上記洗浄条件Bによる洗浄動作を複数回実行する。即ち、図21に示すように、上記ステップ31にて洗浄必要と判断されたときには、まずステップ51にて、上記クリーニングカウンタ1103の計数値をリセットし、次のステップ52にて上記洗浄条件Bによる洗浄動作を実行し、ステップ53にてクリーニングカウンタ1103の計数値をカウントアップする。次のステップ54では、該クリーニングカウンタ1103の計数値が設定値以上か否かが判断され、該設定値未満であるときには、再びステップ52へ戻る。一方、上記設定値以上であるときには、ステップ55へ移行し、上記装着カウンタ1105の計数値をリセットした後、次動作へ移行する。尚、当該第6判定動作の趣旨によれば、上記設定値は2以上の整数とすることができる。又、上記ステップ52にて実行する洗浄の条件は、上記洗浄条件Aとすることもできる。
このように第6判定動作によれば、装着回数が上記第1設定値(NB)以上になったときには、洗浄条件B又は洗浄条件Aにより洗浄動作が複数回実行されることから、上記徐々に蓄積された汚れをより確実に除去することができる。
【0060】
さらに第7判定動作は、上述の第5判定動作及び第6判定動作を組み合わせた洗浄動作である。即ち、第7判定動作は、図22に示すように、装着回数の判定動作を3以上設け、装着回数レベルに応じて各種の洗浄条件による洗浄動作を複数回実行可能に構成した動作である。該第7判定動作によれば、装着回数に応じて、より木目細かな洗浄を行なうことができ、上記チップ接触面95aの洗浄を的確に実行することができる。
【0061】
上述の実施形態では、バンプ12と電極部21との接合の進行に起因する半導体チップ150の振動の変化について圧電素子91のインピーダンス値の変化を検出して、制御装置110にて上記インピーダンス値の変化に基づき上記接合の良否を判定したが、上記振動の変化を測定する方法としてはこれに限定されるものではない。
例えば、図16に示すように、測長装置411及び制御装置410を備え、測長装置411にて例えば半導体チップ150における振動を直接に測定し、該測定情報に基づき制御装置410にて上記接合の良否を判断するように構成することもできる。尚、上記制御装置410は、上記半導体チップ装着装置101における制御装置110に代わるものである。その他の構成については半導体チップ装着装置101における構成と変わるところはない。
【0062】
上記測長装置411は、図16に示すように、レーザ光を半導体チップ150における振動測定面151に対して直角に照射し、反射してきたレーザ光を受光することで、半導体チップ150の振動の変化を直接に測定する。このような測長装置411は、レーザ光の光軸と、圧電素子91の積層方向とが同方向、本実施形態ではY方向に沿うように、配置される。又、測長装置411にて測定される上記振動変化は、図17に示すグラフ412のような変化を示す。
制御装置410は、測長装置411から供給されるグラフ412のような変化を示す振動変化情報に基づいてチップ接触面95aの汚れ及び変形の有無を判断する。
尚、上述のように上記レーザ光を半導体チップ150に照射して、バンプ12が形成されている半導体チップ150の振動を測定するのが最も好ましいが、半導体チップ150の厚みは本例の場合0.35mmであり、振動測定面151に対して直角にレーザ光を照射するのが難しい場合がある。このような場合には、図16に示すように、ノズル93における半導体チップ保持部95の側面95bや、超音波ホーン92の側面92aに対して直角にレーザ光を照射するように構成してもよい。
【0063】
又、上述の実施形態では、バンプ11と上記電極部21との押圧のためバンプ11を回路基板20へ移動させたが、これに限定されるものではない。例えば図18に示すように、バンプ接合時においてバンプ接合装置205を固定しておき上記回路基板20を載置したボンディングステージ203をバンプ接合装置205へ移動させてもよい。その移動用の駆動装置としては、例えば上述したようなボイスコイルモータ221を使用し、上述のように該ボイスコイルモータ221へ供給する電流値にて移動量を制御しても良い。要するにバンプ接合時においてバンプ11と電極部21とを相対的に移動させれば良い。尚、図18において、符号207はY軸ロボットを示し、符号208はX軸ロボットを示す。
【0064】
又、上述の実施形態では超音波振動をノズル93に作用させたが、これに限定されるものではなく、図18に示すように回路基板20側を超音波振動発生装置209にて超音波振動させてもよい。要するに、バンプ11と回路基板20とを相対的に振動させれば良い。
【0065】
【発明の効果】
以上詳述したように半導体チップ装着装置は、振動変化検出装置、判定装置、及び洗浄装置を備え、本発明の第1態様の半導体チップ装着方法によれば、上記振動変化検出装置にて検出された振動変化、及び装着回数に基づいてチップ接触面の不良の有無を上記判定装置にて判定するようにした。よって、上記不良と判断されたときには、チップ保持部の洗浄や交換が可能になることから、チップ接触面は、半導体チップと回路形成体との接合状態が劣悪とならない程度の清浄度を維持することができる。よって、半導体チップと回路形成体との接合品質の均一性を従来に比べて向上させることができる。
【0066】
又、上記振動変化検出装置は、振動発生装置のインピーダンス値を検出するように構成することもでき、該構成により、簡易な装置構成にて振動変化を検出することができる。
又、上記インピーダンス値の検出は、複数回行ない、複数回のインピーダンス値変化に基づいてチップ接触面の不良の有無を判定することで、確実に上記不良の有無を判断することができる。
【0067】
又、上記判定装置に設けたカウンタにてチップ接触面の不良有りと判定された回数を計数し、該計数値が設定値を超えたときには半導体チップの装着動作を停止させることもできる。該構成により、チップ接触面は、半導体チップと回路形成体との接合状態が劣悪とならない程度の清浄度を維持することができるので、半導体チップと回路形成体との接合品質の均一化を従来に比べて図ることができる。
【0068】
