JP4580605B2 - 化学増幅型レジスト組成物 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、化学増幅型レジスト組成物に関し、特にエキシマレーザーあるいは電子線を使用する微細加工に好適な化学増幅型レジスト組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体素子あるいは液晶素子の製造における微細加工の分野においてはリソグラフィー技術の進歩により急速に微細化が進んでいる。その微細化の手法としては一般に露光光源の短波長化が用いられ、具体的には従来のg線、i線に代表される紫外線からDUVへ変化してきている。
【0003】
現在では、KrFエキシマレーザー(248nm)リソグラフィー技術が市場に導入され、更に短波長化を計ったArFエキシマレーザー(193nm)リソグラフィー技術が導入されようとしており、更に次世代の技術としてはF2エキシマレーザー(157nm)リソグラフィー技術が研究されている。また、これらと若干異なるタイプのリソグラフィー技術として電子線、EUV、X線、イオンビーム等のリソグラフィー技術についても精力的に研究されている。
【0004】
このような短波長の光源あるいは電子線、EUV、X線、イオンビーム等に対する高解像度のレジストとして、インターナショナル・ビジネス・マシーン(IBM)社より「化学増幅型レジスト」が提唱され、現在、この化学増幅型レジストの改良および開発が精力的に進められている。
【0005】
また、光源の短波長化においてはレジストに使用される樹脂もその構造変化を余儀なくされ、KrFエキシマレーザーリソグラフィーにおいては、248nmに対して透明性の高いポリヒドロキシスチレンやその水酸基を酸解離性の溶解抑制基で保護したものが用いられ、ArFエキシマレーザーリソグラフィーにおいては、上記樹脂は193nmにおいては透明性が不十分でほとんど使用不可能であるため、193nmにおいて透明なアクリル系樹脂あるいはシクロオレフィン系樹脂が注目されている。
アクリル系樹脂としては、特開平4−39665号公報、特開平10−207069号公報等が挙げられ、シクロオレフィン系樹脂については特開平10−153864号公報等が挙げられる。
【0006】
しかし、未だ性能的に不十分であり、より高い解像度、良好なレジスト形状が求められている。解像度低下、レジスト形状不良の原因としては空気中の塩基性物質あるいは基板から侵入する塩基性物質による酸の失活等が挙げられる。このような問題点を解決する手法として、例えばKrFエキシマレーザーリソグラフィーにおいて塩基性化合物を添加する方法(特開平9−179300号公報)等が知られている。
【0007】
しかしながら、より高性能なレジストが工業的に求められているのが現状である。特にArFエキシマレーザーリソグラフィーにおいては、使用される光源(波長)、用いられる樹脂、要求される解像度も異なり、効果のある添加剤は見出されていなかった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
前述した点を考慮して、本発明の目的は、DUVエキシマレーザーリソグラフィーあるいは電子線、EUV、X線、イオンビーム等のリソグラフィーに用いた場合に、高い感度および解像度で良好なレジスト形状が得られる化学増幅型レジスト組成物を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するための本発明によれば、酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂と、光酸発生剤と、アミン誘導体とを含む化学増幅型レジスト組成物であって、該アミン誘導体は、一般式(1)で表されるアミド化合物であり、25℃の水中における共役酸のpKaが−3〜3である塩基性化合物であり、かつ、25℃における水/オクタノール分配係数(LogP)が0〜1.5であることを特徴とする化学増幅型レジスト組成物が提供される。
【0010】
【化2】
(式中、R 1 ,R 2 及びR 3 は、それぞれ、独立に、水素または炭素数1〜30のアルキル基を示し、かつ、R 1 およびR 2 の少なくとも一方が炭素数3〜30の環状アルキル基である。)
【0011】
この目的を達成するための本発明によれば、酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂と、光酸発生剤と、25℃の水中において共役酸を形成し得る程度の塩基性を示し、中程度の極性を有するアミン誘導体とを含むことを特徴とする化学増幅型レジスト組成物が提供される。
【0012】
【発明の効果】
この化学増幅型レジスト組成物は、感度および解像度が高く、またレジスト形状が良好であり、高精度の微細なレジストパターンを安定して形成することができる。
【0013】
従って、DUVエキシマレーザーリソグラフィーや電子線、EUV、X線、イオンビーム等のリソグラフィー用、特にArFエキシマレーザーを使用するリソグラフィーに好適に用いることができる。
【0014】
【発明を実施するための最良の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
【0015】
化学増幅型レジストに塩基性化合物を添加することは既に知られており、このような塩基性化合物は、光照射によって光酸発生剤から発生した酸をクエンチすると考えられることから、一般にクエンチャーと呼ばれている。
【0016】
クエンチャーの作用機構は明らかではないが、レジスト系内に酸塩基平衡を形成し、酸濃度が低下した部分へ新たに酸を補給する説等がある。しかしながら、樹脂との相溶性や拡散等の要因も含まれるため、実際の作用機構はかなり複雑なものと推察される。
【0017】
このクエンチャーをレジストに添加することにより、表面難溶化層の形成が抑えられ、解像度が向上する、あるいはPED安定性が向上する等の効果が知られている。
【0018】
本発明者らは、クエンチャーとして、以下に説明する3つの中の少なくとも1つの特徴を有するアミン誘導体を添加することにより、得られる化学増幅型レジストの解像度が大幅に向上し、レジスト形状が非常に良好となることを見出した。
【0019】
本発明で使用されるアミン誘導体の第1の特徴は、その骨格に関する。即ち、アミン誘導体は、一般式(1)で表わされるアミド化合物であることが好ましい。
【0020】
【化3】
(式中、R1、R2及びR3は、それぞれ、水素または炭素数1から30のアルキル基を示す。)
【0021】
また、特に解像度が高く、レジスト形状が良好である等の理由により、一般式(1)において、R1、R2及びR3の少なくとも2つは、結合して環状骨格を形成していることが好ましい。
【0022】
更に、同様の理由から、一般式(1)において、R1及びR2の少なくとも一方は、炭素数3から30の環状アルキル基であることが好ましい。
