JP4582922B2 - 電子部品装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波回路基板などに用いられる電子部品装置に関し、詳しくは、回路基板内に電子部品素子を樹脂により封止した電子部品装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、櫛状電極が形成され、且つフリップチップ接続される弾性表面波素子の封止方法は、図4に示すような封止構造により構成していた。図4において、41は実装基板であり、42は弾性表面波素子である。弾性表面波素子42は、例えばリチウムタンタレートなどの単結晶からなる圧電基板であり、その一方主面には、所定形状の櫛状電極(Inter Digital Transducer:IDT)9が被着形成されている。同時に、図には省略しているが、一方主面には、櫛状電極9に信号電圧が印加するための電極パッドが形成されている。このような弾性表面波素子42は、圧電基板上の櫛状電極9が形成された面に所定弾性波が発生し、この弾性波を利用して共振特性やフィルタ特性を得ている。従って、この弾性表面波素子42を実装基板41に実装した時には、櫛状電極を形成した圧電基板の一方面に空隙を形成しておく必要がある。
【0003】
また、弾性表面波素子2は、櫛状電極が形成された面に電極パッドが形成されており、この電極パッドを介して、実装基板41の電極11にフリップチップ方式で実装されている。このフリップチップ方式として、電極パッドと電極11との間の接合部材21によって接合される。
【0004】
そして、このような実装基板41に実装した弾性表面波素子42は、周囲を樹脂47で被覆されている。この時、弾性表面波素子42と実装基板41との隙間は、上述したように圧電基板の櫛状電極9を形成した主面に弾性波が発生するために、少なくとも弾性表面波素子42の櫛状電極9側が中空気密構造になっている。すなわち、弾性表面波素子2は樹脂7で覆われているため、露出がなく、外部からゴミや水分が浸入することがない、
この中空気密構造は、弾性表面波素子2の櫛状電極9が形成された面においては、実装基板41と弾性表面波素子2との外周に沿ってシリコンゴムなどによる可撓性ダム8を介在させて、樹脂7が弾性表面波素子2と基板1の隙間に浸入しないような構造となっている。
【0005】
ここで、樹脂7封止の方法は、樹脂7をディスペンサから一定量供給し、基板1の上面と弾性表面波素子2の隙間周辺を樹脂7で覆い、最後に樹脂を硬化する。樹脂7は、ハロゲン系のイオンを含まない熱硬化型か、光硬化型を使用する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年、この種の電子部品装置を組み込んだ電子機器システムは、軽・薄・短・小化、低消費電力化、多機能化、高信頼性化の要求がますます高まってきつつある。すなわち、近年の弾性表面波装置20は他の部品と組み合わせることにより、弾性表面波装置20の機能を高め、更に小型高機能化をしていくことが求められている。このため、弾性表面波装置20に弾性表面波素子2以外の素子も実装して高機能化させている。
【0007】
しかしながら、図4の弾性表面波装置20の場合、弾性表面波素子42以外の素子は、基板1の表面に実装するため、基板1の実装可能な面積が小さくなるという問題点があった。
【0008】
また、櫛状電極9の周辺に可撓性ダム8を配設しているため、弾性表面波素子2上の外周にダム8の形成領域を確保する必要があることから、弾性表面波素子2の面積が大きくなり、高価な圧電基板を大量に使用し、弾性表面波装置20が高価になっていた。
【0009】
また、弾性表面波素子42と実装基板41の隙間に樹脂が侵入しないように、弾性表面波素子42の櫛状電極9の周辺に可撓性ダム8を配設するが、スクリーン印刷により可撓性ダム8を形成する際に、櫛状電極9の表面に異物を付着させる危険が高く、特性変動し易い、信頼性の低い製品になる。また、その製造工程が増え、生産性が低下する原因となっていた。
【0010】
