JP4580177B2 - 移動体送り装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施例1の移動体送り装置を制御回路とともに示す図で、図1(A)は移動体送り装置を一部破断して示す正面図、図1(B)は側面図である。
実施例1の移動体送り装置は、例えば空気圧によるサーボマウンタ等の図示しない除振機構上に設けたベース24に、送り方向と直角方向に離間して片端を固定した支柱18が設けられており、支柱18の他端は、上端部に例えば球体、円筒ローラ等を送り方向に配置したころがり軸受からなる案内機構14を介して移動体13が摺動自在とされている。移動体13には、上部にターンテーブル19が搭載され、外部より供給される圧縮空気によりラジアル、スラスト方向に静圧浮上するエアスピンドル22が固定されており、ターンテーブル19は回転駆動モータ21によって回転駆動されるエアスピンドル22を介して回転駆動される。また、エアスピンドル22には回転駆動モータ21を介して、一般的にその出力が一周を数千等分割したA相、B相パルスと一周に1回発生するZ相パルスから構成される光学式ロータリーエンコーダ20が固定されており、全体として回転機構30を構成しており、図示しない外部からの回転駆動モータ21への通電信号により回転自在に構成されている。
以上の構成により、図示しない送り駆動モータ7のコイル端末より通電すれば、移動体13が送り方向に移動自在となる。
回転機構30の回転情報として、例えば回転数、回転プログラム等を予め設定した回転情報入力手段26の出力は、送り装置の移動体13ところがり軸受2a,2bのスラスト剛性から決定される1次固有振動数が、回転情報入力手段26に与えられた回転周波数、もしくは回転プログラム中の回転周波数とその高次周波数が一致しない固有振動数データを送出する必要特性演算部27に入力され、その固有振動数データに相当する例えばアナログ電圧、デジタルデータ等を出力する特性制御回路28に接続され、さらに特性制御回路28の出力は、その固有振動数に相当するころがり軸受2a,2bへの予圧を駆動軸方向の伸縮量に設定する予圧調整手段29に接続され、予圧調整手段29の出力は駆動軸1の軸方向に伸縮する予圧調整伸縮部5に接続されており、全体で動特性可変手段31を構成している。
図2は、特性制御回路における、予圧量と1次固有振動数との関係を示すグラフであり、図3は、予圧調整手段における、予圧量と予圧調整伸縮部の伸縮量との関係を示すグラフである。
送り装置の1次固有振動数は、ころがり軸受2a,2bの軸受すきまをゼロとする予圧をW0とすると、予圧をW1まで変更すると軸受剛性の増加によって、図2に示すように送り装置の1次固有振動数が高くなる。
特性制御回路28では、前段の必要特性演算部27で算出された固有振動数f2に対する予圧量W2を出力する。予圧量と予圧調整伸縮部5の伸縮量との関係は、図3に示されている。ころがり軸受2a,2bの軸受すきまをゼロとする予圧をW0とすると、その時対向するころがり軸受2a,2bの左側軸受2aと右側軸受2bは、δ0だけ駆動軸1の軸方向で逆方向に変形する。この状態で予圧調整手段29の出力により予圧調整伸縮部5がさらに伸長してX1まで達した時の予圧量はW1となる。予圧調整手段29では、特性制御回路28にて与えられた予圧量W2に対して伸縮量X2を決定して予圧調整伸縮部5に出力する。
そこで、実施例2の移動体送り装置では、回転機構30の回転周波数が時間あるいは送り位置によって時々刻々変化する場合に対応可能な構成としている。
図5は、実施例2の移動体送り装置を一部破断し制御回路とともに示す図である。
実施例2の移動体送り装置では、移動体13に固定された軸受け止め38にターンテーブル19の半径方向に対向する例えば静電容量型の変位検出器等の振れ量検出手段39が設けられており、その振れ信号が回転情報入力手段26に入力されている。
ターンテーブル19が回転するときの振れ信号は基本波が正弦波であり、図6に示すような、例えばある信号レベルをスレッシュホールド値とした比較器によりパルス変換し、そのパルス信号をカウンタで計数することにより周波数情報が得られる構成とする。
図7は、予圧調整伸縮部の構成を示す図で、図7(A)は、円筒型積層圧電素子構造の詳細を示す断面図、図7(B)は、複数圧電素子構造の詳細を示す断面図である。
予圧調整伸縮部5は、ころがり軸受2a,2bのそれぞれの外輪に対して駆動軸1の軸方向に荷重印加できる機構であれば使用可能であるが、好適なものとしては、図7(A)に示す円筒型積層圧電素子5aを用いた構造、あるいは図7(B)に示す複数圧電素子5bを用いた構造や流体圧を利用したピストンを用いた構造が好適である。しかし、最も簡単で単純な構成は、図7(A)に示す円筒型積層圧電素子5aを用いた構造である。
図8は、実施例3の移動体送り装置を一部破断して示す図である。