【0023】
具体的には、N−シクロヘキシルホルムアミド、N−シクロヘキシルアセトアミド、1−シクロヘキシル−2−ピロリジノン、N−シクロヘキシル−δ−バレロラクタム、N−シクロヘキシル−ε−カプロラクタム、N−イソボルニルホルムアミド、N−イソボルニルアセトアミド、N−イソボルニル−2−ピロリジノン、N−イソボルニル−δ−バレロラクタム、N−イソボルニル−ε−カプロラクタム、N−アダマンチルホルムアミド、N−アダマンチルアセトアミド、N−アダマンチル−2−ピロリジノン、N−アダマンチル−δ−バレロラクタム、N−アダマンチル−ε−カプロラクタム、N−トリシクロデカニルホルムアミド、N−トリシクロデカニルアセトアミド、N−トリシクロデカニル−2−ピロリジノン、N−トリシクロデカニル−δ−バレロラクタム、N−トリシクロデカニル−ε−カプロラクタム、N−ジシクロペンタジエニルホルムアミド、N−ジシクロペンタジエニルアセトアミド、N−ジシクロペンタジエニル−2−ピロリジノン、N−ジシクロペンタジエニル−δ−バレロラクタム、N−ジシクロペンタジエニル−ε−カプロラクタム等を挙げることができる。
【0024】
なお、一般式(1)で表わされるアミド化合物は、単独または2種以上を混合して使用することもできる。
【0025】
また、一般式(1)で表わされるアミド化合物の含有量は、アミド化合物の種類により異なるので一概に言えないが、通常、光酸発生剤1モルに対して0.01〜10モルであり、好ましくは0.05〜1モルである。
【0026】
通常の含有量の領域において、式(1)で表わされるアミド化合物の含有量は多いほどレジスト形状が良くなり、少ないほどレジストとしての感度や露光部の現像性が向上する傾向にある。
【0027】
本発明で使用されるアミン誘導体の第2の特徴は、その塩基性の強度に関する。即ち、アミン誘導体は、25℃の水中において共役酸を形成し得る塩基性化合物であることが好ましい。
【0028】
なお、塩基性化合物の塩基性は、共役酸のpKaによって定量化することができる。本発明においては、25℃の水中における共役酸のpKaは、−3〜3であることが好ましく、−2〜2であることがより好ましい。
【0029】
共役酸のpKaが−3〜3の塩基性化合物をクエンチャーとしてレジスト組成物中に含有させることにより、特に、表面難溶化層の形成が抑えられ、解像度が向上する。
【0030】
また、PED安定性が向上する等の効果があり、従来のクエンチャーに比べて、解像度向上効果が格段に高い。
【0031】
共役酸のpKaが−3未満の塩基性化合物を用いるとレジスト形状が悪くなる場合があり、また共役酸のpKaが3を超えると感度や露光部の現像性が低下する場合がある。
【0032】
なお、共役酸のpKaが−3〜3の塩基性化合物は、必要に応じて単独または2種以上を組合わせて使用することができる。
【0033】
本発明に用いられる共役酸のpKaが−3〜3の塩基性化合物としては、例えば、アセトアミド、アセトアミジン、3−アミノピリジン−1−オキシド、4−ベンジルピリジン−1−オキシド、ベタイン、2−ブロモアニリン、2−ブロモピリジン、2−クロロ−6−ニトロアニリン、4−クロロ−2−ニトロアニリン、2−クロロピリジン、3−クロロピリジン、3−クロロ−o−トルイジン、コルチシン、2−シアノピリジン、3−シアノピリジン、4−シアノピリジン、3,5−ジブロモアニリン、3,5−クロロアニリン、2,5−ジクロロ−4−ニトロアニリン、3,5−ジヨードアニリン、4−ジメチルアミノゼンズアルデヒド、2,4−ジメチルピリジン−1−オキシド、3,5−ジニトロアニリン、5−エチル−2−メチルピリジン−1−オキシド、2−エチルピリジン−1−オキシド、3−エチルピリジン−1−オキシド、2−フルオロピリジン、3−フルオロピリジン、2−ヨードアニリン、2−ヨードピリジン、イソクレアチン、2−メトキシカルボニルアニリン、4−メトキシカルボニルアニリン、2−メトキシカルボニルピリジン、2−(N−メチルベンズアミド)ピリジン、2−(N−メチルメタンスルホンアミド)ピリジン、2−メチルピリジン−1−オキシド、3−メチルピリジン−1−オキシド、4−メチルピリジン−1−オキシド、3−メチルスルホニルアニリン、4−メチルスルホニルアニリン、2−ニトロアニリン、3−ニトロアニリン、4−ニトロアニリン、フェナジン、5−フェニルバルビツリック酸、ピラジン、ピラジンカルボキシアミド、ピラゾール、ピリダジン、3−ピリジンカルボニトリル、ピリジン−1−オキシド、ピリミジン、3−ピロリン、キノキサリン、2,3,5,6−テトラメチル−4−メチルアミノピリジン、トリアゾリン、チオウレア、4−(トリフルオロメチル)アニリン、2,4,6−トリメチルピリジン−1−オキシド、ジフェニルアミン、2−クロロアニリン、2−アセチルピリジン、N−イソプロピルメタクリルアミド、N−アセチルエタノールアミン、β−プロピオラクタム、2−ピロリジノン、δ−バレロラクタム、ε−カプロラクタム、ベンズアミド、N−メチルベンズアミド、N−エチルベンズアミド、N−イソプロピルベンズアミド、N−イソブチルベンズアミド、N−s−ブチルベンズアミド、N−t−ブチルベンズアミド、N−ベンジルベンズアミド、N,N−ジメチルベンズアミド、N,N−ジエチルベンズアミド、N,N−ジイソプロピルベンズアミド、ベンゾイルピペリジン、2−アザシクロオクタノン、2−アザシクロノナノン、N−メチルアセトアミド、N−エチルアセトアミド、N−t−ブチルアセトアミド、N−ベンジルアセトアミド、N−p−メトキシベンジルアセトアミド、N−p−クロロベンジルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ウレア、N,N−ジメチルホルムアミド、N−シクロヘキシルホルムアミド、N−イソプロピルアクリルアミド等が挙げられる。
【0034】
なかでも、(メタ)アクリルアミド類、アセトアミド類、イソ酪酸アミド類、ホルムアミド類、ラクタム類が好ましい。
【0035】
共役酸のpKaが−3〜3の塩基性化合物の使用量は、その種類により適宜選定されるが、光酸発生剤1モルに対して、通常0.01〜10モル、好ましくは0.05〜1モルである。
【0036】
共役酸のpKaが−3〜3の塩基性化合物は、多いほどレジスト形状が良くなり、少ないほど感度や露光部の現像性が向上する傾向がある。
【0037】
本発明で使用されるアミン誘導体の第3の特徴は、その極性に関する。即ち、アミン誘導体は、過度に高い極性および過度に低い極性を有しておらず、中程度の極性を有する塩基性化合物であることが好ましい。
【0038】
なお、塩基性化合物の極性は、水/オクタノール分配係数(LogP)によって定量化することができる。本発明においては、25℃における水/オクタノール分配係数(LogP)が、0〜1.5であることがより好ましい。
【0039】