また、封止の際に液状の樹脂を使用しており、弾性表面波素子2への樹脂の被覆はディスペンサにて塗布後、UV硬化させるが、押さえ治具を汚し、保守管理に手間取っていた。
【0011】
本発明は、上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、素子の小型化、基板の実装密度の向上、生産性向上、歩留向上が可能な電子部品装置及びその製造方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電子部品装置は、第1主面、および該第1主面の反対側に位置する第2主面を有した基板と、該基板の前記第2主面に設けられており、かつ断面視して凹状のキャビティと、上面、該上面の反対側に位置する下面、および側面を有しており、かつ前記上面で前記キャビティの底面に実装される第1電子部品と、前記キャビティの開口を封止する樹脂部材と、を備え、該樹脂部材は、前記キャビティの前記底面と前記第1電子部品の前記上面との間に間隙が形成されるように、前記第1電子部品の前記側面と該側面に対向する前記キャビティの内周面との間、および前記第1電子部品の前記下面に配置されるとともに、前記基板に対して露出する表面を有し、前記樹脂部材の表面は、前記基板の前記第2主面と実質的に同一平面であり、前記基板の前記第2主面には、外部基板と接続される外部端子電極が形成されており、前記基板の前記第1主面には、第2電子部品が設けられており、前記キャビティの前記開口の周囲には、前記樹脂部材が溜まる階段部が形成されている。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の電子部品装置を図面に基づいて詳説する。尚、電子部品装置は、キャビティ内に弾性表面波素子を収容した基板をもって説明する。
【0020】
図1は、本発明の電子部品装置の断面図である。図2は、本発明の電子部品装置のキャビティ部分の平面図である。
【0021】
図において、10は弾性表面波素子を収容した電子部品装置、1は基板(以下、容器とう)、2は弾性表面波素子、3はキャビティ、4は他のチップ部品、6は半田、7は樹脂、9は弾性表面波素子の櫛状電極、11は容器のキャビティ3の実装底面に形成された電極パッド、21は弾性表面波素子上に形成されたバンプである。
【0022】
電子部品装置10は、複数のセラミック層が多層構造となった容器1と、該容器1内に収容された電子部品素子、例えば、弾性表面波素子2と、弾性表面波素子2と接続して、電子部品装置10として付加機能を与える電子部品4とから構成されている。
【0023】
容器1の一主面、図1では下面側には、弾性表面波素子2を収容する断面凹状のキャビティ3が形成されている。また、容器1の一主面のキャビティ3の開口周囲の面には、外部の配線基板(図示せず)と接続する外部端子電極19が形成されている。
【0024】
尚、図では省略しているが、容器1の他方主面には、他の電子部品4を実装したり、また、所定回路網を形成したりする表面配線導体層が、さらに、容器1を構成する各セラミック層の層間には、弾性表面波素子2、電子部品4(表面配線導体層)、外部端子電極19とを接続するための内部配線導体層、ビアホール導体が形成されている。このようなに、容器1は、セラミック、ガラス−セラミック材料以外に、ガラス−エポキシ材料などから構成され、その他、フェノール系、ポリエステル系、フッ素樹脂系等の有機材料系の基板材料であってもよい。
【0025】
キャビティ3は、その内部に電子部品素子である弾性表面波素子2を収容しており、実装底面には内部配線導体層と弾性表面波素子2とを接続する電極パッド11が形成されている。また、キャビティ3の開口の周囲に段差部32が形成されている。即ち、キャビティ3は、弾性表面波素子2を収容する収容部31と段差部32とから構成される。ここで、外側の段差部32の外観寸法(各辺の寸法)は、収容部31の外観寸法(各辺の寸法)の差wは、片側100μm以上となっている。
【0026】