実施例3の移動体送り装置では、駆動軸1の両側に実施例1で用いた機構を設けている。すなわち、駆動軸1を支持する支持体10と対をなすもう一方の支持体33にも、支持体10に設けたのと同様の予圧調整伸縮部36を設けている。駆動軸1の左側端部は、段付部が形成されており、段付部の外周はベース24に固定され上部に段付の貫通穴を設けた支持体33の円筒穴部に同心状にその外輪を固定された、例えばアンギュラ軸受等のころがり軸受34a,34bが間座35を介して対向して嵌合しており、駆動軸1に設けたネジ部ところがり軸受34a,34bの内輪部が軸受け止め38にて固定されている。ころがり軸受34a,34bに加えられる予圧は、取付板37によって取り付けられた例えば圧電素子等の予圧調整伸縮部36によって与えられる。この構成では、両側のころがり軸受の予圧を利用できるのでf0〜f1領域を広げることができる。
図9は、実施例4の移動体送り装置を一部破断し制御回路とともに示す図、図10は、実施例4の移動体送り装置で用いられるノッチフィルタを示す回路図である。
必要特性演算部27から算出された送り装置の1次固有振動数値に応じてアナログ、もしくはデジタル信号が、送り制御手段32内の例えば図10に示すノッチフィルタ回路に接続されており、その信号によってノッチフィルタ回路の遮断周波数を可変できる構成としている。具体的には、ノッチフィルタ回路を構成する抵抗R1,R2,R3を可変抵抗としておき、上記の必要特性演算部27から出力されるアナログ、もしくはデジタル信号により抵抗R1,R2,R3を設定する。
図11は、実施例5の移動体送り装置を一部破断し制御回路とともに示す図である。
実施例5の移動体送り装置の駆動軸1、駆動軸1の支持機構、移動体13、移動体13の案内機構、移動体13に搭載される回転機構30等の構成は、実施例1、2の移動体送り装置と同様であり、動特性可変手段31と送り制御手段32の関連構成において相違するので、実施例1、2の移動体送り装置と重複する説明は省略する。
実施例5の移動体送り装置の動特性可変システムにおいては、回転機構30の回転情報として、例えば回転数、回転プログラム等を予め設定した回転情報入力手段26の出力は、送り装置の移動体13ところがり軸受2a,2bのスラスト剛性から決定される1次固有振動数が、回転情報入力手段26に与えられた回転周波数、もしくは回転プログラム中の回転周波数とその高次周波数が一致しない固有振動数データを送出する必要特性演算部27に入力され、その固有振動数データに相当する例えばアナログ電圧、デジタルデータ等を出力する特性制御回路28に接続され、さらに特性制御回路28の出力は、その固有振動数に相当するころがり軸受2a,2bへの予圧を駆動軸方向の伸縮量に設定する予圧調整手段29に接続され、予圧調整手段29の出力は駆動軸1の軸方向に伸縮する予圧調整伸縮部5に接続されており、全体で動特性可変手段31を構成している。
図12に示す実施例5の移動体送り装置で用いられる送り制御手段において、例えばパルス列信号にて与えられる送り指令信号と位置検出手段16の例えばパルス列信号にて得られる現在位置信号との偏差(ΔX)を算出する偏差カウンタ41の出力は、偏差パルス列信号をアナログ信号に変換するD/A変換器42に接続され、その出力信号が定常位置偏差をゼロにする積分器43に接続され、その出力は位置サーボループの補償を行う第1の補償器44に接続され、位置サーボループのゲインKaを介して、位置検出手段16のパルス列信号をF/V変換して送り装置の速度信号を得るF/V変換器49の出力と比較して得られる速度偏差信号となり、その速度偏差信号は速度サーボループの補償を行う第2の補償器46、速度サーボループゲインKbを介して可変ノッチフィルタ40に接続され、その出力は駆動アンプ48を介して駆動モータ7に接続されており、全体で送り制御手段32を構成している。
可変ノッチフィルタ40は、図13に示すように、例えばT型ノッチフィルタを構成しており、ノッチ周波数を決定するR1,R2,R3、及びQ値を決定するVR1は多回転型可変抵抗50a〜50dで構成され、各々には回転モータ51a〜51dが設けられており、各々の回転モータ51a〜51dには必要特性演算部27からの周波数情報信号とQ値情報信号が接続されている。ここで、可変ノッチフィルタ40の伝達関数とノッチ周波数とQ値の関係は次の通りである。
Vout/Vin=(1+s2R2C2)/(1+QsRC+s2R2C2)
Q=1/〔4(1−K)〕
R=R1=R2=2・R3
C=C1=C2=C3/2
ノッチ周波数:f0=1/(2πRC)
K:ボルテージフォロワの利得
例えば、ボルテージフォロワの利得K=0.9でQ≒3、K=0.9975でQ=100となり、VR1を可変するとこの間のQ値が得られる。
また、図14は、多回転型可変抵抗器VR1を可変するときの伝達関数について示すグラフで、ノッチ周波数f0=47.5Hzの可変ノッチフィルタにおいて、VR1を可変するときの伝達関数は、図14に示すように変化する。
