JP4569859B2 - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
組成式(AlxGa1−x)yIn1−yP(ただし、0≦x≦1,0≦y≦1)にて表される化合物のうち、GaAsと格子整合する組成を有する化合物にて各々構成された第一導電型クラッド層、活性層及び第二導電型クラッド層がこの順序で積層されたダブルヘテロ構造を有する発光層部と、
発光層部からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体が、該発光層部の第一主表面側にHVPE法(ハイドライド気相成長法:Hydride Vapor Phase Epitaxial Growth Method)により形成された第一透明半導体層と、
発光層部からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体が、該発光層部の第二主表面側にHVPE法により形成された第二透明半導体層と、を有することを特徴とする。
GaAs単結晶基板の第二主表面上に、組成式(AlxGa1−x)yIn1−yP(ただし、0≦x≦1,0≦y≦1)にて表される化合物のうち、GaAsと格子整合する組成を有する化合物にて各々構成された第一導電型クラッド層、活性層及び第二導電型クラッド層がこの順序で積層されたダブルヘテロ構造を有する発光層部をMOVPE法にて成長する発光層部成長工程と、
発光層部の第二主表面側に、発光層部からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体からなる第一透明半導体層をHVPE法により成長する第一透明半導体層成長工程と、
発光層部の第一主表面側からGaAs単結晶基板を除去する基板除去工程と、
該GaAs単結晶基板を除去した発光層部の第一主表面側に、発光層部からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体からなる第二透明半導体層をHVPE法にて成長する第二透明半導体層成長工程と、を含むことを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態である発光素子100を示す概念図である。発光素子100は、III−V族化合物半導体からなる発光層部24と、該発光層部24の第二主表面側に形成され、発光層部24からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体からなる第二透明半導体層としての透明厚膜半導体層90と、発光層部24の第一主表面側に形成され、発光層部24からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体からなり、かつ、透明厚膜半導体層90よりも膜厚が小さい第一透明半導体層としての補助電流拡散層91とを有する。
まず、図2の工程1に示すように、成長用基板として、オフアングルを付与したn型のGaAs単結晶基板1を用意する。該基板1は、<100>方向を基準方向として、該基準方向に対するオフアングルが10°以上20°以下(望ましくは13°以上17°以下:本実施形態では15°)の主軸Aを有するものである。次に、工程2に示すように、その基板1の第二主表面(図面では上面として表れている)に、n型GaAsバッファ層2を例えば0.5μmエピタキシャル成長し、さらにAlInPなどからなるエッチストップ層3をエピタキシャル成長する。
・Al源ガス;トリメチルアルミニウム(TMAl)、トリエチルアルミニウム(TEAl)など;
・Ga源ガス;トリメチルガリウム(TMGa)、トリエチルガリウム(TEGa)など;
・In源ガス;トリメチルインジウム(TMIn)、トリエチルインジウム(TEIn)など。
・P源ガス:トリメチルリン(TMP)、トリエチルリン(TEP)、ホスフィン(PH3)など。
Ga(液体)+HCl(気体) → GaCl(気体)+1/2H2‥‥(1)
GaPの場合、成長温度は例えば640℃以上860℃以下に設定する。また、V族元素であるPは、PH3をキャリアガスであるH2とともに基板上に供給する。さらに、p型ドーパントであるZnは、DMZn(ジメチルZn)の形で供給する。GaClはPH3との反応性に優れ、下記(2)式の反応により、効率よく透明厚膜半導体層90を成長させることができる:
GaCl(気体)+PH3(気体)
→GaP(固体)+HCl(気体)十H2(気体)‥‥(2)
4 n型クラッド層(第二導電型クラッド層)
5 活性層
6 p型クラッド層(第一導電型クラッド層)
9 光取出面側電極
24 発光層部
90 透明厚膜半導体層(第一の透明半導体層)
91 補助電流拡散層(第二の透明半導体層)
91’ 透明厚膜半導体層(第二の透明半導体層)
100,200,300,400,500,600,700 発光素子
Claims (8)
- <100>方向又は<111>方向を基準方向として、該基準方向に対するオフアングルが10°以上20°以下の主軸を有するGaAs単結晶基板の第二主表面上に、組成式(AlxGa1−x)yIn1−yP(ただし、0≦x≦1,0≦y≦1)にて表される化合物のうち、GaAsと格子整合する組成を有する化合物にて各々構成された第一導電型クラッド層、活性層及び第二導電型クラッド層がこの順序で積層されたダブルへテロ構造を有する発光層部をMOVPE法にて成長する発光層部成長工程と、
前記発光層部の第二主表面側に、前記発光層部からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体からなる第一透明半導体層をHVPE法により成長する第一透明半導体層成長工程と、
前記発光層部の第一主表面側から前記GaAs単結晶基板を除去する基板除去工程と、
該GaAs単結晶基板を除去した前記発光層部の第一主表面側に、前記発光層部からの発光光束のピーク波長に相当する光量子エネルギーよりも大きなバンドギャップエネルギーを有するIII−V族化合物半導体からなる第二透明半導体層をHVPE法にて成長する第二透明半導体層成長工程と、
を含むことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記第一透明半導体層と前記第二透明半導体層とがいずれもGaP層又はGaAsP層からなることを特徴とする請求項1記載の発光素子の製造方法。
- 前記第一透明半導体層と前記第二透明半導体層とがいずれも膜厚10μm以上の透明厚膜半導体層とされてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第二透明半導体層が膜厚10μm以上の透明厚膜半導体層とされ、前記第一透明半導体層が前記第二透明半導体層よりも膜厚の小さい補助電流拡散層とされてなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第一透明半導体層の第一主表面側に主光取出面が形成され、該第一透明半導体層の第一主表面の一部を覆う形で主光取出側電極が配置されてなることを特徴とする請求項3又は請求項4記載の発光素子の製造方法。
- 前記補助電流拡散層の第一主表面の一部領域が電流阻止層で覆われてなり、前記光取出側電極は、前記電流阻止層を覆う主電極と、該主電極に導通するとともに前記補助電流拡散層の第一主表面のうち前記電流阻止層の周囲に位置する一部領域を覆う副電極とを有することを特徴とする請求項4又は請求項5記載の発光素子の製造方法。
- 前記電流阻止層は、前記補助電流拡散層と前記主電極との間に配置されるとともに該補助電流拡散層と逆の導電型を有する反転層を含んでなることを特徴とする請求項6に記載の発光素子の製造方法。
- 前記反転層を含む前記電流阻止層の全体がIII−V族化合物半導体にて形成され、前記補助電流拡散層の第一主表面から該電流阻止層が、前記第一主表面の一部領域を覆う形で突出形成され、前記主電極は、前記電流阻止層の第一主表面及び周側面を覆うものとされ、前記電流阻止層の第一主表面の面積が第二主表面の面積よりも小となるように、該電流阻止層の周側面が傾斜面として形成されてなり、前記光取出側電極をなす前記主電極と前記副電極とが一体の金属膜として形成されてなることを特徴とする請求項5記載の発光素子の製造方法。
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