ここでいう水/オクタノール分配係数(LogP)は、J.Computational Chem.誌、第9巻(1988年刊)、第1号の第80〜90頁に記載される構造活性相関の関係式によって求められる。具体的には、対象となる塩基性化合物について、非経験的分子軌道法(RHF/STO−3G)および半経験的分子軌道法(AM1又はPM3)等を用いて、その化合物の分子構造のエネルギー的な最適化を行い、その最適化された構造を用いて、上述の関係式により水/オクタノール分配係数(LogP)を求めることができる。
【0040】
この水/オクタノール分配係数(LogP)は、小さいほど水の方に多く、大きいほどオクタノールの方に多く分配されることを表す。
【0041】
水/オクタノール分配係数(LogP)が0〜1.5の塩基性化合物をクエンチャーとしてレジスト組成物中に含有させることにより、特に、表面難溶化層の形成が抑えられ、解像度が向上する。
【0042】
また、PED安定性が向上する等の効果があり、従来のクエンチャーに比べて、解像度向上効果が格段に高い。
【0043】
水/オクタノール分配係数(LogP)が0未満の塩基性化合物を用いるとレジスト形状が悪くなる場合があり、また水/オクタノール分配係数(LogP)が1.5を超えると感度や露光部の現像性が低下する場合がある。
【0044】
なお、水/オクタソール分配係数(LogP)が0〜1.5の塩基性化合物は、必要に応じて単独または2種以上を組合わせて使用することができる。
【0045】
本発明に用いられる水/オクタソール分配係数(LogP)が0〜1.5の塩基性化合物としては、例えば、N−イソプロピルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルホルムアミド、1−シクロヘキシル−2−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、N−アダマンチルアセトアミド、N−イソプロピルイソ酪酸アミド、1−アセチル−3−メチルピペリジン、N−イソプロピルアクリルアミド、N−ビニルカプロラクタム、N−ビニルピロリジノン、ジメチルアミノエチルメタクリレート、N,N−ジエチルアクリルアミド、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド、ジメチルアミノプロピルアクリルアミド等が挙げられる。
【0046】
なかでも、(メタ)アクリルアミド類、アセトアミド類、イソ酪酸アミド類、ホルムアミド類、ラクタム類が好ましい。
【0047】
水/オクタノール分配係数(LogP)が0〜1.5の塩基性化合物の使用量は、その種類により適宜選定されるが、光酸発生剤1モルに対して、通常0.01〜10モル、好ましくは0.05〜1モルである。
【0048】
水/オクタノール分配係数(LogP)が0〜1.5の塩基性化合物は、多いほどレジスト形状が良くなり、少ないほど感度や露光部の現像性が向上する傾向がある。
【0049】
以上に説明してきたように、本発明においてクエンチャーとして使用されるアミン誘導体は、骨格に関する第1の特徴と、塩基性に関する第2の特徴と、極性に関する第3の特徴との少なくとも1つを有していることが好ましい。
【0050】
この様なアミン誘導体の中で、本発明において使用することが特に好ましいことを確認できたものとしては、N−イソプロピルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルホルムアミド、1−シクロヘキシル−2−ピロリジノン、N−メチルアセトアミド、ε−カプロラクタム、1−アセチル−3−メチルピペリジン等を挙げることができる。
【0051】
また、発明者らの現在までの検討によれば、上記の3つの特徴のうち、2つの特徴を兼備えるアミン誘導体がより好ましい傾向にあり、3つの全ての特徴を兼備えるアミン誘導体が更に好ましい傾向にある。
【0052】
上記の様なアミン誘導体の使用量は、光酸発生剤1モルに対して、0.01モル以上が好ましく、0.05モル以上がより好ましく、10モル以下が好ましく、1モル以下がより好ましい。
【0053】
なお、必要に応じて、上記の3つの特徴のうち少なくとも1つを有しているアミン誘導体の1種類以上を使用することができ、2種類以上を使用した場合においては、その総量の使用量が上記の範囲内であることが好ましい。
【0054】
以下では、本発明の化学増幅型レジスト中に含まれる酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂(単に樹脂とも記載する)について説明する。この樹脂は、酸によりアルカリ水溶液に可溶となる性質を持つものであれば特に限定はなく、化学増幅型レジスト組成物用の樹脂であればよい。これらは、リソグラフィーに使用される光源によって、適宜に選択される。
【0055】
例えば、KrFエキシマレーザーや電子線を光源とする場合には、エッチング耐性の高いp−ヒドロキシスチレンあるいはその誘導体を(共)重合した樹脂が好適に用いられる。このような樹脂は、当然ながら、酸によって脱離しアルカリ性の現像液に可溶となる官能基をその(共)重合体の構造中に有している。
【0056】
このような(共)重合体としては、具体的には、p−ヒドロキシスチレン単量体単位の水酸基やその他の単量体単位のカルボキシル基を、アセトキシ基、t−ブチル基、テトラヒドロピラニル基、メチルアダマンチル基等により保護したものが好適である。
【0057】
光源がArFエキシマレーザーの場合は、その波長が短いため、上述したような樹脂はその光線透過率が低く使用できない。そのため光線透過率が高くエッチング耐性が比較的高い脂環式骨格を有する樹脂が好適に用いられる。
【0058】
このような樹脂としては、具体的には、特開平9−090637号公報、特開平10−207069号公報記載されているアクリル系樹脂、特開平10−207070号公報、特開平10−218941号公報に記載されているオレフィン系樹脂が挙げられる。
【0059】
しかしながら、本発明で開示されるアミド化合物および塩基性化合物をクエンチャーとして使用する場合、ArFエキシマレーザーリソグラフィー用樹脂としては、脂環式骨格を有する単量体単位とラクトン骨格を有する単量体単位を含む樹脂あるいはシクロオレフィン系樹脂が好ましく、特に、脂環式骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位およびラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位を含む重合体が好ましい。
【0060】
脂環式骨格を有する単量体単位は、樹脂およびその樹脂組成物に、透明性と高いドライエッチング耐性を付与できる。また、特に酸により脱離する保護基(脂環式基が直接保護基となっていてもよい)を含有するものは193nmにおける高い感度を付与することができる。
【0061】
脂環式骨格を有する単量体単位としては、脂環式骨格をエステル部に含む(メタ)アクリル酸エステルが好ましい。
【0062】