実施例6の可変ノッチフィルタ40では、送りステージの固有周波数情報信号とQ値情報をデジタル値として受け取り、可変ノッチフィルタ40を複数の抵抗52a〜52dとスイッチング素子にて複数の抵抗52a〜52dの組み合わせでR1,R2,R3,VR1を変更する構成として、切り換え手段54a,54bを設けている。切り換えデータは、図15に示す実施例6のように必要特性演算部27からデジタルデータを直接接続するようにしても良い。
実施例7の可変ノッチフィルタでは、切り換え手段54a,54bの前段に切り換えテーブルを設けたROM53a,53bを設けても良い。この構成では、回転周波数が大きく変更されても瞬時に安定した送り制御が可能である。
実施例8の移動体送り装置について説明するが、実施例1、2と重複する説明は省略する。
実施例8の移動体送り装置は、移動体13に固定された軸受け止め38にターンテーブル19の半径方向に対向する例えば、静電容量型の変位検出器等の振れ量検出手段39が設けられており、その振れ信号が回転情報入力手段26に入力されている。
振れ信号は、基本波が正弦波であり、図18(A)に示すような、例えばある信号レベルをスレッシュホールド値とした比較器55によりパルス変換し、そのパルス信号を単位時間周期のカウントパルス信号にてカウントするカウンタ56で計数することにより周波数情報が得られる構成とする。あるいは、図18(B)に示すような、光学式ロータリーエンコーダ20のA相パルス信号を用いた構成として回転周波数情報を得る構成としても良い。
実施例9の移動体送り装置では、図8に示すように駆動軸1の両側に実施例1で用いた機構を設けている。この構成では、両側のころがり軸受の予圧を利用できるのでf0〜f1領域を広げることができる。
図19は、実施例10の移動体送り装置を一部破断し制御装置とともに示す図である。
実施例10の移動体送り装置は、駆動軸1、駆動軸1の支持機構、移動体13、移動体13の案内機構、移動体13に搭載される回転機構30等の構成は、実施例1、2の移動体送り装置と同様であり、動特性可変手段31と送り制御手段32の関連構成及び摩擦トルク記憶手段57を備える点において相違するので、実施例1、2の移動体送り装置と重複する説明は省略する。
実施例10の移動体送り装置の動特性可変システムにおいては、回転機構30の回転情報として、例えば回転数、回転プログラム等を予め設定した回転情報入力手段26の出力は、送り装置の移動体13ところがり軸受2a,2bのスラスト剛性から決定される1次固有振動数が、回転情報入力手段26に与えられた回転周波数、もしくは回転プログラム中の回転周波数とその高次周波数が一致しない固有振動数データを送出する必要特性演算部27に入力され、その固有振動数データに相当する例えばアナログ電圧、デジタルデータ等を出力する特性制御回路28に接続され、さらに特性制御回路28の出力は、その固有振動数に相当するころがり軸受2a,2bへの予圧を駆動軸方向の伸縮量に設定する予圧調整手段29に接続され、予圧調整手段29の出力は駆動軸1の軸方向に伸縮する予圧調整伸縮部5に接続されており、全体で動特性可変手段31を構成している。
実施例10の移動体送り装置で用いられる送り制御手段において、必要特性演算部27の周波数情報信号とQ値情報信号は、送り制御手段32を構成する可変ノッチフィルタ40に接続されている。また、周波数情報信号は、予めその周波数情報の時に移動体13の各位置における駆動軸1の送り駆動モータ7換算摩擦トルクから算出した平均摩擦トルクを記憶した摩擦トルク記憶手段57に接続されており、摩擦トルク記憶手段57の出力は、図20に示すように送り制御手段32の駆動アンプ48前段に等価摩擦トルク外乱として加え合わされる構成としている。
図21は、予圧量と駆動モータの換算摩擦トルクの関係を示すグラフである。
図22は、平均摩擦トルクを算出する際に使用する、摩擦トルクと移動体位置の関係を示すグラフである。
予圧量と1次固有振動数の関係は、実施例1の移動体送り装置の説明で使用した図2と同様であるが、予圧量と駆動モータ7の換算摩擦トルクの関係は、図21に示す関係となる。予め必要1次固有振動数情報(もしくは予圧量情報)における移動体各位置の摩擦トルクを図6に示すような計測を行って、以下の式にて平均摩擦トルクデータTfを記憶する。
Vout/Vin=(1+s2R2C2)/(1+QsRC+s2R2C2)
Q=1/〔4(1−K)〕
R=R1=R2=2・R3
C=C1=C2=C3/2
ノッチ周波数:f0=1/(2πRC)
K:ボルテージフォロワの利得
例えば、ボルテージフォロワの利得K=0.9でQ≒3、K=0.9975でQ=100となり、VR1を可変するとこの間のQ値が得られる。
また、ノッチ周波数f0=47.5Hzの可変ノッチフィルタにおいて、VR1を可変するときの伝達関数について図13に示す。
