JP4577653B2 - 半導体テスタ装置 - Google Patents
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Description
図5において、テンプレート2は、テストヘッド本体1上に配置されている。
受圧スペーサ3は、後述するDUTソケット5に対応してテンプレート2上に配置されている。
パフォーマンスボード4は、受圧スペーサ3の上に配置されている。
DUTソケット5は、フォーマンスボード4上に配置されている。
パフォーマンスボード4上のDUTソケット5の位置は、検査対象ICにより異なる。
このために、受圧スペーサ3はDUTソケット5の位置におおよそ合わせられるように、例えば、放射状にちりばめて配置されている。
このために、図2に示す如く、パフォーマンスボード4が反ってしまう。
検査対象ICが装着されるDUTソケットが一方の面に固定されるパフォーマンスボードを具備する半導体テスタ装置において、前記パフォーマンスボードの他方の面に一方の面が接し前記DUTソケットが配置されている位置ごとに前記DUTソケットの直下に前記DUTソケットに対向して設けられた受圧スペーサと、この受圧スペーサの他方の面に一方の面が接し前記パフォーマンスボードに着脱自在に設けられた受圧プレートとを具備し、前記パフォーマンスボードの下方に配置されたテンプレートに前記受圧プレートの他方の面が支持されるように前記受圧スペーサと前記受圧プレートとの厚さが調整されたことを特徴とする。
前記受圧プレートはボスを介してパフォーマンスボードに着脱自在に固定されたことを特徴とする。
前記受圧プレートはねじによりパフォーマンスボードに着脱自在に固定されたことを特徴とする。
ハンドラからDUTソケットに加わる圧力を、受圧スペーサを介して受圧プレートに分散することができ、パフォーマンスボードの反りを効果的に防止することができる半導体テスタ装置が得られる。
受圧プレートはボスを介してパフォーマンスボードに着脱自在に固定されたので、受圧スペーサの厚さとボスの厚さは容易に合わせることができ、パフォーマンスボードに受圧プレートを正確に取り付けることができる半導体テスタ装置が得られる。
受圧プレートは、ねじによりパフォーマンスボードに着脱自在に固定されたので、簡単な構成により容易確実に、着脱自在に固定が構成できる半導体テスタ装置が得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の要部詳細説明図、図3は図1の部品詳細説明図、図4は図1の要部組立説明図である。
図において、図5と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図5との相違部分のみ説明する。
受圧プレート12は、図2,図3に示す如く、受圧スペーサ11の他方の面に一方の面が接し、パフォーマンスボード4に着脱自在に設けられている。
また、この場合は、受圧プレート12は、ねじ14によりパフォーマンスボード4に着脱自在に固定されている。
ハンドラからDUTソケット5に加わる圧力を、受圧スペーサ11を介して受圧プレート12に分散することができ、パフォーマンスボード4の反りを効果的に防止することができる半導体テスタ装置が得られる。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
2 テンプレート
3 受圧スペーサ
4 パフォーマンスボード
5 DUTソケット
11 受圧スペーサ
12 受圧プレート
13 ボス
14 ねじ
Claims (3)
- 検査対象ICが装着されるDUTソケットが一方の面に固定されるパフォーマンスボードを具備する半導体テスタ装置において、
前記パフォーマンスボードの他方の面に一方の面が接し前記DUTソケットが配置されている位置ごとに前記DUTソケットの直下に前記DUTソケットに対向して設けられた受圧スペーサと、
この受圧スペーサの他方の面に一方の面が接し前記パフォーマンスボードに着脱自在に設けられた受圧プレートと
を具備し、
前記パフォーマンスボードの下方に配置されたテンプレートに前記受圧プレートの他方の面が支持されるように前記受圧スペーサと前記受圧プレートとの厚さが調整されたこと
を特徴とする半導体テスタ装置。 - 前記受圧プレートはボスを介してパフォーマンスボードに着脱自在に固定されたこと
を特徴とする請求項1記載の半導体テスタ装置。 - 前記受圧プレートはねじによりパフォーマンスボードに着脱自在に固定されたこと
を特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体テスタ装置。
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JP2005283846A JP4577653B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 半導体テスタ装置 |
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JP2007093415A JP2007093415A (ja) | 2007-04-12 |
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---|---|---|---|---|
JPS6277819U (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-19 | ||
JPH072981U (ja) * | 1993-06-10 | 1995-01-17 | 安藤電気株式会社 | バーンインボード |
JP2000035458A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
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- 2005-09-29 JP JP2005283846A patent/JP4577653B2/ja not_active Expired - Fee Related
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