特に、脂環式骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位としては、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレート及びこれらの単量体単位の脂環式環上にアルキル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基等の置換基を有する誘導体からなる群より選ばれるものが好ましい。
【0063】
具体的には、1−イソボニルメタクリレート、2−メタクリロイルオキシ−2−メチルアダマンタン、シクロヘキシルメタクリレート、アダマンチルメタクリレート、トリシクロデカニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート等が挙げられる。
以上の様な脂環式骨格を有する単量体単位は、1種だけで、あるいは必要に応じて2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0064】
また、ラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位は、樹脂およびその樹脂組成物に、基板に対する密着性を付与する。また、特に酸により脱離する保護基(ラクトン基が直接保護基となっていてもよい)を含有するものは193nmにおける高い感度を付与することができる。
【0065】
ラクトン骨格を有する単量体単位としては、ラクトン骨格をエステル部に含む(メタ)アクリル酸エステルが好ましい。
【0066】
特に、ラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位としては、δ−バレロラクトン環を有する(メタ)アクリレート、γ−ブチロラクトン環を有する(メタ)アクリレート及びこれらの単量体単位のラクトン環上にアルキル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基等の置換基を有する誘導体からなる群より選ばれるものが好ましい。
【0067】
具体的には、β−メタクリロイルオキシ−β−メチル−δ−バレロラクトン、β−メタクリロイルオキシ−γ−ブチロラクトン、β−メタクリロイルオキシ−β−メチル−γ−ブチロラクトン、α−メタクリロイルオキシ−γ−ブチロラクトン、2−(1−メタクリロイルオキシ)エチル−4−ブタノリド、パントラクトンメタクリレート等が挙げられる。
【0068】
以上の様なラクトン骨格を有する単量体単位は、1種だけで、あるいは必要に応じて2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0069】
本発明において用いられる酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂の重量平均分子量は、特に限定はされないが、ドライエッチング耐性およびレジスト形状を考慮すると、1,000以上が好ましく、レジスト溶剤に対する溶解性と解像度を考慮すると、100,000以下が好ましい。
【0070】
酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂の製造方法は特に限定されないが、例えば、あらかじめ、単量体、重合開始剤を有機溶剤に溶解させた単量体溶液を一定温度に保持した有機溶剤中に滴下する、いわゆる滴下重合法が好適な製造方法として挙げることができる。
【0071】
この滴下重合法に用いられる有機溶剤としては、単量体混合物、重合開始剤および得られる共重合体のいずれも溶解できる溶剤が好ましく、例えば、1,4−ジオキサン、イソプロピルアルコール、アセトン、テトラヒドロフラン、メチルイソブチルケトン等が挙げられる。
【0072】
滴下重合法に用いられる重合開始剤としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)等のアゾ化合物、過酸化ベンゾイル等の有機過酸化物等が挙げられる。また、例えば、n−ブチルメルカプタン、n−オクチルメルカプタン等のメルカプタン類を連鎖移動剤として併用してもよい。
【0073】
滴下重合する際、重合温度は50〜150℃の範囲が好ましく、滴下時間は6時間以上が好ましい。滴下が終了した後は、2時間程度その温度を保持して重合を完結させることが好ましい。
【0074】
次に、このように重合した共重合体溶液を、例えば、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等の良溶媒にて適当な溶液粘度に希釈した後、例えば、メタノール、水等の多量の貧溶媒中に滴下して析出させる。その後、その析出物を濾別、十分に乾燥することにより本発明に用いられる樹脂を得ることができる。この再沈工程は、場合により不要であることもあるが、重合溶液中に残存する未反応の単量体、あるいは、重合開始剤等を取り除くために非常に有効である。これらの未反応物はそのまま残存しているとレジスト性能に悪影響を及ぼす可能性があるため、できれば取り除いた方が好ましい。
【0075】
このようにして得られた樹脂を用いて、光酸発生剤と共に溶剤に溶解させることにより、化学増幅型レジスト組成物(溶液)を得ることができる。
【0076】
ここで用いられる光酸発生剤については特に制限は無く、化学増幅型レジスト組成物の酸発生剤として使用可能なものの中から任意に選択することができる。
【0077】
具体的には、オニウム塩化合物、スルホンイミド化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、キノンジアジド化合物およびジアゾメタン化合物等が挙げられる。
【0078】
中でもオニウム塩化合物が好適であり、例えば、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ピリジニウム塩等を挙げることができる。
【0079】
具体例としては、トリフェニルスルホニウムトリフレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホネート、(ヒドロキシフェニル)ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムトリフレート、ジフェニルヨードニウムピレンスルホネート、ジフェニルヨードニウムドデシルベンゼンスルホネート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等を挙げることができる。
【0080】
なお、光酸発生剤は単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0081】