図23は、実施例11の移動体送り装置を一部破断し制御回路とともに示す図である。
実施例11の移動体送り装置について説明するが、実施例1と重複する説明は省略する。
実施例11の移動体送り装置では、摩擦トルク記憶手段57に位置検出手段16の出力信号を接続して移動体13の現在位置情報を入力する構成としている。摩擦トルク記憶手段57には、図22に示す摩擦トルクを位置の関数として記憶する構成としている。サンプリング間隔ΔXは、摩擦トルク変動状態にも左右されるが、急峻なトルク変動がなければリードによるトルク変動が判断できる程度で構成する。動作に関しては、実施例10の移動体送り装置で説明したのと同様である。
実施例10、11の移動体送り装置では、可変ノッチフィルタ40の構成として、図13に示すような多回転型可変抵抗50a〜50dで構成して、各々の多回転型可変抵抗50a〜50dを回転モータ51a〜51dにて変更する構成とした。この場合、多回転型可変抵抗50a〜50dを瞬時に変更することができないため、急激な回転周波数変更に追従できない。実施例12の移動体送り装置では、図15に示す実施例6の移動体送り装置のように、送りステージの固有周波数情報信号とQ値情報をデジタル値として受け取り、上記可変ノッチフィルタ40を複数の抵抗52a〜52dとスイッチング素子にて複数の抵抗52a〜52dの組み合わせでR1,R2,R3,VR1を変更する構成として、切り換え手段54a,54bを設けている。切り換えデータは、図15に示すように必要特性演算部27からデジタルデータを直接接続しても良い。
図16に示す実施例13のように、切り換え手段54の前段に切り換えテーブルを設けたROM53を設けても良い。この構成では、回転周波数が大きく変更されても瞬時に安定した送り制御が可能である。
実施例14の移動体送り装置について説明するが、実施例1と重複する説明は省略する。
実施例14の移動体送り装置では、移動体13に固定された軸受け止め38にターンテーブル19の半径方向に対向する例えば、静電容量型の変位検出器等の振れ量検出手段39が設けられており、その振れ信号が回転情報入力手段26に入力されている。
Claims (10)
- 回転機構を搭載する移動体と、支持体に設けられた互いに対向する転動溝のそれぞれに介在される転動体を介して回転支持される駆動軸と、前記移動体を前記駆動軸の軸方向に案内する案内機構と、前記移動体の送り位置を検出する位置検出手段とからなり、前記駆動軸を回転して前記移動体を前記駆動軸の軸方向に駆動する移動体送り装置において、前記転動体に加える予圧を調整することにより移動体送り装置の動特性を変化させる動特性可変手段と、該動特性可変手段を作動させた時の、前記案内機構上の各位置における摩擦トルクを記憶する摩擦トルク記憶手段と、該摩擦トルク記憶手段の摩擦トルク情報を等価外乱としてトルク信号に加算し、かつ前記動特性可変手段の情報に基づいてそのノッチ周波数及びQ値を可変設定可能な可変ノッチフィルタを備えた送り制御手段を有することを特徴とする移動体送り装置。
- 前記摩擦トルク記憶手段に記憶する摩擦トルクは、前記動特性可変手段の予圧量もしくは固有振動数情報を入力とした予め前記移動体の案内機構上の各位置において前記動特性可変手段を作動させて計測した時の平均摩擦トルク(定数)を記憶させることを特徴とする請求項1記載の移動体送り装置。
- 前記摩擦トルク記憶手段に記憶する摩擦トルクは、前記動特性可変手段の予圧量もしくは固有振動数情報と前記位置検出手段の位置情報を入力とした予め前記移動体の案内機構上の各位置において前記動特性可変手段を作動させた時の位置関数となる摩擦トルクを記憶させることを特徴とする請求項1記載の移動体送り装置。
- 前記可変ノッチフィルタは、前記ノッチ周波数及びQ値を決定する回転型可変抵抗とその抵抗値を変更する回転モータから構成されることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載の移動体送り装置。
- 前記可変ノッチフィルタは、前記ノッチ周波数及びQ値を決定する複数の抵抗と、該抵抗の組み合わせを変更して前記ノッチ周波数及びQ値を切り換えるための切り換え手段から構成されることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載の移動体送り装置。
- 前記切り換え手段は、前記回転機構の現在回転周波数に基づいて切り換え出力信号を送出するROMから構成されることを特徴とする請求項5記載の移動体送り装置。
- 前記動特性可変手段は、前記転動体に加える予圧を調整することにより移動体送り装置の固有振動数f0を調節して、前記回転機構の回転周波数及びその高次周波数と移動体送り装置の固有振動数f0が一致しないようにすることを特徴とする請求項1乃至6いずれか記載の移動体送り装置。
