JP4572692B2 - 放射線画像変換パネルの製造方法 - Google Patents
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しかしボートと蒸着原料との組み合わせによっては、得られる蛍光体層の透過率、また結晶性が低下し、放射線画像の鮮鋭性が低下したり、感度が低下したりするなどの問題があり、これは、蒸着原料が蒸着されるとき、遷移金属を含むボートから、蛍光体層にボート中に含まれる金属、特に遷移金属が混入してしまうためと思われる。これまで、蛍光体層中への、このような遷移金属の混入について、言及した文献はないが、本発明は、蒸着に用いる蒸着源の加熱に用いるボートの材質または、加熱の条件を選択することにより、ボートの材質等に由来する遷移金属の混入量を制御することで、放射線画像の鮮鋭性を向上させるものである。
下記一般式(1)で表される蛍光体若しくはその原料を含む蒸発源をタンタルまたはモリブデンからなる蒸発源ボートを抵抗加熱方式による発熱によって加熱し基板上に蒸着させて基板上に蛍光体層を形成する放射線画像変換パネルの製造方法であって、基板上に蒸発源を蒸着する前に、該蒸発源ボートを純水にて超音波洗浄し、且つ高温大気の環境で140〜160℃で1時間加熱することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
一般式(1)
M1X・aM2X′・bM3X″:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。〕
(2)
前記蒸発源ボートの乾燥を1.0×10−2〜2.0×10−2Paで1時間行うことを特徴とする(1)に記載の放射線画像変換パネルの製造方法。
xM3(PO4)2・NX2:yA
xM3(PO4)2:yA
で表される蛍光体、特開昭59−155487号に記載されている下記いずれかの一般式
nReX3・mAX′2:xEu
nReX3・mAX′2:xEu,ySm
で表される蛍光体等、また、特開昭61−228400号に記載されている一般式M(I)X:xBiで表されるビスマス賦活アルカリハライド蛍光体等が挙げられる。
M1X・aM2X′2・bM3X″3:eA
式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsから選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiから選ばれる少なくとも1種の2価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInから選ばれる少なくとも1種の3価金属原子であり、X、X′及びX″はF、Cl、Br及びIから選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ga、Cs、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgから選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b及びcは、それぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。
CsX:A
式中、XはBrまたはIを表し、AはEu、In、GaまたはCeを表す。
1mm厚、面積410mm×410mmの結晶化ガラス(日本電気ガラス社製)支持体の表面に図1に示す蒸着装置(但し、θ1=5度、θ2=5度に設定する)を用いて輝尽性蛍光体(CsBr:Eu)を有する輝尽性蛍光体層を形成した。
蒸発源ボートの材質、洗浄(種類)、乾燥条件を変更した以外は実施例1と同様にして、同様な条件で蛍光体プレートを作製した。
任意の蒸着面40mm□中の蛍光体中Eu濃度を初回使用時a(ppm)、その後ある期間使用した後の蒸着面40mm□中の蛍光体中のEu濃度をb(ppm)としたとき下記式の値と以上となった時の時間を蒸発源ボートの寿命とした。
『Eu濃度の測定』
蛍光体を純水に溶解し、得られた水溶液をICPにて測定し、母体CsBrに対するEu量をEu濃度(ppm)とした。
13 輝尽性蛍光体層
21 放射線発生装置
22 被写体
Claims (2)
- 下記一般式(1)で表される蛍光体若しくはその原料を含む蒸発源をタンタルまたはモリブデンからなる蒸発源ボートを抵抗加熱方式による発熱によって加熱し基板上に蒸着させて基板上に蛍光体層を形成する放射線画像変換パネルの製造方法であって、基板上に蒸発源を蒸着する前に、該蒸発源ボートを純水にて超音波洗浄し、且つ高温大気の環境で140〜160℃で1時間加熱することを特徴とする放射線画像変換パネルの製造方法。
一般式(1)
M1X・aM2X′・bM3X″:eA
〔式中、M1はLi、Na、K、Rb及びCsの各原子から選ばれる少なくとも1種のアルカリ金属原子であり、M2はBe、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、Cd、Cu及びNiの各原子から選ばれる少なくとも1種の二価金属原子であり、M3はSc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、Ga及びInの各原子から選ばれる少なくとも1種の三価金属原子であり、X、X′、X″はF、Cl、Br及びIの各原子から選ばれる少なくとも1種のハロゲン原子であり、AはEu、Tb、In、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、Er、Gd、Lu、Sm、Y、Tl、Na、Ag、Cu及びMgの各原子から選ばれる少なくとも1種の金属原子であり、また、a、b、eはそれぞれ0≦a<0.5、0≦b<0.5、0<e≦0.2の範囲の数値を表す。〕 - 前記蒸発源ボートの乾燥を1.0×10−2〜2.0×10−2Paで1時間行うことを特徴とする請求項1項に記載の放射線画像変換パネルの製造方法。
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