また、光酸発生剤の使用量は選択された光酸発生剤の種類により適宜選定されるが、樹脂100質量部当たり、通常、0.1〜20質量部、特に好ましくは0.5〜10質量部である。この場合、光酸発生剤の使用量が0.1質量部未満では、露光により発生した酸の触媒作用による化学反応を十分に生起させることが困難となるおそれがあり、また20質量部を越えると組成物を塗布する際に塗布むらが生じたり、現像時にスカム等を発生するおそれがある。
【0082】
更に、用いられる溶剤は、目的に応じて任意に選択されるが、共重合体および光酸発生剤の溶解性を考慮すると同時に、それ以外の理由、たとえば、塗膜の均一性、外観、あるいは安全性等を考慮して選択するのが好ましい。
【0083】
これらの条件を満たす溶剤としては、例えば、2−ペンタノン、2−ヘキサノン等の直鎖状ケトン類;シクロペンタノン、シクロヘキサノン等の環状ケトン類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のジエチレングリコールアルキルエーテル類;酢酸エチル、乳酸エチル等のエステル類;シクロヘキサノール、1−オクタノール等のアルコール類;炭酸エチレン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。これらの溶剤は、単独であるいは2種以上を混合して使用することができる。
【0084】
加えて、レジスト組成物(溶液)中に、必要に応じて、界面活性剤、増感剤、ハレーション防止剤、保存安定剤、消泡剤等の各種添加剤を配合してもよい。
【0085】
界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート等のノニオン系界面活性剤のほか、以下商品名で、ポリフローNo.75(共栄社油脂化学工業製)、メガファックスF173(大日本インキ化学工業製)、サーフロンSC−105(旭硝子製)、L−70001(信越化学工業製)等が挙げられる。
【0086】
このようにして得られたレジスト組成物(溶液)を用いてレジストパターンを形成するには、スピンコート等の公知の塗布手段により基板上に所定の厚さに塗布し、適宜乾燥処理を行った後、所定の光源により露光を行う。露光後、必要により露光後ベークを行ってから、アルカリ現像液により現像することにより、所定のパターンが得られる。
【0087】
以上で説明してきた化学増幅型レジスト組成物は、特に高い解像度を有する。
【0088】
具体的には、アルゴンフッ素エキシマレーザーを光源とする波長193nmの光を用いて、マスク上のライン/スペース=1/1パターンをベアシリコン上に形成した膜厚0.5ミクロンのレジストに、5mJ/cm2以下の露光量で1/4に縮小投影露光し、120℃で60秒間加熱処理を行い、23℃の2.38質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で60秒間現像した場合の限界解像度を、0.15ミクロン以下、より好ましくは0.14ミクロン以下、更に好ましくは0.13ミクロン以下、最も好ましくは0.12ミクロン以下とすることができる。
【0089】
また、アルゴンフッ素エキシマレーザーを光源とする波長193nmの光を用いて、マスク上のライン/スペース=1/1パターンをベアシリコン上に形成した膜厚0.5ミクロンのレジストに、5mJ/cm2以下の露光量で1/4に縮小投影露光し、120℃で60秒間加熱処理を行い、23℃の2.38質量%の水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で60秒間現像した場合の0.12ミクロンのパターンにおいて、レジスト上面と下面との線幅の差を10%以内とすることができる。
【0090】
【実施例】
以下、実際に化学増幅型レジスト組成物を製造した場合の例に基づいて、本発明を更に具体的に説明する。なお、以下で特に断らない限り、「部」は「質量部」を意味し、試薬は市販の高純度品を使用した。
【0091】
樹脂の特性は、以下の測定法により評価した。
【0092】
<重量平均分子量>
ゲル・パーミエイション・クロマトグラフィー(GPC)により、ポリメタクリル酸メチル換算で求めた。溶剤には、クロロホルム又はテトラヒドロフランを使用した。
【0093】
<共重合体の平均共重合組成(モル%)>
1H−NMRの測定により求めた。溶剤には、重クロロホルム又は重アセトンを使用した。
【0094】
レジストの評価は、以下の方法で行った。
【0095】
<感度>
レジスト組成物溶液をシリコンウエハー上にスピンコートしたのち、ホットプレートを用いて、120℃で60秒間プリベークを行い、膜厚0.5μmのレジスト膜を形成した。次いで、KrFエキシマレーザー露光機またはArFエキシマレーザー露光機を使用し、ライン/スペース=1/1パターンのマスクを1/4に縮小露光した後、ホットプレートを用いて120℃で60秒間露光後ベークを行った。次いで、23℃の2.38質量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液で60秒間現像し、純水で洗浄し、乾燥して、レジストパターンを形成した。ライン・アンド・スペースパターン(L/S=1/1)を1/1の線幅に形成する露光量を感度として測定した。
【0096】
<限界解像度>
上記露光量で露光したときに解像されるレジストパターンの最小寸法(μm)を限界解像度とした。
【0097】
<レジスト形状>
レジスト形状は、以下の3通りの方法の何れかで評価した。
【0098】
第1方法:レジスト断面形状を電子顕微鏡にて観察し、形状不良のものを「×」、形状良好で表面難溶化層の形成が抑制されているものを「○」、形状がより良好で膜減りも抑制されており断面が矩形に近いものを「◎」と評価した。また、0.12ミクロンのパターンにおけるレジスト上面と下面との線幅の差(DD)を次式により算出した。
DD(%)=(下面の線幅−上面の線幅)/下面の線幅×100
【0099】
第2方法:レジスト断面形状を電子顕微鏡にて観察し、矩形状の場合を「良好」、表面難溶化層の形成が見られた場合を「T−トップ」、上部(表面)側が細くなった場合を「テーパー状」、膜厚が薄くなった場合を「膜減り」と評価した。
【0100】
(樹脂1)
窒素導入口、攪拌機、コンデンサーおよび温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、1,4−ジオキサン20.0部を入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。2−メタクリロイルオキシ−2−メチルアダマンタン(略称:MAdMA)29.3部、p−ヒドロキシスチレン(略称:HS)15.0部、1,4−ジオキサン62.5部、アゾビスイソブチロニトリル1.9部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけて、フラスコ中に滴下し、その後、80℃の温度を2時間保持した。次いで、得られた反応溶液をテトラヒドロフランで約2倍に希釈し、約10倍量の水中に撹拌しながら滴下し、白色の析出物(樹脂1)の沈殿を得た。得られた沈殿を濾別し、減圧下60℃で約40時間乾燥した。