又、チップ接触面の不良を改良後、擬似半導体チップを装着させるときの振動変化に基づいてチップ接触面の不良を検出するよう構成することもできる。該構成によれば、不良改良後、万一、回路形成体への擬似半導体チップの接合状態が不良となったときでも、製品となる半導体チップの消費を防ぐことができる。
【0069】
さらに洗浄装置を備えることで、チップ接触面が不良と判断されたときにはチップ接触面を洗浄して不良状態を改良することができる。よって、該構成により、チップ接触面は、半導体チップと回路形成体との接合状態が劣悪とならない程度の清浄度を維持することができるので、半導体チップと回路形成体との接合品質の均一化を従来に比べて図ることができる。
【0070】
又、半導体チップと回路形成体との相対的振動は、回路形成体を固定して半導体チップを振動させて行なうことができ、該構成により、簡易な装置構成にて上記相対的振動を生じさせることができる。
【0071】
又、上記振動変化検出装置は振動成分電流分離装置を備えることができ、該構成により、該構成により、簡易な装置構成にて振動変化を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態における半導体チップ装着装置の斜視図である。
【図2】 図1に示すバンプ接合装置部分の拡大斜視図である。
【図3】 図1に示すバンプ接合装置に接続される超音波装置及び制御装置における機能を説明するためのブロック図である。
【図4】 図3に示すインピーダンス測定装置の等価回路図である。
【図5】 図1に示すボンディングステージ部分の拡大斜視図である。
【図6】 図1に示す洗浄装置の拡大斜視図であり動作説明図である。
【図7】 図1に示す洗浄装置の拡大斜視図であり動作説明図である。
【図8】 図1に示す洗浄装置の拡大斜視図であり動作説明図である。
【図9】 図1に示す洗浄装置の拡大斜視図であり動作説明図である。
【図10】 図3に示すインピーダンス測定装置にて検出されるインピーダンス値の変化を示すグラフであり、チップ接触面が汚れている場合におけるグラフである。
【図11】 図3に示すインピーダンス測定装置にて検出されるインピーダンス値の変化を示すグラフであり、チップ接触面が清浄な場合におけるグラフである。
【図12】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第1判定動作を示すフローチャートである。
【図13】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第2判定動作を示すフローチャートである。
【図14】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第3判定動作を示すフローチャートである。
【図15】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第4判定動作を示すフローチャートである。
【図16】 図1に示す半導体チップ装着装置の変形例において、半導体チップの振動変化をインピーダンス値の変化検出に代えて測定する方法を説明する図である。
【図17】 図16に示す装置にて検出される半導体チップの振動変化を表すグラフである。
【図18】 図1に示す半導体チップ装着装置の他の装置構成例であってバンプ接合装置周り及びボンディングステージ周りを示す図である。
【図19】 回路基板の電極部にバンプを形成した場合を示す図である。
【図20】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第5判定動作を示すフローチャートである。
【図21】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第6判定動作を示すフローチャートである。
【図22】 図1に示す半導体チップ装着装置にて実行されるチップ接触面の汚れ又は変形を判定するための第7判定動作を示すフローチャートである。
【図23】 従来の半導体チップ装着装置の斜視図である。
【図24】 バンプ接合装置において半導体チップの保持部分及び振動発生装置部分を示す図である。
【図25】 電子部品に形成されているバンプの形状を示す図である。
【図26】 押しつぶされたバンプが接合した状態を示す図である。
【図27】 チップ接触面が汚れた状態を示す図である。
【図28】 チップ保持部の変形状態を示す図である。
【符号の説明】
9…超音波振動発生装置、11、12…バンプ、13…電極、
20…回路基板、21…電極部、95a…チップ接触面、
101…半導体チップ装着装置、105…バンプ接合装置、
110…制御装置、150…半導体チップ、161…洗浄装置、
1101…クリーニング要否判定装置、1103…クリーニングカウンタ、
1332…インピーダンス測定装置。
Claims (1)
- 半導体ウエハより切り分けた半導体チップ(150)と回路形成体(20)とを押圧しながら相対的に振動させて上記半導体チップの電極(13)と上記回路形成体の電極部(21)とをバンプ(11、12)を介して接合する半導体チップ装着方法において、
上記半導体チップと上記回路形成体とを相対的に振動させる振動発生装置(9)におけるインピーダンス値の変化に基づいて、上記振動発生装置に接続される判定装置にて上記振動の変化を検出し、
検出した振動変化、及び上記回路形成体への上記半導体チップの装着回数に基づいて、上記半導体チップを保持するチップ接触面(95a)の汚れ及び変形の有無を上記判定装置にて判定し、
上記判定装置では、押圧動作により上記インピーダンス値が低下した後、上昇してくるインピーダンス値に上昇の閾値を設け、この閾値を超えなければ上記チップ接触面に汚れありと判断し、あるいは上記半導体チップの電極と上記回路形成体の電極部との押圧後、経過時間と上記インピーダンス値の変化とによる上記インピーダンス値の上昇割合が正常状態に比べて大きい場合に上記チップ接触面の変形有りと判断し、
汚れ有りと判断されたときは、上記チップ接触面の洗浄を行い、上記チップ接触面の変形有りと判断されたときは、上記チップ接触面を有するチップ保持部の交換を促す、
ことを特徴とする半導体チップ装着方法。
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