- 前記駆動軸は前記支持体に両端で支持され、いずれか一方の前記支持体に設けられた互いに対向する転動溝のそれぞれに前記転動体が介在され、該転動体の前記駆動軸の軸方向間隔を調整する予圧調整伸縮部を設け、前記動特性可変手段は前記予圧調整伸縮部を伸縮させることにより前記転動体の予圧を調整することを特徴とする請求項1乃至7いずれか記載の移動体送り装置。
- 前記動特性可変手段は、前記回転機構の前記駆動軸の軸方向振れを検出する振れ量検出手段と前記駆動軸の軸方向変位量を検出する軸変位検出手段の情報に基づいて、前記回転機構の回転周波数及びその高次周波数と移動体送り装置の固有振動数f0が一致しないようにすることを特徴とする請求項1乃至8いずれか記載の移動体送り装置。
- 前記動特性可変手段は、前記転動体に加える予圧を大きくすることによって、外力に対する減衰性を高めて位置決め整定時間を短くすることを特徴とする請求項1乃至9いずれか記載の移動体送り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004040771A JP4580177B2 (ja) | 2003-08-26 | 2004-02-18 | 移動体送り装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003300698 | 2003-08-26 | ||
JP2004040771A JP4580177B2 (ja) | 2003-08-26 | 2004-02-18 | 移動体送り装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005096062A JP2005096062A (ja) | 2005-04-14 |
JP4580177B2 true JP4580177B2 (ja) | 2010-11-10 |
Family
ID=34467137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004040771A Expired - Fee Related JP4580177B2 (ja) | 2003-08-26 | 2004-02-18 | 移動体送り装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4580177B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4861229B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-01-25 | 株式会社リコー | 摩擦駆動装置 |
JP2021067507A (ja) * | 2019-10-18 | 2021-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 制御方法および電子部品搬送装置 |
JP2021067506A (ja) * | 2019-10-18 | 2021-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および制御方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0816488B2 (ja) * | 1992-04-09 | 1996-02-21 | 畑村 洋太郎 | 可変予圧直線運動用案内装置 |
JPH07181275A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Toshiba Corp | 直線移動装置 |
JPH07261853A (ja) * | 1994-03-23 | 1995-10-13 | Komatsu Ltd | ロボットの振動低減装置 |
JP2568158B2 (ja) * | 1994-04-11 | 1996-12-25 | 日本板硝子株式会社 | 微小凹部形成装置 |
JPH07310743A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Brother Ind Ltd | 軸受予圧調整装置 |
-
2004
- 2004-02-18 JP JP2004040771A patent/JP4580177B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2005096062A (ja) | 2005-04-14 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070110 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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