【0101】
ついで、得られた樹脂1の各物性を測定した。重量平均分子量は12,000、共重合組成比はMAdMA/HS=51/49モル%であった。
【0102】
(樹脂2)
29.3部のMAdMAに代えて、22.0部のp−t−ブトキシスチレン(略称:PTBST、分子量:176)を使用した以外は、樹脂1の場合と同様に、樹脂2を作製した。得られた樹脂20重量平均分子量は12,000、共重合組成比はPTBST/HS=51/49モル%であった。
【0103】
(樹脂3)
窒素導入口、攪拌機、コンデンサーおよび温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、1,4−ジオキサン20.0部を入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。2−メタクリロイルオキシ−2−メチルアダマンタン(略称:MAdMA)29.3部、β−メタクリロイルオキシ−γ−ブチロラクトン(略称:HGBMA)21.2部、1,4−ジオキサン62.5部、アゾビスイソブチロニトリル1.9部を混合した単量体溶液を一定速度で6時間かけて、フラスコ中に滴下し、その後、80℃の温度を2時間保持した。次いで、得られた反応溶液をテトラヒドロフランで約2倍に希釈し、約10倍量のメタノール中に撹拌しながら滴下し、白色の析出物(樹脂3)の沈殿を得た。得られた沈殿を濾別し、減圧下60℃で約40時間乾燥した。
【0104】
ついで、得られた樹脂3の各物性を測定した。重量平均分子量は11,000、共重合組成比はMAdMA/HGBMA=50/50モル%であった。
【0105】
(化学増幅型レジスト組成物1〜10)
表1−1に示す様に、100部の樹脂と、光酸発生剤として2部のトリフェニルスルホニウムトリフレートと、光酸発生剤の0.1倍モルのアミン誘導体と、溶剤として500部のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとを混合して均一溶液としたのち、孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過し、化学増幅型レジスト組成物1〜10を調整した。
【0106】
化学増幅型レジスト組成物1〜3、7、9のレジストパターンを、KrFエキシマレーザー露光で評価し、結果を表1−2に示した。
【0107】
また、化学増幅型レジスト組成物4〜6、8、10のレジストパターンを、ArFエキシマレーザー露光で評価し、結果を表1−3に示した。
【0108】
以上の評価結果より、特定の骨格を有するアミン誘導体を加えることにより、レジスト組成物の大きな感度低下を伴うことなく、解像度を向上でき、レジスト形状も良好であることが分かった。
【0109】
【表1】
【0110】
【表2】
【0111】
【表3】
【0112】
(化学増幅型レジスト組成物11〜22)
表2−1に示す樹脂およびアミン誘導体を使用する以外は、化学増幅型レジスト組成物1〜10の場合と同様に、化学増幅型レジスト組成物11〜22を調整した。なお、N−イソプロピルメタクリルアミドの共役酸のpKaは−1.5、N−メチルアセトアミドの共役酸のpKaは−0.42、ε−カプロラクタムの共役酸のpKaは−0.46、ジメチルアミノエチルメタクリレートの共役酸のpKaは10、シアノエチルメタクリレートの共役酸のpKaは−6であった。
【0113】
化学増幅型レジスト組成物11〜13、17〜19のレジストパターンを、KrFエキシマレーザー露光で評価し、結果を表2−2に示した。
【0114】
また、化学増幅型レジスト組成物14〜16、20〜22のレジストパターンを、ArFエキシマレーザー露光で評価し、結果を表2−3に示した。
【0115】
以上の評価結果より、特定の塩基性を有するアミン誘導体を加えることにより、レジスト組成物の大きな感度低下を伴うことなく、解像度を向上でき、レジスト形状も良好であることが分かった。
【0116】
【表4】
【0117】
【表5】
【0118】
【表6】
【0119】
(化学増幅型レジスト組成物23〜34)
表3−1に示す樹脂およびアミン誘導体を使用する以外は、化学増幅型レジスト組成物1〜10の場合と同様に、化学増幅型レジスト組成物23〜34を調整した。
【0120】
なお、N−イソプロピルメタクリルアミドのLogPは0.97、1−シクロヘキシル−2−ピロリジノンのLogPは1.21、N−シクロヘキシルホルムアミドのLogPは0.83、N−アセチルエタノールアミンのLogPは−1.24、2−ピロリジノンのLogPは−0.58であった。ここで示した、水/オクタノール分配係数(LogP)は、RHF/STO−3Gにより計算したGhose、Pritchett、Crippenの水/オクタノール分配係数である。
【0121】
化学増幅型レジスト組成物23〜25、29〜31のレジストパターンを、KrFエキシマレーザー露光で評価し、結果を表3−2に示した。
【0122】
また、化学増幅型レジスト組成物26〜28、32〜34のレジストパターンを、ArFエキシマレーザー露光で評価し、結果を表3−3に示した。
【0123】
以上の評価結果より、特定の極性を有するアミン誘導体を加えることにより、レジスト組成物の大きな感度低下を伴うことなく、解像度を向上でき、レジスト形状も良好であることが分かった。
【0124】
【表7】
【0125】
【表8】
【0126】
【表9】
Claims (4)
- 前記酸によりアルカリ水可溶となる樹脂は、脂環式骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位およびラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位を含む重合体であることを特徴とする請求項1記載の化学増幅型レジスト組成物。
- 前記脂環式骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位は、シクロへキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレート及びこれらの単量体単位の脂環式環上に置換基を有する誘導体からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2記載の化学増幅型レジスト組成物。
- 前記ラクトン骨格を有する(メタ)アクリル酸エステル単量体単位は、δ−バレロラクトン環を有する(メタ)アクリレート、γ−ブチロラクトン環を有する(メタ)アクリレート及びこれらの単量体単位のラクトン環上に置換基を有する誘導体からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項2記載の化学増幅型レジスト組成物。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19816099 | 1999-07-12 | ||