このキャビティ3に収容する電子部品素子である弾性表面波素子2は、例えばリチウムタンタレートなどの単結晶からなる圧電基板の一方主面には、所定形状の櫛状電極9が被着形成されている。また、この面には、櫛状電極9に信号電圧を印加し、且つ電極パッド11とバンプ21を介して接合される電極パッドが被着形成されている。このような弾性表面波素子2は、この面がキャビティ3の収容部31の実装底面に対向する。
【0027】
この弾性表面波素子2とキャビティ3の電極パッド11とは、フリップチップ実装されており、熱圧着接合、超音波接合、超音波熱圧着接合、半田付けなどの接合工法により、弾性表面波素子2側のパンプ21と容器1側の電極パッド11が接合されている。
【0028】
バンプ21の材料としては、Auワイヤーによりボールバンプ形成されるが、その他にPd、Pt、Cu、Ni、半田等、あるいはこれらの合金のバンプ突起部を形成するように、薄膜・厚膜手法で形成しても構わない。また、その表面に金メッキ処理などを行っても構わない。
【0029】
また、容器1の他主面、図の上面側には、表面配線導体膜上に他の電子部品、例えばチップ部品4が半田6などを介して実装されている。尚、チップ部品4は、半田で接合されるチップコンデンサ、チップ抵抗器以外に、トランジスタが集積されたICチップなどであってもよい。この場合、表面配線導体膜とICチップとの接続は、ボンディングワイヤや導電性部材のバンブ部材であっても構わない。
【0030】
本発明の特徴的なことは、図1に示すように、電子部品素子である弾性表面波素子2を主要したキャビティ3の開口部分が、樹脂7によって封止されていることである。なお、樹脂7としては、チクソ性が高い樹脂を用いている。即ち、樹脂主材として、エポキシ樹脂を用いて、無機物フィラーの添加量、有機溶剤の添加量を制御して、粘土状となっている。
【0031】
具体的な樹脂7の封止方法は、後述するがエポキシ樹脂の仮硬化させたシート(Bステージシート)を、キャビティ3の開口に応じてカットを行い、キャビティ3を覆うように配置して、100〜150℃前後の比較的低い温度を与えながら、押し込み金型によりチクソ性の高い樹脂7をキャビティ3の開口付近に押し込み、封止を行なう。ここで、封止部材である樹脂7は、キャビティ3の底面にまで決して到達しないようにすることが重要である。即ち、弾性表面波素子2とキャビティ3の実装底面に間隙を形成して、弾性表面波素子2の動作を安定化するためである。
【0032】
また、図2に示すように、弾性表面波素子2の外周側面と、それに対向するキャビティ3の内周面間の間隙cが、全周略同一寸法となっている。これは間隙cは、100〜400μm、好ましくは200〜300μmの範囲にあることが望ましい。この間隙cが100μm未満の場合、樹脂7が内側のキャビティ3内に押し込みにより入りにくくなる。一方、間隙cが400μm以上の場合、樹脂7が押し込んだときの形状を保てず、下に落ちてしまい、弾性表面波素子2の安定した動作が得られないことがある。
【0033】
また、キャビティ3の収容部31の開口の周囲に形成した段差部31の幅wは、100μm未満の場合、樹脂シートの位置ずれが起こった場合、キャビティ32の外側にはみ出してしまう。外側のキャビティ32の寸法の上限はないが、電子部品装置10の小型化や、セラミック回路基板の小型化や、キャビティ32の周囲に配線導体を形成するために、極力小さい方が望ましい。
【0034】
また、段差部31の深さは、50〜300μmの深さを有している。この段差部31は、上述の樹脂シートをキャビティ3の開口を覆うべく載置した時には、支持する部位となり、また、加熱押し込み処理した時に、キャビティ3内に押し込まれなかった余剰分の樹脂が溜まることになる。
【0035】
重要なことは、キャビティ3の開口を封止した後に、樹脂7の表面が、盛り上がらないように、樹脂シートの厚み、キャビティ3の開口周囲の段差部31の容積を考慮することである。
【0036】
これは、容器1の一方主面には外部端子電極19が形成されているため、この外部端子電極19と配線基板と接合した時には、安定的に接合できるようにするためである。
【0037】
次に、電子部品装置10の製造方法について、容器1の材料としてガラス−セラミック基板を用いた例について説明する。