JP19909899 | 1999-07-13 | ||
JP19909999 | 1999-07-13 | ||
JP23005999 | 1999-08-16 | ||
PCT/JP2000/004623 WO2001004706A1 (fr) | 1999-07-12 | 2000-07-11 | Composition de resine de reserve pour amplification chimique |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4580605B2 true JP4580605B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
ID=27475898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001510053A Expired - Fee Related JP4580605B2 (ja) | 1999-07-12 | 2000-07-11 | 化学増幅型レジスト組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6887646B1 (ja) |
EP (1) | EP1209525A4 (ja) |
JP (1) | JP4580605B2 (ja) |
KR (1) | KR100781067B1 (ja) |
TW (1) | TW527525B (ja) |
WO (1) | WO2001004706A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI237162B (en) * | 2000-08-15 | 2005-08-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | Electron radiation- or X ray-resist composition |
CN1963667B (zh) * | 2002-09-12 | 2010-09-29 | 住友化学工业株式会社 | 化学增强型光刻胶组合物 |
JP4303044B2 (ja) | 2003-06-23 | 2009-07-29 | Necエレクトロニクス株式会社 | 化学増幅型レジスト組成物および該化学増幅型レジスト組成物を用いた半導体集積回路装置の製造方法 |
JP4724465B2 (ja) | 2005-05-23 | 2011-07-13 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法 |
EP2049950A2 (en) * | 2006-08-02 | 2009-04-22 | Nxp B.V. | Photolithography |
JP4784760B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2011-10-05 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
US8563221B2 (en) * | 2008-03-11 | 2013-10-22 | 3M Innovative Properties Company | Phototools having a protective layer |
US8168367B2 (en) | 2008-07-11 | 2012-05-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Resist composition and patterning process |
JP2011059672A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-03-24 | Sumitomo Chemical Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
JP2011057663A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-03-24 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 化合物及びフォトレジスト組成物 |
JP5515962B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 化学増幅型レジストパターンの改質方法 |
KR20120001609A (ko) * | 2010-06-29 | 2012-01-04 | 후지필름 가부시키가이샤 | 반도체용 레지스트 조성물, 및 이 조성물을 사용한 레지스트막과 패턴 형성 방법 |
JP5512481B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2014-06-04 | 東京応化工業株式会社 | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
KR102227564B1 (ko) | 2014-01-20 | 2021-03-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 포토레지스트 조성물 |
US20170103888A1 (en) * | 2015-10-13 | 2017-04-13 | Entegris, Inc. | AMINE CATALYSTS FOR LOW TEMPERATURE ALD/CVD SiO2 DEPOSITION USING HEXACHLORODISILANE/H2O |
US9872399B1 (en) * | 2016-07-22 | 2018-01-16 | International Business Machines Corporation | Implementing backdrilling elimination utilizing anti-electroplate coating |
WO2024056771A1 (en) * | 2022-09-16 | 2024-03-21 | Merck Patent Gmbh | Resist composition, method for manufacturing resist film, and method for manufacturing device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06266110A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ポジ型レジスト材料 |