【0038】
まず、容器1を構成する大型のグリーンシートを用意する。各グリーンシートには、キャビティ3を形成する貫通孔を形成し、夫々のグリーンシートに、ビアホール導体となる貫通孔を形成する。その後、各グリーンシート上に電極パッド11、内部配線導体層、表面配線導体膜となる各種導体膜、ビアホール導体となる導体を形成する。この導体膜、導体は、Agなどの導電性ペーストを所定パターンで印刷・乾燥によって形成する。
【0039】
次に、各グリーンシートを、積層順に応じて積層し、例えば6MPaの圧力で圧着等で一体化して大型積層体を形成する。
【0040】
次に、未焼成状態の大型積層体に、各容器領域を区画するように分割溝を形成する。
【0041】
次に、未焼成状態の大型積層体を、酸化性雰囲気または大気雰囲気で同時焼成処理する。なお、この焼成工程は、脱バインダ過程と焼結過程からなる。
【0042】
脱バインダ過程は、容器1となるグリーンシート、電極パッド11となる導体に含まれる有機成分を焼失させるためのものであり、例えば500〜600℃の温度領域で行われる。
【0043】
また、焼結過程は、グリーンシートのガラス成分を結晶化させると同時に、セラミック粉末の粒界に均一に分散させ、積層体に一定強度を与え、電極パッド11となる導体膜の導電材料の金属粉末、Ag粉末を粒成長させ、低抵抗化させて、グリーンシートと一体化させるものである。これは、ピーク温度850〜1050℃に達するまでに行われる。
【0044】
ここで、ガラス−セラミック材料が焼結反応(焼結収縮)を開始する温度(約600℃)よりも低い温度(例えば550℃)で、導電材料の金属粉末が(焼結収縮)を開始することになる。
【0045】
これにより、キャビティ3が形成された大型積層体が達成されることになる。
【0046】
次に、熱圧着接合、超音波接合、超音波熱圧着接合、半田付けなどの接合工法により、弾性表面波素子2側にパンプ21を形成しておき、容器1となる大型積層体側のキャビティ3の実装底面に形成した電極パッド11とを接合する。
【0047】
次に、弾性表面波素子2を覆うように、キャビティ3内を樹脂7で封止する。
本発明においては、キャビティ3の開口を覆うシート状樹脂を用いて、樹脂7を押し込み形成している。
【0048】
封止用樹脂7は、仮硬化した樹脂シートを所定の大きさにカットする。なお、所定大きさとは、シートの端部が段差部32に載置され、収容部32の開口部を充分に大きいことが望ましく、好ましくは各辺ともその差の中間の長さであることが望ましい。
【0049】
樹脂の材質はフェノール系、ポリイミド系、エポキシ系などの樹脂が使用される。特に、エポキシ系の樹脂が耐湿性等で望ましい。また、キャビティのサイズにもよるが、樹脂シートの厚みは、50〜300μm、好ましくは150〜250μmであることが望ましい。
【0050】
樹脂7材料には、チクソ性が重要であり、エポキシ樹脂の中にシリカやガラスの小球などを無機物フィラーとして所定量含有させたもので、しかも、仮硬化させた状態となっている。例えば、エポキシ樹脂は比較的高温で硬化する樹脂を使用し、テープ状に押し出し成型したあと60〜80℃で仮硬化させている。いわゆるBステージの状態にして取り扱いのうえでは付着しないものになっている。エポキシ樹脂は100〜150℃程度に加熱すると一旦溶融するが、上記フィラーの存在によりチクソ性が高く、不要部に流れ出すことがない。高温状態では、重合反応が進行し数分間で硬化がほぼ完了する。通常のエポキシ接着剤は溶融状態では粘度が低下し、内側のキャビティ31内に流れ出そうとするが、これにフィラーを混入することで、流動性を押さえたものになっている。
【0051】
具体的には、容器1に弾性表面波素子2を収容しておき、容器1を150前後に加熱しておき、キャビティ3の開口にカット済みの樹脂シートを載せ、この状態で上方から平坦なフラットニング治具40を押し付ける。これより、樹脂7はら弾性的に軟化し、キャビティ3の開口から弾性表面波素子2の側面とキャビティ3の内壁面に軟化して押し込まれることになる。
【0052】
尚、下面が平坦なフラットニング治具40の表面に、フッ素樹脂加工などを施せば、樹脂7の押し込み処理を行なっても、この樹脂7が治具に付着しないようにすることができる。その接触面の大きさは、弾性表面波素子2の主面より大きく、且つ段差部の外観寸法より小さいことが望ましい。このとき、予備的に、キャビティ3の開口と同程度の大きさの別の治具で押しつけて、キャビティ31の中に樹脂を充填し、段差部32にはみ出した分をフラットニング治具40で平坦化してもよい。
【0053】
樹脂7のシートは、このときエポキシ樹脂が溶融しているものの、フィラーの存在により流動性を持たず、フラットニング治具40が押し付けられることにより、弾性表面波素子2の実装されたキャビティ3内部に充填させることが容易に行なえる。フラットニング治具40の押し付ける荷重及び押し込み量は、樹脂が弾性表面波素子2の側面とそれに対向した容器1のキャビティ3の内周の間に充填され、弾性表面波素子2と容器1の間に中空空間が形成される条件範囲の中で適宜設定される。
【0054】
このフラットニングにより、弾性表面波素子2を被覆した封止部材の樹脂7の表面は、容器1の一主面と同一の平坦な面とすることができる。このフラットニングの後、しばらく150前後に保持して樹脂の加熱硬化を完了させる。
【0055】
この後、容器1の他主面側に半田付けなどによりチップ抵抗器、積層セラミックコンデンサなどのチップ部品4を接続する。あるいは、ICチップ、その他のSAW部品などをボンディング接続してもよい。
【0056】
最後に、各容器1を区画する分割溝に沿って分割処理を行う。
【0057】
このようにして、図1に示すような、弾性表面波素子2を有する電子部品装置10が得られる。
【0058】
以上のように、本発明では容器1に形成された凹型のキャビティ3内に、電子部品素子である弾性表面波素子2がフリップチップ実装された電子部品装置10であって、弾性表面波素子2と、対向するキャビティ3の底面の間に中空構造30を備えるとともに、弾性表面波素子2の4辺の側面とキャビティ3の内周面の隙間、及びキャビティ3の開口部側の面に、樹脂7が充填されている。即ち、樹脂7は、弾性表面波素子2の櫛状電極9が形成された面まで充填されないようになっている。従って、従来のように、弾性表面波素子42の櫛状電極9の形成面に間隙を設けるためには、シリコン樹脂などによる可撓性ダム8を形成しておく必要が全くない。
【0059】
また、封止部材である樹脂7の表面が、容器1の一主面と実質的に同一平面とすることができるため、配線基板などに外部端子電極19を介して実装する場合でも、安定して実装することができる。
【0060】
さらに、この封止部材である樹脂7が絶縁性であり、しかも、半田が付着されないため、容器1と配線基板との間に半田ボール等が介在しないため、電子機器システムに用いるにあたり、機械的にも電気的にも非常に安定した接合が達成できる。
【0061】
また、容器1の他主面に、電子部品4を配置しているため、電子部品装置10自身の多機能化が可能であり、しかも、電子機器システムの小型化にも大きく貢献できる。
【0062】
また、図2に示すように、弾性表面波素子2の側面と、それに対向するキャビティ3側面の間隙cが、全周略同一寸法であるため、樹脂7を押し込みする際に、そのバラツキをなくし、弾性表面波素子2とキャビティ3の実装底面との間に安定した間隙を形成することができる。くし歯状電極9の大きさに縮小できるため、高価な圧電基板の使用量を削減でき、安価な弾性表面波装置10を提供することができる。
【0063】
また、樹脂7はチクソ性が高いため、充填したときの形状をそのまま保つことができる。このため、弾性表面波素子2と容器1の隙間に樹脂が侵入しないようにするために調節することが容易になる。
【0064】
なお、本発明は上記の実施の形態例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内での種々の変更や改良等は何ら差し支えない。
【0065】
例えば、本実施の形態では弾性表面波素子を用いて説明したが、他の圧電振動子やフィルタなどの電子部品素子を組み込むものであってもよい。
【0066】