JPH06266100A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Toshiba Corp | 感光性組成物 |
JPH07500932A (ja) * | 1991-10-29 | 1995-01-26 | イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー | 溶解性促進剤を含有するポジホトレジスト |
JPH0792681A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-04-07 | Nippon Zeon Co Ltd | レジスト組成物 |
JPH10207069A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 化学増幅型ホトレジスト組成物 |
JP2001235866A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型感光性組成物 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149640A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | Konica Corp | 感光性組成物および感光性平版印刷版 |
EP0537524A1 (en) | 1991-10-17 | 1993-04-21 | Shipley Company Inc. | Radiation sensitive compositions and methods |
DE4222968A1 (de) * | 1992-07-13 | 1994-01-20 | Hoechst Ag | Positiv-arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch und damit hergestelltes Aufzeichnungsmaterial |
JP2964874B2 (ja) | 1994-06-10 | 1999-10-18 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅ポジ型レジスト材料 |
JP2956824B2 (ja) * | 1995-06-15 | 1999-10-04 | 東京応化工業株式会社 | ポジ型レジスト膜形成用塗布液 |
US6013416A (en) * | 1995-06-28 | 2000-01-11 | Fujitsu Limited | Chemically amplified resist compositions and process for the formation of resist patterns |
JP3198915B2 (ja) | 1996-04-02 | 2001-08-13 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅ポジ型レジスト材料 |
KR100562180B1 (ko) * | 1997-01-29 | 2006-07-03 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 화학증폭형포지티브레지스트조성물 |
JP3676918B2 (ja) * | 1997-10-09 | 2005-07-27 | 富士通株式会社 | レジスト材料及びレジストパターンの形成方法 |
-
2000
- 2000-07-11 JP JP2001510053A patent/JP4580605B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-11 TW TW089113754A patent/TW527525B/zh active
- 2000-07-11 EP EP00942481A patent/EP1209525A4/en not_active Withdrawn
- 2000-07-11 WO PCT/JP2000/004623 patent/WO2001004706A1/ja active Application Filing
- 2000-07-11 KR KR1020027000415A patent/KR100781067B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-07-11 US US10/030,430 patent/US6887646B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07500932A (ja) * | 1991-10-29 | 1995-01-26 | イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー | 溶解性促進剤を含有するポジホトレジスト |
JPH06266110A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ポジ型レジスト材料 |
JPH06266100A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Toshiba Corp | 感光性組成物 |
JPH0792681A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-04-07 | Nippon Zeon Co Ltd | レジスト組成物 |
JPH10207069A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 化学増幅型ホトレジスト組成物 |
JP2001235866A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型感光性組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20020060682A (ko) | 2002-07-18 |
TW527525B (en) | 2003-04-11 |
EP1209525A4 (en) | 2003-03-19 |
KR100781067B1 (ko) | 2007-11-30 |
US6887646B1 (en) | 2005-05-03 |
EP1209525A1 (en) | 2002-05-29 |
WO2001004706A1 (fr) | 2001-01-18 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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