また、容器1においては、容器1の一主面にキャビティ3が形成されているが、他主面側にも各種電子部品素子を収容するキャビティを形成してもよい。この場合、他主面側のキャビティに弾性表面波素子を収容する場合には、その弾性波の発生する面に中空空間を形成するようにし、また、ICチップを収容する場合には、キャビティ内に、樹脂を完全に充填するようにしても構わない。
【0067】
また、容器1の一主面に、互いに近接しあってキャビティ3を2つ以上設けた場合、個別に樹脂7によって封止してもよいし、また、各々のキャビティの段差部を互い結合して、1枚の樹脂シートでもって、複数のキャビティを一括的に封止して構わない。
【0068】
また、キャビティ3の開口周囲の段差部32は、一段の構成となっているが、樹脂シート7が厚い場合には、多段構造の段差部であっても構わない。
【0069】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、キャビティが形成された容器の主面に対して、突出することがないように、キャビティの開口をチクソ性の高い樹脂で封止されている。
【0070】
このため、容器のキャビティの実装搭載面に、収容した電子部品素子、例えば弾性表面波素子の弾性波が発生する部位に安定した中空部を形成することができるため、安定した動作と完全な封止が同時に達成でき、また、外部端子電極を対して安定した接合が可能となる。また、電子部品装置自身の多機能化が容易であり、電子機器システムの小型化も達成できる。
【0071】
また、封止部材の樹脂が、所定形状にカットされた樹脂シートを用いているため、電子部品装置を形成することかできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品装置の一実施例の構成を示す断面図である。
【図2】本発明のキャビティの開口部付近の部分平面図である。
【図3】本発明の電子部品装置の製造方法を示す断面図である。
【図4】従来のフリップチップ実装した弾性表面波素子の封止構造を示す断面図である。
【符号の説明】
10、20 電子部品装置
1 容器
2 弾性表面波素子
3 キャビティ
4 他の電子部品
6 半田
7 樹脂
8 ダム
9 くし歯状電極
11 電極パッド
19 外部端子電極
21 バンプ
32 段差部
40 フラットニング用治具
c 間隙
Claims (4)
- 第1主面、および該第1主面の反対側に位置する第2主面を有した基板と、
該基板の前記第2主面に設けられており、かつ断面視して凹状のキャビティと、
上面、該上面の反対側に位置する下面、および側面を有しており、かつ前記上面で前記キャビティの底面に実装される第1電子部品と、
前記キャビティの開口を封止する樹脂部材と、を備え、
該樹脂部材は、前記キャビティの前記底面と前記第1電子部品の前記上面との間に間隙が形成されるように、前記第1電子部品の前記側面と該側面に対向する前記キャビティの内周面との間、および前記第1電子部品の前記下面に配置されるとともに、前記基板に対して露出する表面を有し、
前記樹脂部材の表面は、前記基板の前記第2主面と実質的に同一平面であり、
前記基板の前記第2主面には、外部基板と接続される外部端子電極が形成されており、
前記基板の前記第1主面には、第2電子部品が設けられており、
前記キャビティの前記開口の周囲には、前記樹脂部材が溜まる階段部が形成されている、電子部品装置。 - 前記第1電子部品の前記側面と該側面に対向する前記キャビティの前記内周面との間の間隙が、全周において略同一寸法である、請求項1に記載の電子部品装置。
- 前記第1電子部品の前記側面と該側面に対向する前記キャビティの前記内周面との間の間隙は、100〜400μmである、請求項2に記載の電子部品装置。
- 前記第1電子部品は、該第1電子部品の前記上面に櫛状電極が形成された弾性表面波素子である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子部品装置。
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